JP4611724B2 - Photosensitive composition for forming light-shielding film, and black matrix formed with the photosensitive composition for forming light-shielding film - Google Patents

Photosensitive composition for forming light-shielding film, and black matrix formed with the photosensitive composition for forming light-shielding film Download PDF

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本発明は、遮光膜形成用感光性組成物、該遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラックマトリクスに関し、さらに詳しくは、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル等のブラックマトリクスを形成するのに好適な遮光膜形成用感光性組成物、該遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラックマトリクスに関する。   The present invention relates to a photosensitive composition for forming a light-shielding film and a black matrix formed from the photosensitive composition for forming a light-shielding film, and more specifically, suitable for forming a black matrix such as a liquid crystal panel and a plasma display panel. The present invention relates to a photosensitive composition for forming a light shielding film, and a black matrix formed from the photosensitive composition for forming a light shielding film.

液晶パネル、特にTN方式、STN方式、液晶パネルは、画像のコントラストを強調するためのブラックマトリクスがガラス基板上に設けられ、その上に透明保護膜、透明電極、配向膜、液晶、透明電極、透明保護膜、バックライトなどが順次積層されているとともに、前記部材の端部の気密性を保持するためシール部が設けられた構造となっている。特にカラー液晶パネルにあってはさらにカラーフィルタも設置されている。また、TFT(薄膜トランジスタ)を用いている液晶パネルでは、TFTを遮光するために用いられている。こうした液晶パネルが高コントラストの画像を維持するためには、ブラックマトリクスの遮光率がOD値で1.5以上である必要がある。しかもカラーフィルタや透明保護膜の平坦化の問題から、前記ブラックマトリクスはできるだけ薄いものが求められている。ブラックマトリクスは、遮光性顔料と感光性樹脂とを含有する遮光膜形成用感光性組成物を溶剤等に溶解し、それを液晶パネル基板上に塗布、乾燥したのち、ホトリソグラフィー法で形成されるが、薄く、しかも高OD値を有するブラックマトリクスとするためには、優れた遮光性を有する顔料を用いることが必須であり、遮光率の大きなカーボンブラックが通常使用されている。(例えば、特許文献1、2参照)   A liquid crystal panel, in particular, a TN method, an STN method, and a liquid crystal panel are provided with a black matrix on a glass substrate for emphasizing image contrast, on which a transparent protective film, a transparent electrode, an alignment film, a liquid crystal, a transparent electrode, A transparent protective film, a backlight, and the like are sequentially laminated, and a seal portion is provided to maintain the airtightness of the end portion of the member. In particular, color filters are also installed in color liquid crystal panels. Further, in a liquid crystal panel using a TFT (Thin Film Transistor), it is used to shield the TFT. In order for such a liquid crystal panel to maintain a high-contrast image, the light blocking ratio of the black matrix needs to be an OD value of 1.5 or more. Moreover, the black matrix is required to be as thin as possible because of the problem of flattening the color filter and the transparent protective film. The black matrix is formed by a photolithography method after dissolving a photosensitive composition for forming a light-shielding film containing a light-shielding pigment and a photosensitive resin in a solvent or the like, applying it to a liquid crystal panel substrate, and drying it. However, in order to obtain a thin black matrix having a high OD value, it is essential to use a pigment having an excellent light shielding property, and carbon black having a large light shielding rate is usually used. (For example, see Patent Documents 1 and 2)

特開平9−166869号公報JP-A-9-166869 特開平11−84125号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-84125

しかしながら、十分な遮光性を得ようとすると、従来の遮光膜形成用感光性組成物では、該遮光膜形成用感光性組成物を塗布する際の膜厚を厚くする、または感光性樹脂に対する遮光性顔料の量を増やすことが必要となる。このような手法を用いた場合には、遮光膜形成用感光性組成物における感光性(感度)に寄与する紫外領域の光の透過性が低下するため、感度が著しく悪化するという問題があった。さらに、該遮光膜形成用感光性組成物から形成されるブラックマトリクスには、良好な形状が求められる。   However, in order to obtain a sufficient light-shielding property, in the conventional photosensitive composition for forming a light-shielding film, the film thickness when the photosensitive composition for forming a light-shielding film is applied is increased or the light-shielding against the photosensitive resin is performed. It is necessary to increase the amount of the functional pigment. When such a method is used, the light transmittance in the ultraviolet region that contributes to the photosensitivity (sensitivity) of the photosensitive composition for forming a light-shielding film is lowered, and thus there is a problem that the sensitivity is remarkably deteriorated. . Furthermore, the black matrix formed from the light-shielding film-forming photosensitive composition is required to have a good shape.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、感度が高く、膜厚を薄くできるとともに良好な形状のブラックマトリクスを形成することができる遮光膜形成用感光性組成物を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and its object is to provide a light-sensitive film-forming photosensitive composition that has high sensitivity, can reduce the film thickness, and can form a well-shaped black matrix. Is to provide.

上記目的を達成するために、本発明の遮光膜形成用感光性組成物は、(a)遮光性顔料
としてのカーボンブラック、(b)光重合性化合物、および(c)光重合開始剤を含有し
、該カーボンブラックの分散粒子径が150〜250nmであり、可視光域(400nmから780nm)でのOD値が1.5のときにおけるi線の透過率が0.25%以上であることを特徴とする。
これにより、遮光膜形成用感光性組成物における紫外線の透過率を向上させることがで
き、遮光膜形成用感光性組成物の感度を向上させることができる。さらに、上記遮光膜形
成用感光性組成物から、良好な形状のブラックマトリクスを形成することができる。
また、上記カーボンブラックに対して、特定の光重合性化合物および光重合開始剤を用いることにより、遮光膜形成用感光性組成物の感度をより一層向上させることができる。
In order to achieve the above object, the photosensitive composition for forming a light shielding film of the present invention comprises (a) carbon black as a light shielding pigment, (b) a photopolymerizable compound, and (c) a photopolymerization initiator. and, Ri dispersed particle diameter 150~250nm der of the carbon black, Ru der transmittance than 0.25% of definitive i line when the OD value in the visible light region (780 nm from 400 nm) is 1.5 It is characterized by that.
Thereby, the transmittance | permeability of the ultraviolet-ray in the photosensitive composition for light shielding film formation can be improved, and the sensitivity of the photosensitive composition for light shielding film formation can be improved. Furthermore, a well-shaped black matrix can be formed from the photosensitive composition for forming a light-shielding film.
Moreover, the sensitivity of the photosensitive composition for light shielding film formation can be improved further by using a specific photopolymerizable compound and a photoinitiator with respect to the said carbon black.

