JP4653069B2 - 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ - Google Patents

集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ Download PDF

Info

Publication number
JP4653069B2
JP4653069B2 JP2006503668A JP2006503668A JP4653069B2 JP 4653069 B2 JP4653069 B2 JP 4653069B2 JP 2006503668 A JP2006503668 A JP 2006503668A JP 2006503668 A JP2006503668 A JP 2006503668A JP 4653069 B2 JP4653069 B2 JP 4653069B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor
magnetic flux
pole piece
magnetic
shaped
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006503668A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006518467A (ja
Inventor
カート ギャルブレス,
リチャード ジェイ. ウィンクラー,
スティーブン ジー. シバーガー,
Original Assignee
フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー filed Critical フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー
Publication of JP2006518467A publication Critical patent/JP2006518467A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4653069B2 publication Critical patent/JP4653069B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)

Description

本発明は、一般的に2つの目的物間の変位又は位置を測定するための装置に関するものであり、更に詳細にいえば、制御バルブの弁棒位置の検出に用いられる、第1のセンサとして機能する一次側設定可能な磁束源とその第1のセンサに関連する第2のセンサとを備える非接触式位置センサに関するものである。
本発明は、2003年2月21日に出願された米国特許仮出願第60/448785号に開示されている全てに基づいて優先権を主張すると共にそれらの恩恵を享受する権利を保持するものである。
産業用処理プラントおいては、食料品処理プラントにおける製品の流れの制御から大規模タンク集合地域の流体レベルの保持に至るまでの多種多様な用途で、制御バルブが用いられている。制御バルブは、通常自動化されており、可変オリフィス又は可変パッセージのように機能することにより製品の流れを管理する目的で用いられる。内部バルブコンポーネントである弁体を移動させることにより、弁箱を通過する製品の量を正確に管理することができる。制御バルブは、アクチュエータ及び遠隔から運転される装置を用いて自動化されていることが普通である。この遠隔から運転される装置は、プロセス制御コンピュータとアクチュエータとの間の通信を取り持ち、バルブ内の流量変更を命令し、プラントオペレータの所望の制御戦略を実現する。位置センサは、正確なプロセス制御の維持にあたり、重要な役目を担っている。
プロセス制御コンピュータが流量の変更命令を出した際、遠隔から運転される装置は、現在のバルブ位置を読み取り、アクチュエータを用いて適切な変更処置を講じなければならない。典型的なアクチュエータは、加圧空気供給源によって駆動され、加圧空気供給源は、遠隔から運転される装置によって制御される。例えば、スライディングステムバルブに用いられているスプリングダイアフラム式アクチュエータでは、大きなダイアフラムに印加される空気の圧力が変動すると、ダイアフラムが移動又は変位する。ダイアフラムにはアクチュエータ棒が取り付けられており、このアクチュエータ棒は弁体に接続されている。ダイアフラムに対する空気の圧力を変更することにより、遠隔から運転される装置は弁体の位置調整を直接行うことができ、従って、制御バルブの流量を制御することができる。流量を正確に制御するためには、遠隔から運転される装置は、弁体がどの位置にあるのか、新しい命令に応答してどの位置に移動しなければならないかを、常に知っていなければならない。このことは、遠隔から運転される装置とアクチュエータ棒との間に位置センサを取り付けることにより達成される。位置センサの出力部は、棒の位置をフィードバックして正確なバルブ制御を行うために、遠隔から運転される装置に直接接続されてもよい。
ポテンショメータ又は他の電気機械式リミットスイッチの如き従来の位置センサでは、移動又は変位をセンサに結合するための動的な機械的リンク、即ち移動する機械的リンクが必要とされる。このような電気機械式リミットスイッチは、アクチュエータ上に取り付けられ、弁体の移動行程における中央ストロークの位置に又はその両端に移動エレメントが到達したとき、この移動エレメントによりスイッチが入れられる。リミットスイッチ又は複数のリミットスイッチからの信号は、リレイ、ソレノイドバルブを動作させるために又はアラームを引き起こすために用いられる。高推進力バルブの用途におけるような制御エレメントに対する損傷を回避するために、リミットスイッチは、弁棒の移動が所望の移動距離を超えないように適切な場所に設けられる。
乱流に起因する機械的な振動が存在する用途では、システムのエラー又は不安定性が、非常に短い時間枠に何百万回という数の動作サイクルを累積させる要因となって、位置センサの信頼性を低下させる。又、これらの機械的なリンクには、接触ポイント又は摩耗ポイントが存在している。サービス条件が厳しい間に、不安定性により、摩耗ポイントにおいて機械的なリンクが文字通り「切断」され、これにより、弁棒が遠隔から運転される装置から切り離される。このタイプの突発的な故障は、バルブ制御を破壊してしまうため、回避されなければならない。センサの信頼性を向上させるために、センサのデザインは、非接触式の位置検出方法へと移行してきている。
非接触式センサにおける1つのタイプのデザインとしては、磁気式位置センサが挙げられる。磁気式位置センサは、通常磁石である磁束源を第1の目的物に取り付け、ホール効果センサの如きセンサを第2の目的物に取り付けることにより、2つの目的物間の変位を検出する。磁束源により、センサが用いられて検出される磁場が提供される。一方又は両方の目的物が少しでも移動して相対的な変位を発生させると、磁場の内の異なる部分がセンサに提示され、これにより、センサの出力が変更される。この出力が、アクチュエータと弁棒との間の相対的な変位に直接関連付けされる。
米国特許第5359288号明細書 米国特許第5497081号明細書 米国特許第5570015号明細書
非接触式位置センサは、柔軟性を有しており、複数の形態の変位を測定することができる。しかしながら、現在の非接触式位置センサは、移動エレメントに取り付ける方法が制限されることが多い。遠隔から運転される装置における位置センサ又はフィードバックセンサにあっては、変位を結び付けるために「接触式」動的リンクを依然として用いる商業的な例が多い。このような構成の内の1つにおいては、回転運動を非接触式の磁気−抵抗エレメントに直接結び付けるために従来のウォームギア装置が用いられている。磁気−抵抗エレメントを非接触式センサとして分類してもよいが、実際には「接触式」装置を通じて移動が変換され、従来のリンクに基づいているポテンショメータのように、信頼性が低下するという問題を有している。
更に、他の非接触式位置センサにおいては、様々なタイプの変位測定(例えば、直線及び回転)に対して事前に定義された出力を生成するように、磁束源を再設定することができないという問題がある。これらのタイプの位置センサの実施例は、リグスらの米国特許第5359288号、ウルフらの米国特許第5497081号、及び、タカハシらの米国特許第5570015号に開示されている。
既存の非接触式位置センサの更なる問題点としては、弁体の移動行程の両端を検出するために少なくとも2つのリミットスイッチが必要となること、このようなリミットスイッチを実現することが困難であること、及び、信頼性に対する懸念が挙げられる。以下、問題を解決するための手段及び好ましい実施形態の詳細な説明において、近接センサに関する上記の問題及び他の問題を解決する方法を説明する。
本明細書に記載の位置センサ組立体は、2つの目的物間の相対的な変位を正確に検出するための非接触式位置センサ、更に詳細にいえば、制御バルブ組立体における弁体の位置を正確に測定するための非接触式位置センサを提供する。
高度に設定変更可能な磁束源を有するリミットスイッチは、複数の個別の磁石を用いており、直線変位又は回転変位を測定するように構成されている。このことは、磁石組立体のデザインを調整することにより達成される。個別の磁石を組み立てて、連続した複合的な磁束場を形成することにより、物理的幾何学形状を変更することが可能な磁束源が形成される。2つのL字型セクションを有するU字型磁極片を用いて、磁束源からの磁束を、U字型磁極片のL字型セクションの間に位置するホール効果エレメント又は第1のセンサに結び付けている。
第2のセンサが更に用いられている。この第2のセンサは、第1のセンサと共にかつ第1のセンサに比例して動作する。1つの実施形態では、ホール効果近接センサのU字型磁極片が、第1のセンサ及び第2のセンサを収納するために、2つのL字型セクションの各々に非対称Y字型部が設けられるように構成されている。第1のセンサは、Y字型部における第1の端部上のU字型磁極片の端面と直接に接続されている。第2のセンサは、アダプタを通じて、Y字型部の第2の端部と結合されている。
