JP4613024B2

JP4613024B2 - 露光装置

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Publication number: JP4613024B2
Application number: JP2004072434A
Authority: JP
Inventors: 弘典小林; 雄介鵜野
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2004-03-15
Filing date: 2004-03-15
Publication date: 2011-01-12
Anticipated expiration: 2024-03-15
Also published as: JP2005258270A

Description

本発明は、カラーフィルタの製造等に好適に用いられる露光装置に関するものである。

近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。

そこで、基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料とを含有する特性変化パターン形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、パターン状に露光することにより、特性が変化したパターンを形成し、着色層を形成するカラーフィルタの製造方法等が本発明者等において検討されてきた（特許文献１）。この方法によれば、上記光触媒含有層の特性を利用して、容易に着色層を形成することを可能とすることができる。

ここで、上記光触媒含有層を用いたカラーフィルタの製造方法等における、光触媒を励起させるための露光には、例えば水銀ランプやメタルハライドランプ等が、製造効率や露光強度等の面から用いられている。しかしながら近年、カラーフィルタの大面積化が求められており、より効率よく広い面積を露光する方法や、その露光に用いられる製造装置等が求められていた。

特開２００１−０７４９２８号公報

そこで、エネルギー照射に伴う光触媒の作用を利用したカラーフィルタの製造等に用いることが可能であり、効率よく大面積で露光可能な露光装置の提供が望まれている。

本発明は、パターニング用基板を支持するパターニング用基板支持部と、２５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲内の波長の光を放出する蛍光ランプを少なくとも２以上有するエネルギー照射部と、上記エネルギー照射部を支持する外枠部とを含む露光ユニットを有し、
上記パターニング用基板支持部が、上記パターニング用基板の一部を支持するものであり、
上記外枠部の蛍光ランプに対してパターニング用基板支持部が設けられる側の内壁が照射されるエネルギーを吸収するものであることを特徴とする露光装置を提供する。

上記範囲内の波長の光は、例えば上記範囲より波長の短い、高いエネルギーを有する光より光触媒を励起させる量子効率が良好である。したがって、本発明の露光装置を用いて、光触媒を有するパターニング用基板の露光を行った場合等に、光触媒を効率よく励起させることができ、光触媒の作用により効率よくパターニング用基板のパターニングを行うことができる。また、上記波長のエネルギーを用いることから、特別な装置等が必要なく、コストの面からも好ましいものとすることができる。

上記発明においては、上記パターニング用基板が少なくとも光触媒を含有する光触媒含有層を有することが好ましい。これにより、パターニング用基板中に含有される光触媒の作用を利用して、上記露光装置によってパターニング用基板をパターニングすることができるからである。

上記発明においては、上記露光ユニットを少なくとも２段以上有し、上記外枠部が、隣接する上記露光ユニット間で、上記露光ユニットから照射される光を遮蔽するものであるものとすることができる。この場合、複数のパターニング用基板を同時にパターニングすることができる。

また、上記波長の範囲内のエネルギーは、人体に悪影響を及ぼさないものであることから、エネルギーを遮蔽する設備等も必要とされない。

ここで、上記発明においては、上記蛍光ランプが冷陰極型蛍光ランプであり、かつブラックライト、健康ランプ、殺菌灯のいずれかのランプであることが好ましい。冷陰極型蛍光ランプは、一般的に長寿命であり、低コストでパターニング用基板のパターニングを行うことができるからである。また、上記の各ランプは入手が容易であり、特別な装置を必要としないからである。

また、本発明においては、上記露光ユニットが２段〜２０段の範囲内積み重ねられているものとすることができる。これにより、パターニング用基板を効率よくパターニングすることができるからである。

本発明の露光装置を用いて、光触媒を有するパターニング用基板の露光を行った場合、光触媒を効率よく励起させることができ、この光触媒の作用により効率よくパターニング用基板のパターニングを行うことができる。また、特別な装置等が必要なく、コストの面からも好ましいものとすることができる。

本発明は、エネルギー照射に伴う光触媒の作用を利用して、カラーフィルタを製造する際等に、好適に用いられる露光装置に関するものである。以下、本発明の露光装置について詳しく説明する。

