JP4581997B2 - ナノカーボン製造装置およびナノカーボンの製造方法 - Google Patents
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Description
シート状のグラファイトターゲットを保持するターゲット保持手段と、
前記グラファイトターゲットの表面に光を照射する光源と、
前記ターゲット保持手段に保持された前記グラファイトターゲットと前記光源のうち一方を他方に対して相対的に移動させ、前記グラファイトターゲットの表面における前記光の照射位置を移動させる移動手段と、
前記光の照射により前記グラファイトターゲットから蒸発した炭素蒸気を回収し、ナノカーボンを得る回収手段と、
前記グラファイトターゲットの表面に照射される前記光のパワー密度が略一定となるように前記移動手段または前記光源の動作を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするナノカーボン製造装置が提供される。
シート状のグラファイトターゲットの表面に、光の照射位置を移動させながら、グラファイトターゲットの表面に照射される前記光のパワー密度が略一定となるよう前記光を照射し、前記グラファイトターゲットから炭素蒸気を蒸発させる工程と、
前記炭素蒸気を回収し、ナノカーボンを得る工程と、
を含むことを特徴とするナノカーボンの製造方法が提供される。
また、本発明のナノカーボンの製造方法において、前記グラファイトターゲットの表面への前記光の照射角度が略一定となるように前記光を照射する工程を含んでもよい。
また、本発明のナノカーボンの製造方法において、前記光が照射された箇所の前記グラファイトターゲットを消失させながら、前記グラファイトターゲットの表面における前記光の照射位置を移動させてもよい。
また、本発明のナノカーボンの製造方法において、ナノカーボンを回収する前記工程は、カーボンナノホーン集合体を回収する工程を含むことができる。
こうすることにより、カーボンナノホーン集合体の大量生産を効率よく行うことができる。本発明において、カーボンナノホーン集合体を構成するカーボンナノホーンは、単層カーボンナノホーンとすることもできるし、多層カーボンナノホーンとすることもできる。
また、ナノカーボンとしてカーボンナノチューブを回収することもできる。
図2は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置の構成を示す図である。
図3は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置の構成を示す側面図である。
図4は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置の構成を示す側面図である。
図5は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置の構成を示す側面図である。
図6は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置に適用可能なグラファイトターゲットの形状を例示する図である。
図7は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置に適用可能なグラファイトターゲットの形状を例示する図である。
図8は、実施の形態に係るナノカーボンの製造装置におけるプロセス管理の方法を説明するための図である。
図9は、実施の形態に係るナノカーボンの製造方法を説明するための図である。
図10は、レーザー光の照射角を説明するための図である。
(第一の実施形態)
図1は、ナノカーボン製造装置の構成の一例を示す側面図である。なお、本明細書において、図1および他の製造装置の説明に用いる図は概略図であり、各構成部材の大きさは実際の寸法比に必ずしも対応していない。
グラファイトターゲット139として、高純度グラファイト、たとえばシート状の、焼結炭素や圧縮成形炭素等を用いることができる。
また、レーザー光103として、たとえば、高出力CO2ガスレーザー光などのレーザー光を用いる。
また、レーザー光103照射における休止幅は、たとえば0.1秒以上とすることができ、0.25秒以上とすることが好ましい。こうすることにより、グラファイトターゲット139表面の過加熱をより一層確実に抑制することができる。
本実施形態は、ナノカーボン製造装置の別の構成に関する。本実施形態において、第一の実施形態に記載のナノカーボン製造装置125と同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
本実施形態は、ナノカーボン製造装置の別の構成に関する。本実施形態においても、第一または第二の実施形態に記載のナノカーボン製造装置125またはナノカーボン製造装置149と同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
以上説明した第一〜第三の実施形態において、レーザー光103が複数回、たとえば二回照射された際に照射部分のグラファイトターゲット139を使い切るように、グラファイトターゲット139の厚さを調節してもよい。以下、図1のナノカーボン製造装置125にシート状のグラファイトターゲット139を適用してカーボンナノホーン集合体117を作製する方法を例に説明する。
また、グラファイトターゲット139がレーザー光103照射により励起されない材料のシート上に形成されていてもよい。こうすれば、グラファイトターゲット139がちょうど消失したときに、レーザー光103がターゲット供給プレート135等に直接照射されることによるカーボンナノホーン集合体117の収率の低下を抑制することができる。
第四の実施形態において、レーザー光103が一回照射された際に照射部分のグラファイトターゲット139を使い切るように、グラファイトターゲット139の厚さを調節してもよい。
