JP4649460B2 - 両面研摩装置用ドレッサ収納機構 - Google Patents
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Description
110 研摩装置本体
111,112 回転定盤
113 センタギヤ
114 自転手段
120 第1ワーク搬送部
130 ワーク位置合わせ部
140 キャリア収納部
150 キャリア搬送部
160 キャリア位置合わせ部
170 第2ワーク搬送部
180 ブラシ収納部
190 ドレッサ収納部
200 ローダ・アンローダ装置
300 バスケット搬送装置
400 ワーク
500 キャリア
600 ブラシ
700 ドレッサ
Claims (4)
- 研摩すべきワークを保持する複数のキャリアを、上下の回転定盤間で少なくとも自転させることにより、複数のキャリアに保持された複数のワークを同時に両面研摩する両面研摩装置において、複数のキャリアに代えて上下の回転定盤間に配置され、キャリアと同様に上下の回転定盤間で少なくとも自転することにより、上下の回転定盤の対向面に装着された研摩布を面ならしするために、上下面に多数の研削部を有する複数枚のドレッサを収納する収納機構であって、外径が上から下へ段階的に増大する複数本の支持ピンにより、前記複数枚のドレッサを厚み方向に隙間をあけて支持する支持台を具備しており、前記複数本の支持ピンにより厚み方向に隙間をあけて支持される複数枚のドレッサは、複数本の支持ピンが厚み方向に貫通すると共に複数本の支持ピンの外径変化に対応して上のものから下のものへ内径が段階的に増大した複数のピン孔を有しており、複数本の支持ピンは外径に対応した内径のピン孔を有するドレッサを、外径増大に伴って形成された段差部上に支持することを特徴とする両面研摩装置用ドレッサ収納機構。
- 前記支持台は、軸方向に移動自在に支持された垂直な支持軸により支持され、駆動機構により前記軸方向に駆動される請求項1に記載のドレッサ収納機構。
- 前記ドレッサは、研削部を外周部上下面に限定的に有する請求項1又は2に記載のドレッサ収納機構。
- 前記両面研摩装置にキャリアを吸着搬送する搬送機構により、ドレッサの両面研摩装置への吸着搬送が可能とされた請求項3に記載のドレッサ収納機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007267970A JP4649460B2 (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | 両面研摩装置用ドレッサ収納機構 |
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JP2007267970A JP4649460B2 (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | 両面研摩装置用ドレッサ収納機構 |
Related Parent Applications (1)
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JP13565299A Division JP4294162B2 (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 両面研摩装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008062378A JP2008062378A (ja) | 2008-03-21 |
JP4649460B2 true JP4649460B2 (ja) | 2011-03-09 |
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ID=39285511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007267970A Expired - Lifetime JP4649460B2 (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | 両面研摩装置用ドレッサ収納機構 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4649460B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10329004A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-15 | Kobe Steel Ltd | 砥石のドレッサ及びそれに使用するペレット |
JPH1148121A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-23 | Speedfam Co Ltd | 修正キャリヤ用収納装置 |
-
2007
- 2007-10-15 JP JP2007267970A patent/JP4649460B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10329004A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-15 | Kobe Steel Ltd | 砥石のドレッサ及びそれに使用するペレット |
JPH1148121A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-23 | Speedfam Co Ltd | 修正キャリヤ用収納装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2008062378A (ja) | 2008-03-21 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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