本発明の露光装置は、パターニング用基板を支持するパターニング用基板支持部と、所定の範囲内の波長の光を放出する蛍光ランプを少なくとも２以上有するエネルギー照射部と、上記エネルギー照射部を支持する外枠部とを含む露光ユニットを有することを特徴とするものである。

本発明のカラーフィルタは、例えば図１（ａ）の断面図および図１（ｂ）の斜視図に示すように、露光するパターニング用基板を支持するパターニング用基板支持部１と、所定の範囲内の波長の光を放出する蛍光ランプを複数有するエネルギー照射部２と、エネルギー照射部２を支持する外枠部３とを含む露光ユニット４を有するものであり、一つの露光ユニットからなるものであってもよく、また露光ユニットを２段以上積み重ねたものとすることもできる。

本発明の露光装置は、従来よりエネルギー照射に伴う光触媒の作用を利用したパターニングの際に用いられていたメタルハライドランプや、超高圧水銀ランプ等と比較して比較的波長の長い、低エネルギーの蛍光ランプを用いるものである。ここで、波長の長い低エネルギーの蛍光ランプを用いて光触媒を励起させる場合、比較的波長の短い高エネルギーのランプを用いた場合と比較して、格段に少ない積算光量で行うことができる。したがって、本発明の露光装置を用いた場合、少ないエネルギー量で効率よくパターニング用基板のパターニングを行うことができる、という利点を有する。

また本発明においては、比較的波長の長い蛍光ランプを用いることから、特別な装置等が必要なく、コスト等の面からも好ましいものとすることができる。また、大規模な装置が必要なく、上記各露光ユニットの大きさを小さいものとすることができるため、例えば露光装置を上記露光ユニットを複数段積み重ねたものとすることができ、複数のパターニング用基板を同時にパターニングすることができる、という利点も有する。またさらに、上記蛍光ランプの個数や幅等を調整することにより、容易に露光面積を調整することもできる。

また、本発明に用いられる蛍光ランプから放射される波長の光は、人体に悪影響を及ぼさないものであるため、エネルギーを遮蔽するための設備等も必要がない、という利点も有する。
以下、本発明の露光装置について各構成ごとに詳しく説明する。

１．エネルギー照射部
まず、本発明の露光装置におけるエネルギー照射部について説明する。本発明の露光装置におけるエネルギー照射部は、所定の範囲内の波長を有する蛍光ランプを少なくとも２以上有するものであり、このエネルギー照射部から照射される光によって、パターニング用基板支持部に支持されたパターニング用基板がパターニングされることとなる。

上記蛍光ランプの波長として具体的には、２５０ｎｍ〜４５０ｎｍ、中でも２８０ｎｍ〜４３０ｎｍ、特に３００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲内であることが好ましい。上記波長の光は、従来よりエネルギー照射に伴う光触媒の作用を利用したパターニングの際に用いられていたメタルハライドランプ等の波長と比較すると、比較的長波長で低エネルギーであるといえる。しかしながら、上記波長の光を用いることにより、光触媒を励起させる効率が高まり、全体の照射量に対して励起される光触媒の量が、上記範囲より短波長の光を照射した場合比較して格段に向上するからである。また、上記波長の光であれば、人体に悪影響を及ぼさないものとすることができる。

ここで、上記波長の光を照射する蛍光ランプとしては、冷陰極型蛍光ランプであることが好ましい。冷陰極型蛍光ランプは、一般的に熱陰極型蛍光ランプと比較して、寿命が長いため、より低コストで露光装置を稼働させることが可能となるからである。

また上記波長の光を照射するランプとしては、一般的にブラックライト、殺菌灯、健康ランプと称される光を用いることができる。ブラックライトとは、通常３００ｎｍ〜４３０ｎｍ程度の光を照射することが可能なランプをいう。また、健康ランプとは、通常２８０ｎｍ〜３２０ｎｍ程度の光を照射することが可能なランプをいう。またさらに、殺菌灯とは、通常２５０ｎｍ〜２８０ｎｍ程度の光を照射することが可能なランプをいう。これらのランプを用いることにより、特別な装置が必要なく、露光装置の大きさを小さいものとすることができ、またコスト面からも好ましい露光装置とすることができるからである。

