JP4621705B2 - 調整システムおよび少なくとも1つのオブジェクトを備えるアセンブリ、調整システムならびにリソグラフィ装置および方法 - Google Patents
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- 調整システムおよびオブジェクトを備えるアセンブリであって、
前記調整システムが、調整流体を被調整領域に供給する流体排出路を備え、
前記オブジェクトの少なくとも一部が前記被調整領域の中および/または前記被調整領域の外へ移動可能であり、前記調整システムが前記オブジェクトの位置に応じて前記流体排出路から前記調整流体の流出を調整するよう構成され、
前記オブジェクトは、該オブジェクトと前記調整システムとがスリットを規定する位置に移動可能であり、
前記スリットは、該スリットに隣接する前記流体排出路からの流体の流出に対する流動抵抗をもたらすよう構成されており、
前記調整システムが、前記スリットによりもたらされる前記流動抵抗の影響を受けて前記スリットに隣接する前記流体排出路からの流出を実質的に減少させるよう構成されている、アセンブリ。 - 調整システムおよびオブジェクトを備えるアセンブリであって、
前記調整システムが、調整流体を被調整領域に供給する流体排出路を備え、
前記オブジェクトの少なくとも一部が前記被調整領域の中および/または前記被調整領域の外へ移動可能であり、前記調整システムが前記オブジェクトの位置に応じて前記流体排出路から前記調整流体の流出を調整するよう構成され、
前記オブジェクトが非接触シャッタとなるように構成され、少なくとも複数の前記流体排出路の排出側に対向する位置に移動可能であり、これにより前記排出側と機械的に接触することなくこれらの流体排出路の流体の流れを制限するシャッタ側面を備える、アセンブリ。 - 調整システムおよびオブジェクトを備えるアセンブリであって、
前記調整システムが、調整流体を被調整領域に供給する流体排出路を備え、
前記オブジェクトの少なくとも一部が前記被調整領域の中および/または前記被調整領域の外へ移動可能であり、前記調整システムが前記オブジェクトの位置に応じて前記流体排出路から前記調整流体の流出を調整するよう構成され、
前記オブジェクトと前記流体排出路の排出側との最短距離が5mm未満である、アセンブリ。 - 前記オブジェクトおよび前記調整システムが、互いに協働して一定数の前記流体排出路からの前記調整流体の流出を調整するよう構成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記調整システムは、使用時に、前記各流体排出路の上流の注入口の圧力が、前記各流体排出路の下流の排出側の圧力よりも最大で約50Pa上回るように構成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記調整システムは、使用時に、前記各流体排出路の上流の注入口の圧力が、前記各流体排出路の下流の排出側の圧力よりも最大で約10Pa上回るように構成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記調整システムは、前記各流体排出路中を流れる流体のレイノルズ数が約150未満となるように構成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記調整システムは、前記各流体排出路中を流れる流体のレイノルズ数が約20未満となるように構成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記各流体排出路の長さが少なくとも前記各流体排出路の直径の10倍から30倍である、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記流体排出路が蜂の巣状の断面を有する、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記調整システムが、第1の流体分配チャンバと、第2の流体分配チャンバと、前記第1のチャンバから前記第2のチャンバへ流体を均一に分配するよう構成されている流量レギュレータと、を備え、前記流体排出路が前記第2のチャンバの下流部分を構成する、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 前記調整システムが、前記第2のチャンバに対して比較的高い超過圧力に前記第1のチャンバを維持するよう構成されている、請求項11に記載のアセンブリ。
- 前記流体流量レギュレータが、前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとの間に延在する、多数の流体路、クロス層またはその両方によって設けられる、請求項11に記載のアセンブリ。
- 前記オブジェクトが基板を保持または支持するよう構成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のアセンブリ。
- 調整システムおよびオブジェクトを備えるアセンブリであって、
前記調整システムが、調整流体を被調整領域に供給する流体排出路を備え、
前記オブジェクトの少なくとも一部が前記被調整領域の中および/または前記被調整領域の外へ移動可能であり、前記調整システムが前記オブジェクトの位置に応じて前記流体排出路から前記調整流体の流出を調整するよう構成され、
前記調整システムが、第1の流体分配チャンバと、第2の流体分配チャンバと、前記第1のチャンバから前記第2のチャンバへ流体を均一に分配するよう構成されている流量レギュレータと、を備え、前記流体排出路が前記第2のチャンバの下流部分を構成し、
前記調整システムが、前記第2のチャンバに対して比較的高い超過圧力に前記第1のチャンバを維持するよう構成され、
前記各流体排出路の長さは、前記被調整領域の一時的な圧力パルスが、未調整の流体を前記各流体排出路を介して前記第2のチャンバに導くことを実質的に生じさせないように選択される、アセンブリ。
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