JP4637593B2

JP4637593B2 - 除染方法、及び除染システム

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Publication number: JP4637593B2
Application number: JP2005012241A
Authority: JP
Inventors: 康司川崎
Original assignee: Airex Co Ltd
Current assignee: Acous Corp
Priority date: 2005-01-20
Filing date: 2005-01-20
Publication date: 2011-02-23
Anticipated expiration: 2025-01-20
Also published as: JP2006198120A

Description

本発明は、過酸化水素ガス等の除染ガスを用いて、除染の対象となる除染室内を除染する除染方法、及び除染システムに関する。

過酸化水素ガス等の除染ガスを除染室に投入し、当該除染室内を除染する除染方法は、既に良く知られている。ここで、除染室内の残存菌数の変化は、除染室内で起こる除染ガスの凝縮現象と関連があるという考えがあり、除染ガスの凝縮開始時等を検出しうる凝縮センサー（例えば、特許文献１参照。）を用いて除染室を除染管理する構成が提案されている。

ここで、特許文献１に開示された構成について説明すると、かかる構成は、一枚のガラス板と、所定波長の光を発する光源と、この光源が発した光を受光する光センサーとを備えている。そして、ガラス板を、除染ガスが板面に凝縮可能となるように除染室内に設置し、かつ光源からガラス板内に光を照射し、ガラス板の内部を通過した光を光センサーにより受光して、その受光量を測定するものである。かかる構成にあって、ガラス板面に除染ガスの凝縮膜が形成され始めると、凝縮膜とガラス板面との境界面で光が散乱して、光センサーにより検出される光の受光量が減少する。すなわち、この受光量の変化から除染室内での除染ガスの凝縮開始時等を特定するものであり、これに従って適正に除染ガスの投入量を調節することができる。

特表２００３−５２８３１０号公報

しかしながら、特許文献１に記載された構成にあっては、メンテナンスが不良で凝縮膜が形成されるガラス板の板面にゴミ等が付着している、又は板面が劣化等していると、境界面で散乱する光の量が変化して測定誤差を生じ、測定結果の正確性・信頼性が損なわれるおそれがあった。特に、上記構成はガラス板が単数であるため、当該ガラス面の汚れ等によって生じる測定誤差は、測定結果に直接かつ多大に作用してしまう。したがって、特許文献１に記載された凝縮センサーを用いた場合は、除染ガスの投入量が不正確となって除染の確実性を確保できない問題が生じる。逆に、除染の確実性を確保するために過剰に除染ガスを投入しようとすると、コスト高となってしまう問題が生ずる。また、除染ガスの過剰供給は、エアレーション時間が長くなってしまう問題や、除染室内を腐食するおそれがあるという問題もある。

そこで本発明は、上記問題を解決しうる除染方法、及び除染システムを提供することを目的とする。

本発明は、除染対象となる除染室内に除染ガスを投入して、当該除染室内を除染する除染方法において、除染ガスが内在する除染室内に測定波を伝播させ、伝播させた測定波の特性情報を測定し、測定した特性情報に基づいて、除染管理することを特徴とする除染方法である。ここで、除染とは、化学Ｔ期除染、無菌、殺菌、滅菌等が含まれる。また、測定波には、可視光、近赤外光、赤外光、レーザ光、超音波、又はマイクロ波等がある。また、測定波の特性情報は、当業者により測定可能な測定波の特性に関する情報であって、各光や超音波等の波長、光の光量、配光、光度、光束、照度又は超音波の音量、音速等が挙げられる。したがって、測定した測定波の特性情報に基づいて除染管理する構成には、例えば、測定波を受波しうる受波装置が出力した、測定波の所定特性の変化に伴って変動する電気的出力値に基づいて除染管理する構成が例示される。なお、除染管理とは、除染対象である除染室を除染するために必要な行為が全て含まれ、例えば、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止する構成が挙げられる。かかる構成とすることにより、状況に応じて、除染に最適な除染ガスの投入量を設定して追加投入したり、又は除染ガスの追加投入を中止したりすることが可能となり、除染ガスを過不足なく適正量だけ除染室に内在させることができる。

ところで、これまでに述べた構成にあって、除染ガスが内在する除染室内で測定された測定波の特性情報と、除染ガスを含まない除染室内で測定された特性情報とでは、その内容が異なってくる。また、除染室内に内在する室内ガスに対する除染ガスの濃度変化によっても前記特性情報は異なってくる。これは、除染ガスの有無によって、測定波が伝播する気体密度が変化することに起因するものである。したがって、換言すれば、除染ガスを投入しながら除染室内に測定波を伝播させ、かつ当該測定波の特性情報をモニタリングすることにより、除染室内における除染ガスの有無や濃度等の態様を知ることが可能となり、また、時間経過に伴う除染ガスの態様変化も知ることができる。そして、除染ガスの態様が特定可能となる又は態様の変化を知得できると、状況に応じて、適正に除染管理することが可能となる。なお、かかる方法は、従来構成のようにガラス板の板面に凝縮膜を形成してその時点での除染ガスの態様を知る、という構成ではないため、ガラス板面の汚れ等による測定誤差の問題は全く生じない利点がある。

ここで、測定波が超音波であり、測定波の特性情報が超音波の音速である構成にあって、測定した音速に基づいて、室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、除染管理する構成が提案されうる。

さらに詳述すると、除染ガスが内在する除染室内で測定された超音波の音速と、除染ガスを含まない除染室内で測定された音速とでは、その値が異なることは良く知られている。さらに、除染室内を占める除染ガスの割合等が変化した場合に、超音波の音速が変化することも良く知られている。例えば、次の関係式は、超音波の音速と、気体の濃度及び温度との関係を表している。