本発明の遮光膜形成用感光性組成物は、遮光性顔料としてのカーボンブラックの粒子径を調整し、紫外線の透過率を向上させているため、感度を高められるとともに同一のOD値得るための膜厚を薄くすることができる。該組成物を用いて形成したブラックマトリクスにより、高い画像コントラストを維持することができ、良好な液晶パネル、プラズマディスプレイパネル等の表示装置を製造できる。   The photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention adjusts the particle size of carbon black as a light-shielding pigment and improves the transmittance of ultraviolet rays, so that the sensitivity can be increased and the same OD value can be obtained. The film thickness can be reduced. A black matrix formed using the composition can maintain a high image contrast, and a display device such as a good liquid crystal panel or plasma display panel can be manufactured.

本発明の遮光膜形成用感光性組成物は、(a)遮光性顔料としてのカーボンブラック、(b)光重合性化合物、および(c)光重合開始剤を含有する。そして、前記(a)成分のカーボンブラックの粒子径または分散粒子径を特定の値の範囲にすることにより、前記遮光膜形成用感光性組成物における紫外線の透過率を向上させることができるものである。透過率を向上させることにより、遮光膜形成用感光性組成物の感度を向上させることができる。   The photosensitive composition for light-shielding film formation of this invention contains (a) carbon black as a light-shielding pigment, (b) a photopolymerizable compound, and (c) a photopolymerization initiator. And the transmittance | permeability of the ultraviolet-ray in the said photosensitive composition for light shielding film formation can be improved by making the particle diameter or dispersion | distribution particle diameter of the carbon black of said (a) component into the range of a specific value. is there. By improving the transmittance, the sensitivity of the light-sensitive film-forming photosensitive composition can be improved.

遮光膜形成用感光性組成物に照射される紫外線としては、露光機の波長よりg線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、j線(330nm)、k線(310nm)等の種々の輝線の混合したものが用いられ、光重合開始剤の重合開始効率に係っている。つまり、遮光膜形成用感光性組成物の感度は、遮光膜形成用感光性組成物に対する種々の輝線(g、h、i、j、k線)の透過率に大きく関与している。しかし、実際に使用されるブラックマトリクスのOD値は2から5の範囲である為、透過率測定を正確にする為に可視光域(400nmから780nm)でのOD値を1.5に揃えた場合の紫外線透過率を使用することにより、より正確な透過率の数値が得られ、例えば、図1に示すように、カーボンブラック粒子径別の透過率結果を得ることが出来る。
以上より、上記遮光膜形成用感光性組成物は、上記波長において十分な感度を得るために、遮光膜形成用感光性組成物のOD値を1.5に調整したときにi線の透過率としては、0.25以上が好ましく、0.3以上がより好ましく、0.4以上がさらにより好ましい。この透過率より低い場合には、感度が低くなる可能性がある。また、j線も光開始剤の重合開始に関与しており、その透過率は、0.15以上が好ましく、0.3以上であることがより好ましい。さらに、k線も光開始剤の重合開始に関与しており、その透過率は、0.05以上が好ましく、0.1以上であることがより好ましい。
As ultraviolet rays irradiated to the photosensitive composition for forming a light-shielding film, g-line (436 nm), h-line (405 nm), i-line (365 nm), j-line (330 nm), k-line (310 nm) from the wavelength of the exposure machine. A mixture of various bright lines such as the above is used and is related to the polymerization initiation efficiency of the photopolymerization initiator. That is, the sensitivity of the photosensitive composition for forming a light shielding film is greatly related to the transmittance of various bright lines (g, h, i, j, k lines) with respect to the photosensitive composition for forming a light shielding film. However, since the OD value of the black matrix actually used is in the range of 2 to 5, the OD value in the visible light region (400 nm to 780 nm) is set to 1.5 in order to accurately measure the transmittance. By using the UV transmittance in this case, a more accurate transmittance value can be obtained. For example, as shown in FIG. 1, a transmittance result for each carbon black particle diameter can be obtained.
As described above, the light-shielding film-forming photosensitive composition has an i-line transmittance when the OD value of the light-shielding film-forming photosensitive composition is adjusted to 1.5 in order to obtain sufficient sensitivity at the wavelength. Is preferably 0.25 or more, more preferably 0.3 or more, and even more preferably 0.4 or more. If it is lower than this transmittance, the sensitivity may be lowered. Further, the j-ray is also involved in the initiation of polymerization of the photoinitiator, and its transmittance is preferably 0.15 or more, and more preferably 0.3 or more. Furthermore, k-rays are also involved in the initiation of polymerization of the photoinitiator, and the transmittance is preferably 0.05 or more, and more preferably 0.1 or more.

以下、本発明の遮光膜形成用感光性組成物について、(a)遮光性顔料としてのカーボンブラック(b)光重合性化合物、(c)光重合開始剤、その他の成分の順に説明する。   Hereinafter, the photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention will be described in the order of (a) carbon black as a light-shielding pigment, (b) a photopolymerizable compound, (c) a photopolymerization initiator, and other components.

