JP4601843B2 - 発光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極間に発光性材料を挟んだ素子(以下、発光素子という)を有する装置(以下、発光装置という)およびその作製方法に関する。特に発光性材料としてEL(Electro Luminescence)が得られる発光性材料(以下、EL材料という)を利用した発光素子(以下、EL素子という)を用いた発光装置(特にEL発光装置という)に関する。
【0002】
なお、本発明に用いることのできるEL材料は、一重項励起もしくは三重項励起または両者の励起を経由して発光(燐光および/または蛍光)するすべての発光性材料を含む。
【0003】
【従来の技術】
近年、EL発光装置の開発が進んでいる。EL発光装置は、陽極と陰極との間にEL材料を挟んだ構造のEL素子を有した構造からなる。この陽極と陰極との間に電圧を加えてEL材料中に電流を流することによりキャリアを再結合させて発光させる。即ち、EL発光装置は発光素子自体に発光能力があるため、液晶表示装置に用いるようなバックライトが不要である。さらに視野角が広く、軽量であり、且つ、低消費電力という利点をもつ。
【0004】
EL発光装置の陽極としては仕事関数の大きい導電膜、代表的には透明な酸化物導電膜が用いられる。酸化物導電膜は可視光を透過するためEL層から発した光を容易に取り出すことができるが、金属膜に比べて抵抗が高いという欠点を持っていた。陽極の抵抗が高いとEL層に電流を注入する効率が悪くなるばかりでなく、応答の遅い素子となってしまうといった問題があった。
【0005】
また、酸化物導電膜は蒸着法もしくはスパッタ法により形成されるが、成膜時にゴミが出るなどの問題が多かった。また、結晶化することでエッチングが困難になるといった問題もあり、金属膜に比べて取り扱いが難しい導電膜の一つであった。
【0006】
ところが、EL発光装置の陰極が金属膜であるため、陽極側には透明な導電膜を用いないと発光が取り出せないといった問題があった。そのため現状では陽極材料としては酸化物導電膜を用いる以外になかった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は陽極として酸化物導電膜の代わりに仕事関数の高い金属膜もしくは半導体膜を用いることで陽極の抵抗を低め、電流注入効率が高く、応答性に優れた発光装置を作製することを課題とする。また、そのために必要な素子構造を有した発光装置およびそれを用いた電気器具を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明では、陽極として仕事関数の高い金属膜もしくは半導体膜を用いるために、発光素子の陽極もしくは陰極にスリット(光を遮らないようにするための細隙)を設け、陽極もしくは陰極としての機能を果たすと同時に光の通路を確保する電極構造を用いることを特徴とする。このとき、スリットは陽極に設けても良いし、陰極に設けても良い。また、陽極と陰極の両方に設けても良い。本発明では光の通路としてスリットを設けた電極を用いることで、陽極として金属膜もしくは半導体膜を用いることができる。
【0009】
ここで、スリットの間隔(隣接するスリット間の距離)は0.5〜3μm(好ましくは1.0〜2.0μm)で、スリットの幅はスリットの間隔の5〜15倍が良い。例えば、スリットの間隔が1.5μmのとき、スリットの幅は10〜15μmが望ましい。また、陽極においてスリットの占める割合が70〜90%となるように設けると良い。
【0010】
EL発光装置において、陽極の役割は正孔(ホール)を注入することであり、EL材料よりもHOMO準位の高い材料であることが要求される。即ち、仕事関数の大きい材料であることが望ましい。このような要求を満たす材料ならば酸化物導電膜に限らず、金属膜もしくは半導体膜を用いることも可能である。そのような金属膜としては、白金(Pt)、クロム(Cr)、タングステン(W)もしくはニッケル(Ni)を用いることができる。また、半導体膜としては、シリコン(Si)もしくはゲルマニウム(Ge)を用いることができる。
【0011】
このように本発明を実施することで、陽極として使用可能な材料の選択の幅が増加し、従来の発光装置よりも駆動電圧の低い発光装置や発光輝度の高い発光装置を得ることが可能となる。また、酸化物導電膜よりも抵抗の低い金属膜もしくは半導体膜を陽極として用いることも可能となるため、電流注入効率が高く、応答性に優れた発光装置を得ることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図1、2を用いて説明する。なお、図1、2に示したのは画素部における作製工程を示す断面図である。また、本実施の形態によって作製される画素の上面図を図3に示す。図3に用いた符号は図1、2で用いた符号に対応している。
【0013】
図1(A)において、101は素子が形成される基板(以下、素子形成基板という)であり、その上には非晶質シリコン膜からなる剥離層102が100〜500nm(本実施の形態では300nm)の厚さに形成される。本実施の形態では素子形成基板101としてガラス基板を用いるが、石英基板、シリコン基板、金属基板もしくはセラミックス基板を用いても構わない。
【0014】
なお、本明細書中では、半導体素子もしくは発光素子が形成された基板全体を指して素子形成基板と呼ぶ場合もある。
【0015】
また、剥離層102の成膜は減圧熱CVD法、プラズマCVD法、スパッタ法もしくは蒸着法を用いれば良い。剥離層102の上には酸化シリコン膜からなる絶縁膜103が200nmの厚さに形成される。絶縁膜103の形成は減圧熱CVD法、プラズマCVD法、スパッタ法もしくは蒸着法を用いれば良い。
【0016】
また、絶縁膜103の上には結晶質シリコン膜104が50nmの厚さに形成される。結晶質シリコン膜104の形成方法としては公知の手段を用いることが可能である。固体レーザーもしくはエキシマレーザーを用いて非晶質シリコン膜をレーザー結晶化させても良いし、非晶質シリコン膜を加熱処理(ファーネスアニール)により結晶化させても良い。
【0017】
次に、図1(B)に示すように、結晶質シリコン膜104をパターニングして島状の結晶質シリコン膜(以下、活性層という)105、106を形成する。そして活性層を覆って酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜107を80nmの厚さに形成する。さらに、ゲート絶縁膜107の上にゲート電極108、109を形成する。本実施の形態ではゲート電極108、109の材料として、350nm厚のタングステン膜もしくはタングステン合金膜を用いる。勿論、ゲート電極の材料としては他の公知の材料を用いることができる。
【0018】
そして、ゲート電極108、109をマスクとして周期表の13族に属する元素(代表的にはボロン)を添加する。添加方法は公知の手段を用いれば良い。こうしてp型の導電型を示す不純物領域(以下、p型不純物領域という)110〜114が形成される。また、ゲート電極の直下にはチャネル形成領域115〜117が画定する。なお、p型不純物領域110〜114はTFTのソース領域もしくはドレイン領域となる。
【0019】
次に、図1(C)に示すように、保護膜(ここでは窒化シリコン膜)118を50nmの厚さに形成し、その後、加熱処理を行って添加された周期表の13族に属する元素の活性化を行う。この活性化はファーネスアニール、レーザーアニールもしくはランプアニールにより行うか、又はそれらを組み合わせて行えば良い。本実施の形態では500℃4時間の加熱処理を窒素雰囲気で行う。
【0020】
活性化が終了したら、水素化処理を行うと効果的である。水素化処理は公知の水素アニール技術もしくはプラズマ水素化技術を用いれば良い。
【0021】