Ｖ² ＝(ΣＣｐｉＸｉ／ΣＣｖｉＸｉ)・(Ｒ・Ｔ／ΣＭｉＸｉ)
ここで、Ｖは音速（ｍ／ｓｅｃ）、Ｃｐｉは気体ｉの定圧比熱、Ｃｖｉは気体ｉの定容比熱、Ｘｉは気体ｉのモル分率、Ｒは気体定数、Ｔは気体温度（℃）、Ｍｉは気体ｉの分子量である。また、上式は、次のように表すことができる。

Ｖ＝Ｇ（Ｔ，Ｄ）
ここで、Ｄは気体濃度（体積％）である。また、かかる式は、次のように表すことができる。

Ｄ＝Ｆ（Ｔ，Ｖ）
ここで、Ｔは気体密度である。この例のように、気体濃度Ｄ、気体密度、及びその気体中に伝播する超音波の音速Ｖとは互いに密接な関係を有しているため、除染室内を占める除染ガスの割合等が変化した場合に、音速が変化することとなる。

したがって、換言すれば、除染ガスを投入しながら除染室内に超音波を伝播させ、かつ当該超音波の音速をモニタリングすることにより、除染室内における除染ガスの様々な態様を知ることが可能となり、また、時間経過に伴うその態様の変化も知ることができる。そして、除染ガスの態様が特定可能となる又は態様の変化を知得できると、状況に応じて、適正に除染管理することが可能となる。なお、かかる方法も、従来構成のようにガラス板の板面に凝縮膜を形成してその時点での除染ガスの態様を知る、という構成ではないため、ガラス板面の汚れ等による測定誤差の問題は全く生じない利点がある。

さらに、測定波が超音波であり、測定波の特性情報が超音波の音速である構成にあって、測定した音速に基づいて、除染室内の湿度を特定し、該湿度に従って、除染管理する構成が提案される。

ここで、除染室内の湿度は、除染室内を伝播する超音波の音速から特定することができる。したがって、かかる構成とすることにより、除染室内の湿度変化をモニタリングして、適正な除染管理が可能となる。

また、測定波が超音波であり、測定波の特性情報が超音波の音速である構成にあって、測定した音速に基づいて、除染室内のガス密度を特定し、該ガス密度に従って、除染管理する構成が提案される。

ここで、除染室内のガス密度は、除染室内を伝播する超音波の音速から特定することができる。したがって、かかる構成とすることにより、除染室に内在する除染ガスの密度変化をモニタリングして、除染管理することが可能となる。

また、測定波が超音波であり、測定波の特性情報が超音波の音速である構成にあって、測定した音速に基づいて、除染室内で除染ガスが凝縮するタイミングを特定し、該タイミングに従って、除染管理する構成が提案される。

ここで、除染ガスの凝縮は、除染室内で除染ガスが飽和すると生じるものである。したがって、除染ガスが飽和すると除染室内を伝播する超音波の音速が変化等することを利用して、除染ガスの凝縮タイミングを特定することができる。したがって、かかる構成とすることにより、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの凝縮開始タイミングを特定することが可能となり、上述の従来構成が抱えていた測定誤差の問題を解消することができる。

また、測定波が光である構成にあって、測定した光の特性情報に基づいて、室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、除染管理する構成が提案される。ここで、前記光には、上記した可視光、近赤外光、赤外光、又はレーザ光等が含まれる。

ここで、室内ガスに対する除染ガスの濃度は、例えば除染室内を伝播する光の光量から特定することができる。したがって、かかる構成とすることにより、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの態様を特定することが可能となり、上述の従来構成が抱えていた測定誤差の問題を解消することができる。

また、除染室内の複数の箇所で測定波を発振して当該除染室内に複数の測定波を伝播させ、各測定波の特性情報を夫々測定する構成が提案される。

ここで、実際には除染室内に投入される除染ガスは、室内全域に渡って均一に拡散する状況は稀で、通常は除染ガスが行き渡り難い箇所（いわゆるコールドポイント）と除染ガスが行き渡りやすい箇所とが発生していることが多い。したがって、かかる構成とすることにより、様々な場所の除染ガスの態様を詳細に知ることができ、コールドポイントにおける測定波の特性情報、及び除染ガスが行き渡りやすい箇所における特性情報を測定することが可能となる。これにより、コールドポイントにおける除染状況を考慮しながら除染することが可能となり、除染の確実性・信頼性が向上することとなる。

なお、これまでに述べた除染方法にあっては、除染ガスが、過酸化水素ガスである構成が好適である。

なせならば、過酸化水素ガスは強力な除染能力を備え、１０^-4から１０^-12までの除染のバリデーションに対応できるからである。また、安価で入手し易い利点もある。さらに、この過酸化水素ガスは、最終的に酸素と水とに分解されるため、環境に対して影響が少ない点も理由の一つである。

また、本発明は、除染対象となる除染室と、除染室内に除染ガスを投入する除染ガス投入装置とを備えた、除染室内に除染ガスを投入することにより当該除染室内を除染する除染システムにおいて、測定波を発振し、該測定波を除染室内に伝播させる測定波発振装置と、除染室内を伝播する測定波を受波する測定波受波装置と、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、測定波発振装置を駆動して測定波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、測定波受波装置が受波した測定波の特性情報を測定し、該測定した特性情報に基づいて、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備する除染制御装置とを備えたことを特徴とする除染システムである。ここで、除染ガス投入装置による除染ガスの投入態様としては、除染室内で除染ガスを発生させて室内に除染ガスを投入する態様と、除染室外で除染ガスを発生させ、その除染ガスを室内に供給して投入する態様とが提案されうる。また、除染とは、上述のように化学Ｔ期除染、無菌、殺菌、滅菌等が含まれる。また、測定波には、上述のように可視光、近赤外光、赤外光、レーザ光、超音波、又はマイクロ波等がある。また、測定波の特性情報は、上述のように当業者により測定可能な測定波の特性に関する情報であって、各光や超音波等の波長、光の光量、又は超音波の音量等が挙げられる。