本発明の遮光膜形成用感光性組成物では、配合する(a)遮光性顔料として用いられるカーボンブラックの分散粒子径を、100nm〜250nmとすることにより、好ましい紫外線の透過率を得ることができる。また、上記カーボンブラックの分散粒子径の下限値は、150nm以上であることが好ましく、170nm以上であることがより好ましい。また、カーボンブラックの分散粒子径の上限値としては、200nm以下がより好ましい。
上記遮光膜形成用感光性組成物では、カーボンブラックの分散粒子径が100nm未満になると、照射される紫外線の透過率が低く十分な感度を得られない可能性があるとともに、カーボンブラックを遮光膜形成用感光性組成物において均一に分散させることが困難であり、均一なOD値を得られない可能性がある。これに対して、カーボンブラックの分散粒子径を100nm以上、好ましくは150nm以上にすれば、十分な紫外線の透過率が得られ、必要な感度を得られるとともに、分散性を改善することができ、均一なOD値を得られる遮光膜形成用感光性組成物を得られる。さらに、カーボンブラックの分散粒子径を170nm以上にすることにより、より一層の紫外線の透過率を得られ、感光を向上させることができるとともに、分散性をより改善することができ、より一層均一なOD値を得られる遮光膜形成用感光性組成物を得ることができる。
また、上記遮光膜形成用感光性組成物では、カーボンブラックの分散粒子径が250nmを超えると、十分な紫外線の透過率が得られるものの、遮光膜形成用感光性組成物においてカーボンブラックが沈降してしまい、均一に分散させることが困難となる。さらに、この遮光膜形成用感光性組成物からは、良好な形状のブラックマトリクスを形成することが困難となる(ラフネスが大きくなる)。これに対して、カーボンブラックの分散粒子径を250nm以下にすれば、十分な紫外線の透過率が得られ、必要な感度を得られるとともに、均一に分散させることが可能となる。さらに、カーボンブラックの分散粒子径を200nm以下にすることにより、十分な紫外線の透過率が得られ、必要な感度を得られるとともに、より一層分散性を向上させることができ、さらに取り扱いを容易にすることができる。
In the photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention, a preferable ultraviolet light transmittance can be obtained by setting the dispersed particle diameter of the carbon black used as the light-shielding pigment to be blended to 100 nm to 250 nm. . The lower limit of the dispersed particle size of the carbon black is preferably 150 nm or more, and more preferably 170 nm or more. Moreover, as an upper limit of the dispersed particle diameter of carbon black, 200 nm or less is more preferable.
In the above photosensitive composition for forming a light shielding film, when the dispersed particle size of carbon black is less than 100 nm, the transmittance of irradiated ultraviolet rays may be low and sufficient sensitivity may not be obtained. It is difficult to uniformly disperse in the forming photosensitive composition, and there is a possibility that a uniform OD value cannot be obtained. On the other hand, if the dispersed particle diameter of the carbon black is 100 nm or more, preferably 150 nm or more, sufficient ultraviolet light transmittance can be obtained, necessary sensitivity can be obtained, and dispersibility can be improved. A photosensitive composition for forming a light-shielding film capable of obtaining a uniform OD value can be obtained. Furthermore, by setting the dispersed particle diameter of carbon black to 170 nm or more, it is possible to obtain a further ultraviolet ray transmittance, improve the photosensitivity, further improve the dispersibility, and make it more uniform. The photosensitive composition for light shielding film formation which can obtain OD value can be obtained.
Further, in the photosensitive composition for forming a light shielding film, when the dispersed particle diameter of the carbon black exceeds 250 nm, sufficient ultraviolet light transmittance can be obtained, but in the photosensitive composition for forming a light shielding film, carbon black is precipitated. It becomes difficult to disperse uniformly. Furthermore, it becomes difficult to form a black matrix having a good shape from this photosensitive composition for forming a light-shielding film (the roughness increases). On the other hand, if the dispersed particle diameter of the carbon black is 250 nm or less, sufficient ultraviolet light transmittance can be obtained, necessary sensitivity can be obtained, and uniform dispersion can be achieved. Furthermore, by setting the dispersed particle diameter of carbon black to 200 nm or less, sufficient ultraviolet ray transmittance can be obtained, the necessary sensitivity can be obtained, the dispersibility can be further improved, and handling is easier. can do.

また、一般に、遮光膜形成用感光性組成物を塗布して形成したブラックマトリクスが高コントラストの画像を維持するためには、遮光率がOD値で1.5以上、好ましくは3.0以上、さらに好ましくは4.0以上であることがよい。   In general, in order for the black matrix formed by applying the photosensitive composition for forming a light shielding film to maintain a high-contrast image, the light shielding ratio is OD value of 1.5 or more, preferably 3.0 or more, More preferably, it is 4.0 or more.

上記(b)光重合性化合物は紫外線等の光の照射を受けて重合し、硬化する物質である。光重合性化合物としては、エチレン性二重結合を有する化合物が好ましく、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等のモノマー、オリゴマー類;多価アルコール類と1塩基酸または多塩基酸を縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリエステル(メタ)アクリレート、ポリオール基と2個のイソシアネート基を持つ化合物を反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールまたはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族または脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応して得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂などが挙げられる。さらに前記エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂も好適に使用できる。   The (b) photopolymerizable compound is a substance that polymerizes and cures upon irradiation with light such as ultraviolet rays. As the photopolymerizable compound, a compound having an ethylenic double bond is preferable. Specifically, acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2 -Hydroxyethyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylic acid amide, methacrylic acid amide, acrylonitrile, methacrylonitrile , Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, isobutyl Chryrate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol Diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylo Propane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1 Monomers, oligomers such as 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardoepoxy diacrylate; polyester prepolymers obtained by condensing polyhydric alcohols with monobasic acids or polybasic acids Polyester (meth) acrylate and polyol obtained by reacting (meth) acrylic acid Polyurethane (meth) acrylate obtained by reacting a group with two isocyanate groups and then reacting with (meth) acrylic acid; bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin , Phenol or cresol novolac type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, polyol polyglycidyl ester, aliphatic or cycloaliphatic epoxy resin, amine epoxy resin, dihydroxybenzene type epoxy Examples thereof include epoxy (meth) acrylate resins obtained by reacting epoxy resins such as resins with (meth) acrylic acid. Further, a resin obtained by reacting the epoxy (meth) acrylate resin with a polybasic acid anhydride can also be suitably used.

また、光重合性化合物としては、式(I)で示される化合物も適用できる。式(I)で示される化合物は、それ自体が、光硬化性が高い点で好ましい化合物である。つまり、式(I)で表される化合物を含む遮光膜形成用感光性樹脂では、紫外線の透過率を高めることにより、一層感度を向上させることをできる。

Figure 0004611724
ここで、式(I)で示される化合物のXは、式(II)で示される基である。
Figure 0004611724
また、式(I)で示される化合物のYは、例えば無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸といったジカルボン酸無水物からカルボン酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基である。 また、式(I)で示される化合物のZは、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた残基である。 Further, as the photopolymerizable compound, a compound represented by the formula (I) can also be applied. The compound represented by the formula (I) itself is a preferable compound in terms of high photocurability. That is, in the photosensitive resin for forming a light shielding film containing the compound represented by the formula (I), the sensitivity can be further improved by increasing the transmittance of ultraviolet rays.
Figure 0004611724
Here, X of the compound represented by the formula (I) is a group represented by the formula (II).
Figure 0004611724
Y of the compound represented by the formula (I) is, for example, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, It is a residue obtained by removing a carboxylic anhydride group (—CO—O—CO—) from a dicarboxylic anhydride such as chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, and glutaric anhydride. Z of the compound represented by the formula (I) is, for example, tetramellitic diacid such as pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, etc. A residue obtained by removing two carboxylic anhydride groups from an anhydride.

上記光重合性化合物は、該化合物と(c)光重合開始剤の合計100重量部に対し60〜99.9重量部の範囲で含有される。含有量が60重量部未満では十分な耐熱性、耐薬品性が期待できず、また99.9重量部を超えると塗膜形成能が劣り、光硬化不良を起こすことがある。   The photopolymerizable compound is contained in the range of 60 to 99.9 parts by weight with respect to 100 parts by weight in total of the compound and (c) the photopolymerization initiator. If the content is less than 60 parts by weight, sufficient heat resistance and chemical resistance cannot be expected, and if it exceeds 99.9 parts by weight, the film-forming ability is inferior and photocuring failure may occur.