次に、図1(D)に示すように、酸化シリコン膜からなる第1層間絶縁膜119を800nmの厚さに形成し、コンタクトホールを形成して配線120〜123を形成する。第1層間絶縁膜119としては他の無機絶縁膜を用いても良いし、樹脂(有機絶縁膜)を用いても良い。本実施の形態では配線120〜123としてチタン/アルミニウム/チタンの三層構造からなる金属配線を用いる。勿論、導電膜であれば如何なる材料を用いても良い。配線120〜123はTFTのソース配線もしくはドレイン配線となる。
【0022】
この状態でスイッチング用TFT201及び電流制御用TFT(駆動用TFT)202が完成する。本実施の形態ではどちらのTFTもpチャネル型TFTで形成される。但し、スイッチング用TFT201はゲート電極が活性層を二カ所で横切るように形成されており、二つのチャネル形成領域が直列に接続された構造となっている。このような構造とすることでオフ電流値(TFTがオフされた時に流れる電流)を効果的に抑制することができる。
【0023】
また、同時に図3(B)に示すように保持容量301が形成される。保持容量301はTFTの活性層と同時に形成された半導体層302、ゲート絶縁膜107及びゲート電極109で形成される下側保持容量と、ゲート電極109、第1層間絶縁膜119及び配線123で形成される上側保持容量とで形成される。また、半導体層302は配線123と電気的に接続されている。
【0024】
次に、図1(E)に示すように、金属膜を100nmの厚さに形成し、パターニングにより画素電極(EL素子の陽極として機能する)124を形成する。このとき、配線122と画素電極124とはオーミック接触をする。従って、画素電極124と電流制御用TFT202とは電気的に接続される。なお、金属膜としては、白金(Pt)、クロム(Cr)、タングステン(W)もしくはニッケル(Ni)を用いることができる。また、半導体膜としては、シリコン(Si)もしくはゲルマニウム(Ge)を用いることができる。
【0025】
また、ここで形成された画素電極124を上面から見ると図3(A)に示すような構造となっている。但し、図3(A)に示す上面図では有機EL材料および陰極を図示していない。
【0026】
図3(A)に示すように、画素電極124は複数のスリット300を有し、電流制御TFT202のドレイン配線122に接続される。また、画素電極124はスイッチングTFT201および電流制御TFT202のチャネル形成領域を隠す遮光膜としても機能している。また、本実施の形態では、スリット300の間隔(図3(A)中のAで示される距離)を2μm、スリットの幅(図3(A)中のBで示される距離)を20μmとする。
【0027】
画素電極124を形成したら、酸化シリコン膜からなる第2層間絶縁膜125を300nmの厚さに形成する。そして、開口部126を形成し、1〜20nm(好ましくは3〜5nm)の厚さの無機材料からなる絶縁膜を形成する。この様子を図4に示す。図4(A)において401で示された領域を拡大したのが図4(B)である。図4(B)に示すように画素電極124を覆うように無機材料からなる絶縁膜402が形成されている。
【0028】
無機材料からなる絶縁膜402としては、珪素を含む絶縁膜(典型的には酸化珪素膜、窒化珪素膜、窒化酸化珪素膜もしくはこれらにアルミニウムを添加した膜)、酸化タンタル膜、酸化アルミニウムまたは非晶質炭素膜(ダイヤモンドライクカーボン膜を含む)を用いることができる。膜厚はトンネル電流が流れる程度に薄いことが望ましく、1〜20nm(好ましくは3〜5nm)とする。
【0029】
図4(B)のような構造とすると、有機EL層127が直接第1層間絶縁膜119に触れることがない。第1層間絶縁膜119として樹脂膜を用いるような場合には有効な構造である。もちろん、無機材料からなる絶縁膜402は省略することも可能である。
【0030】
次に、70nm厚の有機EL層127及び300nm厚の陰極128を蒸着法により形成する。なお、陰極128としては、MgAg(マグネシウムと銀の合金)膜とアルミニウム膜との積層膜またはリチウムを含有したアルミニウム膜を用いることができる。
【0031】
また、本実施の形態では有機EL層127として20nm厚の正孔注入層及び50nm厚の発光層を積層した構造を用いる。勿論、発光層に正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層もしくは電子注入を組み合わせた公知の他の構造を用いても良い。
【0032】
本実施の形態では、正孔注入層としてCuPc(銅フタロシアニン)を用いる。この場合、まず全ての画素電極を覆うように銅フタロシアニンを形成し、その後、赤色、緑色及び青色に対応する画素ごとに各々赤色の発光層、緑色の発光層及び青色の発光層を形成する。形成する領域の区別は蒸着時にシャドーマスクを用いて行えば良い。このようにすることでカラー表示が可能となる。
【0033】
なお、緑色の発光層を形成する時は、発光層の母体材料としてAlq3(トリス−8−キノリノラトアルミニウム錯体)を用い、キナクリドンもしくはクマリン6をドーパントとして添加する。また、赤色の発光層を形成する時は、発光層の母体材料としてAlq3を用い、DCJT、DCM1もしくはDCM2をドーパントとして添加する。また、青色の発光層を形成する時は、発光層の母体材料としてBAlq3(2−メチル−8−キノリノールとフェノール誘導体の混合配位子を持つ5配位の錯体)を用い、ペリレンをドーパントとして添加する。
【0034】
また、陽極とEL層との間に導電性ポリマーを設けても良い。可溶性の導電性ポリマーを印刷法もしくはインクジェット法で塗布すると、画素電極124のスリット300による段差を平坦化するという効果が得られる。
【0035】
勿論、本願発明では上記有機材料に限定する必要はなく、公知の低分子系有機EL材料、高分子系有機EL材料もしくは無機EL材料を用いることが可能である。高分子系有機EL材料を用いる場合は塗布法を用いることもできる。
【0036】
以上のようにして、画素電極(陽極)124、無機材料からなる絶縁膜402、有機EL層127及び陰極128からなるEL素子(図3(B)において303で示される)が形成される。本実施の形態ではこのEL素子が発光素子として機能する。
【0037】
次に、図2(A)に示すように、第1接着剤129により素子を固定するための基板(以下、固定基板という)130を貼り合わせる。本実施の形態では固定基板130として可撓性のプラスチックフィルムを用いるが、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、シリコン基板もしくはセラミックス基板を用いても良い。なお、プラスチックフィルムとしては、PES(ポリエチレンサルファイル)、PC(ポリカーボネート)、PET(ポリエチレンテレフタレート)もしくはPEN(ポリエチレンナフタレート)を用いることができる。
【0038】
また、第1接着剤129としては、後に剥離層102を除去する際に選択比のとれる材料を用いる必要がある。代表的には樹脂からなる絶縁膜を用いることができ、本実施の形態ではポリイミドを用いるが、アクリル、ポリアミドもしくはエポキシ樹脂を用いても良い。なお、EL素子から見て観測者側(発光装置の使用者側)に位置する場合は、光を透過する材料であることが必要である。
【0039】
図2(A)のプロセスを行うことによりEL素子を完全に大気から遮断することができる。これにより酸化による有機EL材料の劣化をほぼ完全に抑制することができ、EL素子の信頼性を大幅に向上させることができる。
【0040】
次に、図2(B)に示すように、EL素子の形成された基板全体を、フッ化ハロゲンを含むガス中に晒し、剥離層102の除去を行う。なお、フッ化ハロゲンとは化学式XFn(Xはフッ素以外のハロゲン、nは整数)で示される物質であり、一フッ化塩素(ClF)、三フッ化塩素(ClF3)、一フッ化臭素(BrF)、三フッ化臭素(BrF3)、一フッ化ヨウ素(IF)もしくは三フッ化ヨウ素(IF3)を用いることができる。
