JP4578153B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、例えば、ボールネジ・ボールナット機構やベルト機構等によってスライダを移動させるように構成されたアクチュエータに係り、特に、高い防塵性能、防滴性能を提供することができるように工夫したものに関する。

この種のアクチュエータを開示するものとして、特許文献１、特許文献２、特許文献３等がある。これら特許文献１、特許文献２、特許文献３には、アクチュエータの構成が開示されていると共に、ある種の防塵シール機構の構成が開示されている。

特開平９−２０１００２号公報 特開２０００−２３０６１８号公報 特開２０００−３４６１６５号公報

上記特許文献１に記載されている発明によるアクチュエータにおける防塵シール機構は概略次のようなものである。すなわち、ハウジングの左右上端には一対のサイドカバが設置されていて、これら一対のサイドカバの間にはトップカバが設置されている。そして、これら一対のサイドカバとトップカバとの間にはシール部が設けられている。上記シール部は一対のシール部材を対向・配置させたものであり、それによって、主に上方から侵入しようとする塵に対して防塵効果を発揮させようとするものである。

次に、上記特許文献２に記載されている発明によるアクチュエータにおける防塵シール機構は概略次のような構成になっている。すなわち、ハウジングの上面側には外装カバが設置されていて、この外装カバの左右両側にはシール部材が設置されている。そして、この場合も、既に説明した特許文献１記載の発明の場合と同様に、主に上方から侵入しようとする塵に対して防塵効果を発揮させようとするものである。

次に、上記特許文献３に記載されている発明によるアクチュエータにおける防塵シール機構は概略次のような構成になっている。この場合も既に説明した特許文献２記載の発明の場合と同様であり、ハウジングの上面側には外装カバが設置されていて、この外装カバの左右両側にはシール部材が設置されている。そして、この場合も、既に説明した特許文献１記載の発明の場合と同様に、主に上方から侵入しようとする塵に対して防塵効果を発揮させようとするものである。

上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、特許文献１、特許文献２、特許文献３の何れの発明においても、ある種の防塵機構に関しては開示されているが、その防塵効果に関しては何れも不十分であった。これは次のような理由による。
まず、その基本的な構成として、各種のカバ相互間の隙間が上方或いはそれに近い方向に向かって設けられていることが挙げられる。つまり、隙間自体がそのような方向に指向して設けられているのであるから、当然のことながら塵等が浸入し易い構成になっているものと考えられる。
次に、一対のシール部材を対向・配置させてなるシール部が基本的には一段だけ設けられている構成になっており、よって、該シール部を通過してしまった塵等は簡単に内部に侵入してしまうことになる。
その他様々な要因が考えられる。
又、液滴の侵入を防止する防滴に関しては何等考慮されておらず、例えば、液体の飛沫が飛び散る食品加工の現場等において、何等支障なく使用できるようなものではなかった。特に、上記したように、各種のカバ相互間の隙間が上方或いはそれに近い方向に向かって設けられていて、そこにシール部が設けられている構成では、十分な防滴効果を期待することはできないものである。

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは防塵効果はもとより高い防滴効果をも期待でき、例えば、液体の飛沫が飛び散るような食品加工の現場等においても、何等支障なく使用することが可能なアクチュエータを提供することにある。

上記目的を達成するべく本願発明の請求項1によるアクチュエータは、略Ｕ字状に形成され開口部を備えたハウジングと、上記ハウジング内に設けられた駆動手段と、上記ハウジングに対して移動可能に設けられ上記駆動手段によって駆動されるスライダと、上記ハウジングの開口部を上面側から閉塞するように設置された上面カバと、上記上面カバの左右両側に設けられ上記ハウジングの開口部を左右側面方向から閉塞する一対の上側サイドカバと、上記ハウジングの左右両側に設けられその先端部が上記一対の上側サイドカバの先端部と重合して左右にラビリンス形状を構成する一対の下側サイドカバと、上記一対の上側サイドカバと一対の下側サイドカバとによる左右のラビリンス形状部に設置されそれぞれ上記一対の上側サイドカバの内側に配置されたシール部材と上記一対の下側サイドカバの外側に配置されたシール部材を対向・配置させた構成をなす一対のシール機構と、上記スライダに取り付けられ上記スライダの移動に伴って上記シール部材を掻き分ける舳先部を備えたシール掻分部と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項２によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記シール部材は複数段にわたって対向・配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項３によるアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記シール掻分部の舳先部は上記複数段にわたって設置された複数のシール部材に対する接触位置がずれるようにテーパ状に形成されていることを特徴とするものである。

