JP4624708B2 - 多方向観察装置 - Google Patents
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Description
「マイクロスコープ/デジタル顕微鏡:オムロン制御機器」、[online]、[平成16年4月6日検索]、インターネット<URL: http://www.fa.omron.co.jp/sensing/selection/eizou/vc-hr/tokucho.html>
本発明は、同一観察対象物の正面と複数の側面を同時に観察する多方向観察装置であって、前記正面を観察する一の光路上の焦点位置の像と、前記複数の側面を観察する複数の他の光路上の焦点位置の像とを同一の撮像手段に結像させる結像光学系と、前記複数の他の光路上にそれぞれ配置され、前記観察対象物から前記撮像手段までの、前記一の光路と前記複数の他の光路との空気換算長を一致させる焦点位置補正部材とを備え、前記焦点位置補正部材が、該焦点位置補正部材を通る全光路の空気換算長が等しくなるように、前記焦点位置補正部材と前記観察対象物との距離に応じた長さを有する多方向観察装置を提供する。
本実施形態に係る多方向観察装置1は、図1に示されるように、観察対象物であるICチップSの裏面に設けられた端子S1の長さ寸法を計測する装置であって、光源2と、該光源2からの光を偏向するハーフミラー3と、ハーフミラー3により偏向された光をICチップSの裏面に結像させる第1の結像光学系4と、ICチップSの裏面において反射され、第1の結像光学系4およびハーフミラー3を透過した光を撮像するCCD(荷電結合素子:Charge Coupled Device)のような撮像素子(撮像手段)5と、該撮像素子5とハーフミラー3との間に配置され、ハーフミラー3を透過した光を撮像素子5の撮像面に結像させる第2の結像光学系6と、ICチップSの裏面に対し間隔を空けて配置される焦点位置補正部材7とを備えている。図中符号8は、撮像された画像を表示するモニタ、符号9は、ICチップSを搭載するステージである。
すなわち、図2(b)に示されるように、ICチップSを直接鉛直上方から見る第1の光路L1と、プリズム7を介して斜め上方4方向からICチップSを見る第2〜第5の光路L2〜L5とが形成されている。図2(b)には、説明の簡単のために光路L1,L2,L4を示し、光路L3,L5は省略している。第1の光路L1と第2〜第5の光路L2〜L5とは、異なる光路長を有している。
本実施形態に係る多方向観察装置1を用いて、ICチップSの裏面および該裏面に立設されている端子S1の長さを観察するには、まず、裏面を上に向けたICチップSを水平なステージ9上に配置し、その上方から本実施形態の多方向観察装置1を近接させる。
ICチップSの裏面を真上から観察する第1の光路L1と、ICチップSの足を斜め上から観察する第2〜第5の光路L2〜L5とが、その空気換算光路長を一致させられているので、第1〜第5の光路L1〜L5上の全てのピントが同時に合う位置に、多方向観察装置1を配置することができる。
また、4個のプリズム7は、同一形状のものを使用した場合について説明したが、これに代えて、同一観察対象物Sの異なる位置の観察対象部位f1,f2を観察する場合には、図4に示されるように、異なる形状のプリズム7′,7″を採用してもよい。
また、図5に示されるように、観察対象物Sが正方形ではない異形の場合、例えば、長方形の場合には、それに合わせて4個のプリズム7の長さを異ならせることにしてもよい。
本実施形態の説明においては、上述した第1の実施形態に係る多方向観察装置1と構成を共通とする箇所に同一符号を付して説明を簡略化する。
以下、制御装置14の動作手順の一例について、図8を参照して説明する。
図8は撮像素子5の撮像面に撮像される画像を示している。撮像面は、画像処理の便宜上図8中に鎖線で示されるように、中央の領域P、周囲の領域Q1〜Q4に分割されているものとする。
撮像素子5において画像が撮像されると、制御装置14は、まず、図8(a)に示される撮像素子5の撮像面の中央近傍の領域Pの画像G1を処理してそのコントラスト比を計算する。そして、領域Pのコントラスト比の計算を光学系移動機構12を逐次作動させながら繰り返し、コントラスト比が最も大きくなる位置に光学系移動機構12を停止する。
一方、ICチップSの中心位置O1と撮像素子5の中心位置O2とは相変わらずずれているので、周囲の領域Q1〜Q4の画像はピントが合っていない。
また、まず、第1の光路L1上の焦点位置の像を撮像素子5に結像させ、得られた画像に基づいて第2から第5の光路L2〜L5上の焦点位置の像を撮像素子5に結像させるので、光路長の異なる複数方向から同一の観察対象物Sを見た鮮明な画像を自動的に取得することができる。
また、ICチップSの外縁を検出して、撮像素子5の中心位置O2とICチップSの中心位置O1とのずれ方向を検出したが、これに代えて、ICチップSの裏面に付された記号や模様を検出し、これに基づいてズレ量を補正することにしてもよい。
また、第1の結像光学系4を光軸方向に移動させる場合について説明したが、これに代えて、観察対象物Sを載せたステージ9または撮像素子5を上下方向に変位させることにしてもよい。
本実施形態の説明においては、上述した第2の実施形態に係る多方向観察装置11と構成を共通とする箇所に同一符号を付して説明を簡略化する。