ここで、除染室内で測定される測定波の特性情報と、当該測定波が伝播する気体密度との間には上記した関係があるため、除染ガスを投入しながら除染室内に測定波を伝播させ、かつ当該測定波の特性情報をモニタリングすることにより、除染室内における除染ガスの有無や濃度等の態様を知ることが可能となる。また、時間経過に伴う除染ガスの態様変化も知ることができる。そして、除染ガスの態様が特定可能となる又は態様の変化を知得できると、状況に応じて、除染に最適な除染ガスの投入量を設定して追加投入したり、又は除染ガスの追加投入を中止したりすることが可能となり、除染ガスを過不足なく適正に除染室内に投入することができる。なお、かかる除染システムは、従来構成のようにガラス板の板面に凝縮膜を形成して除染ガスの態様を知る、という構成ではないため、ガラス板に付着した汚れ等に起因する測定誤差の問題は生じない。

ここで、測定波発振装置が、超音波を発振し、該超音波を除染室内に伝播させる超音波発振装置であり、測定波受波装置が、除染室内を伝播する超音波を受波する超音波受波装置であり、除染制御装置が、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、超音波発振装置を駆動して超音波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、超音波受波装置が受波した超音波の音速を測定し、該測定した音速に基づいて、室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、特定した濃度に従って、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成が提案される。

上述した関係式に示されるように、気体濃度Ｄ、気体密度、及びその気体中に伝播する超音波の音速Ｖとは互いに密接な関係を有しているため、除染室内を占める除染ガスの割合等の変化に伴う音速の変化をモニタリングすることにより、除染室内における除染ガスの様々な態様を知ることが可能となる。そして、除染ガスの態様が特定可能となると、状況に応じて、除染に最適な除染ガスの投入量を設定して追加投入したり、又は除染ガスの追加投入を中止したりすることが可能となり、除染ガスを過不足なく適正に除染室内に投入することができる。

また、測定波発振装置が、超音波を発振し、該超音波を除染室内に伝播させる超音波発振装置であり、測定波受波装置が、除染室内を伝播する超音波を受波する超音波受波装置であり、除染制御装置が、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、超音波発振装置を駆動して超音波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、超音波受波装置が受波した超音波の音速を測定し、該測定した音速に基づいて、除染室内のガス密度を特定し、特定したガス密度に従って、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成が提案される。

かかる構成とすることにより、除染室に内在する除染ガスの密度変化をモニタリングして、除染ガスの投入態様を定めることが可能となる。

また、測定波発振装置が、超音波を発振し、該超音波を除染室内に伝播させる超音波発振装置であり、測定波受波装置が、除染室内を伝播する超音波を受波する超音波受波装置であり、除染制御装置が、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、超音波発振装置を駆動して超音波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、超音波受波装置が受波した超音波の音速を測定し、該測定した音速に基づいて、除染室内の湿度を特定し、特定した湿度に従って、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成としても良い。

かかる構成とすることにより、除染室内の湿度変化をモニタリングして、除染ガスの投入態様を定めることが可能となる。

また、測定波発振装置が、超音波を発振し、該超音波を除染室内に伝播させる超音波発振装置であり、測定波受波装置が、除染室内を伝播する超音波を受波する超音波受波装置であり、除染制御装置が、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、超音波発振装置を駆動して超音波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、超音波受波装置が受波した超音波の音速を測定し、該測定した音速に基づいて、除染室内で除染ガスが凝縮するタイミングを特定し、該タイミングに従って、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成としても良い。

かかる構成とすることにより、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの凝縮開始点を特定することが可能となり、上述の従来構成が抱えていた測定誤差の問題を解消しつつ除染管理することができる。

また、測定波発振装置が、光を発振し、該光を除染室内に伝播させる光発振装置であり、測定波受波装置が、除染室内を伝播する光を受光する受光装置であり、除染制御装置が、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、光発振装置を駆動して光を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、受光装置が受光した光の特性情報を測定し、該特性情報に基づいて室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成が提案される。ここで、上述のように、光には、可視光、近赤外光、赤外光、又はレーザ光等が含まれる。

かかる構成とすることにより、ガス濃度変化をモニタリングして、除染ガスの投入態様を定めることが可能となると共に、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの態様を特定することが可能となり、上述の従来構成が抱えていた測定誤差の問題を解消することができる。

また、測定波発振装置が、測定波を発振する発振部を具備し、測定波受波装置が、測定波を受波する受波部を具備した構成であって、前記発振部及び前記受波部のうち、少なくともいずれかが、測定波は通過可能で除染ガスは通過不能な腐食防止隔膜により被覆されてなる構成が提案される。

かかる構成とすることにより、発振部及び／又は受波部が除染ガスと接触することがなくなるため、各部の機能を保持しつつ、除染ガスによる腐食を防止することが可能となる。具体的には、測定波発振装置が、超音波を発振する発振部を具備した超音波発振装置であり、測定波受波装置が、超音波を受波する受波部を具備した超音波受波装置である場合は、前記発振部及び前記受波部のうち、少なくともいずれかが、超音波は通過可能で除染ガスは通過不能な超音波用腐食防止隔膜により被覆されてなる構成が提案される。また、測定波発振装置が、光を発振する発振部を具備した光発振装置であり、測定波受波装置が、光を受光する受光部を具備した受光装置である場合は、前記発振部及び前記受光部のうち、少なくともいずれかが、光は通過可能で除染ガスは通過不能な光用腐食防止隔膜により被覆されてなる構成が提案される。

また、除染室内に、測定波発振装置が複数配設されると共に、測定波受波装置が、各測定波発振装置が発振した測定波を受波し、除染制御装置が、受波した測定波の特性情報を夫々測定する制御内容を具備する構成が提案される。

ここで、上述のように、実際には除染室内に投入される除染ガスは、均一には拡散しない。したがって、かかる構成とすることにより、コールドポイントにおける測定波の特性情報、除染ガスが行き渡りやすい箇所における特性情報をそれぞれ知ることが可能となり、除染の確実性・信頼性が向上することとなる。