以上述べたように本願発明によるアクチュエータによると、略Ｕ字状に形成され開口部を備えたハウジングと、上記ハウジング内に設けられた駆動手段と、上記ハウジングに対して移動可能に設けられ上記駆動手段によって駆動されるスライダと、上記ハウジングの開口部を閉塞するように設置された駆動手段カバと、上記ハウジングと上記駆動手段カバとの間に設置され一対のシール部材を対向・配置させたシール部から構成された防塵・防滴シール手段と、上記スライダに取り付けられ上記スライダの移動に伴って上記一対のシール部材を掻き分ける舳先部を備えたシール掻分部と、を具備した構成になっているので、スライダの移動に伴い上記シール掻分部によってシール部を掻き分ける際、最小限の隙間の形成でこれを掻き分けることができ、シール部による高い防塵・防滴効果を維持することができる。
又、上記防塵・防滴手段を上記シール部を複数段にわたって設けた構成とすることが考えられ、その場合は、防塵・防滴効果がより高いものとなる。
又、上記シール掻分部の舳先部を上記複数段にわたって設置された複数のシール部に対する接触位置がずれるようにテ―パ状に形成した場合には、シール掻分部のシール部に対する接触位置がずれることになるので、接触部に僅かに形成される隙間を介しての塵や液滴の侵入を効果的に防止することができる。

以下、図1乃至図１２を参照して本発明の第1の実施の形態を説明する。まず、図１及び図２に示すように、軽金属製或いは軽合金製（この実施の形態の場合にはアルミニウム製）のハウジング１があり、このハウジング1は、図５乃至図１０に示すように、その横断面形状が略「Ｕ字」状をなしている。すなわち、ハウジング１は、底壁３と、この底壁３の左右両側において上方に立設された一対の側壁５、７とから構成されている。又、上記底壁３は中空状に形成されていて、中空部９、１１が設けられた構成になっている。これら中空部９、１１は長手方向に延長して形成されている。又、図１乃至図４に示すように、上記ハウジング１の両端には端栓１３、１５が取り付けられている。

上記ハウジング１内には、図３及び図４に示すように、駆動モータとしてのサーボモータ２１が内装されている。又、図４に示すように、上記サーボモータ２１の出力軸２３には、カップリング機構２５を介してボールネジ２７が連結されている。上記ボールネジ２７は、図４中右端において、軸受部材２９、３１によって回転可能に支持されており、又、図４中左端において、軸受部材３２、３４によって回転可能に支持されている。

上記ボールネジ２７にはボールナット３３がその回転を規制された状態で螺合している。そして、このボールナット３３には、図８にも示すように、スライダ機構３５が取付・固定されている。上記スライダ機構３５は、内側スライダ部材３７と、外側スライダ部材３９と、これら内側スライダ部材３７と外側スライダ部材３９を一体化させているシール掻分部４１とから構成されている。

上記内側スライダ部材３７とハウジング１の一対の側壁５、７との間には、例えば、図７に示すように、ボール循環機構５１が設けられている。このボール循環機構５１の構成に関して図７を参照しながら説明する。
図７中左側に示すボール循環機構５１であるが、まず、側壁５側には凹部５３が形成されていて、この凹部５３には鋼製のレール部材５５が嵌め込まれている。このレール部材５５には横断面形状が略半円形をなす溝５７が形成されている。

一方、内側スライダ部材３７にも、凹部５９が形成されていて、この凹部５９には鋼製のレール部材６１が嵌め込まれている。このレール部材６１には横断面形状が略半円形をなす溝６３が形成されている。そして、この溝６３と既に述べた溝５７が対向・配置されていて、ボール６５が循環するボール循環路を構成している。

上記内側スライダ部材３７には、横断面形状が円形をなす別のボール循環路６７が形成されている。溝６３と溝５７が対向・配置されることにより構成されるボール循環路と上記ボール循環路６７とによって完全なボール循環路が構成されているものである。又、内側スライダ部材３７の両端には、図６及び図８に示すように、リターンキャップ６９、６９が取り付けられている。そして、スライダ機構３５が移動する場合には、複数個のボール６５が上記ボール循環路内を循環することになり、それによって、スライダ機構３５の円滑の直動を可能にしている。