上記では、光重合性化合物として、その分子自体が重合可能なものを挙げたが、本発明では、(b−1)高分子バインダーと(b−2)光重合性モノマーとの混合物も(b)光重合性化合物に含まれるものとする。
上記(b−1)高分子バインダーとしては、現像の容易さからアルカリ現像が可能なバインダーが好ましい。
具体的にアクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシル基を有するモノマーと、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、N−ブチルアクリレート、N−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリート、イソブチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリロニトリルなどとの共重合体、およびフェノールノボラック型エポキシアクリレート重合体、フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、ビスフェノールA型エポキシアクリレート重合体、ビスフェノールS型エポキシアクリレート重合体、などの樹脂が挙げられる。前記樹脂にはアクリロイル基またはメタクリロイル基が導入されているところから架橋効率が高められ塗膜の耐光性、耐薬品性が優れている。前記樹脂を構成するアクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシル基を有するモノマー成分の含有量は5〜40重量%の範囲がよい。
In the above, as the photopolymerizable compound, those whose molecules themselves can be polymerized are listed. However, in the present invention, a mixture of (b-1) a polymer binder and (b-2) a photopolymerizable monomer is also (b ) It is included in the photopolymerizable compound.
As the above-mentioned (b-1) polymer binder, a binder capable of alkali development is preferable because of easy development.
Specifically, monomers having a carboxyl group such as acrylic acid and methacrylic acid, and methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate N-butyl acrylate, N-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenoxy acrylate, phenoxy methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, glycidyl methacrylate, styrene, acrylamide, acrylonitrile, etc. Copolymer, and phenol novolac type epoxy acrylate polymer, phenol novolac Epoxy methacrylate polymer, cresol novolak epoxy acrylate polymer, cresol novolak epoxy methacrylate polymer, a bisphenol A type epoxy acrylate polymer, a bisphenol S type epoxy acrylate polymers include resins such as. Since the acryloyl group or the methacryloyl group is introduced into the resin, the crosslinking efficiency is improved, and the light resistance and chemical resistance of the coating film are excellent. The content of the monomer component having a carboxyl group such as acrylic acid or methacrylic acid constituting the resin is preferably in the range of 5 to 40% by weight.

(b)成分が、(b−1)成分と(b−2)成分とからなる場合、(b−1)成分は、(b−1)成分と(b−2)成分および(c)光重合開始剤の合計100重量部中10〜60重量部の範囲で配合されるのがよく、前記配合量が10重量部未満では塗布、乾燥時に膜を形成し難く、硬化後の被膜強度を十分高めることができない。また、配合量が60重量部を超えると現像性が低下する。   When (b) component consists of (b-1) component and (b-2) component, (b-1) component is (b-1) component, (b-2) component, and (c) light. It is preferable to blend in the range of 10 to 60 parts by weight in a total of 100 parts by weight of the polymerization initiator. If the blending amount is less than 10 parts by weight, it is difficult to form a film at the time of coating and drying, and the film strength after curing is sufficient. It cannot be increased. On the other hand, if the blending amount exceeds 60 parts by weight, the developability deteriorates.

また、(b−2)光重合性モノマーとしては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   (B-2) Photopolymerizable monomers include methyl acrylate, methyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, and triethylene. Glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, Tetramethylolpropane tetramethacrylate Pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol Examples include, but are not limited to, diacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cardo epoxy diacrylate, acrylic acid, methacrylic acid, and the like.

(b)成分が、(b−1)成分と(b−2)成分とからなる場合、(b−2)成分は、(b−1)成分と(b−2)成分および(c)光重合開始剤の合計100重量部当り15〜50重量部の範囲で配合されることが好ましく、配合量が15重量部未満では光硬化不良を起こし十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができず、また50重量部を超えると塗膜形成能が劣ることになる。   When (b) component consists of (b-1) component and (b-2) component, (b-2) component is (b-1) component, (b-2) component, and (c) light. It is preferably blended in the range of 15 to 50 parts by weight per 100 parts by weight of the polymerization initiator. If the blending amount is less than 15 parts by weight, photocuring failure can occur and sufficient heat resistance and chemical resistance can be obtained. Moreover, when it exceeds 50 weight part, the coating-film formation ability will be inferior.

(c)光重合開始剤として、特に好ましいものとして、式(III)で示される化合物の少なくとも一種が挙げられる。

Figure 0004611724
(式(III)中、Xは、式(IV)又は式(V)で示される基であり、Rは、フェニル基、C〜C20アルキル基、CN、NO又はC〜Cハロアルキル基であり、Rは、C〜C12アシル基、C〜Cアルケノイル基である。)
Figure 0004611724
(式(IV)中、R〜Rは、水素、ハロゲン、C〜C12アルキル基、フェニル基又はベンゼンスルファニル(CS−)である。)
Figure 0004611724
(式(V)中、R〜Rは、水素、ハロゲン、C〜C12アルキル基又はフェニル基である。) 式(III)で示される化合物は、特開2000−80068号公報に記載の方法により得られる化合物である。上記化合物は、光に対する感受性が他の既知の光重合開始剤に較べてきわめて高く、わずかな照射量の光によって効率的に活性化して光重合開始剤を硬化させることができる。さらに、上記のようなカーボンブラックを用いることによって、外線の透過率を向上させることができ、より一層遮光膜形成用感光性組成物の感度、現像マージンを向上させることができる。よって、ブラックマトリクスパターンを直線性が高く、剥がれや残さのない良好な形態にすることができるので、表示コントラストが高くてR、G、Bの発色が美しいカラーフィルタを提供することができる。 (C) As a photopolymerization initiator, at least one compound represented by the formula (III) is particularly preferable.
Figure 0004611724
(In formula (III), X is a group represented by formula (IV) or formula (V), and R 1 is a phenyl group, a C 1 to C 20 alkyl group, CN, NO 2, or C 1 to C. 4 is a haloalkyl group, and R 2 is a C 2 to C 12 acyl group or a C 4 to C 6 alkenoyl group.)
Figure 0004611724
(In formula (IV), R 3 to R 7 are hydrogen, halogen, C 1 to C 12 alkyl group, phenyl group or benzenesulfanyl (C 6 H 5 S—).)
Figure 0004611724
(In the formula (V), R 8 to R 9 are hydrogen, halogen, a C 1 to C 12 alkyl group or a phenyl group.) The compound represented by the formula (III) is disclosed in JP-A No. 2000-80068. It is a compound obtained by the described method. The above compounds are extremely sensitive to light compared to other known photopolymerization initiators, and can be efficiently activated by a small amount of light to cure the photopolymerization initiator. Furthermore, by using carbon black as described above, the transmittance of external lines can be improved, and the sensitivity and the development margin of the photosensitive composition for forming a light-shielding film can be further improved. Therefore, since the black matrix pattern can have a high linearity and a good form with no peeling or residue, a color filter with high display contrast and beautiful R, G, and B color can be provided.