ここで、本発明においては上記蛍光ランプの形状は特に限定されるものではなく、例えば球状型のものも用いることができるが、特に直管型の蛍光ランプが用いられることが好ましい。これにより、幅方向で均一に光を照射することができ、パターニングを均一に行うことができるからである。また、上記のような蛍光ランプであれば、その長さを調整することも容易であるため、種々の幅を有するパターニング用基板に対応して露光装置を設計することが可能となる、という利点を有するからである。

ここで、本発明におけるエネルギー照射部においては、上述した蛍光ランプを少なくとも２以上有するものであれば、蛍光ランプの個数等は特に限定されるものでなく、露光するパターニング用基板の面積等に応じて適宜選択されることとなる。
エネルギー照射に伴う光触媒の作用により、有機物を分解または変性させることにより、パターニング用基板のパターニングを行う場合には、通常、０．１ｍＷ／ｃｍ ^２〜１０ｍＷ／ｃｍ ^２程度の照度となるように、上記蛍光ランプが配置される。ここでいう照度とは、分光放射照度計（スペクトロラジオメーターＵＳＲ−４０：ウシオ電機株式会社製）により測定した２００ｎｍ〜８００ｎｍの照度を積算した値のことを示す。

２．パターニング用基板支持部
次に、本発明の露光装置におけるパターニング用基板支持部について説明する。本発明の露光装置におけるパターニング用基板支持部は、後述するようなパターニング用基板を、露光ユニット中で安定して支持することが可能なものであれば特に限定されるものではない。その基板支持部の形状等は、本発明の露光装置により露光されるパターニング用基板の形状や用途等に合わせて適宜選択されることとなり、例えばパターニング用基板の全面を支えるような構造であってもよく、またパターニング用基板の一部を支持するような構造であってもよい。

このようなパターニング用基板支持部は、パターニング用基板を支持することが可能な強度を有するものであれば、その材料等は特に限定されるものではなく、例えば金属やセラミック等の無機材料や、プラスチック等の有機材料も用いることができる。

３．外枠部
次に、本発明の露光装置における外枠部について説明する。本発明の露光装置における外枠部は、上述したエネルギー照射部を支持するものであり、上記エネルギー照射部を、所定の位置に固定することが可能なものであれば特に限定されるものではない。本発明の露光装置においては、上記外枠部と上記パターニング用基板支持部とが別々に構成されていてもよく、また上記外枠部が、パターニング用基板支持部およびエネルギー照射部の両方を支持するもの等とされていてもよい。

本発明においては、上記露光ユニットが、２段以上積み重ねられる場合には、この外枠部が、隣接する露光ユニット間で、各露光ユニットから照射される光を遮蔽するものであることが好ましい。これにより、隣接する露光ユニットから照射される光の影響を受けることなく、各露光ユニットごとに目的とするパターン状にパターン形成体をパターニングすることが可能となるからである。なおこの場合、隣接する露光ユニット間で光を遮蔽することが可能であれば、特にその外枠部の形状等は限定されるものではなく、例えば図１に示すように、露光ユニット４の側面まで、エネルギー照射部２から照射された光を遮蔽するものであってもよく、また例えば側面においては光を遮蔽しないような構造となっているもの等であってもよい。

なお、この外枠部の大きさや形状は、目的とするパターニング用基板の面積や膜厚等に応じて適宜選択されることとなる。

またこのような外枠部を形成する材料としては、特に限定されるものではなく、上記露光ユニットが２段以上積み重ねられる場合には、上記エネルギー照射部から照射されるエネルギーを遮蔽するものであることが好ましい。具体的には金属やセラミック等の無機材料、プラスチック等の有機材料等を挙げることができる。

ここで、上記外枠部が、隣接する露光ユニット間に形成される場合、パターニング用基板支持部が設けられる側の内壁（例えば図１（ａ）においてｍで示される側）は、照射されるエネルギーを吸収するように形成されていることが好ましい。パターニング用基板支持部側の内壁がエネルギーを反射する場合には、内壁によって反射された光によって、光触媒が励起され、目的としない領域までパターニングが行われてしてしまうこととなるからである。このように外枠部のパターニング用基板支持部側の内壁にエネルギー吸収性を付与する方法としては、例えば内壁を黒色としたり、エネルギー吸収層を形成する方法等が挙げられる。また、反射防止層等を設けてもよい。