また、除染室内に、測定波発振装置を単数配設すると共に、当該除染室内に、前記測定波発振装置が発振した測定波を受波する測定波受波装置を複数配設してなる構成が提案される。

ここで、測定波発振装置により発振された測定波は、その特性上、所定角度範囲の広がりをもって周囲に伝播していく。したがって、そのような測定波を複数の測定波受波装置により受波し、該測定波の特性情報を測定する構成とすることにより、測定波が伝播した所定角度範囲における除染ガスの態様を知得することが可能となる。また、上述のように、除染室内に投入される除染ガスは均一に拡散するものではないため、このように広がりのある範囲について特性情報をモニタリングして除染管理することにより、除染の確実性・信頼性が向上することとなる。さらに、かかる構成は、測定波発振装置を単数だけ配設してなる構成であるため、除染システムの構成を簡略化することができる。

また、かかる除染システムにあって、除染ガスが、過酸化水素ガスであることを特徴とする構成が好適である。過酸化水素ガスが有用である理由は上述の通りである。

本発明にかかる除染方法は、除染ガスが内在する除染室内に測定波を伝播させ、伝播させた測定波の特性情報を測定し、測定した特性情報に基づいて、除染管理する構成としたため、除染室内の状況変化に対応しながら除染管理することが可能となる。これにより、除染ガスの過剰供給を避けることができ、コスト高、エアレーション時間の延長等の問題を解消できる優れた効果がある。また、従来構成のようにガラス板の板面に凝縮膜を形成して除染ガスの態様を知る、という構成ではないため、ガラス板の汚れ等による測定誤差の問題は解消され、測定結果の正確性・信頼性が向上する効果もある。

また、超音波を発振し、該超音波の音速に基づいて、室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、除染管理する構成とした場合は、濃度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染管理できる効果がある。

また、測定した音速に基づいて、除染室内の湿度を特定し、該湿度に従って、除染管理する構成とした場合は、湿度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染管理することができる効果がある。

また、測定した音速に基づいて、除染室内のガス密度を特定し、該ガス密度に従って、除染管理する構成とした場合は、密度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染管理できる効果がある。

また、測定した音速に基づいて、除染室内で除染ガスが凝縮するタイミングを特定し、該タイミングに従って、除染管理する構成とした場合は、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの凝縮開始タイミングを特定することが可能となり、従来構成の測定誤差の問題を解消しつつ、除染ガスの凝縮を基に除染管理することができる効果がある。

また、光を発振し、該光の特性情報に基づいて、室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、除染管理する構成とした場合は、ガラス板の板面に凝縮膜を形成することなく、濃度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染管理することができる効果がある。

また、除染室内の複数の箇所で測定波を発振して当該除染室内に複数の測定波を伝播させ、各測定波の特性情報を夫々測定する構成とした場合は、コールドポイントにおける特性情報、及び除染ガスが行き渡りやすい箇所における特性情報をそれぞれ測定することが可能となり、除染の確実性・信頼性が向上する効果がある。

また、除染管理することが、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止することである構成とした場合は、除染室内の状況に応じて、除染に最適な除染ガスの投入量を設定して追加投入したり、又は除染ガスの追加投入を中止したりすることが可能となり、除染ガスを過不足なく適正量だけ除染室に内在させることができる効果がある。

また、除染ガスが、過酸化水素ガスである構成とした場合は、１０^-4から１０^-12までの除染のバリデーションに対応でき、安価で入手し易く、環境に対して影響が少ないという効果がある。

また、本発明にかかる除染システムは、測定波発振装置と、測定波受波装置と、測定した特性情報に基づいて、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備する除染制御装置とを備えた構成としたため、除染室内を伝播する測定波の特性情報を把握しつつ、状況に応じて、除染に最適な除染ガスの投入量を設定して追加投入等することができる。このため、除染に必要な除染ガスを過不足なく適正に投入することができ、コスト高、除染時間等の問題を解消できる優れた効果がある。また、従来構成のようにガラス板の板面に凝縮膜を形成して除染ガスの態様を知る、という構成ではないため、ガラス板の汚れ等による測定誤差の問題は解消され、測定結果の正確性・信頼性が向上する効果もある。

また、上述の除染システムにあって、除染制御装置が、測定した音速に基づいて、室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、特定した濃度に従って、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成とした場合は、濃度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染ガスの投入態様を定めることが可能となり、除染に必要な除染ガスを過不足なく適正に投入することができる効果がある。

また、除染制御装置が、測定した音速に基づいて、除染室内のガス密度を特定し、特定したガス密度に従って、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成とした場合は、密度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染ガスの投入態様を定めることが可能となり、除染に必要な除染ガスを過不足なく適正に投入することができる効果がある。

また、除染制御装置が、測定した音速に基づいて、除染室内の湿度を特定し、特定した湿度に従って、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成とした場合は、湿度変化をモニタリングしながら状況に応じて除染ガスの投入態様を定めることが可能となり、除染に必要な除染ガスを過不足なく適正に投入することができる効果がある。

また、除染制御装置が、超音波の音速を測定し、該音速に基づいて除染室内で除染ガスが凝縮するタイミングを特定し、該タイミングに従って、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成とした場合は、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの凝縮開始点を特定することが可能となり、従来構成の測定誤差の問題を解消しつつ、除染ガスの凝縮を基に除染管理することができる効果がある。

また、除染制御装置が、除染室内に光を伝播させ、該光の特性情報に基づいて室内ガスに対する除染ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備した構成とした場合は、ガス濃度変化をモニタリングして、除染ガスの投入態様を定めることが可能となると共に、ガラス板の板面に凝縮膜を形成しなくても除染ガスの態様を特定することが可能となり、上述の従来構成が抱えていた測定誤差の問題を解消することができる効果がある。

また、測定波発振装置の発振部及び測定波受波装置の受波部のうち、少なくともいずれかが腐食防止隔膜により被覆されてなる構成とした場合は、各部の機能を保持しつつ、除染ガスによる腐食を防止することができ、除染システムの保全が容易となる効果がある。

