JP4583811B2 - めっき処理方法 - Google Patents
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Description
したがって、水の電気分解による水素や酸素、窒素等を前記気泡中に能率良く相溶させ、ピンホ−ルのないめっき皮膜を形成することができるとともに、めっき液を高速に移動させて、めっき表面の電位勾配を分散し、めっき表面の濃度を一様化して膜厚の均一なめっき皮膜を形成することができる一方、被めっき面に衝突した気泡は反応槽の底部から排出され、めっき液の流れを一様に形成して、その高速化を促すことができる。
めっき処理に用いる表面処理溶液としては、溶媒に対して、一種又は二種以上の金属の塩、有機電解質、リン酸等の酸、アルカリ物質等の各種電解質を溶解させたものが用いられる。前記溶媒は、極性溶媒であれば特に限定されるものではなく、具体例として、水、エタノール、メタノール等のアルコール類、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート類、ジメチルカーボネート、エチルメチルカーボネート、ジエチルカーボネート等の直鎖状カーボネート類、或いはこれらの混合溶媒が挙げられる。
b.ニッケルを析出させる場合:硫酸ニッケル、塩化アンモニウム、及びホウ酸、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、及びホウ酸、スルファミン酸ニッケル、塩化ニッケル、及びホウ酸
c.クロムを析出させる場合:クロム酸及び硫酸、クロム酸、酢酸バリウム、及び酢酸亜鉛
d.亜鉛を析出させる場合:硫酸亜鉛、塩化アンモニウム、硫酸アンモニウム、ホウ酸、及びデキストリン、酸化亜鉛、シアン化ソーダ、及び苛性ソーダ、(3)酸化亜鉛及び苛性ソーダ
e.カドミウムを析出させる場合:酸化カドミウム、シアン化ソーダ、ゼラチン、及びデキストリン
f.スズを析出させる場合:硫酸第一スズ、硫酸、クレゾールスルホン酸、β−ナフトール、及びゼラチン、すず酸カリ及び遊離苛性カリ
g.銀を析出させる場合:シアン化銀及びシアン化カリ
h.金を析出させる場合:金、シアン化カリ、炭酸カリ、及びリン酸水素カリ
i.白金を析出させる場合:塩化白金酸、第二リン酸アンモニウム、及び第二リン酸ソーダ、塩化白金酸及び酢酸塩
j.ロジウムを析出させる場合:濃硫酸及びロジウム、リン酸及びリン酸ロジウム
k.ルテニウムを析出させる場合:ルテニウム錯体
l.黄銅を析出させる場合:シアン化第一銅、シアン化亜鉛、シアン化ナトリウム、及び炭酸ナトリウム
m.スズ鉛合金を析出させる場合:スズ、鉛、遊離ホウフッ酸、及びペプトン、スズ、鉛、遊離ホウフッ化水素酸、及びペプトン
n.鉄ニッケル合金を析出させる場合:スルファミン酸ニッケル、スルファミン酸第一鉄、及び酢酸ナトリウム
o.コバルト燐を析出させる場合:塩化コバルト、亜リン酸、及びリン酸
また、前述したような、物質及び表面処理溶液の反応槽(後述)中での仕込み比は、特に限定されるものではなく、表面処理溶液の濃度や反応条件等を考慮して適宜設定することができる。
ここで、表面処理溶液が少な過ぎると反応が進みにくくなるため、物質に対して少なくとも0.01wt%以上の表面処理溶液を含むことが好ましい。更に、反応させる反応槽及び循環路中には、上述したような状態とする物質及び表面処理溶液に加えて、界面活性剤を含むことができる。例えば、物質として二酸化炭素を選択した場合、二酸化炭素は無極性であるので表面処理溶液とは非相溶であり、そのため、通常は相分離してしまうことがある。そこで、界面活性剤を加えることにより、系を撹拌して均一とし、反応効率を向上させるものである。
めっき処理に用いる気体としては、窒素(N2)、二酸化炭素(CO2)の他、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)等の不活性の気体が好ましいが、通常の空気でも可能である。この気体は後述のガスボンベ40に封入される。
実施例1のめっき処理装置Aの概要を図1を用いて説明する。実施例1のめっき処理装置Aは、図1に示すように、被処理物11を収容した反応槽10と、表面処理溶液等が内部を循環する循環路20と、循環路20内を表面処理溶液を循環させるために動力を与える循環ポンプ30(圧送手段)と、前記気体を収容し循環路20に気体を注入するガスボンベ40(気体注入手段)と、循環路20内の表面処理溶液及び気体を撹拌することで気泡を発生させるための気泡発生手段50と、を有する。尚、60は表面処理溶液を収容するタンクであり、70は界面活性剤を収容するタンクであり、80は貯留流体を溜めるタンクである。以下、各部の構成を詳細に説明する。
反応槽10は、内部に例えば燃料電池のセパレータ等の被処理物11と陽極板12とを収容し、これらをリード線13を介して電源14の負極側と陽極側に接続している。反応槽10は循環路20に介挿され、被処理物11に対して循環路20の上流側から供給される表面処理溶液に配置され、該表面処理溶液によりめっき処理が行われる。
