JP4632847B2 - オイル回転真空ポンプおよびその製造方法 - Google Patents
オイル回転真空ポンプおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4632847B2 JP4632847B2 JP2005128507A JP2005128507A JP4632847B2 JP 4632847 B2 JP4632847 B2 JP 4632847B2 JP 2005128507 A JP2005128507 A JP 2005128507A JP 2005128507 A JP2005128507 A JP 2005128507A JP 4632847 B2 JP4632847 B2 JP 4632847B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- port
- pump
- vacuum pump
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2230/00—Manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
機械式オイル回転ポンプは、一般に、大気圧から約10-1Paまでの低圧状態を得るのに使用される。
従来技術によると、製造されたポンプは保管された後、内部にオイルを充填しない状態でユーザの所に輸送される。つまり、ポンプの使用を開始する前に、適量のオイルをポンプに導入するのは、ユーザに委ねられるが、ユーザは当業者でない場合が多い。
本発明のもう一つの目的は、既に適量のオイルを収容した機械式オイル回転ポンプであって、任意の期間保管した後、オイル漏れや劣化を起こすことなく、ユーザの所へ輸送することができるポンプを提供することである。
適当な膜により、ポンプ内の吸入および排気ポートが密封され、ポンプ内に導入されたオイルは、保管の間および輸送作業の間、漏れ出ることがないので、エンドユーザは、適量のオイルが既に充填されたポンプを受け取ることになる。
更に、膜の材料および厚みは、ポンプを使用する前に、ユーザがこれらの膜を取外すのを忘れたとしても、ポンプが始動するとこれらの膜が破れ、ポンプの構成要素やポンプに接続された装置に損傷を与えることなく、各ポートが開放されるようなものが選ばれる。
図1および図2を参照して、本発明による機械オイルポンプ100は外側ケーシングを備え、その内部には、内部に円筒チャンバ7が形成された内側ケーシングが密封状態で配置されている。チャンバ7は、ポンプ100に接続されたモータ110により回転駆動される円筒ロータ9を収容している。ロータ9は、円筒チャンバ7の軸と平行だが、チャンバ軸に対して偏心する軸を有する。一以上の径方向に移動可能な放射羽根11(本実施形態では2枚)が、ロータ9に取付けられ、バネ13によりチャンバ7の壁部に当接されている。
外側ケーシング1には、第2の気密ケーシング2が冷却液兼潤滑油としてのオイルバス19内に浸漬されるように、適量のオイルが充填されている。一定量のオイルがチャンバ7内に浸透して、ロータ9の羽根11とチャンバ7の壁部との間を密封する薄膜を形成するように、ポンプ100は既知の様式で製造されている。
図3に詳細に示すように、膜21, 23は、吸入ポート3と排気ポート17とにそれぞれ、接着剤で取付けることができ、これにより各膜21, 23の各部21a, 23aは、吸入ポート3と排気ポート17との外面3a, 17aに適当な接着剤の層25a, 27aを介してそれぞれ接着され、各ポートが密封される。
上述のどちらの実施形態においても、上記ポートに上記膜を完全に密着させるとともに、ポンプを使用する際には、作業者が簡単且つ完全に上記膜を除去できるような、接着剤が選択される。
この第2実施形態は、以下の重要な利点をもたらす。
第1に、ポンプを始動する前に、位置決めリング31を各膜と一緒に取外すことになるので、取外しができない状態にまで膜21, 23をリング31に固定することができる。その結果、膜21, 23を各位置決めリング31に固定させるのに、従来のどの技術(接着剤による接着、溶接、圧着等)をも使用することができる。
一般に、これらの膜は非常に薄くできているので、少しの圧力差でも破れる。これにより、たとえユーザがポンプ100を始動する前に膜を取外すのを忘れたとしても、ポンプが始動してロータ7が回転駆動されるために各膜にかかる圧力でも、十分に膜を破ることができ、ポンプ100の各ポートは塞がれることがなく、しかも、ポンプに損傷を与えるような破片は生じない。
更に、本発明によるポンプの吸入および/または排気ポートに密封膜を設けることで、任意の期間ポンプを保管して、その後オイル漏れや、オイル漏れにより梱包されたポンプが汚される危険性のない状態で輸送することを可能にする。
Claims (16)
- 機械式オイル回転真空ポンプ(100)であって、
第1ケーシング(1)と、
前記第1ケーシング内に配置されたオイルバス(19)と、
内部にチャンバ(7)を有し、前記第1ケーシング(1)内に配置され、前記オイルバス(19)内に浸漬されている第2ケーシング(2)と、
吸入ダクト(5)を介して前記チャンバ(7)内にガスを導入するための吸入ポート(3)と、
前記チャンバ(7)内に配置され、前記チャンバ(7)内にあるガスを圧縮するように構成されたロータ(9)と、
排気ダクト(15)を介して前記チャンバ(7)から前記ガスを排出するための排気ポート(17)と、
前記ポンプが非動作モードにあるとき、前記吸入ポート(3)および/または前記排気ポート(17)を閉鎖する取外し可能な密封部材(21,23)とを備えており、
前記密封部材(21,23)が膜(21,23)を備えており、
前記膜の材料および厚みは、当該ポンプが始動すると破れるようにされている、真空ポンプ(100)。 - 前記膜は、当該ポンプが始動すると少しの圧力差でも破れるように、非常に薄くできている、請求項1に記載の真空ポンプ(100)。