まず、図10(a)に示されるように、ICチップSの中心位置O1と撮像素子5の中心位置O2とがずれており、かつ、第1の結像光学系4の結像位置もICチップSの裏面から離れた位置にある状態から、全ての光路L1〜L5上の焦点位置をICチップSの裏面に一致させる場合について説明する。
撮像素子5において画像が撮像されると、制御装置14は、まず、図10(a)に示される撮像素子5の撮像面の中央近傍の領域Pの画像G1を処理してそのコントラスト比を計算する。そして、領域Pの画像G1のコントラスト比の計算を光学系移動機構12を逐次作動させながら繰り返し、コントラスト比が最も大きくなる位置に光学系移動機構12を停止する。
図10(c)に示す例では、撮像素子5の中心位置O2はICチップSの中心位置に対して左下方向にずれているので、まずステージ9をX方向に矢印で示されるように移動させ、撮像素子5の中心位置O2のX座標とICチップSの中心位置O1のX座標とを一致させる。これにより、領域Q1,Q3の画像、すなわち、第2、第4の光路L2,L4上の焦点位置がICチップSに一致させられ、ICチップSの裏面に設けられた足S1を斜め上方から見た鮮明な画像を得ることができる。
また、ピント合わせをコントラスト比により行う例を挙げて説明したが、これに代えて、照準光を投影してその反射光の位置ずれから合焦を検出する方法等、他の光学的な合焦点方法を用いてもよい。
L1 第1の光路(一の光路)
L2〜L5 第2〜第5の光路(他の光路)
1,11,20 多方向観察装置
4 第1の結像光学系(結像光学系)
5 撮像手段
6 第2の結像光学系(結像光学系)
7 プリズム(焦点位置補正部材,偏向部材)
10 プリズム(焦点位置補正部材)
12 光学系移動機構(第1の焦点位置調節手段)
13 対象物移動機構(第2の焦点位置調節手段)
Claims (1)
- 同一観察対象物の正面と複数の側面を同時に観察する多方向観察装置であって、
前記正面を観察する一の光路上の焦点位置の像と、前記複数の側面を観察する複数の他の光路上の焦点位置の像とを同一の撮像手段に結像させる結像光学系と、
前記複数の他の光路上にそれぞれ配置され、前記観察対象物から前記撮像手段までの、前記一の光路と前記複数の他の光路との空気換算長を一致させる焦点位置補正部材とを備え、
前記焦点位置補正部材が、該焦点位置補正部材を通る全光路の空気換算長が等しくなるように、前記焦点位置補正部材と前記観察対象物との距離に応じた長さを有する多方向観察装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004117762A JP4624708B2 (ja) | 2004-04-13 | 2004-04-13 | 多方向観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004117762A JP4624708B2 (ja) | 2004-04-13 | 2004-04-13 | 多方向観察装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005300961A JP2005300961A (ja) | 2005-10-27 |
JP4624708B2 true JP4624708B2 (ja) | 2011-02-02 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4624708B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4846521B2 (ja) * | 2006-10-23 | 2011-12-28 | 株式会社住田光学ガラス | 形態異常検出装置 |
US20110013008A1 (en) | 2006-11-16 | 2011-01-20 | Shinji Nagamachi | Device for acquiring image of living body |
JP5359276B2 (ja) | 2006-12-21 | 2013-12-04 | 日立化成株式会社 | 調光フィルム及び調光ガラス |
JP4897076B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-14 | 日本発條株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
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JP2002323456A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Nidec Tosok Corp | 外観検査装置 |
-
2004
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005300961A (ja) | 2005-10-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
A02 | Decision of refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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