【0041】
本実施の形態ではフッ化ハロゲンとして三フッ化塩素(ClF3)を用い、希釈ガスとして窒素を用いる。希釈ガスとしては、アルゴン、ヘリウムもしくはネオンを用いても良い。流量は共に500sccm(8.35×10-6m3/s)とし、反応圧力は1〜10Torr(1.3×102〜1.3×103Pa)とすれば良い。また、処理温度は室温(典型的には20〜27℃)で良い。
【0042】
この場合、シリコン膜はエッチングされるが、プラスチックフィルム、ガラス基板、ポリイミド膜、酸化シリコン膜はエッチングされない。即ち、三フッ化塩素ガスに晒すことで剥離層102が選択的にエッチングされ、最終的には完全に除去される。なお、同じくシリコン膜で形成されている活性層105、106はゲート絶縁膜107に覆われているため三フッ化塩素ガスに晒されることがなく、エッチングされることはない。
【0043】
本実施の形態の場合、剥離層102は露呈した端部から徐々にエッチングされていき、完全に除去された時点で素子形成基板101と絶縁膜103が分離される。このとき、TFT及びEL素子は薄膜を積層して形成されているが、固定基板130に移された形で残る。
【0044】
なお、ここでは剥離層102が端部からエッチングされていくことになるが、素子形成基板101が大きくなると完全に除去されるまでの時間が長くなり好ましいものではない。従って、本実施の形態は素子形成基板101が対角3インチ以下(好ましくは対角1インチ以下)の場合に実施することが望ましい。
【0045】
こうして固定基板130にTFT及びEL素子を移したら、図2(C)に示すように、第2接着剤131を形成し、プラスチックフィルム132を貼り合わせる。第2接着剤131としては樹脂からなる絶縁膜(代表的にはポリイミド、アクリル、ポリアミドもしくはエポキシ樹脂)を用いても良いし、無機材料からなる絶縁膜(代表的には酸化シリコン膜)を用いても良い。なお、EL素子から見て観測者側に位置する場合は、光を透過する材料であることが必要である。
【0046】
こうしてガラス基板101からプラスチックフィルム132へとTFT及びEL素子が移される。その結果、二枚のプラスチックフィルム130、132によって挟まれたフレキシブルなEL表示装置を得ることができる。このように固定基板(ここではプラスチックフィルム)130と貼り合わせ基板(ここではプラスチックフィルム)132を同一材料とすると熱膨張係数が等しくなるので、温度変化による応力歪みの影響を受けにくくすることができる。
【0047】
以上のような本発明の発光装置は、EL素子の陽極として金属膜もしくは半導体膜を用いることができるため、ゴミの発生等の成膜時の不具合を従来の酸化物導電膜よりも低減しうる。そのため、作製工程における歩留まりが向上し、製造コストの低減を図ることができる。
【0048】
さらに本実施の形態により作製されたEL表示装置は、フォトリソグラフィに必要なマスク枚数がトータルで6枚と非常に少なく、高い歩留まりと低い製造コストを達成することができる。また、こうして形成されたEL表示装置は、プラスチック支持体の耐熱性に制限されることなく形成されたTFTを半導体素子として用いることができるので非常に高性能なものとすることができる。
【0049】
なお、本発明の構成は、本実施の形態の構成に限定されるべきものではない。
本発明は陰極もしくは陽極にスリットが設けられている点に特徴があり、その他の構成は如何なる構成であっても良い。例えば、アクティブマトリクス型の表示装置に限らず、パッシブマトリクス型の表示装置に適用することもできる。
【0050】
【実施例】
〔実施例1〕
本実施例では、図1〜図3とは異なる構造の画素部を有する発光装置について説明する。説明には図5、図6を用いる。
【0051】
まず、図1の作製工程に従って図1(D)の工程まで行う。但し、本実施例では画素電極501を、スリットを設けずに形成する。また、本実施例では画素電極501の形成材料として白金を用いる。(図5(A))
【0052】
次に、発明の実施の形態で説明したように、同様に第2層間絶縁膜125を形成し、開口部126を形成して有機EL層502を形成する。EL層502の形成は実施例1に従えば良い。また、EL層502の上に陰極503を形成する。本実施例では陰極503の材料としてリチウムを添加したアルミニウム膜を用いる。なお、陰極503の成膜は蒸着法を用いるが、本実施例ではシャドーマスクを用いることによりスリットを有した陰極とする。ここで図5(B)の状態の上面図を図6に示す。
【0053】
図6において、503が陰極であり、陰極503には複数のスリット504が設けられている。この場合、スリット504の部分だけ陰極503の下に形成されたEL層が露呈することになる。そこで本実施例では図5(C)に示すように陰極503を覆うパッシベーション膜505を形成する。
【0054】
パッシベーション膜505としては、無機材料からなる絶縁膜を用いることができる。本実施例では300nmの厚さの窒化珪素膜を用い、有機EL層502が外気に触れることを防ぐ構造となっている。このパッシベーション膜505は陰極503を形成した後に大気解放しないで連続的に形成することが望ましい。
【0055】
このあとは、発明の実施の形態で説明したように、第1接着剤129により固定基板130を貼り合わせ、EL素子の形成された基板全体を、フッ化ハロゲンを含むガス中に晒して剥離層102の除去を行う。本実施例ではフッ化ハロゲンとして三フッ化塩素(ClF3)を用い、希釈ガスとして窒素を用いる。その他の条件は発明の実施の形態を参照すれば良い。
【0056】
そして、固定基板130にTFT及びEL素子を移したら、第2接着剤131によりプラスチックフィルム132を貼り合わせる。こうしてガラス基板101からプラスチックフィルム132へとTFT及びEL素子が移され、図5(C)に示すEL発光装置が得られる。
【0057】
〔実施例2〕
本発明において、固定基板及び/又は貼り合わせ基板の片面もしくは両面にDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を形成しておくことは有効である。但し、膜厚が厚すぎると透過率が落ちるので、50nm以下(好ましくは10〜20nm)とすると良い。
【0058】
DLC膜の特徴としては、1550cm-1くらいに非対称のピークを有し、1300cm-1くらいに肩をもつラマンスペクトル分布を有する。また、微小硬度計で測定した時に15〜25Paの硬度を示すという特徴をもつ。
【0059】
DLC膜はプラスチック支持体に比べて硬度が大きく、熱伝導率も大きいため、表面保護や熱分散のための保護膜として設けておくことが有効である。
【0060】
従って、プラスチック支持体を貼り付ける前に予めDLC膜を成膜しておいて貼り付けるか、プラスチック支持体を貼り付けた後にDLC膜を成膜することも可能である。いずれにしてもDLC膜の成膜はスパッタ法もしくはECRプラズマCVD法を用いれば良い。
【0061】
〔実施例3〕
本発明のEL発光装置は図7に示す回路構成の画素部とすることができる。図7において、701はソース配線、702はゲート配線、703はスイッチングTFT、704は電流制御TFT、705は電流供給線、706はEL素子である。本実施例ではスイッチングTFT703および電流制御TFT704がpチャネル型TFTで作製されている。勿論、スイッチングTFT703および電流制御TFT704はどちらか片方がnチャネル型TFTであっても良いし、両者がnチャネル型TFTであっても良い。
【0062】