- 前記膜(21,23)が前記ポート(3,17)に接着されている、請求項1に記載の真空ポンプ(100)。
- 前記膜(21,23)が前記ポート(3,17)の外面(3a,17a)に接着されている、請求項3に記載の真空ポンプ(100)。
- 前記膜(21,23)が前記ポート(3,17)のリム(3b,17b)に接着されている、請求項3に記載の真空ポンプ(100)。
- 前記密封部材が、
フランジ(29)と、
前記フランジと前記吸入ポート(3)および/または排気ポート(17)との間に配置され、膜(21,23)を備えた位置決めリング(31)と、
前記フランジ(29)と前記位置決めリング(31)とを、前記吸入ポート(3)および/または排気ポート(17)に当接した状態に保持する取外し可能なロックナット(35)とを備えている、請求項1に記載の真空ポンプ(100)。 - 前記膜(21,23)が前記位置決めリング(31)に密着される、請求項6に記載の真空ポンプ(100)。
- 前記膜(21,23)が、前記位置決めリング(31)に対して接着、溶接または圧着される、請求項7に記載の真空ポンプ(100)。
- 外側ケーシング(1)および内側ケーシング(2)に、吸入ポート(3)を含む吸入ダクト(5)と排気ポート(17)を含む排気ダクト(15)とを設ける工程と、
前記内側ケーシング内に形成されているチャンバ(7)内にロータ(9)を配置する工程と、
前記外側ケーシング内に開口部(12)を設ける工程と、
前記内側ケーシングを浸漬するために、所要量のオイルを前記開口部(12)から注入することによりオイルバス(19)を形成する工程と、
前記開口部(12)を閉鎖する工程と、
前記吸入ポート(3)および/または排気ポート(17)に密封部材(21,23)を取付ける工程とを含み、
前記密封部材(21,23)が膜(21,23)を備えており、
前記膜の材料および厚みは、当該ポンプが始動すると破れるようにされている機械式オイル回転真空ポンプ(100)の製造方法。 - 前記膜は、当該ポンプが始動すると少しの圧力差でも破れるように、非常に薄くできている、請求項9に記載の方法。
- 前記膜(21,23)を前記ポート(3,17)に接着させる工程を更に含む、請求項9に記載の方法。
- 前記膜(21,23)を、接着、溶接または圧着により前記ポート(3,17)に接着させる工程を更に含む、請求項11に記載の方法。
- 前記膜(21,23)を前記ポート(3,17)の外面(3a,17a)に接着させる工程を更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記膜(21,23)を前記ポート(3,17)のリム(3b,17b)に接着させる工程を更に含む、請求項12に記載の方法。
- 密封部材が、膜(21,23)と、フランジ(29)と、前記フランジと吸入ポート(3)および/または排気ポート(17)との間に配置されている位置決めリング(31)と、前記フランジ(29)と前記リング(31)とを前記ポート(3,17)に当接した状態に保持する取外し可能なロックナット(35)とを備えている、請求項9に記載の方法。
- 前記膜(21,23)を前記位置決めリング(31)に取付ける工程を更に含む、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT000268A ITTO20040268A1 (it) | 2004-04-30 | 2004-04-30 | Pompa da vuoto meccanica rotativa ad olio e metodo di produzione di detta pompa |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005315262A JP2005315262A (ja) | 2005-11-10 |
JP2005315262A5 JP2005315262A5 (ja) | 2008-06-19 |
JP4632847B2 true JP4632847B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=34938829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005128507A Expired - Fee Related JP4632847B2 (ja) | 2004-04-30 | 2005-04-26 | オイル回転真空ポンプおよびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7588426B2 (ja) |
EP (1) | EP1591663B8 (ja) |
JP (1) | JP4632847B2 (ja) |
IT (1) | ITTO20040268A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202006005682U1 (de) * | 2006-04-05 | 2006-06-14 | Lincoln Gmbh & Co. Kg | Schmiermittel- oder Hydraulikpumpe |
DE102006058843A1 (de) | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP2020508A1 (en) | 2007-07-30 | 2009-02-04 | VARIAN S.p.A. | Overpressure safety device for a vacuum pump |
JP5218579B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2013-06-26 | 株式会社豊田自動織機 | 圧縮機の流通路閉塞装置 |
JP5746887B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-07-08 | アルバック機工株式会社 | 油回転真空ポンプ |
