JP4570092B2 - 半導体モジュール - Google Patents

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Description

本発明は、半導体素子を含む半導体モジュールに関し、特に、半導体モジュールの外部端子接続構造に関する。
従来、パワー半導体素子を搭載した半導体モジュールでは、外部に引き出される外部端子を、基板に半田付けしている。或いは、外部端子をケースにインサート成形し、この端子を基板に半田付けしたり、金属ワイヤにより電気的に接続する。
又、特にスイッチング機能をもつパワー半導体素子を搭載する半導体モジュールでは、スイッチング損失やスイッチングノイズを低減させるために、基板上の配線を短くし、低インピーダンス化及び低インダクタンス化することが望まれている。
しかし、前者のように、端子を基板に半田付けする場合、タイバーによって一列に連なった端子を基板に半田付けし、その後タイバーを切断して個々の端子を分離している(例えば特許文献1参照)。従って、端子配列が直線状となって、端子と半導体素子との配線長が不要に長くなるので、配線インピーダンスやリアクタンスが高くなる問題がある。
又、後者のように、端子をケースにインサート成形して基板に半田付け等で接続する場合、端子をインサート成形するためのケース厚を要し、基板上にその分のスペースを設ける必要があるので、半導体モジュールが大型化する問題がある。
特開2001−156215号公報、0045欄、図5
そこで、本発明が解決しようとする課題は、前記した諸事情に鑑みて、外部端子と半導体素子との配線長を短くし、低インピーダンス化及び低インダクタンス化を可能とする半導体モジュールを提供することにある。
前記した課題を解決するために、本発明に係る半導体モジュールは、半導体素子を搭載する基板と、この基板上に設けられたヒートスプレッダと、前記半導体素子に電気的に接続される外部端子とを備えており、前記ヒートスプレッダ及び前記外部端子を互いに機械的に連結して電気的に接続する手段として、前記ヒートスプレッダに孔部が設けられ、この孔部に前記外部端子を差し込んだ状態で前記ヒートスプレッダと前記外部端子とが係止される。
好ましくは、前記外部端子に弾性凸部が設けられる一方、前記孔部に凹部が設けられ、前記孔部に前記外部端子を差し込む際、前記凸部の弾性変形によって前記凸部が前記凹部に係合して押圧することで前記ヒートスプレッダと前記外部端子とが係止される。
本発明は、前記のように構成されており、半導体を載置するヒートスプレッダに、直接、外部端子を機械的に連結し電気的に接続するので、導体配線が極めて短くなり、低インピーダンス化及び低インダクタンス化を実現することができる。又、半導体モジュールを組み立てる際に、金属ワイヤの接続後に外部端子を接続でき、金属ワイヤ接続用のスペースを削減できるので、半導体モジュールのスペースを有効に活用でき、半導体モジュールの小型化を図り得る。更に、外部端子をタイバーで連ねたり、ケースにインサート形成して基板に取り付ける必要がなく、外部端子と半導体素子とを簡単に接続することができる。
以下、添付図面に基づいて、本発明に係る半導体モジュールについて詳細に説明する。
図1は、本発明に係る半導体モジュールを示す断面側面図であって、(a)が外部端子を取り付ける前の状態、(b)が外部端子を取り付けた状態を示す。図2は、半導体モジュールの要部を示す斜視図である。図3は、ヒートスプレッダ及び外部端子の係止手段を示す拡大断面図である。
図1及び図2の如く、本発明に係る半導体モジュールは、基板1を備えている。この基板1は、伝熱ベース板(ベース部材)10、絶縁層11及び導体配線(配線導体層)12で構成されている。この基板1上の導体配線12に、複数のヒートスプレッダ2,2’が設けられている。ヒートスプレッダ2上には、半導体素子4が設けられている。そして、ヒートスプレッダ2上の半導体素子4の表面接続部が、金属ワイヤ5を介して、ヒートスプレッダ2’に電気的に接続されている。
この半導体素子4は、MOSFET、IGBT、ダイオード、バイポーラトランジスタ、サイリスタ、半導体集積回路(IC)等がある。本実施例では、半導体素子4は、MOSFETが形成された半導体チップであり、上面にソース・ゲートが形成され、底面にドレインが形成されており、底面のドレインが、半田や導電性樹脂による接続によって、ヒートスプレッダ2に電気的に接続されている。又、この半導体モジュールは、一個乃至複数個の半導体素子4がヒートスプレッダ2に搭載され、樹脂モールドされた半導体部品等が基板1上に直接半田付けされている。
ヒートスプレッダ2,2’は、銅材等の電気的導体であって、ニッケルメッキ等の半田付け及び金属ワイヤ接続可能な表面処理が施されており、上面に搭載する半導体素子4の裏面電極及び金属ワイヤ5と、基板1の導体配線12と、を電気接続する。
そして、ヒートスプレッダ2及び外部端子3を互いに機械的に連結して電気的に接続するための手段が、ヒートスプレッダ2及び外部端子3に備えられている。この連結接続手段は、ヒートスプレッダ2に設けられた孔部20と、この孔部20に外部端子3を差し込んだ状態でヒートスプレッダ2及び外部端子3を係止する手段とからなっている(図1(b)参照)。これにより、外部端子3が、ヒートスプレッダ2に対して略垂直に自立するよう構成されている。
図3の如く、この係止手段は、外部端子3に設けられた弾性凸部31と、孔部20に設けられた凹部21とからなっており、孔部20に外部端子3を差し込む際に、凸部31の弾性変形によって凸部31が凹部21に係合して押圧するよう構成されている。本実施例では、外部端子3が、弾性の金属等で構成されており、周状に切り欠き部32を設けることにより、弾性凸部31が形成されている。そして、孔部20に、この切り欠き部32に係合する突状の部分22を形成し、凸部31に適合する凹部21が設けられている。更に、孔部20は、ヒートスプレッダ2に貫通して設けられており、ヒートスプレッダ2と外部端子3とを係止した際、外部端子3が、直接、導体配線12に接触し、外部端子3の弾性力によって、一定圧力で押圧し、電気接続するよう構成されている。
尚、この係止手段は、ヒートスプレッダ2又は外部端子3の双方又は一方に、弾性変形して互いに係合・押圧する部分を有し、ヒートスプレッダ2及び外部端子3を連結した際に、互いが押圧され、更に又一定の圧力で導体配線12と接触する構成であればよい。従って、外部端子3に凹部を設け、この凹部に係合する凸部を孔部20に設けた実施例でもよい。
この半導体モジュールを組み立てるときは、ヒートスプレッダ2,2’を、基板1上の導体配線12に半田付けする。そして、ヒートスプレッダ2上に、半導体素子4を半田付けする。更に、半導体素子4の表面接続部とヒートスプレッダ2’とを、金属ワイヤ5で接続する。その後、外部端子3の下端部を、ヒートスプレッダ2,2’の孔部20,20’に圧入して差し込む。これにより、外部端子3、ヒートスプレッダ2,2’及び導体配線12が、それぞれ押圧力によって接触し、外部端子3と半導体素子4とが電気的に接続する。
尚、外部端子3の下端部及びヒートスプレッダ2,2’の孔部20,20’に、導電性の接着剤を塗布してもよい。更に、外部端子3をヒートスプレッダ2,2’に差し込んでから、基板1上に半田付けしてもよい。これにより、基板1上の導体配線12と外部端子3とが、より安定して電気的に接続され、更なる低インピーダンス化を実現できる。
本実施例では、半導体素子4の表面接続部とヒートスプレッダ2’とを金属ワイヤ5で接続したが、半導体素子4の表面接続部と導体配線とを金属ワイヤ5で接続してもよい。
この半導体モジュールにおいて、基板1はプリント配線基板やセラミック基板等でもよい。又、側面を樹脂ケースで囲い、ケース内をエポキシ系樹脂やシリコンゲルで全体を封止する構造でもよい。
又、スプレッダに半導体素子を搭載せずに、半導体素子から金属ワイヤを通じて接続する基板上の接続部として使用するようにしても良い。これにより、通常金属ワイヤで接続されていた導体配線も短くすることができ、更なる低インピーダンス化、低インダクタンス化が実現できる。
本発明に係る半導体モジュールを示す断面側面図であって、(a)が外部端子を取り付ける前の状態、(b)が外部端子を取り付けた状態を示す。 半導体モジュールの要部を示す斜視図である。 ヒートスプレッダ及び外部端子の係止手段を示す拡大断面図である。
符号の説明
1 基板
10 伝熱ベース板
11 絶縁層
12 導体配線
2 ヒートスプレッダ
20 孔部
21 凹部
3 外部端子
31 凸部
4 半導体素子
5 金属ワイヤ