一方、上記外枠部の、エネルギー照射部が形成される側（例えば図１（ａ）においてｎで示される側）の内壁は、照射されるエネルギーを反射するように形成されていることが好ましい。これにより、内壁によって反射されたエネルギーによっても、光触媒を励起させることができ、よりエネルギーの利用効率を良好なものとすることができるからである。このように外枠部のエネルギー照射部側の内壁にエネルギー反射性を付与する方法としては、例えば内壁を鏡面としたり、エネルギー反射層を形成する方法等が挙げられる。

４．露光ユニット
次に、本発明の露光装置における露光ユニットについて説明する。本発明の露光装置における露光ユニットは、上記エネルギー照射部、パターニング用基板支持部、および上記外枠部を有するものであれば、露光ユニット中でのエネルギー照射部やパターニング用基板支持部の配置等は特に限定されるものではなく、目的とする露光方法等によって適宜選択される。

例えば、エネルギー照射部が露光ユニットの上面に形成され、パターニング用基板支持部が、露光ユニットの下方に形成されているものであってもよく、またエネルギー照射部が、露光ユニットの下面に形成され、パターニング用基板支持部が、露光ユニットの上方に形成されているものであってもよい。またさらに、上記エネルギー照射部やパターニング用基板支持部は、複数設けられていてもよく、例えばエネルギー照射部が露光ユニットの中央部に形成され、その上下にパターニング用基板支持部が形成されているもの等とすることもできる。

また例えば、露光ユニットが縦置きとされるもの等であってもよい。

ここで、本発明における露光ユニット中には、上記パターニング用基板支持部やエネルギー照射部の他に、例えば温度や湿度等を制御する制御部等、必要に応じて種々の機能部を有していてもよい。また、上記パターニング用基板支持部とエネルギー照射部との間に、フォトマスク等を支持するマスク支持部等の部材を設けてもよい。

４．露光装置
次に、本発明の露光装置について説明する。本発明の露光装置は、上記露光ユニットを有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば一つの露光ユニットのみからなるものであってもよく、また上記露光ユニットが２つ以上積み重ねられたものであってもよい。露光ユニットが積み重ねられる場合の上記露光ユニットの数は、露光ユニットの大きさ等に応じて適宜選択されるものであるが、通常２段〜２０段程度、中でも４段〜１０段程度とされる。なお、本発明においては、隣接する露光ユニットの外枠部は一体として形成されているものであってもよい。

５．パターニング用基板
次に、本発明の露光装置により露光可能なパターニング用基板について説明する。本発明の露光装置により露光されてパターニングされるパターニング用基板としては、上述したエネルギー照射部から照射されるエネルギーにより励起された光触媒の作用を利用してパターンを形成するものであれば、特に限定されるものではない。

例えば、パターニング用基板自体には光触媒が含有されておらず、別途形成した光触媒を含有する光触媒含有層を、上記露光装置内でパターニング用基板表面近傍に対向するように配置することにより、パターニングされるようなパターニング用基板等としてもよい。この場合、上記エネルギー照射部から照射されたエネルギーにより、光触媒含有層中に含有される光触媒が励起され、この光触媒の作用によって、パターニング用基板がパターニングされるのである。なおこの場合、上記露光ユニット内に、上記光触媒含有層を支持する光触媒含有層支持部が形成されていることが好ましい。またこの場合、パターニング用基板の構成としては、基材と、その基材上に形成され、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する特性変化材料を含有する特性変化層とを有するもの等とすることができる。

また、本発明においては特に、少なくとも光触媒を含有する光触媒含有層を有し、この光触媒含有層の光触媒の作用により、パターニングされるようなパターニング用基板とすることが好ましい。この場合、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により発生した活性酸素種等が拡散することなく、高精細にパターニングを行うことができる、という利点を有する。このようなパターニング用基板の構成としては、例えば基材と、その基材上に形成され、光触媒および、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する特性変化材料を有する光触媒含有特性変化層とを有するもの等とすることができる。また、他の構成としては、例えば基材と、その基材上に形成され、少なくとも光触媒を含有する光触媒含有層と、その光触媒含有層上に形成され、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料を含有する特性変化層とを有するもの等とすることもできる。どちらの態様においても、上記露光装置内でこのパターニング用基板にエネルギー照射部からエネルギーが照射された場合、光触媒の作用により特性変化材料が分解または変性されて、パターニング用基板の特性が変化するものとすることができる。