US20140363319A1 (en) * | 2013-06-07 | 2014-12-11 | Agilent Technologies, Inc | Rotary vane vacuum pump |
CN105298839A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-02-03 | 芜湖环球汽车配件有限公司 | 一种旋片式真空泵 |
US10941772B2 (en) * | 2016-03-15 | 2021-03-09 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Suction line arrangement for multiple compressor system |
IT201800003152A1 (it) | 2018-02-28 | 2019-08-28 | Agilent Tech Inc A Delaware Corporation | Metodo per il funzionamento di un sistema di pompaggio per vuoto e sistema di pompaggio per vuoto atto all'implementazione di detto metodo |
IT201800003151A1 (it) | 2018-02-28 | 2019-08-28 | Agilent Tech Inc A Delaware Corporation | Sistema di pompaggio per vuoto comprendente una pompa da vuoto ed il suo motore |
US11421681B2 (en) | 2018-04-19 | 2022-08-23 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Multiple-compressor system with suction valve and method of controlling suction valve |
IT201900021330A1 (it) | 2019-11-15 | 2020-02-15 | Agilent Tech Inc A Delaware Corporation | Pompa da vuoto provvista di un serbatoio per l’olio |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5840590U (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-17 | 日立工機株式会社 | 油回転真空ポンプの輸送時における排気口の封止構造 |
JPS60192191A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-09-30 | ルーカス・インダストリーズ・パブリツク・リミテツド・カンパニー | 流体システムにおけるコネクタ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2318346A (en) * | 1941-03-01 | 1943-05-04 | Selas Company | Rotary pump |
US2782725A (en) * | 1954-05-18 | 1957-02-26 | Hojberg Laurencio Brochner | Rotary pump |
US3580315A (en) * | 1965-03-11 | 1971-05-25 | Griffith Laboratories | Comminuting machine |
DE3340198A1 (de) | 1983-11-07 | 1985-05-15 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Oelgedichtete drehschiebervakuumpumpe mit antriebsmotor in einem gehaeuse |
FR2555674B1 (fr) * | 1983-11-30 | 1986-03-28 | Cit Alcatel | Pompe a joint d'huile a palettes |
DE3542420A1 (de) | 1985-11-30 | 1987-06-04 | Danfoss As | Anschlussvorrichtung fuer die verdichterkapsel einer kaeltemaschine |
JPS62291488A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-18 | Toshiba Corp | 油回転真空ポンプ |
JPH0712702Y2 (ja) * | 1988-04-04 | 1995-03-29 | 株式会社ユニシアジェックス | 圧縮機 |
JPH07139486A (ja) | 1993-11-12 | 1995-05-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 冷媒圧縮機の封止栓装置 |
DE19526303A1 (de) * | 1995-07-19 | 1997-01-23 | Leybold Ag | Ölgedichtete Drehschiebervakuumpumpe mit einer Ölversorgung |
US5988223A (en) * | 1996-11-28 | 1999-11-23 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Sealing plug device for a refrigerant compressor |