なお、本実施例では図3のコンデンサ301と同じ役割を、電流制御TFT704のゲート容量で補っている。これは、デジタル駆動により時分割階調表示を行う場合、1フレーム期間(もしくは1フィールド期間)が短いため、電流制御TFTのゲート容量だけで電荷を保持しうるためである。
【0063】
なお、本実施例の構成は実施例1、2の構成と組み合わせて実施することが可能である。
【0064】
〔実施例4〕
実施例3において、図7に示した画素部の回路構成は、図8に示した回路構成としても良い。図8において、801はソース配線、802はゲート配線、803はスイッチングTFT、804は電流制御TFT、805は電流供給線、806はEL素子である。本実施例ではスイッチングTFT803および電流制御TFT804がpチャネル型TFTで作製されている。勿論、スイッチングTFT703および電流制御TFT704はどちらか片方がnチャネル型TFTであっても良いし、両者がnチャネル型TFTであっても良い。
【0065】
このとき、ゲート配線802と電流供給線805は異なる層に形成されるため、両者が層間絶縁膜を挟んで重なるように設けることは有効である。このようにすることで実質的に配線の占有面積を共通化することができ、画素の有効発光面積を増やすことができる。
【0066】
なお、本実施例の構成は実施例1〜3のいずれの構成とも自由に組み合わせて実施することが可能である。
【0067】
〔実施例5〕
本実施例では、本発明のEL発光装置の外観図を説明する。なお、図9(A)は本発明のEL発光装置の上面図であり、図9(B)はその断面図である。
【0068】
図9(A)において、901は素子形成基板、902は画素部、903はソース側駆動回路、904はゲート側駆動回路であり、それぞれの駆動回路は配線905を経てFPC(フレキシブルプリントサーキット)906に至り、外部機器へと接続される。このとき、画素部902、ソース側駆動回路903及びゲート側駆動回路904を囲むようにして第1シール材911、カバー材912、接着剤913(図9(B)参照)及び第2シール材914が設けられている。
【0069】
また、図9(B)は図9(A)をA−A’で切断した断面図に相当する。このとき、素子形成基板901の上方(厳密には素子形成基板901上に設けられた絶縁体の上)には駆動回路を形成するTFT91、スイッチングTFT92および電流制御TFT93が設けられる。スイッチングTFT92および電流制御TFT93の形成方法は既に説明したので省略する。本実施例では電流制御TFT93の画素電極(陽極)にスリットが設けられている。また、駆動回路を形成するTFT93は、公知のCMOS回路、PMOS回路もしくはNMOS回路で形成すれば良い。
【0070】
EL素子の陰極は915で示される領域において配線905に電気的に接続される。配線905は陰極に所定の電圧を与えるための配線であり、異方導電性フィルム916を介してFPC906に電気的に接続される。さらにEL素子は、第1シール材911及びそれによって基板901に貼り合わされたカバー材912で囲まれ、接着剤913により封入されている。
【0071】
なお、接着剤913の中にスペーサを含有させてもよい。このとき、スペーサを酸化バリウムで形成すればスペーサ自体に吸湿性をもたせることが可能である。また、スペーサを設けた場合、スペーサからの圧力を緩和するバッファ層として陰極上に樹脂膜を設けることも有効である。
【0072】
また、接着剤913の代わりに不活性ガス(希ガスもしくは窒素ガス)を封入することもできる。この際、加圧雰囲気で不活性ガスの封入工程を行えば、外部からの酸素や水の侵入を効果的に防ぐことが可能である。
【0073】
また、配線905は異方導電性フィルム916を介してFPC906に電気的に接続される。配線905は画素部902、ソース側駆動回路903及びゲート側駆動回路904に送られる信号をFPC906に伝え、FPC906により外部機器と電気的に接続される。
【0074】
また、本実施例では第1シール材911の露呈部及びFPC906の一部を覆うように第2シール材914を設け、EL素子を徹底的に外気から遮断する構造となっている。こうして図9(B)の断面構造を有するEL発光装置となる。なお、本実施例のEL発光装置は実施例1〜4のいずれの構成を組み合わせて作製しても構わない。
【0075】
〔実施例6〕
本実施例では、本発明のEL発光装置の画素構造について図10(A)、(B)に示す。本実施例において、1001はスイッチングTFT1002のソース配線、1003はスイッチングTFT1002のゲート配線、1004は電流制御TFT、1005はコンデンサ(省略することも可能)、1006は電流供給線、1007は電源制御TFT、1008はEL素子、1009は電源制御線とする。このとき、ソース配線1001、ゲート配線1003、電流供給線1006および電源制御線1009が同一の層に同一の導電膜で形成される。
【0076】
なお、電源制御TFT1007の動作については特願平11−341272号を参照すると良い。ただし本実施例では電源制御TFTを電流制御TFTと同一構造のpチャネル型TFTとする。
【0077】
また、本実施例では電源制御TFT1007を電流制御TFT1004とEL素子1008との間に設けているが、電源制御TFT1007とEL素子1008との間に電流制御TFT1004が設けられた構造としても良い。また、電源制御TFT1007は電流制御TFT1004と同一構造とするか、同一の活性層で直列させて形成するのが好ましい。
【0078】
また、図10(A)は、二つの画素間で電流供給線1006を共通とした場合の例である。即ち、二つの画素が電流供給線1006を中心に線対称となるように形成されている点に特徴がある。この場合、電流供給線の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精細化することができる。また、図10(B)は、ゲート配線1003と平行に電流供給線1010を設け、ソース配線1001と平行に電源制御線1011を設けた場合の例である。
【0079】
なお、本実施例の構成は実施例1〜5のいずれの構成とも自由に組み合わせて実施することが可能である。
【0080】
〔実施例7〕
本実施例では、本発明のEL発光装置の画素構造について図11(A)、(B)に示す。なお、本実施例において、1101はスイッチングTFT1102のソース配線、1103はスイッチングTFT1102のゲート配線、1104は電流制御TFT、1105はコンデンサ(省略することも可能)、1106は電流供給線、1107は消去TFT、1108は消去用ゲート配線、1109はEL素子とする。このとき、ソース配線1101、ゲート配線1103、電流供給線1106および消去用ゲート配線1108が同一の層に同一の導電膜で形成される。
【0081】
なお、消去TFT1107の動作については特願平11−338786号を参照すると良い。ただし本実施例では電源制御TFTを電流制御TFTと同一構造のpチャネル型TFTとする。また、特願平11−338786号では消去用ゲート配線を消去用ゲート信号線と呼んでいる。
【0082】
消去TFT1107のドレインは電流制御TFT1104のゲートに接続され、電流制御TFT1104のゲート電圧を強制的に変化させることができるようになっている。なお、消去TFT1107はpチャネル型TFTとし、オフ電流を小さくできるようにスイッチング用TFT1102と同一構造とすることが好ましい。
【0083】
また、図11(A)は、二つの画素間で電流供給線1106を共通とした場合の例である。即ち、二つの画素が電流供給線1106を中心に線対称となるように形成されている点に特徴がある。この場合、電流供給線の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精細化することができる。また、図11(B)は、ゲート配線1103と平行に電流供給線1110を設け、ソース配線1101と平行に消去ゲート配線1111を設けた場合の例である。
