JP2012044051A - Dacアンプ診断装置、荷電粒子ビーム描画装置及びdacアンプ診断方法 - Google Patents
Dacアンプ診断装置、荷電粒子ビーム描画装置及びdacアンプ診断方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】対向配置された電極14a,14b間に荷電粒子ビームを通過させ、電極14a,14bの電圧差で荷電粒子ビームの偏向を行う。DACアンプ20,21が正常かの診断時に、DACアンプ20に入力されるデジタル電圧情報と、DACアンプ21の出力電圧とを一致を図る。電極14a,14bに同じ電圧を印加指示をした場合の荷電粒子ビーム照射位置の移動を検出することでDACアンプ20,21の診断を行う。
【選択図】図1
Description
荷電粒子ビームをビーム位置検出手段に照射する工程と、
1対のDACアンプへのデジタル電圧情報を一致させる工程と、
荷電粒子ビーム照射位置の変動を検出する工程と、
を備えたことを特徴とする。
11,74 電子銃
14 偏向器
14a,14b 電極
15 ステージ
16 電子検出器
17 診断用アパーチャ
18 制御部
19,92 メモリ
20,21 DACアンプ
SW1,SW スイッチ
INV インバータ
31 マーク31
311 反射率の高い部分
312 反射率の低い部分
33 フォトダイオード
62 半導体位置検出器
1000 描画形成部
71 電子鏡筒
72 描画室
73 XYステージ
76 ブランキング偏向器
80 成形偏向器
83 対物偏向器
85 試料
2000 制御部
91 制御コンピュータ
93 描画データ生成回路
94 BLK偏向制御回路
95 BLKアンプ
1011,1012,1061,1062 DACアンプ
99 成形偏向制御回路
104 位置偏向制御回路
110 駆動回路
Claims (5)
- 対向配置された少なくとも1対の電極間を通過させる荷電粒子ビームと、
第1のデジタル電圧情報に基づきアナログ電圧を出力し、一方の前記電極に供給する第1のDACアンプと、
第2のデジタル電圧情報に基づき、他方の前記電極に供給する第2のDACアンプと、
前記荷電粒子ビームの照射位置を測定するための位置検出手段と、を具備し、
前記第1および第2のDACアンプの状態診断時は、前記第1および第2のDACアンプのデジタル電圧情報を一致させたことを特徴するDACアンプ診断装置。 - 前記位置検出手段は、前記荷電粒子ビームを前記位置検出手段に直接あるいは間接的に照射し、記憶された位置情報との比較に基づいて検出を行うことを特徴とする請求項1記載のDACアンプ診断装置。
- 前記第1および第2のDACアンプの状態診断時のビーム照射位置に変動がない場合に、第1および第2のDACアンプが正常であると診断することを特徴とする請求項1または2記載のDACアンプ診断装置。
- デジタル信号を入力してアナログ値に変換し、前記アナログ値を増幅して出力する複数のDACアンプと、
前記複数のDACアンプにより出力された複数のアナログ値のうちの少なくとも1つのアナログ値を入力して荷電粒子ビームを偏向させる偏向器と、
前記複数のDACアンプが正常かを診断する前記請求項1記載のDACアンプ診断装置と、を具備したことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 荷電粒子ビームを偏向させる偏向器にアナログ信号を出力する複数のDACアンプのうち少なくとも1対のDACアンプの診断をする方法であって、
荷電粒子ビームをビーム位置検出手段に照射する工程と、
1対のDACアンプへのデジタル電圧情報を一致させる工程と、
荷電粒子ビーム照射位置の変動を検出する工程と、
を備えたことを特徴とするDACアンプ診断方法。
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