式(III)で示される化合物以外の光重合開始剤としては、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、o−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジンなどを挙げることができる。   Photopolymerization initiators other than the compound represented by formula (III) include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2-hydroxy Ethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) ) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2-methyl-1- [4 -(Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -buta -1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate Butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamylbenzoic acid, benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyldimethyl ketal, 1-phenyl-1,2 -Propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, thio Xanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobis Isobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) ) -Imidazolyl dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4 Methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethyl Aminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone Thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, gibe Zosberon, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, 9-phenylacridine, 1,7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9- Acridinyl) propane, p-methoxytriazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5 -Methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- 2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2, 4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo -4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine and the like.

本発明では、これらの中でも、p−メトキシトリアジン等のトリアジン類;2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン類;等のトリアジン化合物、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体;等のイミダゾリル化合物、及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オン;等のアミノケトン化合物が好ましく用いられる。   In the present invention, among these, triazines such as p-methoxytriazine; 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- ( 3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-to Azine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, etc. Triazines having the following halomethyl groups; Triazine compounds such as 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer; Imidazolyl compounds such as 2-benzyl-2- An amino ketone compound such as dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one; is preferably used.

さらに、本発明の遮光膜形成用感光性組成物は、光重合開始剤として、式(III)で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物とを含むことが好ましい。 遮光膜形成用感光性組成物は、光重合開始剤として上述の少なくとも二種の化合物を含有することで、極めてわずかな照射量の光によって効率的に活性化される。これは、遮光膜形成用感光性組成物において電子バンドスペクトルの異なる化合物が共存することで、光重合開始剤が高い感度を有する光の正味の波長領域を広げるか、もしくは少なくとも二種の化合物が相互作用することによる。こうして、本発明の遮光膜形成用感光性組成物は、感度や現像マージンをさらに高められるため、直線性が高く、剥がれや残さのない良好な形態に、ブラックマトリクスパターンを、さらに容易に形成することができる。 以下に式(III)で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物との組み合わせにおいて、好ましい例を(i)〜(iii)に示す。   Furthermore, the photosensitive composition for forming a light shielding film of the present invention preferably contains a compound represented by the formula (III) and at least one other compound as a photopolymerization initiator. The photosensitive composition for forming a light-shielding film is efficiently activated by a very small amount of light by containing at least two kinds of compounds as a photopolymerization initiator. This is because the compounds having different electron band spectra coexist in the photosensitive composition for forming a light-shielding film, so that the photopolymerization initiator broadens the net wavelength range of light having high sensitivity, or at least two kinds of compounds are present. By interacting. Thus, since the photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention can further increase sensitivity and development margin, a black matrix pattern can be more easily formed in a good form with high linearity and no peeling or residue. be able to. Preferred examples (i) to (iii) of the combination of the compound represented by the formula (III) and at least one other compound are shown below.

(i)式(III)で示されるO−アシルオキシム化合物の少なくとも一種の光重合開始剤と、上記O−アシルオキシム化合物以外の化合物(上記式(III)で示される化合物以外の光重合開始剤)との組み合わせ。   (I) at least one photopolymerization initiator of the O-acyloxime compound represented by the formula (III) and a compound other than the O-acyloxime compound (a photopolymerization initiator other than the compound represented by the formula (III) ) In combination.

上記O−アシルオキシム化合物の中では、式(III)において、Rがn−ヘキシル(C13−)で、Rがベンゾイル基で、Xが式(IV)で示されるとともに、R、R、R、RがH、Rがフェニルスルファニル基(CS−)である、式(VI)に示される1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)が、光に対する感度や入手の容易さの点で好ましい。

Figure 0004611724
Among the O-acyloxime compounds, in formula (III), R 1 is n-hexyl (C 6 H 13 —), R 2 is a benzoyl group, X is represented by formula (IV), and R 3 , R 4 , R 6 , R 7 are H, R 5 is a phenylsulfanyl group (C 6 H 5 S—), 1,2-octanedione represented by formula (VI), 1- [4- ( Phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime) is preferable in terms of sensitivity to light and availability.
Figure 0004611724

さらに、上記O−アシルオキシム化合物の中では、式(III)において、Rがメチルで、Rがアセチル基で、Xが式(V)で示されるとともに、Rがエチル基で、Rがメチル基である、式(VII)に示されるエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)が、光に対する感度がさらに高く、より好ましい。

Figure 0004611724
Further, among the O-acyloxime compounds, in formula (III), R 1 is methyl, R 2 is an acetyl group, X is represented by formula (V), R 8 is an ethyl group, R Ethanone represented by formula (VII), 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), wherein 9 is a methyl group However, the sensitivity to light is further higher, which is more preferable.
Figure 0004611724

(ii)式(III)で示され、Xが式(IV)で示される光重合開始剤と、トリアジン化合物との組み合わせ。   (Ii) A combination of a photopolymerization initiator represented by the formula (III) and X represented by the formula (IV) and a triazine compound.

特にトリアジン化合物としては、式(VIII)、式(IX)、式(X)(R、RはC−Cのアルキル基を示す)で示されるトリアジン化合物が特に好ましい。また、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オンも上記トリアジン化合物と同様に用いることができる。

Figure 0004611724
Figure 0004611724
Figure 0004611724
In particular, as the triazine compound, a triazine compound represented by the formula (VIII), the formula (IX), or the formula (X) (R 1 and R 2 represent a C 1 -C 3 alkyl group) is particularly preferable. 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one can also be used in the same manner as the triazine compound.
Figure 0004611724
Figure 0004611724
Figure 0004611724

(iii)式(III)で示され、Xが式(V)で示される光重合開始剤と、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オンとの組み合わせ。また、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オンの代わりに上述のトリアジン化合物も同様に組み合わせることができる。   (Iii) a photopolymerization initiator represented by the formula (III) and X being represented by the formula (V), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1one, Combination. Moreover, the above-mentioned triazine compound can be similarly combined instead of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one.

ここで、式(III)で示される化合物で示される化合物と、式(III)で示される化合物以外の化合物(特にトリアジン化合物、イミダゾイル化合物及びアミノケトン化合物)との配合割合は、重量比で10:90〜90:10であることが好ましく、特に20:80〜80:20であることが好ましい。式(III)で示される化合物と、式(III)で示される化合物以外の化合物との配合割合が上述の範囲内であることで、両者の化合物が効果的に相互作用して、遮光膜形成用感光性組成物の感度、現像マージンをさらに向上させることができる。   Here, the compounding ratio of the compound represented by the compound represented by the formula (III) and the compound other than the compound represented by the formula (III) (particularly triazine compound, imidazolyl compound and aminoketone compound) is 10: It is preferably 90 to 90:10, and particularly preferably 20:80 to 80:20. Since the compounding ratio of the compound represented by the formula (III) and the compound other than the compound represented by the formula (III) is within the above-mentioned range, both compounds effectively interact to form a light shielding film. The sensitivity and development margin of the photosensitive composition can be further improved.