ここで、超音波発振装置の発振部及び超音波受波装置の受波部のうち、少なくともいずれかが超音波用腐食防止隔膜により被覆されてなる構成とした場合は、超音波の発振、及び／又は受波することを可能としつつ、除染ガスによる腐食を防止することができる効果がある。

また、光発振装置の発振部及び受光装置の受光部のうち、少なくともいずれかが光用腐食防止隔膜により被覆されてなる構成とした場合は、光の発振、及び／又は受光を可能としつつ、除染ガスによる腐食を防止することができる効果がある。

また、除染室内に、測定波発振装置が複数配設されると共に、測定波受波装置が、各測定波発振装置が発振した測定波を受波し、除染制御装置が、受波した測定波の特性情報を夫々測定する構成とした場合は、多点における測定波の特性情報を測定することが可能となり、それらの情報に基づいて除染管理できるため、除染の確実性・信頼性を向上させる効果がある。

また、除染室内に、測定波発振装置を単数配設すると共に、当該除染室内に、前記測定波発振装置が発振した測定波を受波する測定波受波装置を複数配設してなる構成とした場合は、測定波が伝播した所定角度範囲における除染ガスの情報を得ることが可能となり、多点における除染ガスの情報を得つつ除染管理できるため、除染の確実性・信頼性を向上させる効果がある。さらに、かかる構成は、測定波発振装置が単数であるため、除染システムの構成を簡略化しうる効果がある。

<第一実施例>
以下に、本発明にかかる除染システム１について説明する。
図１に示されるように、除染システム１は、過酸化水素ガス発生装置２と、除染室３と、投入用ガス管６ａと、循環用ガス管６ｂと、除染室３内の温度を測定する温度計８とで構成されている。

前記過酸化水素ガス発生装置２は、除染ガスとしての過酸化水素ガスを発生させる装置であって、公知のものが好適に用いられる。具体的には、過酸化水素水が装填された液体タンク（図示省略）から過酸化水素水を吸引し、この過酸化水素水を加熱面（図示省略）に滴下してフラッシュ蒸発（いわゆる急速蒸発法）させることにより過酸化水素ガスを発生させる構成である。ここで、投入用ガス管６ａは、除染室３と過酸化水素ガス発生装置２とにそれぞれ接続されており、投入用ガス管６ａに配設された送風ファン２０の駆動により、過酸化水素ガスが投入用ガス管６ａを通って除染室３内に送り込まれる構成となっている。さらに、除染室３には、循環用ガス管６ｂも配設されており、除染室３内のガスが過酸化水素ガス発生装置２に導入される構成となっている。すなわち、両ガス管６ａ，６ｂを通ってガスがシステム内を循環する回路構造となっている。なお、これまでに述べた、過酸化水素ガス発生装置２、除染室３、及び両ガス管６ａ、６ｂの構成は公知技術である。

次に、本発明にかかる要部について説明する。
本発明にかかる除染システム１は、除染室３内に、超音波発振装置４と超音波受波装置５とが設置される。この超音波発振装置４は、超音波を発振する装置であって、この超音波発振装置４が駆動することにより超音波が発振されて、超音波が除染室３内に伝播する。これに対し、超音波受波装置５は、超音波を受波するセンサーにより構成される受波部５ａ（図６参照）を備えた装置である。そして、この超音波受波装置５は、超音波発振装置４が発振した超音波を確実に捕捉できる位置に配設されている。なお、超音波発振装置４と超音波受波装置５とは、それぞれ公知品が好適に用いられ、かかる構成からなる測定器は、例えば、特開平２−１９８３５７号公報に開示されている。

また、本除染システム１は、除染制御装置６０を備えている。この除染制御装置６０は、図２に示されるように、所定のプログラムを実行する中央制御装置ＣＰＵを備えている。この中央制御装置ＣＰＵには、データを随時読み書きできる記憶装置ＲＡＭと、演算処理に用いる動作プログラムやデータが格納される記憶装置ＲＯＭとが接続されている。かかる除染制御装置６０は、過酸化水素ガス発生装置２、超音波発振装置４、温度計８及び超音波受波装置５とそれぞれ接続している。そして、過酸化水素ガス発生装置２と超音波発振装置４とには、所定態様で駆動させるための制御指令信号が出力される。これに対し、制御指令信号が入力された各装置２，４は、その制御指令信号に従って所定態様で駆動することとなる。また、超音波受波装置５は、受波した超音波のデータ（以下、超音波データという）を除染制御装置６０に出力し、この超音波データを受信した除染制御装置６０は、かかるデータに基づいて様々な処理を実行する。また、温度計８は、除染室３内の温度データを除染制御装置６０に出力する。なお、具体的な処理内容は、以下に説明する。

まず、除染制御装置６０は、除染ガス追加投入制御内容を具備している。
除染ガス追加投入制御内容は、過酸化水素ガス発生装置２に過酸化水素ガスを発生させる制御指令信号を出力すると共に、超音波発振装置４に超音波を発振させる制御指令信号を出力する。ここで、制御指令信号を受信した過酸化水素ガス発生装置２は、駆動して過酸化水素ガスを所定量発生させる。さらに詳述すると、過酸化水素ガスの投入量は、過酸化水素水の加熱面への滴下量で調整される。また、制御指令信号を受信した超音波発振装置４は、駆動して超音波を発振する。そうすると、除染室３内に過酸化水素ガスが投入されると共に、過酸化水素ガスが内在する除染室３内に、超音波が伝播することとなる。

一方、超音波受波装置５が超音波を受波し、除染制御装置６０が超音波データを受信すると、かかるデータに基づいて、受波した超音波の音速Ｖを算出する。なお、超音波データには、超音波の伝播時間と伝播距離に関する情報が含まれており、超音波の音速Ｖは、この伝播時間と伝播距離とから算出することができる。