このアダプタは、第2のセンサとY字型部の第2の端部との間に、本明細書において空気ギャップと呼ぶギャップを形成している。空気ギャップにより、第2のセンサに対する磁気カップリングは損失の多いものとなる。空気ギャップの間隔を変更することにより、それに比例して、第1のセンサ及び第2のセンサが受ける磁束の強度を制御することができる。アダプタはプラスティックの如き電気絶縁性材料であることが好ましいが、これに代えて、空気ギャップは、第2のセンサを通過する磁束を変更することなく、開放空間、即ち空気又は他の材料であってもよいと考えられている。
他の実施形態では、第2のセンサは、第1のセンサの隣に設けられており、U字型磁極片の平面に対して垂直な軸に沿って一列に並べられているか、又は、第1のセンサのホール効果エレメントに対して垂直になっており、U字型磁極片の底面と密接に接触して配置されている。これらの様々な実施形態は、以下の図面に示されている。
本明細書に記載の位置センサ組立体は、2つの目的物間の相対的な変位を正確に検出するための非接触式位置センサ、更に詳細にいえば、制御バルブ組立体における弁体の位置を正確に測定するための非接触式位置センサを提供する。
本明細書記載の位置センサの利点を理解するために、位置センサのコンポーネント及びこれらのコンポーネントが制御バルブの変位を測定するためにどのように動作するかを理解しておくことが望ましい。好ましい実施形態では、制御バルブにおける変位測定が教示されているが、当業者にとって明らかなように、他の用途における変位測定も又同様に適切である。ここで、図面を参照すると、図1-Aには、非接触式位置センサの主要コンポーネントが示されている。
図1-Aでは、センサ5が磁束源8の隣に設けられている。公知のように、磁束源8により、当該磁束源8及びセンサ5を完全に覆う連続した3次元の磁束場が供される。センサ5は、当該センサ5を囲む磁場10に比例して電気信号を生成するデバイスである。当業者にとって明らかなように、磁場10の検出強度は、当該磁場10内の位置に応じて変わる。従って、磁場10に対してセンサ5の相対位置又は変位が僅かでも変わると、図1-Cのグラフに示されているように、それに応じた変化がセンサ5の出力に生じる。この関係を利用して、非接触式位置センサを作製することができる。
非接触式位置測定又は非接触式変位測定の適用にあたって、センサ5及び磁束源8は2つの機械的に独立した目的物(図示せず)に取り付けられる。磁束源8の相対変位を直接センサ5へ結び付けるために、動的な機械的リンク、即ち移動する機械的リンクは用いられない。図1-Aを更に参照しながらセンサ5と磁束源8との相対的な位置関係を説明すると、センサ5が磁束源8の近傍に設けられており、その変位量がD1によって示されている。これに対応する図1-Cでは、D1の変位量に対するセンサ5の出力値がV1で示されている。図1-Bでは、変位量がD2により示される新しい位置に変更され、センサ5が磁束源8の端部の近傍に移動されている。これに対応する図1-Dのグラフでは、センサ5の出力の変化が、磁束源8により生成される磁場10、V2内のセンサ5の位置に直接関連することが示されている。このようなセンサ5の出力信号の変化が、機械的に独立した2つの目的物間の変位を直接測定するために用いられる。センサ5の出力信号を処理して、以下で更に詳細に説明する制御バルブの用途において使用するために、センサ5に接続される電子回路(図示せず)が用いられる。
ここで、図2-Aを参照すると、位置センサが制御バルブを自動的に制御するために用いられるスライディングステムアクチュエータ20に接続されていることが示されている。スライディングステムアクチュエータ20は、直線運動(即ち、直線方向の運動)を行うように構成されている。図2-Aの斜視図には、位置センサの磁気センサ組立体11及び磁束源18a(図3〜図7に更なる詳細を図示する)を、スライディングステムアクチュエータ20と遠隔から運転される装置19(遠隔から運転される装置のモジュールベースのみを示す)との間に独立して取り付ける方法が示されている。
公知のように、スライディングステムアクチュエータ20、遠隔から運転される装置19、及び、制御バルブ(図示せず)が組み合わされて、バルブ組立体23が形成されている。取付組立体14を用いて、磁束源18aがステムコネクタ27に取り付けられる。取付組立体14は、取付板15aと位置調整板15bとから構成されている。ステムコネクタ27は、ステムコネクタ用ボルト16a,16bを用いて、アクチュエータステム17と弁棒21との間に接続される。
本発明の位置センサを装着していない通常のバルブ組立体の一般的な動作は、米国特許第5451923号に記載されている。この特許は、フィッシャーコントロールズ社(Fisher Controls International,Inc.)に譲渡されており、本明細書において参照することにより援用される。公知のように、遠隔から運転される装置19により弁体を移動させる命令が受信されると、スライディングステムアクチュエータ20に対して加圧空気が案内され、アクチュエータ棒17が移動する。アクチュエータ棒17が僅かでも変位すると、センサ組立体11に対する磁束源18aの位置が相対的に変化する。この位置の変化により、センサの出力が変更される。この出力信号が、遠隔から運転される装置19に伝達され、処理されることにより、弁体(図示せず)が正確に制御される。図2-Bには、直線型位置センサ30aの斜視図が示されている。磁束源18a及びセンサ組立体11は、動作中、磁場10(図1-A及び図1-B)をセンサ組立体11と適切に結び付けるものの接触させないように、非常に近くに設けられる。
ここで、図2-Cを参照すると、センサ組立体11は、センサハウジング22内に取り付けられている。センサハウジング22により、磁束収集磁極片32及び磁気センサ35の位置調整が行われる(以下で更に詳細に説明する)。磁気センサ35及び磁束収集磁極片32は、ブラケット38と2つのネジ24a,24bとにより、センサハウジング22内に保持される。更に、センサハウジング22を遠隔から運転される装置19と直接統合することによって、電気接続が簡単なものとなり、当該技術分野において周知である、危険環境における本質的に安全なかつ防爆式の作業のための産業上の規制に準拠するものとなる。センサハウジング22はアルミニウム又はその他の適切な非磁性材料から製造され、センサ組立体11を受け入れるように構成される。
ここで、図3-A及び図3-Bを参照すると、好ましい実施形態に係る磁束源18a(図3-A)及びセンサ組立体11(図3-B)が詳細に説明されている。この好ましい実施形態では、磁束源18aは直線移動を測定し、変位量測定の全範囲に渡って、線形の出力信号を生成するように設計されている。例えば、変位量が10%変化すると、それに応じて、位置センサの出力信号が10%変化する。位置センサの出力の変化は全て、変位量の変化に正比例する。この出力の線形関係は、遠隔から運転される装置を機能させる上で重要なことである。変位量に対して正比例する測定値を生成するので、遠隔から運転される装置19又はセンサ電子機器13(図3-C及び図3-D)は、位置フィードバックを得るために、更なる処理をする必要がない。
複数の個別の又は別個の円柱状の磁石50−72を長方形状の支持体41において組み立てることにより、磁束源18aが形成される。支持体41の好ましい材料は、アルミニウム又はプラスティックの如き非磁性体である。好ましい実施形態では、約4.5インチの直線移動を測定することが可能となる線形の配置を形成するために、23個の個別の磁石50−72が支持体41に配置される。これらの個別の磁石50−72は、ALNICO8Hから形成されて、垂直方向かつ水平方向に位置調整されることが好ましい。1つの実施形態では、磁石50−72は、ミネソタ州セントポールにある3M社からの2241構造用接着剤の如きエポキシを用いて支持体内に取り付けられる。磁石50−72は、各々、直径が約0.1875インチであり、長さが0.1875インチである。個別の磁石の中心から中心までの垂直方向の間隔は、約0.25インチであり、配列の中心部分において4.5インチの変位量が測定できるようになっている。支持体41は、磁石の配列を機械的に位置調整することを可能とする。又、支持体41は、図2-Aにおいて先に示したように、ステムコネクタ27に直接取り付けられおり、取付組立体14は、ステムコネクタ用ボルト16a,16bを用いてステムコネクタ27に取り付けられている。
当業者にとって明らかなように、アクチュエータ20上に遠隔から運転される装置19を取り付ける間に発生する寸法許容誤差の累積するために、バルブ組立体23を動作させる前に装置校正が必要となる。装置校正は、移動行程の長手方向の軸に沿って、又この長手方向の軸に直角な水平方向の面において、粗い位置調整を行うことにより促進される。運動をセンサに直接結び付ける従来のリンクとは異なり、取付組立体14の取付面15a及び位置調整面15bは固定されており、設置プロセス中に調整されるのみである。磁束源18a及びセンサ組立体11の水平方向の位置調整に関しては、図3-Bにおいて更に説明する。
図3-Bの平面図には、センサ組立体11のU字型の磁束収集磁極片32が、明瞭に示されている。この磁束収集磁極片32は、相互に鏡面対象になるように設けられた、高透磁率材料からなる2つのL字型セクション33a,33bを備えている。この高透磁率材料は、ペンシルべニア州レディングにあるカーペンターテクノロジー(Carpenter Technology of Reading,Pennsylvania)からのアニーリングされたHyMu“80"(登録商標)であることが好ましい。L字型セクション33a,33bは、その基部において、ギャップを有して接合されている。このギャップは、磁気センサ35を受け入れると共にL字型セクション33a,33bの各々を当該磁気センサ35と密に接触させるように配置するべく形成されている。L字型セクション33a,33bの各々における正方形断面の寸法は約0.15インチである。好ましくは、L字型セクション33a,33bの各々は奥行きが約1.25インチで、基部のレグ幅が0.445インチであり、これにより、外側寸法の奥行きが約1.25インチ、幅が0.89インチであるU字形状を形成している。好ましい実施形態では、磁気センサ35は、アレグロ3516ホール効果エレメント(Allegro 3516 Hall Effect Element)である。これに加えて、限定するわけではないが、アレグロ3516ホール効果エレメントを含む他のタイプの磁気センサを同様に用いてもよい。