【0084】
なお、本実施例の構成は実施例1〜5のいずれの構成とも自由に組み合わせて実施することが可能である。
【0085】
〔実施例8〕
本発明のEL発光装置は画素内にいくつのTFTを設けた構造としても良い。
実施例6、7ではTFTを三つ設けた例を示しているが、四つ乃至六つのTFTを設けても構わない。本発明はEL発光装置の画素構造に限定されずに実施することが可能である。
【0086】
なお、本実施例の構成は実施例1〜5のいずれの構成とも自由に組み合わせて実施することが可能である。
【0087】
〔実施例9〕
「発明の実施の形態」において、絶縁膜103に窒化珪素膜もしくは窒化酸化珪素膜を設け、保護膜118に窒化珪素膜もしくは窒化酸化珪素膜を設ける構成とすることが好ましい。
【0088】
このような構造とすると、スイッチング用TFT201および電流制御用TFT202が窒化珪素膜もしくは窒化酸化珪素膜で挟まれた構造となり、外部からの水分や可動イオンの侵入を効果的に防ぐことができる。
【0089】
また、第1層間絶縁膜119として有機絶縁膜を用いる場合、第1層間絶縁膜119と画素電極124の間に窒化珪素膜もしくはDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を設け、さらに陰極128の上に前述の窒化珪素膜もしくはDLC膜を設けることは好ましい。
【0090】
このような構造とすると、EL素子303が窒化珪素膜もしくはDLC膜で挟まれた構造となり、外部からの水分や可動イオンの侵入を防ぐだけでなく、酸素の侵入をも効果的に防ぐことができる。EL素子中の発光層などの有機材料は酸素によって容易に酸化して劣化するため、本実施例のような構造とすることで大幅に信頼性を向上することができる。
【0091】
以上のように、TFTを保護するための対策とEL素子を保護するための対策を併用して施すことで電子装置全体の信頼性を高めることができる。
【0092】
なお、本実施例の構成は、実施例1〜実施例8のいずれの構成とも自由に組み合わせることが可能である。
【0093】
〔実施例10〕
本実施例では、スリットを設けた画素電極の上に導電性ポリマー膜を形成した例を図15に示す。なお、本実施例の発光装置は、EL層の構成以外の構成にお
いて
【発明の実施の形態】
に示した発光装置と同じである。従って、EL層の構成以外の説明は省略する。
【0094】
導電性ポリマーとしては、共役系高分子であるポリアセチレン、ポリチオフェン、ポリ(3−メチル)チオフェン、ポリ(3−エチル)チオフェン、ポリ(3−n−ブチル)チオフェン、ポリ(3−ヘキシル)チオフェン、ポリ(3−オクチル)チオフェン、ポリ(3−ドデシル)チオフェン、ポリ(3−オクタデシル)チオフェン、ポリ(3−アイコシル)チオフェンもしくはポリ(3−メチル−Co−ブチル)チオフェンに、ドーパントとしてPF6 -、臭素もしくはヨウ素を用いたものを用いることができる。
【0095】
なお、ポリ(3−ヘキシル)チオフェン、ポリ(3−オクチル)チオフェン、ポリ(3−ドデシル)チオフェン、ポリ(3−オクタデシル)チオフェン、ポリ(3−アイコシル)チオフェン及びポリ(3−メチル−Co−ブチル)チオフェンは可溶性である。溶媒としては、クロロホルム、ベンゼンもしくはテトラリンなどを用いることができる。
【0096】
本実施例では、スリット300を設けた画素電極(陽極)124上に導電性ポリマー膜150を10〜50nm(好ましくは20〜30nm)の厚さに形成する。導電性ポリマー膜150として可溶性のものを用い、印刷法もしくはインクジェット法により成膜すればスリット300による段差を平坦化することが可能である。
【0097】
そして、導電性ポリマー膜150上に、発光層151としてAlq3を蒸着法により形成する。勿論、公知の発光層で代用しても良い。
【0098】
こうしてEL層が形成されたら、その上に陰極128としてリチウムを含有したアルミニウム膜を形成する。
【0099】
以上のようにして、画素電極124、導電性ポリマー膜150、発光層151および陰極128からなるEL素子152が形成される。
【0100】
なお、本実施例の構成は、実施例1〜9のいずれの構成とも組み合わせて実施することが可能である。
【0101】
〔実施例11〕
本実施例ではEL層および陰極を形成するための成膜装置について図12を用いて説明する。図12において、1201は搬送室(A)であり、搬送室(A)1201には搬送機構(A)1202が備えられ、基板1203の搬送が行われる。搬送室(A)1201は減圧雰囲気にされており、各処理室とはゲートによって遮断されている。各処理室への基板の受け渡しは、ゲートを開けた際に搬送機構(A)によって行われる。
【0102】
また、搬送室(A)1201を減圧するためにクライオポンプを用いる。なお、図12の成膜装置では、搬送室(A)1201の側面に排気ポート1204が設けられ、その下に排気ポンプが設置される。このような構造とすると排気ポンプのメンテナンスが容易になるという利点がある。
【0103】
以下に、各処理室についての説明を行う。なお、搬送室(A)1201は減圧雰囲気となるので、搬送室(A)1201に直接的に連結された処理室には全て排気ポンプ(図示せず)が備えられている。排気ポンプとしては油回転ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプもしくはクライオポンプが用いられる。
【0104】
まず、1205は基板のセッティング(設置)を行うストック室であり、ロードロック室とも呼ばれる。ストック室1205はゲート1200aにより搬送室(A)1201と遮断され、ここに基板1203をセットしたキャリア(図示せず)が配置される。また、ストック室1205は上述の排気ポンプと高純度の窒素ガスまたは希ガスを導入するためのパージラインを備えている。
【0105】
また、本実施例では基板1203を、素子形成面を下向きにしてキャリアにセットする。これは後に蒸着法による成膜を行う際に、フェイスダウン方式を行いやすくするためである。フェイスダウン方式とは、基板の素子形成面が下を向いた状態で成膜する方式をいい、この方式によればゴミの付着などを抑えることができる。
【0106】
次に、1206は搬送室(B)であり、ストック室1205とはゲート1200bを介して連結され、搬送機構(B)1207を備えている。また、1208は焼成室(ベーク室)であり、ゲート1200cを介して搬送室(B)1206と連結している。
【0107】
なお、焼成室1208は基板の面の上下を反転させる機構を有する。即ち、フェイスダウン方式で搬送されてきた基板はここで一旦フェイスアップ方式に切り替わる。これは次のスピンコータ室1209での処理がフェイスアップ方式で行えるようにするためである。また逆に、スピンコータ室1209で処理を終えた基板は再び焼成室1208に戻ってきて焼成され、再び上下を反転させてフェイスダウン方式に切り替わり、ストック室1205へ戻る。
【0108】
ところでスピンコータ室1209はゲート1200dを介して搬送室(B)1206と連結している。スピンコータ室1209はEL材料を含む溶液を基板上に塗布することでEL材料を含む膜を形成する成膜室であり、主に高分子系(ポリマー系)有機EL材料を成膜する。このとき、成膜室は常に窒素やアルゴンなどの不活性ガスで充填しておく。
【0109】
なお、成膜されるEL材料は、発光層として用いるものだけでなく、電荷注入層または電荷輸送層をも含む。また、公知の如何なる高分子系有機EL材料を用いても良い。発光層となる代表的な有機EL材料としては、PPV(ポリパラフェニレンビニレン)誘導体、PVK(ポリビニルカルバゾール)誘導体またはポリフルオレン誘導体が挙げられる。これはπ共役ポリマーとも呼ばれる。また、電荷注入層としては、PEDOT(ポリチオフェン)またはPAni(ポリアニリン)が挙げられる。