さらに、算出した音速Ｖが所定値に達すると、二種類の制御指令信号を選択的に過酸化水素ガス発生装置２に出力する。一つは、過酸化水素ガス発生装置２に所定量の過酸化水素ガスを追加投入させる制御指令信号である。もう一つは、過酸化水素ガスの追加投入を中止させる制御指令信号である。なお、この追加投入又は追加投入中止を指令する契機となる音速Ｖ’は、例えば、除染室３内で過酸化水素ガスが凝縮開始する時の音速Ｖが提案されうる。さらに詳述すると、除染室３内で過酸化水素ガスが凝縮開始する時は、除染室内が飽和して過酸化水素ガス濃度が一定となり、音速Ｖの測定値変動に変化が起こる。このため、かかる変化を特定することにより、過酸化水素ガスの凝縮タイミングを特定することが可能となる。

次に、これまでに述べた除染システム１の除染態様を説明する。
まず、除染室３内に、乾燥空気を投入して、室内湿度を所定湿度に調整する。また、同時に、除染室３の漏れ検査を実施する。

次に、除染制御装置６０は、過酸化水素ガス発生装置２を駆動させて、除染室３内に予め設定された初期投入量の過酸化水素ガスを投入する。

次に、除染制御装置６０は、超音波発振装置４を駆動させて、除染室３内に超音波を伝播させる。そして、温度計８により室内温度を測定しつつ、超音波受波装置５から出力される超音波データに基づいて所定時間間隔で随時音速Ｖを測定する。ここで、除染室３内の過酸化水素ガスの量が増加していくと、除染室３に内在する室内ガスの混合成分が変化し、音速Ｖも順次変化していく。

そして、測定される音速Ｖに基づいて、過酸化水素ガスの投入量を増加、減少、投入量維持、又は投入中止等の複数の除染態様を適宜選択しながら、除染室３を除染管理する。具体的には、測定されうる音速Ｖに複数の除染態様を予め割り当てておき、順次音速Ｖが測定されると、その測定された音速Ｖに対応する除染態様を実行するようなプログラムを内蔵させる構成が提案される。

ここで、除染制御装置６０が、測定した音速から、過酸化水素ガスが凝縮するタイミングを特定し、かかるタイミングが到来すると、過酸化水素ガスの追加投入量を変更する除染ガス追加投入制御内容を実行することにより、凝縮タイミングに従って所定量の過酸化水素ガスを除染室３内に追加投入する又は過酸化水素ガスの追加投入を中止する除染方法が実現される。

除染室３の除染が完了した場合は、次に、除染室３から過酸化水素ガスを除去する（エアレーション）。具体的には、過酸化水素ガスを含む室内ガスをシステム内で循環させながら、触媒等を用いて分解する。そして、除染室３内の過酸化水素ガス濃度が１ｐｐｍ以下となるとエアレーションを完了する。

<第二実施例>
また、超音波の音速を測定する態様は、様々な構成が提案される。
例えば、図３に示されるように、複数の超音波発振装置４を除染室３内に設けると共に、各超音波発振装置４に対応させて超音波受波装置５を設けてなる構成である。具体的には、第一超音波発振装置４１が発振した超音波を第一超音波受波装置５１が受波し、第二超音波発振装置４２が発振した超音波を第二超音波受波装置５２が受波し、かつ第三超音波発振装置４３が発振した超音波を第三超音波受波装置５３が受波するように設定している。また、第一超音波発振装置４１及び第一超音波受波装置５１は、除染室３内で過酸化水素ガスが最も浸透しやすいと考えられる部分の音速を測定するように配置し、第三超音波発振装置４３及び第三超音波受波装置５３は、除染室３内におけるコールドポイントと考えられる部分の音速を測定するように配置されている。このように、除染室３内の所要位置に、複数の超音波発振装置４及び超音波受波装置５をそれぞれ対応させて配設する構成とすることにより、複数の箇所から発振された超音波を確実に捕捉できると共に、除染の確実性・信頼性が向上することとなる。

<第三実施例>
また、図４に示されるように、複数の超音波発振装置４を設けると共に、単数の超音波受波装置５’を除染室３内で移動可能とし、各超音波発振装置４が発振する超音波を受波できるようにした構成が提案される。このように超音波受波装置５’を単数とする構成とすることにより、第二実施例にかかる構成に比して、除染システム１ｂの構成を簡略化することが可能となる。ここで、具体的には、超音波発振装置４を除染室３内で同方向に超音波を発振しうる態様で一列状に配設すると共に、これら超音波発振装置４の列設方向とほぼ平行に移動用レール１１を超音波発振装置４の対向位置に敷設する。そして、この移動用レール１１に超音波受波装置５’を係合させて、かかる超音波受波装置５’を移動用レール１１に沿って移動可能とする。かかる構成にあって、各超音波発振装置４に超音波を発振させると共に、超音波受波装置５’を移動用レール１１上でスライド移動させて、順次各超音波を受波し、それぞれ音速を測定していくこととなる。なお、超音波受波装置５’の移動は、超音波受波装置５’を除染室３外から遠隔的に所定速度で移動させることを可能とする操作制御装置を設けて実現させる構成が好適である。また、各装置４，５’の配置は、コールドポイントと考えられる部分の音速を測定できる配置とし、除染の確実性・信頼性を向上させうる構成が好適である。なお、上述の移動用レール１１は、除染室３内の内壁や、床面等、除染室３内の様々な場所に設けることができる。また、移動用レール１１を用いた構成に代えて、自走式の台車上に超音波受波装置５を固定させてなる構成としても良い。