磁気センサ35からの出力は電子回路13によって処理される(図3-C及び図3-D)。電子回路13は、磁気センサ35と遠隔から運転される装置19との間のインターフェイスとして動作する。図3-Cに示されているように、一対のコネクタJ1,J2は、産業標準である4−20mAの電流ループから電力を受ける。当業者にとって明らかなように、磁気センサ35及び電子回路13に対する電力は、カルフォルニア州サンタクララのナショナルセミコンダクタ(National Semiconductor of Santa Clara、California)からのLM285マイクロパワー電圧基準ダイオードU2と、受動素子R5,R6,R7,R10,R11,R12とを用いてデザインされた調整回路から生成されてもよい。図3-C及び図3-Dにおけるこれらのコンポーネント及び他のコンポーネントの値又は符号は、表1(表1-A,表1-B)に示されている。
断続的に回路に電力を供給すると、磁気センサ35及び電子回路13の電力消費量が減少する。磁気センサ35は、コネクタJ3を通じて電子回路に接続されており、Nチャネル電界効果トランジスタ(FET)Q2を通じて約200ヘルツで「電力スイッチ」が入れられるか又はパルスが加えられる。当業者にとって明らかなように、アリゾナ州フェニックスにあるフェニックスマイクロチップテクノロジー社(Microchip Technology of Phoenix、Arizona)から入手可能なPIC12C508A型の内蔵コントローラU1と、受動素子R1,Y1,C1及びC2により、パルス式動作のためのタイミング及び制御が提供される。磁気センサ35からのパルス出力信号は、遠隔から運転される装置19により処理されうるアナログ信号を作成するために、補間又は再構成されなければならない。FETQ1、演算増幅器U3A(図30)、及び受動素子R2,R8,R13,R14,C3,C6,C7が、サンプル&ホールド回路を形成し、アナログ信号を再構成する。演算増幅器U3B及び受動素子R3,R4,R9,C4は、再構成されたアナログ信号の調子を整えて(即ち、ゲイン及びオフセットを調整して)、フィルタリングし、最終的な出力信号を作成する。最終的な出力信号又は位置変位測定値は、コネクタJ4(図3-C)を通じて、遠隔から運転される装置19へと伝送される。最後に、試験コネクタJ5は、磁気センサ35及び電子回路13の診断評価のための試験信号を生成することが可能である。本明細書記載の磁気回路は、調整可能な磁束源を作成するために、インダクション制御と外部磁場間の相互作用との両方を用いる。
Figure 0004653069
Figure 0004653069
図4-Bを参照すると、磁束収集磁極片32は、磁束源18aから磁場10を収集し、この磁束を磁気センサ35へ案内するべく構成されている。このことについては、以下で更に詳細に説明する。磁束源18aは、水平方向に僅かでも変位した場合であっても磁束源18aが磁束収集磁極片32の内側レグと物理的に接触しないように、センサ組立体11に対して略垂直に取り付けられる。磁束源18aは、U字型の磁束収集磁極片32の開口部を約0.3125インチ過ぎたところで係合されている。磁束源18aの両側に約0.2インチの空気ギャップを設けることにより、当該磁束源18aがセンサ組立体11内の中心の位置に設けられる。
各個別の磁石50−72は磁場を形成する。公知のように、磁場の形状及び密度は複数の因子に直接関連している。これらの因子の内の2つは、磁石のインダクションと、磁石の外部磁場との相互作用とである。以下で、磁束源18aの固有の特性をよりよく理解するために、上記の因子を更に詳細に説明する。
磁石のインダクションは磁石の固有の強度を表す直接的尺度であり、製造中に制御・調整されうる。公知のように、磁石の物理的な幾何学形状が与えられた場合、そのインダクションが上昇すると、それに応じて、磁石の強度及びその磁場の密度が上昇する。個別の磁石のインダクションを制御することにより、その磁束密度(即ち、与えられた体積中における磁束の量)及びその磁場を制御することができる。又、その個別の磁石により生成されたのではない追加の又は外部磁場をその個別の磁石により生成された磁場と組み合わせることができる。この追加の磁場の極性及び密度により、個別の磁石を囲む磁場を加法的に上昇させることもできれば、減少させることもできる。本明細書記載の磁気回路にあっては、インダクション制御と外部磁場間の相互作用との両方を用いて調整可能な磁束源が形成される。
従来技術において示されているように、単一棒磁石は、その磁石の全長が変位測定に用いられると、問題を発生する。図4-Aに示されているように、単一棒磁石の用途における磁極の分極方向又は配向方向は移動方向に対して平行である。この磁極の配向により、磁石の磁極の近傍に非常に集中して磁場130a,130bが形成される。これらの濃密な磁場領域では、磁力線間の反発力により、磁場内に非常に非線形な変化が発生する。単一棒磁石が変位測定に用いられる場合、線形の出力を作成するため、センサ組立体の電子機器による特別な処理が必要となる。これに代えて、非線形な末端効果を無くすために磁石を延ばしてもよいが、この方法では、不必要に費用が増大し、又、物理的な長さの上昇に起因して位置センサ用途が限定される。好ましい実施形態では、磁束源の長さは検出される最大変位に実質的に等しく、出力信号は特別に処理される必要がない。
図4-Bは、7個の個別の磁石50−56のみを用いた好ましい実施形態を示す自由空間ダイアグラム図であり、この自由空間ダイアグラム図により、個別の磁場110−116及びこれらが結合して形成されるより大きな複合磁場10が図面で示されている。以下の磁気理論により、複数の個別の磁石の間の関係が説明される。図4-Bに示されているように、個別の磁場110−116は、その発生源である個別の磁石50−56を包み込むのみではなく、その磁力線が隣の磁石と交差する。磁束領域が重なり合うと、加算的に結合され、磁束源全体の場を形成する更に大きな所定の磁場10が生成される。好ましい実施形態では、各個別の磁石50−56の極軸を相対運動の方向に対して直角に配向することにより、連続する磁場の「積み重ね」を促進する。各個別の磁石50−56のインダクション又は強度を制御し、これらの磁石を線形に配列することにより、個別の磁場110−116が加算的に結合され、調整可能な磁束源が生成され、この磁束源により、所定の磁場10が形成される。
先に記載されているように、各個別の磁石は、特定量の磁気「エネルギー」又はそれに関連するインダクションを有している。物理的な磁気容積、磁石形状、及び磁気材料特性の全てにより、磁石内にどれだけの磁気エネルギーが存在しうるかが決まる。当業者にとって明らかなように、各個別の磁石のインダクションは、インディアナ州インディアナポリスにあるマグネティックインスツルメンテーション社(Magnetic Instrumentation、Inc.)により製造されるModel 990C Magnetreater(登録商標)の如き従来の磁石トリータを用いて、調整又は校正される。Model 990C Magnetreater(登録商標)を用いると、上述の磁石特性の全部が検討される。以下で示す表2は、図3-Aに示されている線形配列に対するインダクション値を示している。
Figure 0004653069
先に記載されかつ表2に示されているように、積み重ねられる磁石のインダクション値は、磁束源18aの磁場10を形成するべく、累進的に変化していく。個別の磁石61は、上記の配列の内の幾何学的に中央の位置に設けられており、装置の校正中において絶対参照としてゼロ磁気を提供するためにゼロガウスになるように調整されている。更に、絶対的な変位測定量を提供するために、個別の磁石50−72は、ゼロ磁気の両側では、反対の極性となっている。この極性の差は、電子回路13(図4-Bに図示せず)によって検出され、遠隔から運転される装置19により絶対位置測定値として用いられる。公知のように、表2の値の反対の演算符号は極性が変わったことを示している。従来、+の値はゼロ磁気より上の相対変位に対して割り当てられ、−の値はゼロ磁気より下の相対変位に対して割り当てられる。好ましい実施形態では、出力関係が線形である位置センサが教示されているが、磁束源には本来調整可能な特性が備わっているため、センサ組立体の電子機器を変更することなく、様々な位置センサ出力信号−移動距離の関係を提供することができる。又、磁束源は、各々が固有の特性を有しているので、様々な形態の変位測定に効率的に適応する。これらの適応に関しては、以下で記載する他の実施形態において更に詳細に説明する。
上記の直線用途の他の実施形態では、磁束源内の個別の磁石を再配置することにより相互作用が制御される。先に記載したように、上記の好ましい実施形態は、所定の出力信号を形成するために、隣り合った個別の磁石のインダクションを調整することに依存している。図1-A〜図1-Dをもう一度参照すると、磁場内の物理的な位置がその磁場の測定強度を決める。同様に、隣り合う磁石の間に空間又は距離を存在させることにより、個別の磁石の見かけ強度及びそれらの相互作用を制御することができる。