【0110】
次に、1210で示されるのはEL素子の画素電極となる陰極もしくは陽極の表面を処理する処理室(以下、前処理室という)であり、前処理室1210はゲート1200eにより搬送室(A)1201と遮断される。前処理室はEL素子の作製プロセスによって様々に変えることができるが、ここでは画素電極の表面に紫外光を照射しつつ100〜120℃で加熱できるようにする。このような前処理は、EL素子の陽極表面を処理する際に有効である。
【0111】
次に、1211は蒸着法により導電膜またはEL材料を形成するための蒸着室であり、ゲート1200fを介して搬送室(A)1201に連結される。蒸着室1211は内部に複数の蒸着源を設置できる。また、抵抗加熱または電子ビームにより蒸着源を蒸発させ、成膜を行うことができる。
【0112】
この蒸着室1211で形成される導電膜はEL素子の陰極側の電極として設けられる導電膜であり、仕事関数の小さい金属、代表的には周期表の1族もしくは2族に属する元素(代表的にはリチウム、マグネシウム、セシウム、カルシウム、カリウム、バリウム、ナトリウムもしくはベリリウム)またはそれらに近い仕事関数をもつ金属を蒸着できる。また、低抵抗な導電膜としてアルミニウム、銅もしくは銀を蒸着することもできる。さらに、透明導電膜として酸化インジウムと酸化スズとの化合物からなる導電膜や酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物からなる導電膜を蒸着法により形成することも可能である。
【0113】
また、蒸着室1211では公知のあらゆるEL材料(特に低分子系有機EL材料)を形成することが可能である。発光層の代表例としてはAlq3(トリス−8−キノリノラトアルミニウム錯体)もしくはDSA(ジスチルアリーレン誘導体)があり、電荷注入層の代表例としてはCuPc(銅フタロシアニン)、LiF(フッ化リチウム)もしくはacacK(カリウムアセチルアセトネート)があり、電荷輸送層の代表例としてはTPD(トリフェニルアミン誘導体)もしくはNPD(アントラセン誘導体)が挙げられる。
【0114】
また、上記EL材料と蛍光物質(代表的には、クマリン6、ルブレン、ナイルレッド、DCM、キナクリドン等)とを共蒸着することも可能である。蛍光物質としては公知の如何なる材料を用いても良い。また、EL材料と周期表の1族または2族に属する元素とを共蒸着して発光層の一部に電荷輸送層または電荷注入層としての役割をもたせることも可能である。なお、共蒸着とは、同時に蒸着源を加熱し、成膜段階で異なる物質を混合する蒸着法をいう。
【0115】
いずれにしてもゲート1200fによって搬送室(A)1201と遮断され、真空下でEL材料または導電膜の成膜が行われる。なお、成膜はフェイスダウン方式で行われる。
【0116】
次に、1212は封止室(封入室またはグローブボックスともいう)であり、ゲート1200gを介して搬送室(A)1201に連結されている。封止室1212では、最終的にEL素子を密閉空間に封入するための処理が行われる。この処理は形成されたEL素子を酸素や水分から保護するための処理であり、カバー材で機械的に封入する、又は熱硬化性樹脂若しくは紫外光硬化性樹脂で封入するといった手段を用いる。
【0117】
カバー材と上記EL素子が形成された基板とは熱硬化性樹脂又は紫外光硬化性樹脂を用いて貼り合わせられ、熱処理又は紫外光照射処理によって樹脂を硬化させて密閉空間を形成する。
【0118】
図12に示した成膜装置では、封止室1212の内部に紫外光を照射するための機構(以下、紫外光照射機構という)1213が設けられており、この紫外光照射機構1213から発した紫外光によって紫外光硬化性樹脂を硬化させる構成となっている。封止室1212の内部は排気ポンプを取り付けることで減圧することも可能であるし、高純度な窒素ガスや希ガスでパージしつつ与圧とすることも可能である。
【0119】
次に、封止室1212には受渡室(パスボックス)1214が連結される。受渡室1214には搬送機構(C)1215が設けられ、封止室1212でEL素子の封入が完了した基板を受渡室1214へと搬送する。受渡室1214も排気ポンプを取り付けることで減圧することが可能である。この受渡室1214は封止室1212を直接外気に晒さないようにするための設備であり、ここから基板を取り出す。
【0120】
以上のように、図12に示した成膜装置を用いることで完全にEL素子を密閉空間に封入するまで外気に晒さずに済む。このような成膜装置を用いることで信頼性の高いEL発光装置を作製することが可能となる。
【0121】
〔実施例12〕
本発明は、バックライト等の光源として用いるEL発光装置に対して実施することが可能である。光源として用いる場合、基板上に発光素子を形成すれば良いだけである。
【0122】
本発明は発光素子の陽極もしくは陰極にスリットを設けることで、陽極として金属膜もしくは半導体膜を用いることができる。従って、発光素子の面積に拘わらず本発明を実施することが可能である。
【0123】
〔実施例13〕
本発明を実施して形成したEL発光装置は様々な電気器具の表示部もしくは光源として用いることができる。例えば、TV放送等を鑑賞するには対角20〜60インチの本発明のEL発光装置を筐体に組み込んだディスプレイを用いるとよい。なお、EL発光装置を筐体に組み込んだディスプレイには、パソコン用ディスプレイ、TV放送受信用ディスプレイ、広告表示用ディスプレイ等の全ての情報表示用ディスプレイが含まれる。
【0124】
また、その他の本発明の電気器具としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音楽再生装置(カーオーディオ、オーディオコンポ等)、ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍)、画像再生装置(記録媒体に記録された画像を再生し、その画像を表示する表示部を備えた装置)が挙げられる。それら電気器具の具体例を図13、図14に示す。
【0125】
図13(A)はEL発光装置を筐体に組み込んだディスプレイであり、筐体2001、支持台2002、表示部2003を含む。本発明のEL発光装置は表示部2003に用いることができる。このようなディスプレイは自発光型であるためバックライトが必要なく、液晶ディスプレイよりも薄い表示部とすることができる。
【0126】
図13(B)はビデオカメラであり、本体2101、表示部2102、音声入力部2103、操作スイッチ2104、バッテリー2105、受像部2106を含む。本発明のEL発光装置は表示部2102に用いることができる。
【0127】
図13(C)は頭部取り付け型のELディスプレイの一部(右片側)であり、本体2201、信号ケーブル2202、頭部固定バンド2203、表示部2204、光学系2205、発光装置2206を含む。本発明はEL発光装置2206に用いることができる。
【0128】
図13(D)は記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDVD再生装置)であり、本体2301、記録媒体(DVD等)2302、操作スイッチ2303、表示部(a)2304、表示部(b)2305を含む。表示部(a)は主として画像情報を表示し、表示部(b)は主として文字情報を表示するが、本発明のEL発光装置はこれら表示部(a)、(b)に用いることができる。なお、記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲーム機器なども含まれる。
【0129】
図13(E)は携帯型(モバイル)コンピュータであり、本体2401、カメラ部2402、受像部2403、操作スイッチ2404、表示部2405を含む。本発明のEL発光装置は表示部2405に用いることができる。