こうすることにより、一度レーザー光103が照射された位置に再度レーザー光103を照射する必要がなくなるため、レーザー光103の照射面が常に平滑に保たれる。このため、グラファイトターゲット139の表面に照射されるレーザー光103のパワー密度のぶれをさらに抑制することができる。よって、カーボンナノホーン集合体117の製造安定性をさらに向上させることが可能となる。
図6(a)は平板であり、レーザー光103のパワー密度を一定にすることが容易であるため好ましい。
また、図6(a)および図6(b)において、グラファイトターゲット139の厚さhは、前述のように一度のレーザー光103の照射ですべて蒸発する程度の厚さとする。たとえば、グラファイトターゲット139の表面に照射されるレーザー光103のパワー密度が約20kW/cm2である場合、一回レーザー光103が照射されることにより蒸発するグラファイトターゲット139の厚さは、表面から3mm程度であるため、厚さhを3mm程度とすることができる。
また、グラファイトターゲット139の最大幅wを、レーザー光103のスポット径以下とすることが好ましい。こうすることにより、グラファイトターゲット139の長さ方向にのみ移動させればよく、製造プロセスを簡素化することができる。また、グラファイトターゲット139の厚さhは、レーザー光103のスポット径以下とすることが好ましい。こうすることにより、一度のレーザー光103の照射で確実に照射位置のグラファイトターゲットを消失させることができる。
以上に述べた実施形態におけるプロセス管理は、たとえば以下のようにすることができる。図8は、上述のナノカーボン製造装置におけるプロセス管理の方法を説明するための図である。
以上の各ステップが、プロセス管理部167によって管理される。
Claims (12)
- シート状のグラファイトターゲットを保持するターゲット保持手段と、
前記グラファイトターゲットの表面に光を照射する光源と、
前記ターゲット保持手段に保持された前記グラファイトターゲットと前記光源のうち一方を他方に対して相対的に移動させ、前記グラファイトターゲットの表面における前記光の照射位置を移動させる移動手段と、
前記光の照射により前記グラファイトターゲットから蒸発した炭素蒸気を回収し、ナノカーボンを得る回収手段と、
前記グラファイトターゲットの表面に照射される前記光のパワー密度が略一定となるように前記移動手段または前記光源の動作を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするナノカーボン製造装置。 - 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、前記移動手段は、前記グラファイトターゲットの表面の前記照射位置における前記光の照射角度を略一定にしながら前記光の照射位置を移動させるように構成されたことを特徴とするナノカーボン製造装置。
- 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、前記移動手段は、前記光が照射された箇所の前記グラファイトターゲットを消失させながら、前記光の照射位置を移動させるように構成されたことを特徴とするナノカーボン製造装置。
- 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、前記移動手段は前記ターゲット保持手段に保持された前記グラファイトターゲットを並進移動させることを特徴とするナノカーボン製造装置。
- 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、一対のローラー間に無端ベルト状の前記グラファイトターゲットを架設し、前記移動手段が前記ローラーを回転させることにより前記グラファイトターゲットを駆動するように構成されたことを特徴とするナノカーボン製造装置。
- 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、
前記グラファイトターゲットは回転体に巻回されたシート状のグラファイトターゲットであって、
前記移動手段は、前記回転体を回転駆動するとともに前記回転体から解放された前記グラファイトターゲットを前記光の照射位置の方向に押し出すように構成されたことを特徴とするナノカーボン製造装置。 - 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、前記ナノカーボンがカーボンナノホーン集合体であることを特徴とするナノカーボン製造装置。
- 請求項1に記載のナノカーボン製造装置において、前記制御部が、前記グラファイトターゲットの表面における前記光の前記パワー密度が20±10kW/cm 2 となるように前記移動手段または前記光源の動作を制御することを特徴とするナノカーボン製造装置。
- シート状のグラファイトターゲットの表面に、光の照射位置を移動させながら、グラファイトターゲットの表面に照射される前記光のパワー密度が略一定となるよう前記光を照射し、前記グラファイトターゲットから炭素蒸気を蒸発させる工程と、
前記炭素蒸気を回収し、ナノカーボンを得る工程と、
を含むことを特徴とするナノカーボンの製造方法。 - 請求項9に記載のナノカーボンの製造方法において、前記グラファイトターゲットの表面への前記光の照射角度が略一定となるように前記光を照射する工程を含むことを特徴とするナノカーボンの製造方法。
- 請求項9に記載のナノカーボンの製造方法において、前記光が照射された箇所の前記グラファイトターゲットを消失させながら、前記グラファイトターゲットの表面における前記光の照射位置を移動させることを特徴とするナノカーボンの製造方法。
- 請求項9に記載のナノカーボンの製造方法において、前記ナノカーボンはカーボンナノホーン集合体であることを特徴とするナノカーボンの製造方法。
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