ここで、本発明においては上記光触媒層を有するパターニング用基板の中でも特に、パターニング用基板中に遮光部を有しており、露光装置による露光が裏面から行われるものであることが好ましい。この場合、上記遮光部が形成されている領域においては、光触媒が励起されず、エネルギーが照射された部分のみ、特性変化材料が分解または変性されるものとすることができる。したがって、フォトマスク等を用いることなく、上記パターニング用基板のパターニングを、上記パターニング用基板の上記基材側から、全面にエネルギーを照射することによって行うことが可能となるからである。また、上記エネルギー照射部から照射された光の回折等の影響も少ないものとすることができる、という利点も有する。なお、上記パターニング用基板が基材と光触媒含有特性変化層とからなるものである場合には通常、上記遮光部は基材と光触媒含有特性変化層との間、もしくは光触媒含有特性変化層が形成された側と反対の面の基材上に形成される。また、上記パターニング用基板が、基材と光触媒含有層と特性変化層とを有するものである場合には通常、上記遮光部は基材と光触媒含有層との間、光触媒含有層と特性変化層との間、もしくは光触媒含有層が形成された側と反対の面の基材上に形成される。

このようなパターニング用基板上にパターンを形成する方法の一例としては、例えば図２に示すように、基材１１と、その基材１１上に形成された遮光部１２と、その遮光部１２および基材１１を覆うように、少なくとも光触媒およびエネルギー照射に伴う光触媒の作用により分解または変性される特性変化材料を含有する光触媒含有特性変化層１３とを有するパターニング用基板１４を準備し、このパターニング用基板１４を上述した露光ユニット４のパターニング用基板支持部１上に設置する。続いて、パターニング用基板１４に、エネルギー照射部２からエネルギーを照射し、目的とする領域のみの光触媒含有特性変化層１３中の光触媒を励起させること等により行うことができる。これにより光触媒含有特性変化層１３中の特性変化材料が分解または変性されて、表面の特性が変化したパターンを形成すること等ができる。

ここで、目的とするパターン状にエネルギーを照射する方法としては、上記遮光部等が形成されていない場合等には、例えばフォトマスク等を用いて、上記パターニング用基板の光触媒含有層側、もしくは基材側からエネルギーを照射してもよい

上述したようなパターニング用基板に用いられる光触媒や、特性変化材料等については、例えば特開２００１−０７４９２８号公報に示されるようなものを用いることができる。また、上述したようなパターニング用基板は、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により、表面の特性を変化させ、この特性の差を利用して着色層等を形成するカラーフィルタの製造に特に好適に用いられ、例えば特開２００１−０７４９２８号公報に示されるようなカラーフィルタを製造する際に用いること等ができる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。

［実施例１］
＜パターニング用基板の作製＞
フルオロアルキルシラン(ＴＳＬ８２３３ＧＥ東芝シリコーン製)１．５ｇ、テトラメトキシシラン（ＴＳＬ８１１４ＧＥ東芝シリコーン製）５．０ｇ、及び０．０１Ｎ塩酸２．５ｇを２４時間常温にて攪拌して撥液付与剤を作製した。
次に、チタニアゾル（ＳＴＳ‐０１石原産業製）を水とイソプロパノールとの混合液（重量比＝１：１）にてＴｉＯ_２濃度が０．５ｗｔ％となるように希釈した。
この希釈チタニアゾル液に撥液性付与剤を２ｇ添加して、１０分間攪拌し光触媒含有層形成用組成物とした。
上記光触媒含有層形成用組成物を、カーボンブラックを含有する黒色遮光層が幅４０μｍ、ピッチ１５０μｍのラインアンドスペース状に形成されたガラス基板（ＮＡ−３５ＮＨテクノガラス製）の黒色遮光層上にスピンコートし、２００℃で１５分間焼成することによりパターニング用基板を作製した。