【0130】
図13(F)はパーソナルコンピュータであり、本体2501、筐体2502、表示部2503、キーボード2504を含む。本発明のEL発光装置は表示部2503に用いることができる。
【0131】
なお、将来的に発光輝度がさらに高くなれば、出力した画像情報を含む光をレンズや光ファイバー等で拡大投影してフロント型若しくはリア型のプロジェクターに用いることも可能となる。
【0132】
また、発光装置は発光している部分が電力を消費するため、発光部分が極力少なくなるように情報を表示することが望ましい。従って、携帯情報端末、特に携帯電話や音楽再生装置のような文字情報を主とする表示部に発光装置を用いる場合には、非発光部分を背景として文字情報を発光部分で形成するように駆動することが望ましい。
【0133】
ここで図14(A)は携帯電話であり、本体2601、音声出力部2602、音声入力部2603、表示部2604、操作スイッチ2605、アンテナ2606を含む。本発明のEL発光装置は表示部2604に用いることができる。なお、表示部2604は黒色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消費電力を抑えることができる。
【0134】
また、図14(B)は音楽再生装置、具体的にはカーオーディオであり、本体2701、表示部2702、操作スイッチ2703、2704を含む。本発明のEL発光装置は表示部2702に用いることができる。また、本実施例では車載用のカーオーディオを示すが、携帯型や家庭用の音楽再生装置に用いても良い。
なお、表示部2704は黒色の背景に白色の文字を表示することで消費電力を抑えられる。これは携帯型の音楽再生装置において特に有効である。
【0135】
以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電気器具に用いることが可能である。また、本実施例の電気器具は実施例1〜12に示したいずれの構成の発光装置を用いても良い。
【0136】
【発明の効果】
発光素子の陽極もしくは陰極にスリットを設けることで、陽極として金属膜もしくは半導体膜を用いることが可能となる。これにより従来用いられていた酸化物導電膜を陽極に用いることなく、発光の取り出しが可能な発光素子を形成することが可能となる。
【0137】
また、酸化物導電膜よりも抵抗の低い材料を陽極として用いることが可能となることから、電流注入効率が高く、応答性に優れた発光装置とすることができる。また、そのような発光装置を表示部として用いた高性能な電気器具を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 発光装置の作製工程を示す図。
【図2】 発光装置の作製工程を示す図。
【図3】 発光装置の上面構造及び回路構成を示す図。
【図4】 発光装置の断面構造を示す図。
【図5】 発光装置の作製工程を示す図。
【図6】 発光装置の上面構造を示す図。
【図7】 発光装置の回路構成を示す図。
【図8】 発光装置の回路構成を示す図。
【図9】 発光装置の上面構造および断面構造を示す図。
【図10】 発光装置の回路構成を示す図。
【図11】 発光装置の回路構成を示す図。
【図12】 薄膜形成装置の構成を示す図。
【図13】 電気器具の一例を示す図。
【図14】 電気器具の一例を示す図。
【図15】 発光装置の断面構造を示す図。
Claims (7)
- 有機樹脂膜と、
前記有機樹脂膜上に設けられ、スリットを有する第1の電極と、
前記第1の電極上及び前記スリットにおいて露出した前記有機樹脂膜上に設けられ、トンネル電流が流れる膜厚の無機材料からなる絶縁膜と、
前記無機材料からなる絶縁膜上に設けられ、電流が流れることにより発光する発光性材料を含む層と、
前記発光性材料を含む層上に設けられた第2の電極と、を有することを特徴とする発光装置。 - 請求項1において、
前記有機樹脂膜下に設けられ、前記第1の電極と電気的に接続するトランジスタを有することを特徴とする発光装置。 - 請求項2において、
前記トランジスタのチャネル形成領域は、前記第1の電極において前記スリットが設けられていない領域と重なるように配置されていることを特徴とする発光装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記第1の電極は前記スリットを複数有することを特徴とする発光装置。 - 請求項1において、
前記有機樹脂膜下に設けられ、前記第1の電極と電気的に接続するトランジスタを有し、
前記第1の電極は前記スリットを複数有し、
前記第1の電極において前記スリットの占める割合は70%〜90%であり、
前記トランジスタのチャネル形成領域は、前記第1の電極において前記スリットが設けられていない領域と重なるように配置されていることを特徴とする発光装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項において、
前記第1の電極と前記発光性材料を含む層との間に導電性ポリマー膜を有することを特徴とする発光装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項において、
前記無機材料からなる絶縁膜は、DLC膜であることを特徴とする発光装置。
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TWI264121B (en) * | 2001-11-30 | 2006-10-11 | Semiconductor Energy Lab | A display device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of manufacturing a display device |
JP3944653B2 (ja) * | 2001-12-06 | 2007-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
US6949883B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-09-27 | Seiko Epson Corporation | Electro-optical device and an electronic apparatus |
US7098069B2 (en) * | 2002-01-24 | 2006-08-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device, method of preparing the same and device for fabricating the same |
JP2003243182A (ja) * | 2002-02-19 | 2003-08-29 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機el素子 |
JP2003264071A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Ulvac Japan Ltd | 有機el素子の製造方法及びその装置 |
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JP3999606B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2007-10-31 | ローム株式会社 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