図5-Aは、他の実施形態の側面図である。磁束源18bの個別の磁石50−72は、先の場合と同様、支持体42の長手方向の軸46に沿って等距離離隔されている。個別の磁石50−72は、直径が0.125インチであり、長さが0.462インチである。支持体42は、個別の磁石50−72を、中心から中心までの間隙を約0.25インチとして受け入れるように構成されている。磁場の相互作用は、個別の磁石50−72を磁束源18aの長手方向の軸を中心として螺旋状に配向又は回転させることにより制御される。公知のように、磁石からの空隙を任意の方向に増やすことにより、磁石の見かけ上の強度は減少する。この代替実施形態では、隣り合う磁石の間の角変位を長手方向の軸を中心として正確に与えることにより、隣り合う磁場の間の相互作用が制御される。この代替実施形態では、センサ組立体11(図示せず)は、上記の好ましい実施形態において詳細に説明されたものと同一である。従って、個別の磁石50−72の配置を計算することにより、所定の出力信号を生成することができる。
図5-Bは、直線型位置センサのために螺旋状に配向された磁束源18bを示す平面図である。この図には、個別の磁石50−72のための回転基準面126が示されている。磁束源18bは、磁束収集磁極片32の第1のL字型セクション33aと第2のL字型セクション33bとの間の略中央に位置付けされている。以下に示す表3は、センサ組立体11(図示せず)からの出力を実質的に線形にするために必要とされる回転角度の一例を示している。個別の磁石50−72は全て約457ガウスに調整されている。
Figure 0004653069
図6には、位置センサの他の実施形態が示されている。非接触式回転位置センサ30bは、上記の好ましい実施形態に記載されているものと同等の技術を用いて構築される。15個の個別の磁石50−64が、6度の均一な角度分布で扇形状の支持体43に一列に設けられている。この扇形状の支持体は、回転軸47に対して垂直になるように取り付けられ、回転磁束源18cを形成している。この場合も、先と同様に、扇形状支持体43はアルミニウムからなっていることが好ましい。回転磁束源18cは、回転取付組立体79によって直接回転シャフト75に接続されている。磁束収集磁極片のL字型セクション33a,33b、磁気センサ35、及び個別の磁石50−64は上述のものと同一である。以下に示す表4には、図6に示されている回転磁束源18cのインダクション値が示されている。
Figure 0004653069
図6に示されている回転位置センサ30bは、各個別の磁石50−64のインダクションを比較校正することにより、回転移動距離とセンサ出力値との間に線形の関係を実現している。この線形出力動作特性は、90度の回転範囲全体に渡って提供されている。
又、本明細書記載の原理は、線形動作範囲の広い回転位置センサ30cに対して適用されてもよい。この位置センサには、図2-Cを参照して先で記載したものと同一の磁束収集磁極片32のL字型セクション33a,33b及び磁気センサを用いることができ、磁束源としては、単一の円柱状の棒磁石39を用いることができる。図7-Aに示されているように、回転センサ30cは、線形で変化する出力を供するようにデザインされている。円柱状の磁石39は、磁束収集磁極片32の第1のL字型セクション33aと第2のL字型セクション33bとの間で回転させられ、実質的に線形の出力信号を生成する。磁石の長さを適切に選択することにより、最大の線形性が達成される。磁束収集磁極片32に関していえば、円柱状の磁石39の最適な長さは、磁束収集磁極片32におけるL字型セクション間のギャップ幅の実質的に3分の2である。例えば、約0.59インチの内幅を備えた好ましい実施形態に係る磁束収集磁極片32を用いると、円柱状の磁石39は、約0.385インチの長さを有することになる。この代替実施形態では、円柱状の磁石39の直径は、約0.1875インチである。図示されているように、支持体44により、円柱状の磁石39が回転シャフト75に取り付けられている。この支持体44は、回転シャフト75の軸49を中心として円柱状の磁石39と接続されている。更に、円柱状の磁石39は、磁束収集磁極片32の開口部を約0.3125インチ過ぎたところまで挿入されている。
図7-Bに示されているように、線形出力動作特性が110度の回転範囲に渡って提供されており、これにより、上記の回転が磁束収集磁極片32の第1のL字型セクション33a及び第2のL字型セクション33bを二等分する面119を中心にして対称に分布される。この二等分面119は、磁気センサの感知面118に対して直角に配向されている。
以上において、単一のホール効果センサを用いた位置センサの実施例が複数個示され説明された。以上において説明、例示された技術及び構造に対して複数の修正及び変更を加えてもよい。例えば、強磁性体材料から形成される磁気分路を各個別の磁石の隣に設けることにより、又は、各個別の磁石を完全に取り囲むように設けることにより、その磁場を任意選択的に減少させて、隣の磁石に対する効果を制御してもよい。これに加えて、磁石と磁石との間の間隙を非均一にしてもよく、又は、磁石の長さを変更可能としてもよい。
更に、図8〜図11の実施形態に示されているように、単一の非接触式ホール効果近接センサに用いられているU字型の磁束収集磁極に対して第2のホール効果センサを追加してもよい。図8を参照すると、センサ組立体200がセンサハウジング212の中に取り付けられている。U字型の磁束収集磁極214がセンサハウジング212により位置調整されている。先において十分に説明したように、U字型の磁束収集磁極214は、第1のL字型セクション216と第2のL字型セクション218とを備えて、磁束源の近くに設けられている。この磁束源は、例えば(図3-Aに示されているように)複数の個別の円柱状磁石を有する直角形状の支持体の形態を採ってもよい。この形態は、センサ組立体210による直線運動の位置及び移動距離の検出を容易にするために用いられうる。この磁束源に対する他の構成も可能である。例えば、回転位置及び移動距離の検出を容易にするために、この磁束源は、例えば(図6に示されているように)複数の個別の磁石を有する扇形状の支持体の形態を採ってもよい。これらの磁石は、均一な角分布で配置されることが好ましい。
図9において最も分かり易く示されているように、センサハウジング212において、第1のL字型セクション216及び第2のL字型セクション218は、各々対応して、非対称Y字型部220,222において終端している。非対称Y字型部220,222は、それぞれ対応して、第1の端部224,226を備えている。U字型の磁束収集磁極214における第1のL字型セクション216及び第2のL字型セクション218の非対称Y字型部220,222の第1の端部224と第1の端部226との間の位置には、第1のホール効果センサ228が設けられている。第1のホール効果センサ228における面238の内、L字型部分218に接触する部分は、焼き印が押されることが好ましい。
非対称Y字型部220,222には、それぞれ対応して、第2の端部230,232が更に設けられている。第1の端部224,226は、それぞれ対応する非対称Y字型部分220,222の頭端部の位置に設けられている。又、第2の端部230,232は、それぞれ対応する非対称Y字型部220,222の頭端部の位置に設けられている。センサハウジング212には、アダプタ234が更に設けられることが好ましい。アダプタ234は、プラスティックの如き電気絶縁性材料からなっているものの、磁束を通過させることが可能である。図9において最も分かり易く示されているように、第2のセンサ236及びアダプタ234は、非対称Y字型部220,222の第2の端部230と第2の端部232との間の位置に設けられている。第1のセンサ228と同様に、第2のセンサ236は、ホール効果センサであり、その内部の少なくとも1つの感知エレメントは、U字型の磁束収集磁極214からの磁束の方向に対して直角に配向されるように、非対称Y字型部分220,222の第1の端部224,226及び第2の端部230,232に対して直角になるように配置されている。
非対称Y字型部分220,222に対して、第1の端部224と第2の端部226との間の位置に設けられる第1のセンサと、第1の端部230と第2の端部232との間の位置に設けられると共にアダプタ234を備えている第2のセンサ236とを設けることにより、幾らかの磁束が、第1のセンサ228から効果的に分流され、第2のセンサ236により検出される。第2のセンサ236は、リミットスイッチ回路内のリミットスイッチ検出エレメントとして用いられることが可能であり、単一センサ型の非接触式位置センサと比較して、信頼性を向上させ、弁棒の移動行程の端部における2つのリミットスイッチの必要性を回避できるという利点もある。
好都合なことには、アダプタ234は、第2のセンサ236と非対称Y字型部220,222の第2の端部230,232との間に空気ギャップを形成するので、第2のセンサ236と損失の多い磁気結合を形成する。この空気ギャップの間隔、及び、磁極端片の表面積の如き磁気回路の他の成分を制御することにより、第1のセンサ228及び第2のセンサ236において受ける磁束の強度を制御することが可能である。
約0.13インチ程度の空気ギャップにより、第2のセンサ236の出力は第1のセンサ228の出力の40〜50パーセント程度になる。この出力は、リミットスイッチとして用いられた場合、第2のセンサ236にとって満足のいく出力である。この場合も、先と同様に、アダプタの寸法、空気ギャップのサイズ、又はアダプタの材料を変更することにより、第1のセンサ228及び第2のセンサ236の相対的な出力が影響を受ける。従って、第1のセンサ228が主に位置センサとして用いられ、第2のセンサ236がリミットスイッチとして用いられる用途においては、第1のセンサ228が第2のセンサ236に比べてU字型の磁束収集磁極214からの磁束の内より大きなパーセンテージを受けることが好ましいので、この所望の結果をもたらすように、それぞれ対応する寸法及び材料が選択される。