JP2002161993A (ja) | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Kitz Corp | 管端部用保護具 |
-
2004
- 2004-04-30 IT IT000268A patent/ITTO20040268A1/it unknown
-
2005
- 2005-02-28 EP EP05101487A patent/EP1591663B8/en not_active Revoked
- 2005-04-26 JP JP2005128507A patent/JP4632847B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-29 US US11/118,863 patent/US7588426B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-07 US US12/537,901 patent/US8118576B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5840590U (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-17 | 日立工機株式会社 | 油回転真空ポンプの輸送時における排気口の封止構造 |
JPS60192191A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-09-30 | ルーカス・インダストリーズ・パブリツク・リミテツド・カンパニー | 流体システムにおけるコネクタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7588426B2 (en) | 2009-09-15 |
ITTO20040268A1 (it) | 2004-07-30 |
EP1591663B8 (en) | 2011-09-21 |
US8118576B2 (en) | 2012-02-21 |
JP2005315262A (ja) | 2005-11-10 |
US20050244286A1 (en) | 2005-11-03 |
EP1591663B1 (en) | 2011-06-15 |
EP1591663A1 (en) | 2005-11-02 |
US20090297383A1 (en) | 2009-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4632847B2 (ja) | オイル回転真空ポンプおよびその製造方法 | |
JP2005315262A5 (ja) | ||
JPS62243982A (ja) | 2段型真空ポンプ装置およびその運転方法 | |
JP6359096B2 (ja) | 密閉型圧縮機の製造方法 | |
US20220235772A1 (en) | Vacuum pumping system having an oil-lubricated vacuum pump | |
JP2022007639A (ja) | 樹脂モールドロータ、キャンドモータ、キャンドモータポンプ、ファンスクラバー、真空ポンプ装置 | |
JP3628753B2 (ja) | 軸受装置の流体潤滑剤注入方法 | |
JP3739628B2 (ja) | 半導体製造ラインに使用可能なスクロール流体機械 | |
JP2000507322A (ja) | 再生ポンプ形圧縮機 | |
FR2792687A1 (fr) | Procede et dispositif d'isolation etanche d'un espace interne d'une machine tournante et utilisation pour effectuer un essai de validation des performances de la machine tournante | |
JPH0942168A (ja) | ベーンポンプ駆動軸のオイルシール構造 | |
JPH0716063Y2 (ja) | 油回転真空ポンプ | |
JP6841010B2 (ja) | ロータリ圧縮機 | |
BE1014923A3 (fr) | Stator de moteur a lames mobiles. | |
JP3926696B2 (ja) | 気体圧縮機とその気密試験方法 | |
JP2004324427A (ja) | シール及びシール装置 | |
JP2006152925A (ja) | 油圧装置の洩れ検査方法及び装置 | |
JPH04262172A (ja) | 高耐圧磁性流体シール装置用シールユニットの製造方法 | |
JP2004108169A (ja) | 横軸ポンプのシール装置 | |
JP2003013893A (ja) | ケーシングカバー及びポンプ装置 | |
KR101563725B1 (ko) | 스크롤 압축기 | |
JP2005061304A (ja) | スクロール式流体機械 | |
JP5292901B2 (ja) | 中空糸膜モジュールの製造方法 | |
JP2004077263A (ja) | 圧力変化に伴って形状変形を生じる試験体のリークテスト方法 | |
TW201833443A (zh) | 潤滑劑密封式真空幫浦 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080423 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101021 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101021 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |