JP4617504B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る洗浄装置の一例を図1に示す。図2は、図1に示す洗浄装置の上面図である。
この洗浄装置は、洗浄室1と、洗浄室1の下方に別体として設置された洗浄液再生装置2から本体部分が構成されている。
洗浄液再生装置2内に注入された洗浄液をポンプ20により洗浄液噴射ノズルヘッダー8の噴射ノズル7から吐出させる。洗浄液は、噴射量30〜60L/min、噴射圧力0.1〜0.5MPaであることが好ましい。洗浄液の噴射圧力によってラックを10〜50rpmで回転させて、ラック4内に保持された被洗浄物3全体に均一に洗浄液を吐出して洗浄する。このとき、洗浄室1底部の切り替え弁15を切り替えて洗浄液排液口13側を開き、有機被膜成分を含む使用済みの洗浄液を洗浄液再生装置2に送る。洗浄液再生装置2に送られた該洗浄液は、オゾンによる有機被膜成分の分解処理を経て、ポンプ20により洗浄液噴射ノズルヘッダー8に供給されて、再び噴射される。
洗浄液による洗浄が終了後、洗浄室1内面や被洗浄物3に付着した洗浄液を除去し洗浄液の持ち出し量を減らすために、洗浄室1内面や被洗浄物3に空気流を吹き付け洗浄液の液切りを行う。洗浄室1内の上部には、配管を介して送風機12と連通した送風ノズル10が設置されている。被洗浄物3に付着した洗浄液の液切りを行うことによって、洗浄液の持ち出し量を低減し、循環洗浄による洗浄液の減少を抑えることができる。
洗浄液の液切りが完了した後、純水によるすすぎを5〜20分間行う。すすぎ液供給装置から供給された純水をポンプ27によりすすぎ液噴射ノズルヘッダー9の噴射ノズル7から吐出させる。すすぎ液は、噴射量5〜20L/min、噴射圧力0.1〜0.5MPaであることが好ましい。すすぎ液の噴射圧力によってラックを10〜50rpmで回転させ、ラック4内に保持され洗浄液の付着した被洗浄物3全体に均一にすすぎ液を噴射してすすぎを行う。このとき、洗浄液再生装置2に廃すすぎ液が混入することを防止するため、切り替え弁15を切り替えて、すすぎ液排出口14側を開き、排すすぎ液をドレーン配管16を介して、洗浄室1外へ排出する。
すすぎ液(純水)によるすすぎが完了後、60℃程度の温風により被洗浄物3の乾燥を20〜40分間行う。ここでは、洗浄液液切り工程で使用した送風ノズル10を兼用する。このとき送風量0.1〜0.8m3/minであることが好ましい。この風量によってラック4を10〜50rpmで回転させ、ラック4内に保持された被洗浄物3全体に均一に温風を吹き付けて乾燥させる。
洗浄液再生装置2内において、オゾン放出器18から放出されたオゾンにより洗浄液中の有機被膜成分(有機物)を分解処理する。オゾン放出器18は有機物を効率よく分解するため、洗浄液再生装置2の底部に配置され、できるだけ広い領域に均等に気泡を放出するものであることが好ましい。このような分解処理は、すすぎ工程及びすすぎ液液切り工程の各工程で行われる。分解処理の済んだ洗浄液は、洗浄工程にて再び洗浄液として再利用される。
本実施例に用いられる洗浄装置は、図1に示す構成である。洗浄室は480mm×410mmの扉を有する600mm×600mm×560Hmmの密閉構造の箱型である。この洗浄室内には、そのコーナーに洗浄液噴射ノズルヘッダー、すすぎ液噴射ノズルヘッダーが1つずつ設置されている。該ノズルヘッダーには、それぞれ噴射ノズルが5つ設置されている。また、洗浄室の中央部には、8インチ用のレジスト塗布用スピンコーターカップを2セット収容できる550mm×550mm×190Hmmのラックが回転可能に設けられている。洗浄室の下方に設置された洗浄液再生装置は、600mm×390mm×280Hmm(内容積:約65L)でSUS−316材の厚み1mmのSUS板を用いて作製されている。
50℃に加温溶解した炭酸エチレン46L(約60kg)を洗浄液再生装置に注入した。これをヒーターにより60℃まで昇温した。約40gのノボラック型レジストが付着した8インチ用のレジスト塗布用スピンコーターカップ1セットをラックに収容し、切り替え弁の洗浄液排液口側を開にし、30秒間ポンプにて噴射ノズルより噴出させ、スピンコーターカップの洗浄を行った。このとき洗浄液の噴射量は40L/min、噴射圧力は0.2MPaであり、この噴射圧力によりラックを30rpmで回転させ、スピンコーターカップ全体に洗浄液がかかるように洗浄を行った。
実施例1で使用した炭酸エチレン溶液を50℃に加温溶解し、46L(約60kg)を洗浄液再生槽に注入した。これをヒーターにより60℃まで昇温した。約40gのノボラック型レジストが付着した8インチ用のレジスト塗布用スピンコーターカップ1セットをラックに収容し、切り替え弁の洗浄液排液口側を開にし、30秒間ポンプにて噴射ノズルより噴出させ、スピンコーターカップの洗浄を行った。このときの洗浄液の噴射量は40L/minで噴射圧力は0.2MPaで噴射し、この噴射圧力によりラックを30rpmで回転させ、スピンコーターカップ全体に液がかかるように洗浄を行った。
ノボラック型レジストを6.4kg溶解し30g/hrで480hrオゾン処理を行った炭酸エチレン溶液60kgを50℃に加温溶解し、洗浄液再生装置に注入した。ヒーターにより60℃まで昇温した。約40gのノボラック型レジストが付着した8インチ用のレジスト塗布用スピンコーターカップ1セットをラックに収容し、切り替え弁を洗浄液排液口側を開にし、90秒間ポンプにて噴射ノズルより噴出、スピンコーターカップの洗浄を行った。このときの洗浄液の噴射量は40L/minで噴射圧力は0.2MPaで噴射し、この噴射圧力によりラックを30rpmで回転させ、スピンコーターカップ全体に液がかかるように洗浄を行った。
炭酸エチレン60kgにγ−ブチロラクトンを26kg添加して混合液を調整し、これを洗浄液として46Lを洗浄液再生装置に注入した。この洗浄液は室温のままで使用した。約40gのノボラック型レジストが付着した8インチ用のレジスト塗布スピンコーターカップ1セットをラックに収容し、切り替え弁の洗浄液排液口側を開にし、30秒間ポンプにて噴射ノズルより噴出させ、スピンコーターカップの洗浄を行った。このときの洗浄液の噴射量は40L/minで噴射圧力は0.2MPaで噴射し、この噴射圧力によりラックを30rpmで回転させ、スピンコーターカップ全体に液がかかるように洗浄を行った。
Claims (7)
- 底部に排液口を有する洗浄室と、
前記洗浄室内に鉛直方向の回転軸により回転可能に支持され、スピンコーターカップを保持する保持かごと、
前記洗浄室内に、前記スピンコーターカップに洗浄液を吹付け、その噴射圧力により前記保持かごが回転可能なように、噴射ノズルが前記保持かごの回転軸に対して外れた方向に向けて配置された洗浄液噴射ノズルヘッダーと、
前記洗浄室内の排液口と開閉弁を介して連通され、洗浄液を再生する洗浄液再生装置と、
前記洗浄液再生装置内で再生された洗浄液を前記洗浄液噴射ノズルヘッダーに圧送する洗浄液還流装置と
を具備することを特徴とする洗浄装置。 - 底部に洗浄液排液口及びすすぎ液排液口を有する洗浄室と、
前記洗浄室内に鉛直方向の回転軸により回転可能に支持されたスピンコーターカップを保持する保持かごと、
前記洗浄室内に、前記スピンコーターカップに洗浄液を吹付け、その噴射圧力により回転可能なように、噴射ノズルが前記保持かごの回転軸に対して外れた方向に向けて配置された洗浄液噴射ノズルヘッダーと、
前記洗浄室内に、前記スピンコーターカップにすすぎ液を吹付け、その噴射圧力により回転可能なように、噴射ノズルが前記保持かごの回転軸に対して外れた方向に向けて配置されたすすぎ液噴射ノズルヘッダーと、
前記洗浄室内の洗浄液排液口及びすすぎ液排液口との分岐部に設置された切り替え弁と、
前記洗浄室内の前記洗浄液排液口と前記切り替え弁を介して連通され、下部にオゾン放出装置を配設した洗浄液再生装置と、
前記洗浄液再生装置内で再生された洗浄液を前記洗浄液噴射ノズルヘッダーに圧送する洗浄液還流装置と、
すすぎ液を前記すすぎ液噴射ノズルヘッダーに供給するすすぎ液供給装置と、
前記洗浄室内の前記すすぎ液排液口と前記切り替え弁を介して連通するドレーン配管と、
前記洗浄室内に、前記スピンコーターカップに空気を吹付け、その風圧により回転可能なように、前記保持かごの回転軸に対して外れた方向に向けて配置された送風ノズルと
を具備することを特徴とする洗浄装置。 - 前記洗浄液還流装置は、前記洗浄液再生装置内の洗浄液とは別の新規な洗浄液を補給可能とする洗浄液補給槽を介して、前記洗浄液噴射ノズルヘッダーに洗浄液を圧送することを特徴とする請求項1又は2に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液の温度を所定温度に保持する温度調節装置を、さらに具備することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液再生装置は、その上部にオゾン排気口を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液は、炭酸エチレンを主体とする炭酸アルキレンからなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液は、炭酸エチレンにγ‐ブチロラクトンを添加してなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の洗浄装置。
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