他の実施形態では、第2のセンサ236は、U字型の磁束収集磁極におけるL字型セクション216,218の端部を変更する必要がないように、第1のセンサ228との相対的な位置付けがなされる。ここで、図10を参照すると、第1のセンサ228は、L字型セクション216,218の端部と端部との間の位置に設けられているものとして示されている。第1のセンサ228における表面228の内で、L字型セクション218と接触する部分は、焼き印が押されることが好ましい。この実施形態では、第2のセンサ236は、第1のセンサ228及び第2のセンサ236の端部が好ましくは接触するように、第1のセンサ228の直ぐ隣に一列に並べられる。
第2のセンサが先の実施形態と同様に磁束を受けるように第1のセンサ228から磁束を分流させることに代えて、図10の実施形態に係る(又、図11の更に他の実施形態に係る)第2のセンサ236は、第1のセンサ228の近傍における漏洩磁束を検出するようになっている。このため、第2のセンサ236を最大漏洩磁束パスに配置すること、即ち第1のセンサ228のできるだけ近くに配置することが望ましい。
第1のセンサ228及び第2のセンサ236のホール効果感知エレメントは、一列に並べられ、L字型部分216,218の端部に対して直角に配向されている。第1のセンサ228及び第2のセンサ236の端部が接触していると、感知エレメント240,242は、約0.112インチの近さまで接近できるという利点があり、このことにより、第1のセンサ228及び第2のセンサ236が同一面に配置されている場合には、第2のセンサ236の感知エレメント242による第1のセンサ228近傍における漏洩磁束の検出が最大限にまで向上される。
ここで、図11を参照すると、更なる他の実施形態では、第2のセンサ236が第1のセンサ228に対して直角に配向されている。この実施形態では、第2のセンサ236の感知エレメント242は、第1のセンサ228の感知エレメント(図示せず)に更に近づいている。第2のセンサ236の焼き印が押されていない面をU字型の磁束収集磁極におけるL字型セクション218の底面と密に平面接触させるように第2のセンサ236を配置することによって、第2のセンサ236の感知エレメント242を第1のセンサ228のホール効果感知エレメントに約0.063インチまで近づけることができる。この代替実施形態では、第1のセンサ228及び第2のセンサ236の感知エレメントが非常に近くに存在するため、更に詳細にいえば、最大漏洩磁束のパスに第2のセンサ236を設置させるため、第2のセンサ238は、図10の実施形態の第2のセンサと比較して、更に大きな出力電圧を取得する。
図12は、本明細書に開示される実施形態の内の1つに係る第1のセンサ及び第2のセンサを用いて監視された弁棒の移動の一例を示すグラフである。このグラフにおいて、第1のセンサ228及び第2のセンサ236の電圧出力はDCボルトで表示されており、長方形支持体(又は、磁石保持器)の形態を有する磁束源の線形移動により表現される弁棒の移動又は変位はインチで表されている。グラフに示されているように、第2のセンサ236の電圧出力は、第1のセンサ228の電圧出力と比例している。
以上に代えて、第2のセンサ236がその他の所望の場所に配置されてもよいが、磁束の多いパスに配置されることが好ましい。即ち、漏洩磁束を受ける第2のセンサに代えて又はそれに加えて、第2のセンサを第2の磁束パスに配置してもよい。従って、第2のセンサにより検出される更なる漏洩磁束パスを形成するための、又は第2のセンサにより検出される全く別の磁束パスを形成するための磁極構成(pole configuration)が用いられてもよい。又、第2のセンサを、制御回路におけるリミットスイッチ以外の他の目的で用いてもよい。
図13において模式的に示されているように、第1のセンサ228及び第2のセンサ236は、電圧検出器250と接続して設けられることが好ましい。この検出器250は、第1のセンサ及び第2のセンサの各々の中の感知エレメント240,242の電圧を検出する。この電圧検出器250は、プロセッサ252と通信しうる。プロセッサ252は、検出された電圧出力を比較する一又は複数の所定の電圧を格納するためのメモリを備えている。上記のプロセッサは出力信号生成器256を備えるように更に構成されてもよい。出力信号生成器256は、上記のプロセッサによって、メモリ254に格納されている一又は複数の所定の電圧に対する検出電圧出力の近さが選択、決定されると、信号を生成する。次いで、この信号を受信するコントローラ258は、それに応答して、一又は複数の適切な制御手順を開始する。
当業者にとって明らかなように、先に記載した様々な実施形態は説明を意図するものであって、本発明の範疇を制限することを意図したものではない。例えば、本明細書に開示された実施の形態は、弁棒の移動を検出することを指向したものであるが、いうまでもなく、本明細書の教示は、物理的な接触をすることなく、又、複数の電子機械リミットスイッチを必要とすることなく、目的物に対して信頼性ある位置検出及び/又は信頼性ある移動制限を行うことが望まれる他の状況に対しても、同様に適用可能である。
本明細書に記載の位置センサ組立体は、2つの目的物間の相対的な変位を正確に検出するための非接触式位置センサ、更に詳細にいえば、制御バルブ組立体における弁体の位置を正確に測定するための非接触式位置センサとして産業上利用可能である。
磁束源中央近傍に配置された磁気センサの断面を示すブロック図である。 磁束源の一端の近傍に配置された図1-Aの磁気センサの断面を示すブロック図である。 図1-Aに対応する磁気センサ出力を示すグラフである。 図1-Bに対応する磁気センサ出力を示すグラフである。 弁棒の直線変位を検出するためにスライディングステムアクチュエータに取り付けられた非接触式位置センサ組立体を示す斜視図である。 磁束源と非接触式位置センサ組立体との間の相互接続を表した図2-Aの非接触式位置センサ組立体を示す斜視図である。 直線型非接触式位置センサのためのセンサハウジング及びセンサ組立体弁を示す斜視図である。 直線移動行程に設けられた個々のインダクション値を有する複数の個別の磁石を含む磁束源を示す位置センサの側面図である。 センサ組立体内の磁束源の側面方向の位置及び挿入深さを示した直線移動行程のための図3-Aの位置センサを示す平面図である。 断続的に磁気センサに電力を供給し、パルス出力信号を調整し、遠隔から運転される装置に用いられるアナログ信号を作成するために用いられる電子回路を示す略図である。 断続的に磁気センサに電力を供給し、パルス出力信号を調整し、遠隔から運転される装置に用いられるアナログ信号を作成するために用いられる電子回路を示す略図である。 従来技術に記載されている用に配置されていると共に直線変位測定のための磁束源として用いられる単一棒磁石の非線形末端効果を表すために用いられる自由空間図である。 個別の磁束源である個別の磁石により生成された磁束場及び磁束収集磁極片により収集された結果得られた混合磁気場を示すために用いられる自由空間図である。 4.5インチの直線移動型位置センサのための磁束源において垂直方向等間隔に離隔されていると共に螺旋状に配向されている磁石を示すラベルが付された円柱状の磁石支持体の一例を示す側面図である。 磁束源内の個別の磁石角度の回転並びにセンサ組立体内の磁束源の側面方向の位置及び挿入深さを示す直線式位置センサの螺旋状に配向された磁石の配置の一例を示す平面図である。 回転式磁束源を構成する複数の個別の磁石が回転軸の周りに均一な角度分布で配置された回転シャフトに結合された回転位置センサの一例を示す斜視図である。 磁束収集磁極片の足と足との間で円柱状の磁束源が回転される末端接続型回転位置センサの一例を示す斜視図である。 線形出力特性を示す末端接続型回転位置センサのための標準感知面及び最大回転角を示す端面図である。 本発明に係る非接触式位置センサのためのセンサハウジング及びセンサ組立体を示す斜視図である。 図8の線9,9に沿った平面図である。 非接触式位置センサのための第1のホール効果センサ及び第2のホール効果センサの他の配置を示す拡大平面図である。 非接触式位置センサのための第1のホール効果センサ及び第2のホール効果センサの他の配置を示す拡大平面図である。 弁体又は弁棒のストロークの一例を表す線形トランスレータの移動行程に沿った様々な位置に応じて1つの実施形態に従って配置された第1のホール効果センサ及び第2のホール効果センサの相対出力を示した、磁石保持器の移動距離に対してホール効果センサの出力(VDC)をプロットした図である。 第1のホール効果センサ及び第2のホール効果センサの電圧出力が検出され、プロセッサによって解析され、メモリ内に格納されているデータと比較され、出力信号がコントローラに供給されうるシステムを表している略図である。
符号の説明
5 センサ
8 磁束源
10 磁場
11 磁気センサ組立体
13 センサ電子機器
14 取付組立体
15a 取付板
15b 位置調整板
16a ステムコネクタ用ボルト
16b ステムコネクタ用ボルト
17 アクチュエータ棒
18a 磁束源
18b 磁束源
18c 回転磁束源
19 遠隔から運転される装置
20 スライディングステムアクチュエータ
21 弁棒
22 センサハウジング
23 バルブ組立体
24a ネジ
24b ネジ
27 ステムコネクタ
30a 直線型位置センサ
30b 非接触式回転位置センサ
32 磁束収集磁極片
33a L字型セクション
33b L字型セクション
35 磁気センサ
38 ブラケット
39 棒磁石
41 支持体
42 支持体
44 支持体
46 軸
47 回転軸
49 軸
50−72 磁石
75 回転シャフト
79 回転取付組立体
110−116 磁場
118 感知面
119 面
126 回転基準面
130a 磁場
130b 磁場
200 センサ組立体
210 センサ組立体
212 センサハウジング
214 磁束収集磁極
216 第1のL字型セクション
218 第2のL字型セクション
220 非対称Y字型部
222 非対称Y字型部
224 第1の端部
226 第1の端部
228 第1のホール効果センサ
230 第2の端部
232 第2の端部
234 アダプタ
236 第2のセンサ
238 面
240 感知エレメント
242 感知エレメント
250 電圧検出器
252 プロセッサ
254 メモリ
256 出力信号生成器
258 コントローラ