上記(c)成分の配合量は光重合性化合物(高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤の合計100重量部中0.1〜30重量部の範囲で配合することができる。   The blending amount of the component (c) can be blended in the range of 0.1 to 30 parts by weight in a total of 100 parts by weight of the photopolymerizable compound (polymer binder, photopolymerizable monomer and photopolymerization initiator).

(a)〜(c)成分からなる遮光膜形成用感光性組成物の総量100重量部中に添加するカーボンブラック量とOD値との間には図1の比例関係が成立するので、ブラックマトリクスの遮光率をOD値で1.5以上とするためには、カーボンブラックの量は(a)〜(c)成分の総量100重量部に対し少なくとも20重量部配合することが必要である。   Since the proportional relationship of FIG. 1 is established between the amount of carbon black added to the total amount of 100 parts by weight of the photosensitive composition for forming a light shielding film comprising the components (a) to (c) and the OD value, the black matrix In order to make the shading rate of 1.5 or more in terms of OD value, the amount of carbon black needs to be blended at least 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total amount of components (a) to (c).

本発明の遮光膜形成用感光性組成物において、(a)成分のカーボンブラックに加えて、色調を整えたり、更なる高抵抗値化のために遮光性能を低下させない範囲で他の顔料を添加することができる。このような顔料としてはカラーインデックス(C.I.)ナンバーで、
黄色顔料:C.I. 20、24、83、86、93、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154、166、168
橙色顔料:C.I. 36、43、51、55、59、61
赤色顔料:C.I. 9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、又は217、220、223、224、226、227、228、240
紫色顔料:C.I. 19、23、29、30、37、40、50
青色顔料:C.I. 15、16、22、60、64
緑色顔料:C.I. 7、36
茶色顔料:C.I. 23、25、26
として表される顔料等が好適に使用できる。
In the photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention, in addition to the carbon black of component (a), other pigments are added within the range where the color tone is adjusted and the light-shielding performance is not lowered to further increase the resistance value. can do. Such a pigment is a color index (CI) number,
Yellow pigment: C.I. I. 20, 24, 83, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 153, 154, 166, 168
Orange pigment: C.I. I. 36, 43, 51, 55, 59, 61
Red pigment: C.I. I. 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, or 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240
Purple pigment: C.I. I. 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50
Blue pigment: C.I. I. 15, 16, 22, 60, 64
Green pigment: C.I. I. 7, 36
Brown pigment: C.I. I. 23, 25, 26
Can be suitably used.

本発明の遮光膜形成用感光性組成物に添加される顔料の量(カーボンブラックの量も含める)は、(b)光重合性化合物(あるいは高分子バインダーおよび光重合性モノマー)、および(c)光重合開始剤の合計100重量部に対して20〜150重量部、好ましくは25〜100重量部、さらに好ましくは30〜80重量部の範囲がよい。前記範囲が20重量部未満では、ブラックマトリクスが十分な遮光性を有することができず、また、150重量部を超えると感光性樹脂成分の量が減少し硬化不良を起こし良好なブラックマトリクスを形成することができない。   The amount of pigment (including the amount of carbon black) added to the photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention includes (b) a photopolymerizable compound (or a polymer binder and a photopolymerizable monomer), and (c ) 20 to 150 parts by weight, preferably 25 to 100 parts by weight, and more preferably 30 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photopolymerization initiator. If the range is less than 20 parts by weight, the black matrix cannot have sufficient light-shielding properties, and if it exceeds 150 parts by weight, the amount of the photosensitive resin component decreases, causing poor curing and forming a good black matrix. Can not do it.

さらに、上記(a)成分のカーボンブラックおよび上記添加される顔料は、分散剤を用いて適当な濃度(例えば10〜20%)で分散させた溶液として、他の成分と混合することができる。上記分散剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤が好ましく用いられる。   Furthermore, the carbon black as the component (a) and the pigment to be added can be mixed with other components as a solution dispersed at an appropriate concentration (for example, 10 to 20%) using a dispersant. The dispersant is not particularly limited. For example, a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant is preferably used.

上記に加えて、本発明の遮光膜形成用感光性組成物には、塗布性の改善、粘度調整のため有機溶剤を配合できる。前記有機溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチルなどが挙げられる。中でも3−メトキシブチルアセテートは遮光膜形成用感光性組成物中の可溶成分に対して優れた溶解性を示すのみならず、顔料などの不溶性成分の分散性を良好にするところから好適である。前記有機添加剤は高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤および遮光性顔料であるカーボンブラックの合計100重量部に対して50〜500重量部の範囲で用いることができる。   In addition to the above, an organic solvent can be added to the photosensitive composition for forming a light-shielding film of the present invention in order to improve coatability and adjust viscosity. Examples of the organic solvent include benzene, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol mono Ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol Roh ether propionate, propylene glycol monoethyl ether propionate, methyl carbonate, ethyl carbonate, propyl carbonate and carbonate butyl. Among these, 3-methoxybutyl acetate is preferable because it not only exhibits excellent solubility for the soluble component in the photosensitive composition for forming a light-shielding film but also improves dispersibility of insoluble components such as pigments. . The organic additive can be used in an amount of 50 to 500 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of carbon black as a polymer binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a light shielding pigment.

また、上記遮光膜形成用感光性組成物には、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等を添加してもよい。上記熱重合禁止剤としては、従来公知のものであってよく、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等が挙げられる。上記消泡剤上記界面活性剤としては、従来公知のものであってよく、シリコーン系、フッ素系化合物が挙げられる。更に、従来公知のものであってよく、アニオン系、カチオン系、ノニオン系等の化合物が挙げられる。   Moreover, you may add a thermal-polymerization inhibitor, an antifoamer, surfactant, etc. to the said photosensitive composition for light shielding film formation. The thermal polymerization inhibitor may be a conventionally known one, and examples thereof include hydroquinone and hydroquinone monoethyl ether. The antifoaming agent may be a conventionally known surfactant, and includes silicone-based and fluorine-based compounds. Furthermore, it may be a conventionally known compound, and examples thereof include anionic, cationic, and nonionic compounds.

以下に(1)遮光膜形成用感光性組成物の調整方法、(2)遮光膜の形成方法について以下に説明する。
(1)遮光膜形成用感光性組成物の調製方法
(a)遮光性顔料としてのカーボンブラック、(b)光重合性化合物、(c)光重合開始剤、および必要に応じて有機添加剤等を加えて3本ロールミル、ボールミル、サンドミル等の撹拌機で混合(分散・混練)し、5μmメンブランフィルターで濾過して遮光膜形成用感光性組成物を調製する。
Hereinafter, (1) a method for adjusting a photosensitive composition for forming a light shielding film, and (2) a method for forming a light shielding film will be described.
(1) Method for preparing photosensitive composition for forming light-shielding film (a) Carbon black as a light-shielding pigment, (b) a photopolymerizable compound, (c) a photopolymerization initiator, and organic additives as required And mixing (dispersing / kneading) with a stirrer such as a three-roll mill, ball mill, or sand mill, and filtering with a 5 μm membrane filter to prepare a photosensitive composition for forming a light-shielding film.

