JP4585819B2 - 電解コンデンサ用陰極材料 - Google Patents
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Description
陰極の材料には陽極材料と同種の金属が用いられるが、陰極にも自然酸化皮膜層が表面に形成されるため、陰極にも静電容量が生じる。
また、本発明は、前記金属薄膜はチタン薄膜である電解コンデンサ用陰極材料である。
冷却ローラ34の周囲の空間は、隔壁201〜203によって区分けされており、巻き取り室21と蒸着室22とスパッタ室23とが真空槽15の内部に形成されている。
蒸着室22の壁面にはガス導入パイプ8、9が気密に挿通されており、ガス導入パイプ8、9の先端のガス吹出口の近傍位置には水冷ルツボ7が配置されている。
水冷ルツボ7の上方には冷却ローラ34の側面が位置しており、放出された蒸気は冷却ローラ34の側面に向かって飛行する。
スパッタ室23にはガス導入パイプ10が気密に挿通されており、スパッタ室23を真空排気しながらガス導入パイプ10からスパッタリングガスを導入し、酸化物ターゲット51、52を強磁場下に置いて直流電圧を印加し、酸化物ターゲット51、52をスパッタリングすると、各酸化物ターゲット51、52からスパッタリング粒子が放出される。
巻き出し軸32には、ロール40が取り付けられている。このロール40は、長尺の金属箔41が巻き取られて構成されており、金属箔41は、その巻き取り終了位置から引き出され、冷却ロール34の側面に掛け渡された後、巻き取り軸33に固定され、巻き取り軸33と冷却ロール34を回転させると、金属箔41は、ロール40から引き出され、巻き取り軸33に巻き取られるように構成されている。
このとき、金属箔41は、冷却ロール34と密着した状態で、蒸着室22とスパッタ室23内を移動する。
金属箔41に、エッチングにより表面を拡面処理された厚さ30μmのアルミニウム箔を用い、上記真空装置1によって電解コンデンサ用陰極材料を作成した。用いたアルミニウム箔の静電容量は約150μF/cm2であった。
蒸着材料6として金属チタンをルツボ7内に配置し、酸化物ターゲット51、52としてITOをカソード41、42上に配置した。
金属チタン薄膜から成る金属薄膜42a、42bの形成条件は、0.1Paの窒素ガス雰囲気中でEB出力10kw、蒸着距離270mmであった。
得られた金属チタン薄膜の膜厚は200nm、ITO薄膜の膜厚は100nmであった。
実施例1と同じ真空装置1により、金属チタン薄膜を形成せず、実施例1と同じ金属箔の両面に、膜厚100nm、比抵抗5×10-4ΩcmのITO薄膜を形成し、電解コンデンサ用陰極材料を得た。
実施例1と同じ真空装置1により、膜厚200nmの金属チタン薄膜を形成し、ITO薄膜を形成せずに電解コンデンサ用陰極材料を得た。
実施例1と比較例1で作製した電解コンデンサ用陰極材料について、それぞれの静電容量について経時変化を測定したところ図3に示す結果が得られた。
42a、42b……金属薄膜
43a、43b……導電性酸化物薄膜
46……電解コンデンサ用陰極材料
Claims (2)
- アルミニウムを主成分とする金属箔上に前記金属箔とは異なる材料の金属薄膜が形成され、比抵抗値が1×10-5Ωcm以上100Ωcm以下、且つ膜厚が10nm以上500nm以下のITO薄膜が前記金属薄膜上に形成されたことを特徴とする電解コンデンサ用陰極材料。
- 前記金属薄膜はチタン薄膜である請求項1記載の電解コンデンサ用陰極材料。
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