US7057208B2 (en) * | 2003-03-25 | 2006-06-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and manufacturing method thereof |
JP2005093989A (ja) * | 2003-08-04 | 2005-04-07 | Iwatani Internatl Corp | プリント基板の表面処理方法。 |
JP2005063839A (ja) | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 光学デバイス及び有機el表示装置 |
JP4165478B2 (ja) | 2003-11-07 | 2008-10-15 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置及び電子機器 |
JP4826806B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2011-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置及び電子機器 |
JP4785373B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2011-10-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US7619258B2 (en) * | 2004-03-16 | 2009-11-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
KR101097301B1 (ko) * | 2005-02-05 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 백색발광소자 |
JP3944652B2 (ja) * | 2005-04-18 | 2007-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2005310779A (ja) * | 2005-04-18 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2009231278A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-10-08 | Mitsubishi Chemicals Corp | 有機電界発光素子の製造方法、有機elディスプレイおよび有機el照明 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62296152A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-23 | Konica Corp | 電子写真感光体 |
JPS63264642A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 複素5員環式化合物重合体の成形方法 |
JPH02269360A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-02 | Mitsubishi Kasei Corp | 電子写真用メモリー性感光体 |
JPH0334292A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-14 | Komatsu Ltd | 薄膜el素子を用いたドットマトリクスディスプレイ |
JPH04132189A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | 有機薄膜el素子 |
WO1998057381A1 (en) * | 1997-06-10 | 1998-12-17 | Uniax Corporation | Ultra-thin layer alkaline earth metals as stable electron-injecting cathodes for polymer light emitting diodes |
JPH11251059A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Sanyo Electric Co Ltd | カラー表示装置 |
WO1999048339A1 (fr) * | 1998-03-17 | 1999-09-23 | Seiko Epson Corporation | Substrat de formation de motifs sur film mince et son traitement de surface |
JP2000012922A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Toshiba Corp | 有機薄膜素子 |
-
2001
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62296152A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-23 | Konica Corp | 電子写真感光体 |
JPS63264642A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 複素5員環式化合物重合体の成形方法 |
JPH02269360A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-02 | Mitsubishi Kasei Corp | 電子写真用メモリー性感光体 |
JPH0334292A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-14 | Komatsu Ltd | 薄膜el素子を用いたドットマトリクスディスプレイ |
JPH04132189A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | 有機薄膜el素子 |
WO1998057381A1 (en) * | 1997-06-10 | 1998-12-17 | Uniax Corporation | Ultra-thin layer alkaline earth metals as stable electron-injecting cathodes for polymer light emitting diodes |
JP2002504261A (ja) * | 1997-06-10 | 2002-02-05 | ユニアックス コーポレイション | ポリマー発光ダイオードにおける安定した電子注入カソードとしての極薄層アルカリ土類金属 |
JPH11251059A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Sanyo Electric Co Ltd | カラー表示装置 |
WO1999048339A1 (fr) * | 1998-03-17 | 1999-09-23 | Seiko Epson Corporation | Substrat de formation de motifs sur film mince et son traitement de surface |
JP2000012922A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Toshiba Corp | 有機薄膜素子 |
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