＜露光ユニットの作製＞
アルミ板（縦幅１１００ｍｍ、横幅１３００ｍｍ、厚み８ｍｍ）上に照射安定器に取り付けられたブラックライト（東芝ライテック製ＦＬ‐４０Ｓ‐BLB）２０本を、各ランプが平行になるよう所定の位置に配置し、前記アルミ板の四隅にアジャスタパッドを適当に設置することによりエネルギー照射部および外枠部を作製した。表面を黒アルマイト処理し、柱状ピンを２０本配置したＳＵＳ板（縦幅１１００ｍｍ、横幅１３００ｍｍ、厚み２０ｍｍ）をパターニング用基板支持部とし、上記ブラックライトと対向させるようにして所定の位置に配置し、露光ユニットを作製した。前記ＳＵＳ板上におけるランプの照度をスペクトロラジオメーター（ウシオ電気社製 USR40）により測定した結果、１．５ｍＷ／ｃｍ^２であった。
パターニング用基板支持部として前記ＳＵＳ板上に柱状のピンを適切に設置することにより露光ユニットを作製した。

＜露光＞
前記露光ユニットの柱状ピン上に、前記パターニング用基板のガラス基板側をエネルギー照射部側に配置し、ブラックライトを点灯させ、露光を行った。積算露光量を、２．０Ｊ／ｃｍ^２とした。

＜カラーフィルタの作製＞
次に、ピエゾ駆動タイプのインクジェット装置を用いて、顔料５重量部、溶剤２０重量部、重合開始剤５重量部、およびＵＶ硬化樹脂７０重量部を含むＲＧＢ各色のＵＶ硬化型多官能アクリレートモノマーインク（着色インク）を、上記パターニング用基板の開口部に塗布後、ＵＶ処理を行って硬化させることにより画素部を形成し、カラーフィルタを作製した。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、重合開始剤としてはイルガキュア３６９（商品名、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製）、ＵＶ硬化樹脂としてはＤＰＨＡ（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）製）を用いた。また顔料としては、赤色インクについては、Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ１７７、緑色インクについてはＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＧｒｅｅｎ３６、青色インクについてはＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＢｌｕｅ１５およびＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＶｉｏｌｅｔ２３をそれぞれ用いた。

［実施例２］
前記露光における積算露光量を、０．９Ｊ／ｃｍ^２とした以外は、実施例１と同様にカラーフィルタを作製した。

［比較例１］
実施例と同様に作製したパターニング用基板に対し、超高圧水銀ランプからエネルギーを上記パターニング用基板のガラス基板側から照射することによって露光を行った以外は実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。積算露光量（実施例と同様に算出）を５．８Ｊ／ｃｍ^２とした。

［比較例２］
前記露光における積算露光量を、１１．７Ｊ／ｃｍ^２とした以外は、比較例１と同様にカラーフィルタを作製した。

［カラーフィルタの評価］
実施例１、２および比較例１、２にて作製したカラーフィルタの外観評価結果と積算露光量の関係を下記の表１に示す。本発明による露光ユニットを用いることにより、１０倍以上も少ないエネルギー照射量で白ヌケのない良好なカラーフィルタを作製することができた。

本発明の露光用装置を示す説明図である。本発明の露光装置を用いたパターニングの一例を示す説明図である。

符号の説明

１…パターニング用基板支持部
２…エネルギー照射部
３…外枠部
４…露光装置

Claims

パターニング用基板を支持するパターニング用基板支持部と、２５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲内の波長の光を放出する蛍光ランプを少なくとも２以上有するエネルギー照射部と、前記エネルギー照射部を支持する外枠部とを含む露光ユニットを有し、
前記パターニング用基板支持部が、前記パターニング用基板の一部を支持するものであり、
前記外枠部の蛍光ランプに対してパターニング用基板支持部が設けられる側の内壁が照射されるエネルギーを吸収するものであり、
前記パターニング用基板が、パターニング用基板自体には光触媒が含有されておらず、光触媒を含有する光触媒含有層を、露光装置内でパターニング用基板表面近傍に対向するように配置することにより、パターニングされるようなパターニング用基板、または、光触媒を含有する光触媒含有層を有するパターニング用基板であることを特徴とする露光装置。
前記露光ユニットを少なくとも２段以上有し、前記外枠部が、隣接する前記露光ユニット間で、前記露光ユニットから照射される光を遮蔽するものであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
前記蛍光ランプが冷陰極型蛍光ランプであり、かつブラックライト、健康ランプ、殺菌灯のいずれかのランプであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
前記露光ユニットが２段〜２０段の範囲内積み重ねられていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の露光装置。