Claims (17)

  1. 第1の磁極片と、第2の磁極片と、を含む磁気回路と、
    前記第1の磁極片と前記第2の磁極片との間に配設された第1のセンサと、
    第2のセンサとを備えており、
    前記第1の磁極片と前記第2の磁極片が、前記第1のセンサを通る第1の磁束パスを形成すると共に前記第1のセンサの外側に漏洩磁束パスが形成されるのを可能とし、
    前記第2のセンサが前記漏洩磁束パスに配置されてなり、
    前記漏洩磁束パスが、前記第1の磁束パスの第1の磁束により生成される前記第1のセンサの電圧出力に比例して前記第2のセンサからの電圧出力を生成するために前記第2のセンサを通る漏洩磁束を提供するように構成され、
    前記第2のセンサからの電圧出力が、前記第1のセンサからの電圧出力に対して選択可能異なるようにされた、位置センサ組立体。
  2. 前記第1のセンサ及び前記第2のセンサと電気的に通信する電圧検出器を更に備えてなる、請求項1記載の位置センサ組立体。
  3. 前記電圧検出器と通信するプロセッサを更に備えており、前記電圧検出器が、該プロセッサに対して、前記第1のセンサ及び前記第2のセンサの検出電圧出力を送信するように構成されており、
    該プロセッサが、関連するメモリに格納された一又は複数の所定の電圧を備え、
    該プロセッサが、前記第1のセンサ及び前記第2のセンサの検出電圧出力の内の少なくとも1つを前記1又は複数の所定電圧と比較し、
    前記プロセッサが、前記一又は複数の所定電圧に近い前記検出電圧出力の内の少なくとも1つに対して信号を生成するように構成されている、請求項2記載の位置センサ組立体。
  4. 前記第1の磁極片が概ねL字形状を有しており、前記第2の磁極片が概ねL字形状を有しており、該第1の磁極片及び該第2の磁極片が概ねU字形状の磁束収集磁極片を形成するように配置されてなる、請求項1乃至3記載の位置センサ組立体。
  5. 前記第1のセンサが、前記第1の磁極片及び前記第2の磁極片の端部の間の位置に設けられてなる、請求項3記載の位置センサ組立体。
  6. 前記第1のセンサの焼き印の押された面が、前記第1の磁極片及び前記第2の磁極片の内の少なくとも1つの端部に接触するように構成される、請求項5記載の位置センサ組立体。
  7. センサハウジングと、
    前記センサハウジングにより位置調整される、第1の非対称Y字型部において終端する第1のL字型セクションと第2の非対称Y字型部において終端する第2のL字型セクションとを有するU字型磁極片と、
    前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対称Y字型部の各々のヘッドに存在する第1の端部の間の位置に設けられている第1のセンサと、
    前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対称Y字型部の各々のヘッドに存在する第2の端部の間の位置に設けられている第2のセンサと、を備えてなり、
    前記U字型磁極片は、磁束を前記第1のセンサ及び前記第2のセンサのそれぞれを通過して案内し、前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対照Y字型部は、前記第2のセンサを通過する前記磁束により生成される前記第2のセンサの電圧出力が、前記第1のセンサを通過する前記磁束により生成される前記第1のセンサからの電圧出力に対して選択可能異なるよう配置されている、請求項1記載の位置センサ組立体。
  8. 前記第1のセンサが、前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対称Y字型部の前記第1の端部に対して直角に配置される少なくとも1つの感知エレメントを有してなる、請求項7記載の位置センサ組立体。
  9. 前記第2のセンサが、前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対称Y字型部の前記第2の端部に対して直角に配置される少なくとも1つの感知エレメントを有してなる、請求項8記載の位置センサ組立体。
  10. 前記第1のL字型セクション及び前記第2のL字型セクションの内の1つの少なくとも第2の端部と前記第2のセンサとの間に配置されるアダプタを更に備えてなる、請求項7乃至9記載の位置センサ組立体。
  11. 前記アダプタが電気絶縁体を含有してなる、請求項10記載の位置センサ組立体。
  12. 前記電気絶縁体がプラスティックである、請求項11記載の位置センサ組立体。
  13. 前記アダプタが、前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対称Y字型部の両方の前記第2の端部と前記第2のセンサとの間の位置に設けられてなる、請求項10記載の位置センサ組立体。
  14. 前記アダプタが、前記第1の非対称Y字型部及び前記第2の非対称Y字型部の両方の前記第2の端部と前記第2のセンサとの間に空気ギャップを形成するように構成される、請求項13記載の位置センサ組立体。
  15. 前記空気ギャップが約0.13インチである、請求項14記載の位置センサ組立体。
  16. 前記第2のセンサがリミットスイッチとして動作し、前記第1のセンサが、前記第2のセンサよりも多いパーセンテージの磁束を前記U字型磁極片から受けるように配置されてなる、請求項7記載の位置センサ組立体。
  17. 第1の磁極片と、
    第2の磁極片と、
    前記第1の磁極片と前記第2の磁極片との間に配設された第1のセンサと、
    第2のセンサとを備えており、
    前記第1の磁極片と前記第2の磁極片が、前記第1のセンサを通る第1の磁束パスを形成すると共に前記第1のセンサの外側に漏洩磁束パスが形成されるのを可能とし、
    前記第2のセンサが、前記漏洩磁束パス中の磁束により生成される前記第2のセンサの電圧出力が、前記第1の磁束パス中の磁束により生成される前記第1のセンサからの電圧出力に対して選択可能異なるよう前記漏洩磁束パスに配置されてなる、請求項1記載の位置センサ組立体。
JP2006503668A 2003-02-21 2004-02-18 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ Expired - Fee Related JP4653069B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US44878503P 2003-02-21 2003-02-21
PCT/US2004/004767 WO2004076980A1 (en) 2003-02-21 2004-02-18 Magnetic position sensor with integrated hall effect switch
US10/779,686 US7190159B2 (en) 2003-02-21 2004-02-18 Integral hall effect limit switch for control valve stem position sensor

