JP4628230B2 - 荷電粒子線偏向装置 - Google Patents
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Description
それぞれの偏向コイルをパスさせめためのスイッチと、パスされた偏向コイルのインピーダンスを等しくした疑似負荷と、偏向方向を微調整することが可能な調整コイルを設け、これら偏向コイルから出射したビームが直進する方向にビーム検出器を設け、このビーム検出器の検出出力が最大値となるように、前記調整コイルを調整することを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、前記偏向コイルを、先ず最初の第1の偏向コイルの通過ビームが最大値をとるように前記調整コイルを調整し、次に第1の偏向コイルの出力が入射された第2の偏向コイルの出力が最大となるように調整コイルを調整する動作を偏向コイルの数だけ実行することを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記ビーム検出器は3分割されており、これら3分割検出素子の出力からビーム位置を検出することを特徴とする。
(4)請求項4記載の発明は、前記調整コイルの調整用電源に交流信号を印加するようにしたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、個々の偏向コイルを個別に調整することが可能となる。
(3)請求項3記載の発明によれば、ビーム検出器の出力により、ビームがどちら方向にずれているかを判断することができるので、ビーム調整を速やかに行なうことが可能となる。
(4)請求項4記載の発明によれば、荷電粒子軌道の位置検出を広範囲で行なうことができる。
先ず、偏向コイルAの軌道修正動作について、説明する。この時、残りの偏向コイルB〜Dのコイル接続関係は、図3に示すようなものとなる。図3の太い実線が接続状態を示している。即ち、偏向コイルAのみが接続され、その他の偏向コイルは疑似負荷に接続されている。具体的には、スイッチ4aの共通接点cが接点aに接続され、残りの偏向コイルB〜Dの、スイッチは共通接点cが疑似負荷側を選択するように制御される。
3a〜3d 調整コイル
4a〜4c スイッチ
5a〜5c 疑似負荷
Claims (4)
- 複数の偏向コイルを組み合わせて荷電粒子の軌道を曲げることが可能となるように構成された荷電粒子線偏向装置において、
それぞれの偏向コイルをパスさせめためのスイッチと、パスされた偏向コイルのインピーダンスを等しくした疑似負荷と、偏向方向を微調整することが可能な調整コイルを設け、
これら偏向コイルから出射したビームが直進する方向にビーム検出器を設け、このビーム検出器の検出出力が最大値となるように、前記調整コイルを調整することを特徴とする荷電粒子線偏向装置。 - 前記偏向コイルを、先ず最初の第1の偏向コイルの通過ビームが最大値をとるように前記調整コイルを調整し、次に第1の偏向コイルの出力が入射された第2の偏向コイルの出力が最大となるように調整コイルを調整する動作を偏向コイルの数だけ実行することを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線偏向装置。
- 前記ビーム検出器は、3分割されており、これら3分割検出器の出力から、ビーム位置を検出することを特徴とする請求項1又は2記載の荷電粒子線偏向装置。
- 前記調整コイルの調整用電源に交流信号を印加するようにしたことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の荷電粒子線偏向装置。
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