<第四実施例>
また、超音波発振装置４’を単数とし、超音波受波装置５を複数設けた構成としても良い。かかる構成とすることにより、第二実施例にかかる構成に比して、除染システム１ｃの構成を簡略化することが可能となる。ここで、具体的には、回転テーブル１０ａを上面に備えた回転台１０を除染室３内の中央に配設し、前記回転テーブル１０ａ上に超音波発振装置４’を載置する。ここで、回転台１０の回転テーブル１０ａは、除染室３外から遠隔操作により水平面内で回転させることが可能で、超音波発振装置４’を旋回させて３６０°の範囲で超音波を伝播させうる構成となっている。これに対し、超音波受波装置５を超音波発振装置４’の周囲に複数配設している。かかる構成にあって、超音波発振装置４’に超音波を発振させると共に、回転テーブル１０ａを回転させて、超音波を３６０°の範囲で除染室３内に伝播させる。一方、各超音波受波装置５により順次超音波を受波し、それぞれ音速を測定する。なお、各装置４’，５の配置は、コールドポイントと考えられる部分の音速を測定できる配置とし、除染の確実性・信頼性を向上させうる構成が好適である。なお、別構成として、回転台１０を備えない構成としても良い。すなわち、超音波は広がりをもって伝播するため、床面等に固定された超音波発振装置４から発振された超音波を、除染室３内で所定間隔をおいて配設された複数の超音波受波装置５で受波する構成としても良い。

<第五実施例>
また、これまでに述べた各実施例にあっては、図６に示されるように、超音波受波装置５に備えられた受波部５ａに、皿状の隔膜カバー３１を被覆するように配設した構成が提案される。ここで、隔膜カバー３１は、超音波用腐食防止隔膜３０により構成され、この超音波用腐食防止隔膜３０は、超音波は通過可能とし、過酸化水素ガスは通過不能である特性を有しているものである。この腐食防止隔膜３０としては、例えば、数１０〜数１００μｍ厚のプラスチック薄膜、貴金属薄膜などが好適に用いられる。なお、前記受波部５ａは、公知の超音波センサーにより好適に構成することができる。また、前記隔膜カバー３１は、超音波発振装置４に備えられた、超音波を発振する発振部に配設しても勿論良く、好ましくは、前記発振部及び受波部５ａに隔膜カバー３１を配設する構成が好適である。なお、この隔膜カバー３１は、超音波の波長を制限するために利用することもできる。

なお、上記構成に代えて、除染制御装置６０が、超音波の音速Ｖを測定して湿度を特定し、かかる湿度に基づいて過酸化水素ガスの追加投入等の制御指令信号を過酸化水素ガス発生装置２に出力する制御内容を具備した構成としても良い。ここで、超音波の音速を測定して湿度を特定する湿度センサーとしての機能を備えた技術は、例えば特開平５−３１２６６７号公報に開示されている。具体的には、理科年表に記載された湿気中の音速を表す次式が用いられる。
Ｃｗ＝Ｃ／｛（１−（Ｐ／Ｈ））（（γｗ／γａ）−０．６２２）｝^1/2

このように、気圧Ｈの空気中に圧力Ｐの水蒸気がある時の音速Ｃｗを同温度における乾燥空気中の音速Ｃより求める。なお、γｗは水蒸気の定圧比熱と定容比熱の比、γａは乾燥空気における同様の比である。かかる構成とすることにより、測定した音速に基づいて、除染室３内の湿度を特定し、該湿度に従って、所定量の過酸化水素ガスを除染室３内に追加投入する又は過酸化水素ガスの追加投入を中止する除染方法が実現される。例えば、除染室３内の湿度を所定時間間隔で算出し、湿度が所定値となった時に、初期投入量より少ない量の過酸化水素ガスを追加投入する構成が提案されうる。

また、除染制御装置６０が、超音波の音速Ｖを測定して室内ガスに対する過酸化水素ガスの濃度を特定し、かかる濃度に基づいて過酸化水素ガスの追加投入等の制御指令信号を過酸化水素ガス発生装置２に出力する制御内容を具備した構成としても良い。ここで、過酸化水素ガスの濃度を特定する構成は、例えば特開２００２−２１４０１２号公報に開示されている構成が好適に用いられうる。前記公報には、ガス中の超音波伝播速度ｃ（ｍ／ｓｅｃ）は、ガスの平均分子量Ｍ、温度Ｔ（Ｋ）、定積モル比熱と定圧モル比熱との比ｋ、気体定数Ｒとすると、
ｃ＝｛（ｋＲＴ）／Ｍ｝^1/2
となることが記載されている。かかる構成とすることにより、測定した音速に基づいて、室内ガスに対する過酸化水素ガスの濃度を特定し、該濃度に従って、所定量の過酸化水素ガスを除染室３内に追加投入する又は過酸化水素ガスの追加投入を中止する除染方法が実現される。例えば、過酸化水素ガスの濃度を所定時間間隔で算出し、濃度が所定値となった時に、初期投入量より少ない量の過酸化水素ガスを追加投入する構成が提案されうる。

また、除染制御装置６０が、超音波の音速Ｖを測定して除染室３内のガス密度を特定し、かかるガス密度に基づいて過酸化水素ガスの追加投入等の制御指令信号を過酸化水素ガス発生装置２に出力する制御内容を具備した構成としても良い。ここで、過酸化水素ガスのガス密度を特定する構成は、既に良く知られている。かかる構成とすることにより、測定した音速に基づいて、除染室３内のガス密度を特定し、該密度に従って、所定量の過酸化水素ガスを除染室３内に追加投入する又は過酸化水素ガスの追加投入を中止する除染方法が実現される。例えば、ガス密度を所定時間間隔で算出し、ガス密度が所定値となった時に、初期投入量より少ない量の過酸化水素ガスを追加投入する構成が提案されうる。

なお、本実施例にかかる超音波発振装置４，４１，４２，４３，４’により、本発明にかかる測定波発振装置が構成される。また、本実施例にかかる超音波受波装置５，５１，５２，５３，５’により、本発明にかかる測定波受波装置が構成される。また、本実施例にかかる過酸化水素ガス発生装置２及び投入用ガス管６ａにより、本発明にかかる除染ガス投入装置が構成される。

<第六実施例>
また、これまでに述べた実施例は、全て超音波を用いた構成であったが、超音波を用いずにレーザ光又は可視光を除染室３内に伝播させて、除染室３内のガス濃度を特定し、該ガス濃度に従って所定量の過酸化水素ガスを除染室３内に追加投入する又は過酸化水素ガスの追加投入を中止する構成としても良い。具体的には、除染室３内にレーザ光を発振可能な光発振装置を設けると共に、当該光発振装置に対向させて、レーザ光を受光可能な受光装置を設ける。そして、除染制御装置６０は、受光装置が受光したレーザ光の光量（lm・s）データに基づいて除染室３内の過酸化水素ガス濃度を特定する。例えば、特開２００１−２８９７８０号公報に開示される濃度計が好適に用いられうる。さらに除染制御装置６０は、特定したガス濃度が所定の値となると、例えば初期投入量より少ない量の過酸化水素ガスを追加投入する。この過酸化水素ガスの追加投入量等は、適宜変更可能であり、除染に最適なものが採用されうる。また、光発振に備えられた、光を発振する発振部、又は、受光装置に備えられた、光を受光する受光部に光用腐食防止隔膜からなる隔膜カバー３１を被覆しても良い。例えば、隔膜カバー３１を主にステンレス材料で構成し、光路上に相当する部分のみクリスタル材料とする構成が提案される。あるいは、全て透明プラスチック材料で構成しても良い。この隔膜カバー３１により、周囲のノイズを遮断してフィルタ効果を得ることもできる。

なお、本実施例にかかる光発振装置により、本発明にかかる測定波発振装置が構成される。また、本実施例にかかる受光装置により、本発明にかかる測定波受波装置が構成される。さらに、受光装置の受光部により、本発明にかかる受波部が構成される。

なお、これまでに述べた構成は、実施態様を適宜変更することが可能である。また、用途は、室内滅菌に限定されることなく、簡易アイソレータ等にも適用することが可能である。また、超音波発振装置４を除染室３外に備え、超音波を室外で発振させてから除染室３内に伝播させる構成としても良い。

除染システム１の概略図である。除染システム１のブロック回路図である。第二実施例にかかる除染システム１ａの概略図である。第三実施例にかかる除染システム１ｂの概略図である。第四実施例にかかる除染システム１ｃの概略図である。第五実施例にかかる超音波受波装置５の部分縦断側面図である。

符号の説明

１，１ａ，１ｂ，１ｃ除染システム
２過酸化水素ガス発生装置
３除染室
４，４１，４２，４３，４’ 超音波発振装置
５，５１，５２，５３，５’ 超音波受波装置
６ａ投入用ガス管
６ｂ循環用ガス管
３０腐食防止隔膜
５ａ受波部
６０除染制御装置

Claims

除染対象となる除染室内に除染ガスを投入して、当該除染室内を除染する除染方法において、
除染ガスが内在する除染室内に測定波を伝播させ、伝播させた測定波の特性情報を測定し、測定した特性情報に基づいて、除染管理する除染方法にあって、
測定波が超音波であり、測定波の特性情報が超音波の音速であり、
除染ガスの飽和によって除染室内を伝播する超音波の音速が変化するのを検出して、除染室内で除染ガスが凝縮するタイミングを特定し、該タイミングに従って、除染管理することを特徴とする除染方法。
除染室内の複数の箇所で測定波を発振して当該除染室内に複数の測定波を伝播させ、各測定波の特性情報を夫々測定することを特徴とする請求項１に記載の除染方法。
除染管理することが、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止することである請求項１又は請求項２に記載の除染方法。
除染ガスが、過酸化水素ガスであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の除染方法。
除染対象となる除染室と、
除染室内に除染ガスを投入する除染ガス投入装置と
を備えた、除染室内に除染ガスを投入することにより当該除染室内を除染する除染システムにおいて、
測定波を発振し、該測定波を除染室内に伝播させる測定波発振装置と、
除染室内を伝播する測定波を受波する測定波受波装置と、
除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、測定波発振装置を駆動して測定波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、測定波受波装置が受波した測定波の特性情報を測定し、該測定した特性情報に基づいて、除染ガス投入装置を駆動して所定量の除染ガスを追加投入する又は除染ガス投入装置の駆動を中止して除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備する除染制御装置と
を備え、
測定波発振装置が、超音波を発振し、該超音波を除染室内に伝播させる超音波発振装置であり、
測定波受波装置が、除染室内を伝播する超音波を受波する超音波受波装置であり、
除染制御装置が、除染ガス投入装置を駆動して除染ガスを除染室内に投入し、超音波発振装置を駆動して超音波を除染ガスが内在する除染室内で伝播させ、超音波受波装置が受波した超音波の音速を測定し、除染ガスの飽和によって除染室内を伝播する超音波の音速が変化するのを検出して、除染室内で除染ガスが凝縮するタイミングを特定し、該タイミングに従って、所定量の除染ガスを除染室内に追加投入する又は除染ガスの追加投入を中止する除染ガス追加投入制御内容を具備したものであることを特徴とする除染システム。
測定波発振装置が、超音波を発振する発振部を具備した超音波発振装置であり、測定波受波装置が、超音波を受波する受波部を具備した超音波受波装置であり、
前記発振部及び前記受波部のうち、少なくともいずれかが、超音波は通過可能で除染ガスは通過不能な超音波用腐食防止隔膜により被覆されてなることを特徴とする請求項５記載の除染システム。
除染室内に、測定波発振装置が複数配設されると共に、測定波受波装置が、各測定波発振装置が発振した測定波を受波し、除染制御装置が、受波した測定波の特性情報を夫々測定する制御内容を具備するものであることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の除染システム。
除染室内に、測定波発振装置を単数配設すると共に、当該除染室内に、前記測定波発振装置が発振した測定波を受波する測定波受波装置を複数配設してなることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれかに記載の除染システム。
除染ガスが、過酸化水素ガスであることを特徴とする請求項５乃至請求項８のいずれかに記載の除染システム。