図1を用いてめっき処理方法について説明する。まず、被処理物に対するめっき工程の前処理として、被処理物の脱脂工程及び酸洗い工程を済ませておく。
実施例2のめっき処理装置Bの構成を図3を用いて説明する。本実施例においては、実施例1の気泡発生手段50を有さず、循環ポンプ30と気泡発生手段50との機能を併せもつ、圧送撹拌手段130を循環路20に介挿したことを特徴とする。実施例1と同様の構成については同符号を付して説明を省略する。また、めっき処理方法は前述の実施例と略同様であるので省略する。
圧送撹拌手段130は、例えば、キャンドモーターポンプ等のように、表面処理溶液の圧送を行いつつ該溶液の撹拌をも行うものを使用することができる。表面処理溶液の圧送と撹拌を同時に行う圧送撹拌手段を用いることで、表面処理溶液を圧送しつつ撹拌を行うことができ、2つの手段を1つにして装置の小型化を図ることができる。
実施例3のめっき処理装置Cの構成を図4を用いて説明する。本実施例においては、前述の実施例と異なり、循環路が開放系である。即ち、循環路が途中で大気開放されている。めっき処理方法は前述の実施形態と略同様である。
本実施例の循環路20は、循環ポンプ30、気泡発生手段50、反応槽10及び気液分離手段200を介挿する。循環路20が反応槽10の下流側において前記気体を開放する構成とすることにより、密閉するためにシールをする必要がなくなり、簡易な構成でめっき処理装置を構成することができる。
本実施例においても、前述した実施例と略同様であるが、排気口200aから気体を抜くため、めっき処理時においては、絶えずガスボンベ40から気体を供給する必要がある。このため、めっき処理時においては、弁41を開いたままにする。
前述した実施例2においては、密閉系の循環路において圧送撹拌手段130を使用したが、これに限るものではなく、開放系の循環路においても圧送撹拌手段130を使用することは可能である。
C …めっき処理装置、D …めっき処理装置、
10 …反応槽、11 …被処理物、12 …陽極板、13 …リード線、14 …電源、
20 …循環路、30 …循環ポンプ、40 …ガスボンベ、41 …弁、
50 …気泡発生手段、51 …管路、51a …螺旋形状部材、
52 …管路、52a …四角柱状部材、53 …管路、53a …羽根部材、
60 …タンク、61 …弁、70 …タンク、80 …タンク、81 …切換弁、
130 …圧送撹拌手段、200 …気液分離手段、200a …排気口、
300 …オリフィス、310 …回収手段、320 …搬送手段
Claims (2)
- 被処理物を電気めっきする反応槽にめっき液を循環供給する循環路の反応槽より上流側に、循環ポンプと気体注入手段を介挿し、該気体注入手段から所定の気体をめっき液中に注入して気泡を生成し、めっき液に浸漬した被処理物の被めっき面に前記気泡を微細化して衝突させるめっき処理方法において、前記気泡を反応槽の導入前に微細化し、該微細化した気泡をめっき液と共に反応槽の上部から流下し、反応槽内を被処理物に沿って下方へ移動し、該気泡を被処理物の被めっき面に衝突後、反応槽の底部から排出することを特徴とするめっき処理方法。
- 前記反応槽の上流側の循環路内に、複数の仕切板若しくは柱状部材を配置し、または回転可能な羽根部材を配置して、気泡を微細化し、かつ該気泡とめっき液を攪拌する請求項1記載のめっき処理方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07188992A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-25 | Honda Motor Co Ltd | 複合メッキ液の気泡分散装置 |
JPH0860375A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-05 | Electroplating Eng Of Japan Co | めっき方法及びめっき装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07188992A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-25 | Honda Motor Co Ltd | 複合メッキ液の気泡分散装置 |
JPH0860375A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-05 | Electroplating Eng Of Japan Co | めっき方法及びめっき装置 |
JPH11158687A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-15 | Shinko Electric Ind Co Ltd | バンプの形成方法およびめっき装置 |
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