又、図７中右側に示されているボール循環機構５１も同様の構成になっている。図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。

そして、サーボモータ２１を適宜の方向に回転させることによりボールネジ２７が同方向に回転する。このボールネジ２７の回転によって、その回転を規制されているボールナット３３が何れかの方向に直進移動する。このボールナット２７の移動によって、そこに取付・固定されているスライダ機構３５が同方向に移動するものである。それによって、例えば、スライダ機構３５の外側スライダ部材３９に取り付けられた任意の機器が適宜の方向に所望量だけ移動することになる。

上記スライダ機構３５及びその周囲の構成をさらに詳しく説明する。まず、図５乃至図１０に示すように、ハウジング１の上端であって左右両側には一対の下側サイドカバ８１、８１が取り付けられている。これら下側サイドカバ８１、８１は複数本の固定ねじ８２によってハウジング１の側壁５、７に固定されている。又、これら一対の下側サイドカバ８１、８１に対して上記内側スライダ部材３７を挟んで上方には一対の上側サイドカバ８３、８３が設置されている。これら上側サイドカバ８３、８３は、図５及び図１０に示すように、複数本の固定ねじ８４によって端栓１３、１５に固定されている。これら一対の上側サイドカバ８３、８３の間には上面カバ８５が設置されている。上記上面カバ８５は複数本の固定ねじ８６によって上記上側サイドカバ８３、８３に固定されている。
尚、上記下側サイドカバ８１、８１、上側サイドカバ８３、８３、上面カバ８５は、長手方向に沿って全領域にわたって設置されている。

上記上面カバ８５の形状をみてみると、左右方向中央部から左右両側端に向けて下り勾配に形成されている。それによって、上面カバ８５上における液滴の滞留を防止するようにしている。
又、上記下側サイドカバ８１、８１と上側サイドカバ８３、８３との関係をみると、下側サイドカバ８１の鉛直部と上側サイドカバ８３の鉛直部とが重合・配置されていて、いわゆる「ラビリンス」な構造となっている。

上記下側サイドカバ８１、８１と上側サイドカバ８３、８３との間の重合部には、シール機構９１、９１が設置されている。以下、このシール機構９１の構成について説明する。図１１は図７のＸＩ部を拡大して示す図であり、下側サイドカバ８１の外側には、シール部材９３が上下二段にわたって取り付けられている。同様に、上側サイドカバ８３の内側にも、シール部材９３が上下二段にわたって取り付けられている。上段に対向・配置された一対のシール部材９３、９３によって上段シール部を構成しており、同様に、下段に対向・配置された一対のシール部材９３、９３によって下段シール部を構成している。

上記シール部材９３の取付構造をみてみると、例えば、下側サイドカバ８１の上段側に取り付けられているシール部材９３をみてみると、そこには斜め下向きに傾斜した状態で溝９５が形成されている。この溝９５内にシール部材９３の基部９７を差し込むようにして取り付けられているものである。そして、シール部材９３自体が斜め下向きに傾斜した状態で取り付けられている。残りの３箇所においても同様の取付構造になっている。又、上記溝９５は長手方向に延長・形成されていて、そこにシール部材９３を一端側から差し込むようにして取り付けるものである。
尚、図１１は図７における左側のシール機構９１の構成を示すものであるが、右側のシール機構９１も同様の構成になっている。よって、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。

次に、シール掻分部４１側の構成を説明する。上記シール掻分部４１は、図１１に拡大して示すように、外側スライダ部材３９に連結される外側連結部位１０１と、内側スライダ部材３７側に連結される内側連結部位１０３と、これら外側連結部位１０１と内側連結部位１０３との間に配置されたシール掻分部位１０５とから構成されている。図７に示すように、上記内側連結部位１０３は複数本の固定ねじ１０４によって内側スライダ部材３７に取り付けられている。又、上記外側連結部位１０１は複数本の固定ねじ１０２によって外側スライダ部材３９に取り付けられている。上記シール掻分部位１０５は、図１１及び図１２に示すように、両端が舳先形状に形成されていて、舳先部１０６、１０６となっている。より具体的に説明すると、図１１に示すように、平面的にみると先端に向かって左右両側からテ―パ状に先細りになるように形成されている。又、図１２に示すように、上下方向でみてみると、上方から下方に向かってその突出量が徐々に減少していくようなテ―パ形状になっている。その傾斜角度はα°である。

上記のような舳先部１０６、１０６を形成したのは次のような理由からである。まず、舳先部１０６を形成することにより、スライダ機構３５の移動時に、対向・配置された一対のシール部材９３、９３が徐々に掻き分けられることになり、それによって、シール部材９３、９３が掻き分けられることにより形成される隙間の大きさを極力小さなものとし、それによって、塵や液滴の侵入の可能性を最少にするものである。又、図１２に示すように、スライダ機構３５の移動時には、舳先部１０６の上部によって上段シール部が掻き分けられる掻分部位と舳先部１０６の下部によって下段シール部が掻き分けられる掻分部位とが鉛直方向に揃って折らずずれた位置にある。これは次のような理由による。通常、上記掻分部位(図１２中符号ａ、ｂで示す掻分先端部位) においては僅かな隙間が形成されることになり、そこからの塵や液滴の侵入が懸念される。そこで、上記のように、上段シール部と下段シール部の掻分部位の位置をずらすことにより、塵や液滴の侵入を確実に防止するようにしたものである。

又、図２に示すように、既に説明した外側スライダ部材３９の左右両側であって移動方向両端には防護カバ１１１、１１１が取り付けられている。これら防護カバ１１１、１１１は、シール掻分部位１０５の舳先部１０６によるシール掻分部位を介しての塵や液滴の侵入をさらに効果的に防止するためのものであり、上側サイドカバ８３とシール掻分部４１との間の隙間、シール掻分部と下側サイドカバ８１との間の隙間を防護し、それによって、上記舳先部１０６による掻分部位に僅かな隙間が形成されても、そこからの塵や液滴の侵入を防止せんとするものである。
尚、図１乃至図４中符号１１３、１１５はケーブルを示す。
又、図１に示すように、既に説明した上面カバ８５、シール機構９１、９１は、サーボモータ２１側とスライダ機構３５が移動する可動部側とでは夫々独立して設けられている。図１中サーボモータ２１側の上面カバ８５と可動部側の上面カバとの境界線が示されている。

以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、アクチュエータとしての一般的作用から説明する。まず、サーボモータ２１を適宜の方向に回転させることによりボールネジ２７が同方向に回転する。このボールネジ２７の回転によって、その回転を規制されているボールナット３３が何れかの方向に直進移動する。このボールナット２７の移動によって、そこに取付・固定されているスライダ機構３５が同方向に移動する。それによって、例えば、スライダ機構３５の外側スライダ部材３９に取り付けられた任意の機器が適宜の方向に所望量だけ移動することになる。

次に、シール機構９１、９１における作用を説明する。まず、塵や液滴の内部への侵入は左右両側において二段にわたって設置されている上段シール部と下段シール部によって確実に防止されるようになっている。つまり、上段シール部を構成する一対のシール部材９３、９３によって隙間は閉塞されているからであり、同様に、下段シール部を構成する一対のシール部材９３、９３によって隙間は完全に閉塞されているからである。
又、スライダ機構３５が移動する場合には、シール掻分部位１０５の先端舳先部１０６、１０６が二段にわたって設置されたシール部を掻き分けながら移動することになり、シール部材９３、９３の間の不必要な開放が抑制される構成になっているので、塵や液体の飛沫等の内部への侵入は防止されるようになっている。
又、上記舳先部１０６はテ―パ形状になっていて、上部によって上段シール部を掻き分け、下部によって下段シール部を掻き分ける。その際、上段シール部の掻分部位と下段シール部の掻分部位の位置が鉛直方向に揃っておらずスライダ機構３５の移動方向に沿ってずれている。よって、上記掻部位に僅かな隙間が形成されても、そこからの塵や液体の飛沫等の内部への侵入は防止されるものである。

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、本実施の形態によるアクチュエータの構成をみると、基本的に、外部からの塵や液滴の侵入を効果的に防止できる構成になっている。すなわち、長手方向の全領域において、上面カバ８５が設置されていると共に、上側サイドカバ８３、８３が設置されており、又、長手方向両端には端栓１３、１５が設置されている。よって、アクチュエータを水平状態で使用する場合には、これら上面カバ８５と上側サイドカバ８３、８３、端栓１３、１５によって、外部からの塵や液滴の侵入を効果的に防止できるものである。少なくとも 上方、左右側方、前後側方からの塵や液滴の侵入を効果的に防止できるものである。
又、上側サイドカバ８３と下側サイドカバ８１との関係をみてみると、垂直部が重合するいわゆる「ラビリンス形状」を構成するようになっており、それによっても、外部からの塵や液滴の侵入を効果的に防止できるものである。
又、下側からの塵や液滴の侵入に対しては、シール機構９１、９１によってこれを確実に防止することができる。又、上記シール機構９１においては、一対のシール部材９３、９３が対向・配置されていて、それが上下二段にわたって設置された二重構造になっているので、それによって、高いシール効果を期待できるものである。
又、上記対向・配置された一対のシール部材９３、９３をみてみると、斜め下向きに傾斜した状態で設置されている。よって、万一、シール部材９３、９３の間から塵や液滴が侵入しても下方に落下或いは流れ出すことになり、それによっても、シール効果を高めることができる。
又、各シール部材９３を取付・固定している溝９５の構成をみると、斜め下方に向かって傾斜した状態で開口している。よって、万一、溝９５内に液滴が侵入しても、開口から効果的に流れ落ちることになる。
次に、シール掻分部位１０５の構成をみてみると、まず、その先端が舳先形状に構成されている。よって、スライダ機構３５の移動時においては、シール機構９１を構成するシール部材９３、９３の間を少しずつ掻き分けながら移動することになり、シール部材９３、９３間の開放を最小限にすることができる。それによって、シール機構９１によるシール効果を高く維持することができる。
又、図１２に示すように、スライダ機構３５の移動時には、シール掻分部位１０５の先端の舳先部１０６の上部によって上段のシール部材９３、９３が掻き分けられることになり、その下部によって下段のシール部材９３、９３が掻き分けられることになる。つまり、二段にわたって設置されたシール部の掻き分け部位が鉛直方向に並ぶことはなくスライダ機構３５の移動方向に沿ってずれることになり、それによっても、シール機構９１によるシール効果を高く維持することができる。
又、防護カバ１１１、１１１によっても塵や液滴の侵入を防止することができる。すなわち、これら防護カバ１１１、１１１によって、上側サイドカバ８３とシール掻分部４１との間の隙間、シール掻分部と下側サイドカバ８１との間の隙間を防護し、それによって、上記舳先部１０６による掻分部位に僅かな隙間が形成されても、そこからの塵や液滴の侵入を防止することができるものである。
又、この実施の形態の場合には、上面カバ８５が上側サイドカバ８３、８３に対して着脱可能な構成になっており、よって、上面カバ８５を取り付ける前に、内部構造、特に、シール機構９１とシール掻分部４１の状態等を確認・点検できるものである。
又、上面カバ８５の形状をみると、その上面は、図５乃至図１０に示すように、中央部から左右両側に向かって下り勾配になっている。よって、液滴等が溜まることを防止することができる。

次に、図１、図３、図１３を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。この第２の実施の形態の場合には、前記第１の実施の形態の場合の構成において、さらに、アクチュエータ内部を加圧するための加圧機構１２１を設けたものである。その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
以下、この加圧機構１２１の構成を説明する。まず、ハウジング１の底壁３には中空部９、１１の位置に貫通孔１２３、１２５が形成されている。又、上記中空部９、１１の上側の底壁３には圧力空気噴出口１２７が形成されている。

又、上記貫通孔１２３、１２５には圧力空気供給配管１２９が接続されていて、この圧力空気供給配管１２９には図示しないコンプレッサが、バルブ１３１を介して接続されている。
尚、図１３では圧力空気供給配管１２９を模式的に示しているが、実際には、 図１、図３に示すように、端栓１５側に接続することが考えられる。勿論、それ以外の部位に接続するようにしても良い。

上記構成によると、コンプレッサより供給される圧力空気は、圧力空気供給配管１２９、貫通孔１２３、１２５を介して中空部９、１１内に供給される。中空部９、１１内に供給された圧縮空気は複数個の噴出口１２７を介して、アクチュエータの内部に噴出され、さらに、外部に向かって噴出される。このような圧力空気の噴出によって、塵や液滴の外部からの侵入を防止するものである。

よって、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができると共に、圧力空気の噴出によって、さらにその効果を高めることができる。

次に、図１４を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。この第３の実施の形態の場合には、前記第１の実施の形態の場合における構成において、上面カバ８５に複数個の点検用開閉扉１４１を開閉自在に設けたものである。その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。

よって、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができると共に、点検用開閉扉１４１を適宜開閉することにより内部の点検を行うことができる。

次に、図１５を参照して本発明の第４の実施の形態を説明する。この場合には、前記第１の実施の形態における上面カバを透明素材から構成した上面カバ１５１としたものである。その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。

よって、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができると共に、透明な上面カバ１５１を介して内部の点検を行うことができる。

尚、本発明は前記第１〜第４の実施の形態に限定されるものではない。
前記各実施の形態では、可動側とサーボモータ側とにおいて、そのシール機構５１の構成を別個独立させるようにしたが、一体型の構成も考えられる。
又、前記各実施の形態では、シール部材を二段にわたって設けたが、三段以上にわたって設けても良い。又、一段の構成でも本願発明の範囲である。
又、アクチュエータとしての基本的な構成は図示したものに限定されない。例えば、サーボモータではなくステッピングモータを使用したものも考えられる。又、ボールネジ・ボールナット方式ではなく、リニアモータ方式、その他様々な駆動方式が考えられる。

本発明は、例えば、ボールネジ・ボールナット機構やベルト機構等によってスライダを移動させるように構成されたアクチュエータに係り、特に、高い防塵性能、防水性能を提供することができるように工夫したものに関し、例えば、 液滴の飛散が予想される食品加工の現場で使用される各種ガイド装置に好適である。

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す平面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す正面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、内部構造を示すアクチュエータの平面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、内部構造を示すアクチュエータの側面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４のＶ−Ｖ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４のＶＩ−ＶＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４のＩＸ−ＩＸ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４のＸ−Ｘ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図７のＸＩ部を拡大して示す断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、シール掻分部の構成を説明するための図である。 本発明の第２の実施の形態を示す図で、アクチュエータの横断面図である。 本発明の第３の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す平面図である。 本発明の第４の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す平面図である。

符号の説明

１ ハウジング
２１ サーボモータ
２７ ボールネジ
３３ ボールナット
３５ スライダー機構
３７ 内側スライダ部材
３９ 外側スライダ部材
４１ シール掻分部
８１ 下側サイドカバ
８３ 上側サイドカバ
８５ 上面カバ
９１ シール機構
９３ シール部材
９５ 溝
１０５ シール掻分部材
１０６ 舳先部
１２１ 加圧機構
１４１ 点検用開閉扉
１５１ 透明な上面カバ

Claims (3)

1. 略Ｕ字状に形成され開口部を備えたハウジングと、
   上記ハウジング内に設けられた駆動手段と、
   上記ハウジングに対して移動可能に設けられ上記駆動手段によって駆動されるスライダと、
   上記ハウジングの開口部を上面側から閉塞するように設置された上面カバと、
   上記上面カバの左右両側に設けられ上記ハウジングの開口部を左右側面方向から閉塞する一対の上側サイドカバと、
   上記ハウジングの左右両側に設けられその先端部が上記一対の上側サイドカバの先端部と重合して左右にラビリンス形状を構成する一対の下側サイドカバと、
   上記一対の上側サイドカバと一対の下側サイドカバとによる左右のラビリンス形状部に設置されそれぞれ上記一対の上側サイドカバの内側に配置されたシール部材と上記一対の下側サイドカバの外側に配置されたシール部材を対向・配置させた構成をなす一対のシール機構と、
   上記スライダに取り付けられ上記スライダの移動に伴って上記シール部材を掻き分ける舳先部を備えたシール掻分部と、
   を具備したことを特徴とするアクチュエータ。
2. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
   上記シール部材は複数段にわたって対向・配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
3. 請求項２記載のアクチュエータにおいて、
   上記シール掻分部の舳先部は上記複数段にわたって設置された複数のシール部材に対する接触位置がずれるようにテーパ状に形成されていることを特徴とするアクチュエータ。

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