(2)ブラックマトリクス(遮光膜)の形成方法
調整した遮光膜形成用感光性組成物を厚さ0.5〜1.1mmの清浄な表面を有するガラス基板上にロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
上記調製および塗布において、ガラス基板と遮光膜形成用感光性組成物との密着性を向上させるためシランカップリング剤を配合するまたは前記基板に塗布しておくことができる。
上記塗布後、ホットプレートにて80℃〜120℃、好ましくは90℃〜100℃の温度にて60秒〜120秒間乾燥する、または、室温にて数時間〜数日放置するか、または温風ヒーター、赤外線ヒーター中に数十分〜数時間入れて溶剤を除去したのち、塗布膜厚を0.5〜5μmの範囲に調整し、次いでネガマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性性エネルギー線を照射エネルギー線量30〜2000mJ/cmの範囲で露光する。前記照射エネルギー線量は用いる遮光膜感光性組成物の種類に応じて若干変えることがある。露光して得た遮光膜を、現像液を用いて浸漬法、スプレー法等で現像しブラックマトリクスパターンを形成する。現像に使用する現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
上記の製造方法で得られたブラックマトリクスは、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル等、様々な表示装置用として有用である。
(2) Method for forming black matrix (light-shielding film) A roll coater, a reverse coater, and a bar coater are prepared on a glass substrate having a clean surface with a thickness of 0.5 to 1.1 mm. The coating is performed using a contact transfer type coating device such as a spinner (rotary coating device) or a non-contact type coating device such as a curtain flow coater.
In the above preparation and application, a silane coupling agent can be blended or applied to the substrate in order to improve the adhesion between the glass substrate and the photosensitive composition for forming a light-shielding film.
After the above coating, it is dried on a hot plate at a temperature of 80 ° C. to 120 ° C., preferably 90 ° C. to 100 ° C. for 60 seconds to 120 seconds, or left at room temperature for several hours to several days, or warm air After removing the solvent by placing it in a heater or infrared heater for several tens of minutes to several hours, adjust the coating film thickness to the range of 0.5 to 5 μm, and then activate the UV, excimer laser light, etc. through the negative mask An energy beam is exposed in an irradiation energy dose range of 30 to 2000 mJ / cm 2 . The irradiation energy dose may vary slightly depending on the type of light-shielding film photosensitive composition used. The light shielding film obtained by exposure is developed with a developer by a dipping method, a spray method, or the like to form a black matrix pattern. Examples of the developer used for development include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts.
The black matrix obtained by the above manufacturing method is useful for various display devices such as liquid crystal panels and plasma display panels.

以下に本発明の実施例について述べるがこれによって本発明はなんら限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereby.

(樹脂の合成例)
特開2001−354735に従い、500mL四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂235g(エポキシ当量235)とテトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tertブチル−4−メチルフェノール100mg及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25mL/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま攪拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱攪拌を続けた。酸価が目標に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の式[3]で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを加えて溶解した後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物78g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、徐々に昇温して110〜115℃で4時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、化合物1(式中のY/Zモル比=50.0/50.0)を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。
(Resin synthesis example)
According to JP 2001-354735 A, a 500 mL four-necked flask, 235 g of bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tertbutyl-4-methylphenol and acrylic acid 72.0 g was charged and dissolved by heating at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of 25 mL / min. Next, the temperature was gradually raised while the solution was clouded, and the solution was heated to 120 ° C. to be completely dissolved. The solution gradually became transparent and viscous, but stirring was continued as it was. During this time, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the acid value was less than 1.0 mg KOH / g. It took 12 hours for the acid value to reach the target. And it cooled to room temperature and obtained the bisphenol fluorene type epoxy acrylate represented by the colorless and transparent solid-form formula [3]. Next, after adding 600 g of propylene glycol monomethyl ether acetate to 307.0 g of the bisphenolfluorene type epoxy acrylate obtained in this way and dissolving, 78 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed. The temperature was gradually raised and the reaction was carried out at 110 to 115 ° C. for 4 hours. After confirming the disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 ° C. for 6 hours to give compound 1 (Y / Z molar ratio in the formula = 50.0 / 50.0) was obtained. The disappearance of the acid anhydride was confirmed by IR spectrum.

(透過率測定)
以下の実施例1〜4および比較例1、2では、遮光膜形成用感光性組成物を、石英板に光学濃度が1.5になるように、スピンコーター(1H−360s:ミカサ(株)製)を用いて塗布した。この塗布した遮光膜形成用感光性組成物を、90℃で2分間ホットプレート上にて乾燥して遮光膜形成用感光性組成物の膜を形成した。
次いで、UV測定器にて上記形成した膜の紫外線の透過率を測定した。
(Transmittance measurement)
In Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 below, the photosensitive composition for forming a light-shielding film is spin coated (1H-360s: Mikasa Co., Ltd.) so that the optical density of the quartz plate is 1.5. Applied). The coated light-sensitive film-forming photosensitive composition was dried on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a light-shielding film-forming photosensitive composition film.
Subsequently, the transmittance | permeability of the ultraviolet-ray of the formed film | membrane was measured with the UV measuring device.

実施例1〜4および比較例1、2について、以下の表1に示す組成で遮光膜形成用組成物のサンプルを調製し、評価を行った。なお、本実施例および比較例では、重合開始剤を配合せず、UV測定を行った。

Figure 0004611724
About Examples 1-4 and Comparative Examples 1 and 2, the sample of the composition for light shielding film formation was prepared with the composition shown in the following Table 1, and evaluated. In Examples and Comparative Examples, UV measurement was performed without adding a polymerization initiator.
Figure 0004611724

上記表1からわかるように、カーボンブラックの粒子径によりi線の透過率が変化し、分散粒子径が100nm以上、特に分散粒子径が150nm以上で透過率が良好であることがわかる。また、表面粗度は分散粒子径が300nm以上では不良であり、250nm以下、特に200nm以下で良好であることがわかる。   As can be seen from Table 1 above, it can be seen that the transmittance of the i-line varies depending on the particle size of the carbon black, and the transmittance is good when the dispersed particle size is 100 nm or more, particularly when the dispersed particle size is 150 nm or more. Further, it can be seen that the surface roughness is poor when the dispersed particle size is 300 nm or more, and good when the dispersed particle size is 250 nm or less, particularly 200 nm or less.

以下の実施例5〜8および比較例3、4では、実際にブラックマトリックス用にOD値を3.5に調整した遮光膜形成用感光性組成物を表2に示すような組成で調製し、評価を行った。
この遮光膜形成用感光性組成物を、ガラス基材に膜厚1.4μmになるように、スピンコーター(1H−360s:ミカサ(株)製)を用いて塗布し、この塗布した遮光膜形成用感光性組成物を、90℃で2分間ホットプレート上にて乾燥して遮光膜形成用感光性組成物の膜を形成した。
次いで、露光機(EXM−1066−E01:オーク製)にて照射エネルギー線量50〜300mJ/cmまで10mJ/cm間隔で露光した。露光して得た遮光膜を水酸化カリウム0.04%現像液にてスプレー方式により100秒間現像した。
得られたブラックマトリックスにおいて、各露光量における20μmラインの線幅を測長し、マスク線幅20μmに対し、同じ20μmラインが形成される露光感度を示す。更にライン形状を観察し、良好:○、使用できない(ラフネスが大きい):×にて評価した。

Figure 0004611724
In the following Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4, a light-shielding film-forming photosensitive composition actually adjusted to an OD value of 3.5 for a black matrix was prepared with the composition shown in Table 2, Evaluation was performed.
This light-shielding film-forming photosensitive composition was applied to a glass substrate so as to have a film thickness of 1.4 μm using a spin coater (1H-360s: manufactured by Mikasa Co., Ltd.). The photosensitive composition for drying was dried on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a film of the photosensitive composition for forming a light shielding film.
Then, exposure machine: was exposed at an irradiation energy dose 50 to 300 mJ / cm 2 to 10 mJ / cm 2 intervals at (EXM-1066-E01 oak). The light-shielding film obtained by exposure was developed with a potassium hydroxide 0.04% developer by a spray method for 100 seconds.
In the obtained black matrix, the line width of the 20 μm line at each exposure dose is measured, and the exposure sensitivity at which the same 20 μm line is formed with respect to the mask line width of 20 μm is shown. Furthermore, the line shape was observed, and evaluated as good: ◯, unusable (large roughness): x.
Figure 0004611724

上記表2からわかるように、カーボンブラックの分散粒子径により露光感度およびライン形状が変化し、上記分散粒子径が特に100〜250nmで露光感度およびライン形状とも使用に耐えうるものとなり、特に分散粒子径が150〜200nmで露光感度およびライン形状とも良好であった。   As can be seen from Table 2 above, the exposure sensitivity and line shape change depending on the dispersed particle size of carbon black, and the dispersed particle size is particularly 100 to 250 nm, and both the exposure sensitivity and line shape can withstand use. The diameter was 150 to 200 nm and the exposure sensitivity and line shape were both good.

カーボンブラック量とOD値の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between carbon black amount and OD value.

Claims (6)

(a)遮光性顔料としてのカーボンブラック、(b)光重合性化合物、および(c)光重合開始剤を含有する遮光膜形成用感光性組成物において、
前記カーボンブラックの分散粒子径が150〜250nmであり、可視光域(400nmから780nm)でのOD値が1.5のときにおけるi線の透過率が0.25%以上であることを特徴とする遮光膜形成用感光性組成物。
In a photosensitive composition for forming a light shielding film, comprising (a) carbon black as a light shielding pigment, (b) a photopolymerizable compound, and (c) a photopolymerization initiator,
The carbon black has a dispersed particle diameter of 150 to 250 nm and an i-line transmittance of 0.25% or more when the OD value in a visible light region (400 nm to 780 nm) is 1.5. A photosensitive composition for forming a light shielding film.
前記カーボンブラックの分散粒子径が150〜200nmであることを特徴とする請求項1に記載の遮光膜形成用感光性組成物。   The photosensitive composition for forming a light-shielding film according to claim 1, wherein the carbon black has a dispersed particle diameter of 150 to 200 nm. 可視光域(400nmから780nm)でのOD値が3.0以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の遮光膜形成用感光性組成物。 3. The photosensitive composition for forming a light-shielding film according to claim 1 , wherein an OD value in a visible light region (400 nm to 780 nm) is 3.0 or more. 前記(b)光重合性化合物は、式(I)で表される化合物を含むことを特徴とする請求
項1〜のいずれか1項に記載の遮光膜形成用感光性組成物。
Figure 0004611724
(式(I)中、Xは、式(II)
Figure 0004611724
で示される基であり、Yは、ジカルボン酸無水物からカルボン酸無水物基(−CO−O
−CO−)を除いた残基である。
Zは、テトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた残基である。)
The said (b) photopolymerizable compound contains the compound represented by Formula (I), The photosensitive composition for light shielding film formation of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
Figure 0004611724
(In the formula (I), X represents the formula (II)
Figure 0004611724
Y represents a dicarboxylic acid anhydride to a carboxylic acid anhydride group (—CO—O
It is a residue excluding -CO-).
Z is a residue obtained by removing two carboxylic anhydride groups from tetracarboxylic dianhydride. )
前記(c)光重合開始剤は、式(III)で示される化合物の少なくとも一種を含むこと
を特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の遮光膜形成用感光性組成物。
Figure 0004611724
(式(III)中、Xは、式(IV)又は式(V)で示される基であり、Rは、フェニル基、C−C20アルキル基、CN、NO又はC−Cハロアルキル基であり、Rは、C−C12アシル基、C−Cアルケノイル基である。)
Figure 0004611724
(式(IV)中、R−Rは、水素、ハロゲン、C−C12アルキル基、フェニル基又
はベンゼンスルファニル(CS−)である。)
Figure 0004611724
(式(V)中、R−Rは、水素、ハロゲン、C−C12アルキル基又はフェニル基
である。)
Wherein (c) photopolymerization initiator, at least comprise one characterized by claim 1 forming a light-shielding film for photosensitive composition according to any one of 4 of the compound represented by the formula (III).
Figure 0004611724
(In formula (III), X is a group represented by formula (IV) or formula (V), and R 1 is a phenyl group, a C 1 -C 20 alkyl group, CN, NO 2 or C 1 -C. 4 is a haloalkyl group, and R 2 is a C 2 -C 12 acyl group or a C 4 -C 6 alkenoyl group.)
Figure 0004611724
(In formula (IV), R 3 -R 7 is hydrogen, halogen, C 1 -C 12 alkyl group, phenyl group or benzenesulfanyl (C 6 H 5 S—).)
Figure 0004611724
(In formula (V), R 8 -R 9 is hydrogen, halogen, a C 1 -C 12 alkyl group or a phenyl group.)
請求項1〜のいずれか1項に記載の遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラック
マトリクス。
The black matrix formed with the photosensitive composition for light shielding film formation of any one of Claims 1-5 .
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