Claims (2)

  1. 半導体素子を搭載する基板と、
    該基板上に設けられたヒートスプレッダと、
    前記半導体素子に電気的に接続される外部端子と
    を備えており、
    前記ヒートスプレッダ及び前記外部端子を互いに機械的に連結して電気的に接続する手段として、前記ヒートスプレッダに孔部が設けられ、該孔部に前記外部端子を差し込んだ状態で前記ヒートスプレッダと前記外部端子とが係止されることを特徴とする半導体モジュール。
  2. 前記外部端子に弾性凸部が設けられる一方、前記孔部に凹部が設けられ、
    前記孔部に前記外部端子を差し込む際、前記凸部の弾性変形によって前記凸部が前記凹部に係合して押圧することで前記ヒートスプレッダと前記外部端子とが係止されることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュール。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4858336B2 (ja) * 2007-07-10 2012-01-18 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
JP5445344B2 (ja) * 2010-06-15 2014-03-19 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
JP5579148B2 (ja) * 2011-10-11 2014-08-27 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
JP5953790B2 (ja) * 2011-10-12 2016-07-20 富士電機株式会社 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP6174452B2 (ja) * 2013-10-25 2017-08-02 京セラ株式会社 素子収納用パッケージおよびこれを備えた実装構造体
KR102041645B1 (ko) * 2014-01-28 2019-11-07 삼성전기주식회사 전력반도체 모듈
JP5734493B2 (ja) * 2014-05-20 2015-06-17 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
JP5971310B2 (ja) * 2014-11-13 2016-08-17 富士電機株式会社 半導体装置の製造方法および半導体装置
US11037848B2 (en) 2017-12-19 2021-06-15 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor module and semiconductor module manufacturing method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999749A (ja) * 1982-11-30 1984-06-08 Toshiba Corp 半導体装置
JP2004349486A (ja) * 2003-05-22 2004-12-09 Toyota Industries Corp 非絶縁型半導体装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999749A (ja) * 1982-11-30 1984-06-08 Toshiba Corp 半導体装置
JP2004349486A (ja) * 2003-05-22 2004-12-09 Toyota Industries Corp 非絶縁型半導体装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10923414B2 (en) 2018-03-16 2021-02-16 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device

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