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010106793A Division JP5324520B2 (ja) 2003-02-21 2010-05-06 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006518467A JP2006518467A (ja) 2006-08-10
JP4653069B2 true JP4653069B2 (ja) 2011-03-16

Family

ID=32930492

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006503668A Expired - Fee Related JP4653069B2 (ja) 2003-02-21 2004-02-18 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ
JP2010106793A Expired - Fee Related JP5324520B2 (ja) 2003-02-21 2010-05-06 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010106793A Expired - Fee Related JP5324520B2 (ja) 2003-02-21 2010-05-06 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7190159B2 (ja)
EP (1) EP1606589B1 (ja)
JP (2) JP4653069B2 (ja)
AR (1) AR047013A1 (ja)
AT (1) ATE472093T1 (ja)
BR (1) BRPI0407499B1 (ja)
CA (1) CA2513831C (ja)
DE (1) DE602004027796D1 (ja)
MX (1) MXPA05008847A (ja)
WO (1) WO2004076980A1 (ja)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7825903B2 (en) * 2005-05-12 2010-11-02 Immersion Corporation Method and apparatus for providing haptic effects to a touch panel
JP4114677B2 (ja) * 2005-05-16 2008-07-09 Tdk株式会社 角度スイッチセンサ
US7454979B2 (en) * 2005-05-20 2008-11-25 Stoneridge Control Devices, Inc. Linear position sensor
US7609056B2 (en) * 2006-09-11 2009-10-27 Fisher Controls International Llc Apparatus to determine the position of an actuator
US7631885B2 (en) 2007-04-16 2009-12-15 Harley-Davidson Motor Company Group, LLC Intelligent interlock for a motorcycle stand
JP5195610B2 (ja) * 2009-04-22 2013-05-08 株式会社デンソー 回転角度検出装置
CN101794978B (zh) * 2010-04-14 2012-02-29 宁波市镇海华泰电器厂 单线防爆行程开关
US20110262266A1 (en) * 2010-04-23 2011-10-27 Honeywell International Inc. Linear Actuator for a Variable-Geometry Member of a Turbocharger, and a Turbocharger Incorporating Same
WO2012024661A1 (en) * 2010-08-20 2012-02-23 Seektech, Inc. Magnetic sensing user interface device methods and apparatus
US8585021B2 (en) * 2010-12-06 2013-11-19 Warn Industries, Inc. Slack rope and lift control for use with plow
JP5737986B2 (ja) * 2011-02-08 2015-06-17 朝日電装株式会社 チルト位置検知装置
JP5737985B2 (ja) * 2011-02-08 2015-06-17 朝日電装株式会社 チルト位置検知装置
GB201109290D0 (en) 2011-06-02 2011-07-20 Linde Ag A flow apparatus and monitoring system relating thereto
US9644935B2 (en) 2011-10-26 2017-05-09 The Timken Company Sensor system having independent hall effect sensor
US9671472B2 (en) 2014-03-03 2017-06-06 Northrop Grumman Systems Corporation Linear positioning system utilizing helically polarized magnet
US9599502B2 (en) * 2014-07-22 2017-03-21 Fisher Controls International Llc Magnetic field sensor feedback for diagnostics
KR101905341B1 (ko) 2014-09-04 2018-10-05 더 팀켄 컴퍼니 오프셋 보상이 되는 홀 효과 센서 회로
CN106066652B (zh) * 2015-04-21 2021-08-24 费希尔控制产品国际有限公司 用于检测液位控制器上的杠杆锁定位置的系统和方法
US10859399B2 (en) * 2017-06-15 2020-12-08 Standex International Corporation Method and apparatus for magnetically sensing the position of a magnetic target
US10183620B1 (en) * 2018-04-20 2019-01-22 Steve Norman Smeltzer Detection and alert system for an ATV with attached plow
US11174964B2 (en) * 2018-10-29 2021-11-16 Fisher Controls International Llc Position transmitter assemblies for use with actuators
AU2020249779B2 (en) 2019-03-27 2021-08-12 Ofip Limited Device for controlling fluid flow
TWI689809B (zh) * 2019-05-01 2020-04-01 和碩聯合科技股份有限公司 扳機裝置及使用其之手持式握把
US11809157B2 (en) 2021-03-22 2023-11-07 Fisher Controls International Llc Level sensor for continuous level detection and integration into process control system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5694039A (en) * 1996-03-07 1997-12-02 Honeywell Inc. Angular position sensor having multiple magnetic circuits
JP2001133210A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非接触型位置センサ
JP2001289610A (ja) * 1999-11-01 2001-10-19 Denso Corp 回転角度検出装置

Family Cites Families (98)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3112464A (en) * 1963-11-26 Figure
US2942177A (en) * 1955-05-06 1960-06-21 Siemens Ag Method and means for measuring magnetic field strength
US2907897A (en) * 1956-07-09 1959-10-06 Howard H Sander Pressure transducer
US2992369A (en) * 1957-12-20 1961-07-11 Continental Can Co Electric sensing device
US3025461A (en) * 1958-04-02 1962-03-13 Arnold O Fredrickson Electrical measuring and control apparatus
US2987669A (en) * 1959-01-19 1961-06-06 Gulton Ind Inc Hall effect electromechanical sensing device
DE1124998B (de) * 1960-09-30 1962-03-08 Siemens Ag Signalgeber mit einem Hallgenerator-Abtastkopf
US3060370A (en) * 1960-02-23 1962-10-23 Gen Motors Corp Displacement transducer
US3118108A (en) * 1960-11-09 1964-01-14 Valparaiso University Ass Inc Motion operated transducer
US3187254A (en) * 1961-04-06 1965-06-01 Honeywell Inc Control apparatus with magnetoresistive pickoff means
US3162804A (en) * 1961-09-15 1964-12-22 Gen Precision Inc Translating instrument employing hall-effect device
DE1303818C2 (de) * 1966-09-22 1973-08-02 Siemens Ag Analoger hysteresefreier weggeber mit hallgenerator
US3482163A (en) * 1967-05-24 1969-12-02 Tektronix Inc Magnetic signal measuring device including degaussing means
US3575054A (en) * 1969-03-12 1971-04-13 United Aircraft Corp Pressure sensing device
US3818326A (en) * 1971-06-23 1974-06-18 Denki Onkyo Co Ltd Rotary sensor using magnets resistance devices for detecting the rotation of a mechanical system
JPS4854957A (ja) * 1971-11-08 1973-08-02
DE2157801A1 (de) * 1971-11-22 1973-06-28 Siemens Ag Analoger drehwinkelabhaengiger funktionsgeber
US3818292A (en) * 1972-11-17 1974-06-18 Energy Dev Ass Electronic accelerator control for electric vehicle
FR2331774A1 (fr) * 1975-11-12 1977-06-10 Radiotechnique Compelec Procede de reperage dynamique de positions particulieres de pieces mobiles a l'aide d'un cristal a effet hall et dispositifs de mise en oeuvre du procede
US3988710A (en) * 1975-11-24 1976-10-26 Illinois Tool Works Inc. Contactless linear rotary potentiometer
US4107604A (en) * 1976-12-01 1978-08-15 Compunetics, Incorporated Hall effect displacement transducer using a bar magnet parallel to the plane of the Hall device
US4066962A (en) * 1976-12-08 1978-01-03 The Singer Company Metal detecting device with magnetically influenced Hall effect sensor
FR2388248A1 (fr) * 1977-04-20 1978-11-17 Radiotechnique Compelec Detecteur de position a effet hall
US4156191A (en) * 1977-10-20 1979-05-22 Gulf & Western Manufacturing Company Method and apparatus for adjusting the magnetic coupling between a Hall Effect switch and a permanent magnet
DE2940315C2 (de) * 1978-10-10 1982-11-04 Nippondenso Co., Ltd., Kariya, Aichi Einrichtung zum Ermitteln des Drehwinkels eines Drehkörpers
DE2945895C2 (de) * 1979-11-14 1986-06-05 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Magnetischer Stellungsgeber für hydrauliche oder pneumatische Arbeitszylinder
JPS56107119A (en) * 1980-01-30 1981-08-25 Nippon Denso Co Ltd Detecting device for rotational angle
US4293837A (en) * 1980-07-23 1981-10-06 The Singer Company Hall effect potentiometer
US4319236A (en) * 1980-08-07 1982-03-09 Barber-Colman Company Hall effect position detector
US4508092A (en) * 1981-01-09 1985-04-02 Magnavox Government And Industrial Electronics Company Magnetic sensor for distributorless ignition system and position sensing
US4377088A (en) * 1981-01-14 1983-03-22 Honeywell Inc. Angular position sensor
US4359677A (en) * 1981-03-02 1982-11-16 Dennon Jack D Linear indexer
JPS57189011A (en) * 1981-05-15 1982-11-20 Fuji Heavy Ind Ltd Position detecting mechanism
US4570118A (en) * 1981-11-20 1986-02-11 Gulf & Western Manufacturing Company Angular position transducer including permanent magnets and Hall Effect device
ATE45807T1 (de) * 1982-07-02 1989-09-15 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Messumformer.
US4731579A (en) * 1982-10-12 1988-03-15 Polaroid Corporation Magnetic position indicator and actuator using same
US4555120A (en) * 1983-10-07 1985-11-26 Kelsey-Hayes Co. Position sensor
US4514674A (en) * 1983-12-22 1985-04-30 International Business Machines Corporation Electromagnetic X-Y-Theta precision positioner
US4544904A (en) * 1984-02-24 1985-10-01 Kishore Tarachand Composite magnet and magnetic circuit
US4829248A (en) * 1984-09-20 1989-05-09 Loubier Robert J Hall effect sensing apparatus and method
US4841243A (en) * 1985-04-01 1989-06-20 North American Philips Corp. Side-looking speed sensor
KR900004780B1 (ko) * 1985-09-13 1990-07-05 후지쓰 가부시끼가이샤 자기(磁氣) 센서를 사용한 위치 검출장치
DD257178A3 (de) * 1985-09-27 1988-06-08 Hermsdorf Keramik Veb Anordnung zur erzeugung von steuersignalen
JPS631975A (ja) * 1986-06-20 1988-01-06 Atsugi Motor Parts Co Ltd 加速度センサ
US4745363A (en) * 1986-07-16 1988-05-17 North American Philips Corporation Non-oriented direct coupled gear tooth sensor using a Hall cell
US4857842A (en) * 1987-06-03 1989-08-15 Kineret Engineering Temperature compensated hall effect position sensor
GB2208549B (en) * 1987-08-03 1991-10-02 Hitachi Ltd Angle sensor for throttle valve of internal combustion engine
US4822063A (en) * 1987-11-27 1989-04-18 Ford Motor Company Automotive suspension control system including suspension position sensor
US4836578A (en) * 1987-12-28 1989-06-06 Ford Motor Company High resolution digital suspension position sensor for automotive vehicle
DE3804220A1 (de) * 1988-02-11 1989-08-24 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungsaufnehmer
US4992731A (en) * 1988-03-04 1991-02-12 North American Philips Corporation Rotary speed sensor with base line compensation of Hall cell output signal
US4922197A (en) * 1988-08-01 1990-05-01 Eaton Corporation High resolution proximity detector employing magnetoresistive sensor disposed within a pressure resistant enclosure
JPH0718971Y2 (ja) * 1989-02-22 1995-05-01 富士通テン株式会社 磁気回路
US4935698A (en) * 1989-03-03 1990-06-19 Sprague Electric Company Sensor having dual Hall IC, pole piece and magnet
US4970463A (en) * 1989-03-13 1990-11-13 Durakool Incorporated Temperature stable proximity sensor with sensing of flux emanating from the lateral surface of a magnet
US5196794A (en) * 1989-03-14 1993-03-23 Mitsubishi Denki K.K. Hall-effect sensor with integrally molded frame, magnet, flux guide and insulative film
US5216308A (en) * 1989-05-25 1993-06-01 Avcon-Advanced Controls Technology, Inc. Magnetic bearing structure providing radial, axial and moment load bearing support for a rotatable shaft
US4965517A (en) * 1989-08-21 1990-10-23 Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. Flux concentrator for magnetic sensors
JPH03179216A (ja) * 1989-12-08 1991-08-05 Alps Electric Co Ltd 磁気式回転センサ及びその製造方法
IT1240482B (it) * 1990-07-04 1993-12-17 Skf Ind Spa Dispositivo atto a permettere la rilevazione della velocita' di rotazione tra due organi in rotazione relativa quali gli organi di sopporto di una ruota di un veicolo.
US5115194A (en) * 1990-09-27 1992-05-19 Kearney-National Inc. Hall effect position sensor with flux limiter and magnetic dispersion means
US5159268A (en) * 1991-02-21 1992-10-27 Honeywell Inc. Rotational position sensor with a Hall effect device and shaped magnet
FR2676092B1 (fr) * 1991-04-30 1993-09-17 Sagem Allumage Detecteur de premier cylindre d'un moteur a combustion interne et a essence.
JPH0552872A (ja) * 1991-08-26 1993-03-02 Mitsubishi Electric Corp 実効値レベル検出装置
US5270645A (en) * 1991-08-30 1993-12-14 Nartron Corporation Linear-output, temperature-stable rotational sensor including magnetic field responsive device disposed within a cavity of a flux concentrator
US5164668A (en) * 1991-12-06 1992-11-17 Honeywell, Inc. Angular position sensor with decreased sensitivity to shaft position variability
US5570015A (en) 1992-02-05 1996-10-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Linear positional displacement detector for detecting linear displacement of a permanent magnet as a change in direction of magnetic sensor unit
DE69310577T2 (de) * 1992-02-27 1997-11-13 Philips Electronics Nv Positionssensorsystem
US5497081A (en) * 1992-06-22 1996-03-05 Durakool Incorporated Mechanically adjustable linear-output angular position sensor
US5332965A (en) * 1992-06-22 1994-07-26 Durakool Incorporated Contactless linear angular position sensor having an adjustable flux concentrator for sensitivity adjustment and temperature compensation
US5300883A (en) * 1992-06-30 1994-04-05 North American Philips Corporation Position sensor with variably coupled magnetic field conducting means
MX9306152A (es) * 1992-10-05 1994-05-31 Fisher Controls Int Sistema de comunicacion y metodo.
US5365791A (en) * 1992-11-10 1994-11-22 Allied-Signal Inc. Signal generator
DE4316520A1 (de) 1993-05-18 1994-11-24 Vacuumschmelze Gmbh Abschirmbarer magnetischer Stellungssensor
US5493216A (en) * 1993-09-08 1996-02-20 Asa Electronic Industry Co., Ltd. Magnetic position detector
DE4333199C2 (de) * 1993-09-29 1995-08-31 Daimler Benz Ag Sensor zur berührungslosen Drehmomentmessung an einer Welle sowie Meßschicht für einen solchen Sensor
JP3234394B2 (ja) * 1994-02-04 2001-12-04 株式会社日本自動車部品総合研究所 電流測定装置
JPH07332913A (ja) * 1994-06-14 1995-12-22 Mikuni Corp 磁気式位置センサ
US5608317A (en) * 1994-06-21 1997-03-04 Hughes Electronics Complementary linear magnetic position sensor
US5955881A (en) * 1994-10-18 1999-09-21 Cts Corporation Linkage position sensor having a magnet with two ramped sections for providing variable magnetic field
JPH08178691A (ja) * 1994-12-21 1996-07-12 Mikuni Corp 磁気式位置センサ
US5670876A (en) * 1995-11-14 1997-09-23 Fisher Controls International, Inc. Magnetic displacement sensor including first and second flux paths wherein the first path has a fixed reluctance and a sensor disposed therein
DE19634281C2 (de) * 1996-08-24 2000-01-27 Bosch Gmbh Robert Meßvorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels bzw. einer linearen Bewegung
US6175233B1 (en) * 1996-10-18 2001-01-16 Cts Corporation Two axis position sensor using sloped magnets to generate a variable magnetic field and hall effect sensors to detect the variable magnetic field
US5729128A (en) * 1996-11-22 1998-03-17 Honeywell Inc. Magnetic sensor with a magnetically sensitive component that is movable during calibration and rigidly attachable to a formed magnet
JPH10257743A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Mitsubishi Electric Corp 防振装置用アクチュエータ
US6757316B2 (en) * 1999-12-27 2004-06-29 Cymer, Inc. Four KHz gas discharge laser
US6060881A (en) * 1997-08-06 2000-05-09 Fisher Controls International, Inc. Flux shaping pole pieces for a magnetic displacement sensor
US6053529A (en) * 1997-12-22 2000-04-25 Ford Global Technologies, Inc. Occupant restraint system with seat position sensor
US6057682A (en) * 1998-04-17 2000-05-02 Cts Corporation Dual rotational and linear position sensor
US6304078B1 (en) * 1998-12-09 2001-10-16 Cts Corporation Linear position sensor
DE69920890T2 (de) * 1999-01-21 2005-02-03 Tdk Corp. Stromsensor
DE19910636A1 (de) 1999-03-10 2000-09-14 Inst Mikrostrukturtechnologie Längenmeßsystem, bestehend aus einem oder mehreren magnetischen Maßstäben
US6382226B1 (en) * 2001-04-17 2002-05-07 Fisher Controls International, Inc. Method for detecting broken valve stem
JP2002372402A (ja) * 2001-06-13 2002-12-26 Alps Electric Co Ltd シートポジションセンサ
JP2003035504A (ja) * 2001-07-19 2003-02-07 Nippon Densan Corp 変位量検出装置
US6820647B1 (en) * 2002-05-08 2004-11-23 Westlock Controls Corporation Valve position monitor
US20040085061A1 (en) * 2002-11-04 2004-05-06 Busch Nicholas F. Geartooth sensor with angled faced magnet

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5694039A (en) * 1996-03-07 1997-12-02 Honeywell Inc. Angular position sensor having multiple magnetic circuits
JP2001289610A (ja) * 1999-11-01 2001-10-19 Denso Corp 回転角度検出装置
JP2001133210A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非接触型位置センサ

Also Published As

Publication number Publication date
EP1606589A1 (en) 2005-12-21
JP2006518467A (ja) 2006-08-10
US20040183526A1 (en) 2004-09-23
MXPA05008847A (es) 2005-10-18
CA2513831A1 (en) 2004-09-10
BRPI0407499A (pt) 2006-02-14
ATE472093T1 (de) 2010-07-15
JP2010164594A (ja) 2010-07-29
EP1606589B1 (en) 2010-06-23
WO2004076980A1 (en) 2004-09-10
AR047013A1 (es) 2006-01-04
BRPI0407499B1 (pt) 2017-12-19
CA2513831C (en) 2010-12-07
JP5324520B2 (ja) 2013-10-23
DE602004027796D1 (de) 2010-08-05
US7190159B2 (en) 2007-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5324520B2 (ja) 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ
US7005847B2 (en) Position sensor using a compound magnetic flux source
EP2082192B1 (en) Linear displacement sensor
CA2299315C (en) Flux shaping pole pieces for a magnetic displacement sensor
JP5837048B2 (ja) 磁気式長さ計測システム、磁気モジュール、長さ計測方法並びに磁気式長さ計測システムの製造方法
CA2394681C (en) Flux shaping pole pieces for a magnetic displacement sensor
US7199578B2 (en) Measurement device including a hall sensor disposed in a magnetic tube
US7057369B2 (en) System and device for regulating the position of a drivable component and drive therefor
CN101382440B (zh) 具有集成霍尔效应开关的磁性位置传感器
EP2484949B1 (en) Hydraulic valve device with associated spool displacement transducer
Venkataraman et al. Characterization of the Etrema MP 50/6 magnetostrictive actuator
AU746417C (en) Flux shaping pole pieces for a magnetic displacement sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070105

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090127

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090423

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090501

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090522

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100105

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100506

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20100607

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100914

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101025

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101124

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101216

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4653069

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees