JP4567261B2 - X線用屈折装置、屈折型x線レンズ、該レンズを製作する方法、該レンズを含むx線の2次元合焦用x線システム、該レンズを使用したx線の2次元合焦を提供する方法 - Google Patents
X線用屈折装置、屈折型x線レンズ、該レンズを製作する方法、該レンズを含むx線の2次元合焦用x線システム、該レンズを使用したx線の2次元合焦を提供する方法 Download PDFInfo
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Description
(技術分野)
本発明は、X線、より詳細には屈折型X線装置を用いたX線合焦に関する。X線用屈折装置は、低原子番号材料の部材を備え、前記低原子番号材料の一部がX線源から放射されたX線を受けるようにされた第1端および前記第1端で受けられた前記X線が出る第2端および第1と第2表面を有している。本発明はまた屈折型X線レンズおよび屈折型X線レンズを製造する方法に関する。
【0002】
(発明の背景)
第3世代シンクロトロンX線源の出現とともに、硬X線光学系は、研究、材料試験、化学解析および医療用の画像化と治療における適用に関して関心が高まっている分野である。このエネルギー領域における従来技術の合焦要素は、反射または回折を行う方法、たとえば、たわみ結晶、湾曲ミラー、フレネル・ゾーン・プレートおよび毛管光学系を使用している。これらの要素は、通常、高価で、製造が技術的に難しく、商業等級の適用における使用を制限している。
【0003】
従来技術の試みのような、従来技術の高エネルギーX線合焦技術に関する別の欠点は、単一ピーク・エネルギー分布の生成に限定していることである。従って、このような実験的な方法は、デュアル・エネルギーX線画像化のような、1つを超えるX線エネルギー・ピークを要求している適用にうまく適していない。
【0004】
(従来技術)
任意の材料の屈折率は、
【数1】
n=1−δ−iβ (1)
と表現されることがよく知られている。1から大きく離れた屈折率nと可視光領域において小さな吸収を有している材料が容易に利用できるために、屈折レンズは、可視光領域での使用のために容易に製作されることができる。対照的に、屈折を利用する光学要素は、X線エネルギー領域において、全ての材料が、1に近い屈折率nを有し、大きな吸収を示すために、本質的にX線領域での使用のために製作するのが難しい。湾曲半径Rを持つ円形回転(circular revolution)を有する凹状の材料片を考える。こうした材料片は、軸に平行に入っていく平面波を焦点距離fで合焦させるであろう。焦点距離は、
【数2】
で与えられる。
式(2)に従って製作されたレンズは、硬X線領域においてdが通常10-5または10-6であるために、非常に大きな焦点距離を有するであろう。こうしたレンズの例は、Suehiroら(Nature352(1991)、pp.385〜386)により与えられた。相応して(In a correspondence)、この方法は、Michette(Nature353(1991)、p.510)により、任意の実用的な適用に対して除外された。Rを減ずることにより焦点距離が縮められる程度は、製作技術および実使用の観点から制限を有している。
【0005】
Snigirevら(Nature384(1996)、pp.49〜51)がアルミニウム片にN個の穿った穴をカスケード接続した時、大きな改善が行われた。これは、2N凹状表面に対応しており、それにより、焦点距離を同じファクタだけ減じている。複合レンズの全焦点距離は、
【数3】
で与えられる。
このレンズは、やはり、球面収差および高い吸収をこうむっており、合焦は、1次元で行われただけであった。これらの欠点は、何人かの著者により対処されてきた。同じような解決策は、また、米国特許第5594773号および米国特許第5684852号を介して知られている。
【0006】
低原子番号材料は、吸収を減ずるために使用されてきたし、また、2次元合焦は、たとえば、Elleaume(Nucl.Instr.and Meth.A412(1998)、pp.483〜506)により、2つの線形アレイを交差することにより行われてきた。
【0007】
別のレンズは、「A COMPOUND REFRACTIVE X−RAY LENS」と題した米国特許出願に記載されており、この出願は、対称軸でレンズを2つの半分の部分に分割することにより放物線状プロファイルを作り、それにより、球面収差および吸収を減ずる、新しい製造技術を開示している。
【0008】
しかし、収差無し複合屈折型X線レンズは、それでも、入念で、高価な製造技術にたよっている。従って、こうした屈折レンズは、商業等級の適用にうまく適していない。さらに、こうした従来技術の屈折型X線レンズは単一ピーク・エネルギー分布の生成に限定されている。さらに別の欠点として、従来技術の屈折型X線レンズは、あるエネルギーに対して、変えることができない固定した焦点距離を有している。
【0009】
(発明の概要)
このように、商業適用にうまく適しており、公知のレンズにより受け継がれた欠点をこうむっていない屈折型X線レンズに対する必要が存在している。X線源からデュアル・エネルギー分布を生成することができる屈折型X線レンズに対するさらに別の必要が存在している。あるエネルギーに対する焦点距離が容易に変えられる屈折型X線レンズに対するさらに別の必要が存在している。さらに、広帯域X線源からデュアル・エネルギー分布を生成することができる高エネルギーX線レンズに対する別の必要が存在している。
【0010】
さらに、屈折型X線レンズを低価格で作成することを容易にする方法に対する別の必要が存在しており、従って、たとえば、高エネルギーX線光学系は、専門化された研究設備から工業および商業R&Dにおける一般の適用に道を求めていくべきである。
【0011】
本発明は、商業適用にうまく適しているX線レンズを提供する。本発明は、さらに、複合屈折型X線レンズを作成することを容易にする方法を提供する。本発明は、また、広帯域エネルギーX線源からデュアル・エネルギー分布を生成することができる屈折型X線レンズを提供する。さらに、本発明は、あるエネルギーに対する焦点距離が容易に変えられるX線レンズを提供する。本発明は、新たなX線合焦装置、新たなX線レンズ作成方法および新たなX線用合焦方法により、上述した成果(accomplishment)を達成する。
【0012】
さらに、本発明は、走査されたスリット上のX線束を増やすという目的を有している。
【0013】
こうした理由で、最初に述べたX線用屈折装置は、さらに、前記第1または第2表面の少なくとも1つの上の前記第1および第2端の間に配置された、鋸歯状歯を形成された複数の溝を備えている。前記複数の溝は、前記第1端で受けられ、低原子番号材料の前記部材および前記複数の溝を通過し、そして、前記第2端から出てくる、前記X線が焦点に屈折されるように向けられている。
【0014】
低原子番号材料の前記部材は、ポリメタクリル酸メチル、ビニル又はPVCのプラスチック材料で構成されているのが好ましい。前記部材は、また、ベリリウムで構成されてもよい。
【0015】
前記溝は、ほぼストレートカットを持つ鋸歯状歯の形を有している。
【0016】
有利な実施形態において、前記複数の溝が変化しているサイズを有し、前記第1端から前記第2端に向けて連続して減少または増加していく。
【0017】
本発明による屈折型X線レンズは、低原子番号材料の部材を備えており、前記部材は、X線源から放射されたX線を受けるようにされた第1端および前記第1端で受けられた前記X線が出る第2端および第1と第2表面を有している。前記部材は、さらに、前記2つの表面の少なくとも1つの上の前記第1および第2端の間に配置された、鋸歯状歯を形成された複数の溝を備えており、前記複数の溝が、前記第1端で受けられ、前記低原子番号材料の部材および前記複数の溝を通過し、そして、前記第2端から出てくる、前記X線が焦点に屈折されるように向けられている。
【0018】
1つの有利な実施形態において、レンズは、複数の溝を持つ表面が互いに向かい合うように配置された2つの部材を備えている。前記2つの部材は、それぞれ、前記X線の光学軸に対して傾斜角度を有しているのが好ましい。前記部材は、非一致焦点を有している。
【0019】
レンズの2つの部材のそれぞれの焦点距離は、別々にそれぞれの傾斜角度を変えることにより、変えられる。
【0020】
前記低原子番号材料の部材は、ポリメタクリル酸メチル、ビニル又はPVCのプラスチック材料で構成されており、または、前記低原子番号材料の部材はベリリウムで構成されている。
【0021】
さらに、本発明は、X線システムおよびX線用2次元合焦方法に関しており、上述に従って少なくとも2つの屈折型X線レンズを含んでいる。それぞれのX線が両方の屈折型X線レンズを次々と横切り、前記少なくとも2つの屈折型X線レンズの1つが他の屈折型X線レンズに関して光学軸のまわりに回転するように、前記少なくとも2つの屈折型X線レンズを配置することにより、合焦が得られている。
【0022】
1つの好ましい適用において、前記屈折型X線レンズは、複合屈折型X線レンズのアレイが形成されるように、少なくとも1つの複合屈折型X線レンズに結合されている。
【0023】
上記屈折型X線レンズの製作方法は、彫刻装置(engraving arrangement)によりキャリア上に溝の形を転写し(transfer)、マスターを生成し、前記マスタを使用して、溝を適当な材料の上にプレスすることを特徴としている。
【0024】
本発明のこれらおよび他の利点は、種々の図において説明される好ましい実施形態を読んだ後に、間違いなく当分野の技術者に明らかになるであろう。
【0025】
本発明は、本発明のいくつかの好ましい実施形態を説明する図に関連して説明を進められていくにつれて、付随する請求項および図からより完全に明らかになるであろう。
【0026】
基本理論
以下において、よく知られている放射線光学系(ray−optics)が、鋸歯状歯幾何学的形状に適用されている。薄いレンズの近似がされている。三角形鋸歯状歯を説明している図7において、定義が説明されている。
【0027】
屈折の法則は、
【数4】
sin(γ+α)=nsin(γ+α+Δα) (i)
を生ずる。
Δαは非常に小さく、α≪γであるため、この式は、
【数5】
sin(γ+α)=nsin(γ+α)+ncos(γ+α)Δα (ii)
と書ける。
【数6】
ここで、n=1−δで、かつ、β+γ=π/2である。
【0028】
N個の鋸歯状歯を通過後、全屈折角度は、
【数7】
Δαtot=2Nδ/tan(β) (iv)(図8を参照のこと)
となるであろう。
この角度が小さいために、放射線は軸に平行な直線でレンズを横切ると仮定されるであろう。
【数8】
ここで、fは複合レンズの焦点距離である。
【0029】
(iv)と(v)を組み合わせることにより、軸から距離yだけ離れたところで、放射線により見られる歯の数が与えられる。
【数9】
放射線がさらに歯を見る前に進まなければならない距離は、
【数10】
により計算されることができ、材料における付加パス距離が得られる。
【数11】
全パス距離は、全ての寄与の合計になる。
【数12】
従って、yの関数としてのパス距離が放物線状になるであろうことが示されている。yが第1の、そして、最も大きな歯の高さである時、湾曲の半径は、R=δfである。実際、有限の数の歯が存在しているため、連続関数とはならず、放物線は2、3百の直線により近似されている。これは、いくつかの画像化適用において、知覚できる収差効果を与える可能性がある。しかし、その効果は小さく、無視できる。
【0030】
スリット幅サイズdsの上に完全に投影された有限な線源の場合を考えた場合、減衰距離はλで表示される。横方向の変位yを有している放射線は、
【数13】
のファクタだけ減衰させられる。
従って、rmsビーム広がりは、
【数14】
である。
利得は、幾何学的利得とレンズを通した透過度の積となるであろう。
【数15】
Myは横方向拡大率で、誤差関数
【数16】
が使用される。
誤差関数は、高さが増加し、かつ、
の制限にある時、1に近づくであろう。
【数17】
これは、明らかに非物質的な制限である。しかし、誤差関数は、急速に1に近づく。ydに関する2次式的なレンズ長の成長は、固定された焦点距離にはそれほど大きくは寄与しないであろう。焦点距離は実用上および経済的な理由で小さく保たれるべきである。
【0031】
幾何学的形状およびレンズ・パラメータが固定されると、システムは、1つの単一エネルギーに対して最適化されるであろう。この場合の利得の計算は、あまり直接的ではない。光学軸上の点源からのビームがsi+Δで合焦すると仮定すると、(図9を参照して)
【数18】
【数19】
が成り立つ。放射線が水平方向に作り、また、スリットと出会う最大角度は、
【数20】
である。
ここで、
【数21】
である。
絶対値は、たとえ焦点がスリットの前面にあっても、その関係を有効にする。しかし、hは、放射線がレンズを全くそれる(miss the lens)ように、レンズの高さydを超えてはならない。レンズがない時、スリットに出会うであろう、線源により発せられたX線の一部は、(正規化ファクタ1/2πを省略して)
【数22】
となるであろう。
レンズが存在する時で、しかし、X線吸収がない時、これは、
【数23】
Ilens=θ (ixx)
に増加するであろう。
吸収を含むと、スリットに落ちる線束は、線源からの放射線の角度αにわたる積分により与えられる。
【数24】
ここで、単純化が行われる。開口が、θかyd=s0のいずれかにより制限される。しかし、最後の場合においてさえ、積分がθに対してなされる。光学軸から遠く離れた放射線は強く吸収され、線束に対して小さな寄与を有するのみのため、これは良い近似である。
【数25】
利得は、
【数26】
となるであろう。
点源が光学軸からysだけ離れたところにあると仮定し、そして、同様な幾何学的演習(exercise)を行うと、(代数的詳細を省略すると)
【数27】
得られる。
【0032】
最大利得がレンズの材料特性にどのように依存しているかを調べるのは興味深い。
式(xi)、(xiii)から、
【数28】
Max gainασ=sqrt{fδλ} (xxiv)
が得られる。従って、δλが最大化されるべきである。減衰長は、原子番号の強い関数であり、最も低い、可能な原子番号を持つ材料が興味深いことは明白である。このエネルギー領域において、δ∝E-2をとるのは良い近似であり、また、バーンを単位とするX線断面のパラメータ化(∝1/2)は、(表にされた値に対する当てはめから)
【数29】
24.15Z4.2E-9+0.56Z (xxv)
となる。ここで、2つの項ZとEは、それぞれ、光電効果とコンプトン効果(keVにおけるE)である。そして、最適エネルギーは、
【数30】
d/dE(δ.λ)=0⇒Eopt=2.78Z1.07keV (xxvi)
を用いて計算されることができる。
【0033】
ベリリウムおよびPMMAの例に対して、最適エネルギーは、それぞれ、12keVおよび19keVである。より高い実効Zを持ち、従って、コンプトン散乱からより低い寄与を持つPVCは、48keVあたりのずっと高い最適値を有している。PMMAが18keVで、ビニルより3倍よいが、40keVでは、84%だけよいに過ぎない。これは、非常に低い原子番号材料に対する、高いエネルギーでの高いコンプトン散乱による。
【0034】
(実施形態の詳細な説明)
X線適用においてレンズとして使用されることができる屈折装置が図1に概略的に説明されている。以降でレンズと呼ばれる、装置100は、第1端105、前記第1端105に対向する第2端106および長手方向表面107〜110を有している部材を備えている。部材内で、前記第1端105から前記第2端106に延びる空洞102が配置されている。空洞は、それぞれの空洞の長手方向の軸がほぼ前記第1および第2端に平行になるように配置されている。
【0035】
それぞれの空洞102は、鋸歯状歯が形成された第1(たとえば、上方)および第2(たとえば、下方)レンズ部101を連続して形成する、第1(たとえば、上方)および第2(たとえば、下方)峰(ridge)が形成された溝103および104を備えている。空洞の設計の背後にある理論は上述されている。
【0036】
動作中、レンズ100は、たとえば、第1端105を通ったX線を受けるように配置されており、屈折させられた後のX線は第2端106から出てくる。
【0037】
部材の材料はできるだけ低い原子番号、すなわち、低原子番号材料を有するべきである。良い候補は、たとえば、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)のようなベリリウムおよびプラスチックである。
【0038】
図2において、本発明による別の鋸歯状歯を持つ屈折型X線レンズの部分201(たとえば、下部)が示されている。鋸歯状歯を形成された溝は、部分の1つの表面207上に配置されており、一方、反対の表面208は平面である。この実施形態によれば、溝の深さを部材の第1端205から第2端206の方向へ線形に減ずることにより、溝のサイズが変わる。好ましい実施形態において、断面が、たとえば、深さ211が約100μm〜0μmまで線形に減じ、約90°の底の角度212を持つ、約300のストレート・カット溝を含んでいる。これは、30mmの全長を与えるであろう。しかし、底の角度は、自由なパラメータであり、実用上および製造上の問題に関して最適化されることができる。部分の幅213は、要求に応じて変わることができ、mm〜dmの範囲を持っている。
【0039】
一実施形態において、本発明は、分割された鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズである。図3aは、図2による2つの部分201で構成されているレンズ300の実施形態の切断図である。鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズは、光学軸の両面に配置された、低原子番号材料の2つの部材201を含んでいる。低原子番号材料の部材201は、好ましくは、商業等級のX線源から発生した商業的に適用可能なエネルギー(power)を持つX線を受ける第1端305を形成している。反対の第2端306からX線が出る。複数の溝は、第1表面で受けられたX線が低原子番号材料の部材および複数の溝を通過するように、向けられている。そうする時に、出てくる単一エネルギーのX線は、単一焦点に屈折される。X線源が可変エネルギ−のX線を放射する時、単一焦点で受けられたX線のスペクトルは、特有のエネルギーの近くで増強されるであろう。
【0040】
光学軸に平行に入ってくるX線に横切られた材料の量の投影は、図3bに示されているように、放物線プロファイルとなるであろう。従って、原理上、記載された幾何学的形状は、
【数31】
により与えられる、単一放物線表面により置きかえられることができる。ここで、Rは湾曲の半径で、xおよびyは図3aにおいて定義されている。しかし、これは製造するのが非常に難しいであろう。本発明は、製作を単純化するため、低原子番号材料を再流通(redistribution)することとみることができる。上述した幾何学的形状により、R=0.167mである。低原子番号材料がベリリウムであると仮定すると、20keVでd=8.5×10-7である。これは、式2により、20keVのX線に対して焦点距離F=195mmを与えるであろう。従って、従来技術の実験的高エネルギーX線合焦デバイスに関連したメータ・レベルの焦点距離と違って、本実施形態の鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズ300は、dmのオーダの焦点距離が得られる。
【0041】
図4で概説されている実施形態において、レンズ400は、ギザギザ(歯)416が全て同じサイズを有している部分401で構成されている。光学軸415に関して部分401を少し傾けることにより、図3と同じ合焦作用が得られている。溝の深さは、たとえば、100mmである。前の実施形態と同じ合焦特性を得るために、やはり300個の鋸歯状歯が必要とされるが、鋸歯状歯を有した屈折型レンズの全長は、2倍にされ、60mmとなるであろう。分離413は溝の深さの2倍、すなわち、200mmであるべきである。これにより、約0.1°の傾斜角度414が与えられるであろう。低原子番号材料のこれらの部材は、他の幾何学的形状よりも製造を実質的に容易にするであろう。この実施形態において、レンズは、調整可能な鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズである。従って、X線が通過する、複数のストレートカット溝を含んでいる低原子番号材料の部材401は、それぞれ、光学軸に対して小さな角度を有している。焦点距離は、この角度の関数となるであろう。角度414を変えることにより、あるエネルギーに対する焦点は、並行移動(translated)させられるであろう。別法として、固定点にて角度を変えることにより、スペクトルが増強されるエネルギーは、必然的に変えられるであろう。
【0042】
図5は、図4に示されている実施形態に関する鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズ500の1次元合焦幾何学的形状の側面図である。線源Sからの発散ビームは、焦点Pのラインに合焦させられている。この実施形態によるレンズは、部材の一面のみの代わりに両面に鋸歯状歯を持って設計されている、屈折装置の2つの半分の部分を備えている。この設計は、さらに、レンズの合焦特性を改善するであろう。
【0043】
図6aおよび図6bは、2つの鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズおよびが2次元合焦を達成するために使用されている実施形態の、それぞれ、側面図および上面図を示している。第2鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズは、第1鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズに関して光学軸のまわりに90°回転している。線源Sからの発散ビームは、焦点Pの点に合焦させられている。
【0044】
(図示されていない)さらに別の実施形態において、本発明は、鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズを用いて、X線源からデュアルエネルギー分布を提供する方法を述べている。この実施形態において、鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズは、光学軸の両側に配置された、低原子番号材料の2つの部材を含んでいる。低原子番号材料の部材は、X線が通過するであろう、複数のストレートカット溝を含んでいる。部材のそれぞれは、光学軸に対して小さな特有の角度を有している。2つの半分の部分に対して異なる角度を有することにより、それぞれの半分は、別々の焦点を有するであろう。光学軸上のある点において、X線スペクトルは、2つの別々のエネルギーで増強され、従って、2峰性分布を生ずるであろう。
【0045】
本発明の屈折型X線レンズを製造する1つの好ましい方法によれば、溝の形状は、キャリアに溝の形を転写する制御装置により制御されたホット彫刻ポインタを備えている彫刻機械(engraving machine)により、キャリア(たとえば、プラスチック)上に転写される。そして、キャリアを用いて、(金属)マスタが形成される。マスタは、直接に、または、溝を適当な材料にプレス(press)する加圧モールドを作成する中間ステップを通して、使用されてもよい。
【0046】
従って、鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズはビニル製レコード盤に似ている。粗い計算によれば、このレコード盤の溝のピッチは約120μm(33rpmで25分で10cm)であるべきである。振動の広がり(dimensions)を分断するために、底の角度は、ステレオ・モードで90°、すなわち、「BASIC THEORY」に記載されているように、βは45°でなければならない。従って、溝の間に内部空間がない時、深さは60μmになるであろう。ビニル製レコード盤のプロファイルの計測により、内部空間が表面の半分を占めており、それにより、わずか30μmの深さが与えられることが示された。しかし、切断(cutting)は多くの自由パラメータを持つ柔軟な方法である。制約は、約90μmに深さを制限し、従って、180μmに幅を制限する、マスタ上の100μmラッカー層である。マスタは、内部空間なしで90°の深さで切断され、60μm長の部分が取り除かれた、ビニル(PVC)がレコード・プレスされた。切断部の表面はむしろ悪い品質であるように見え、また、利得は最適でないことが予想されるべきである。レンズの半分は、正しい傾斜角度を与えるために、顕微鏡下でマイクロメータねじにより調整されたアルミニウム支持部に取り付けられた。端において180μmだけ分離されて、湾曲の半径は、R=(90μm)2=(2\Delta300mm)=0:135μmである。これは、23keVに対して218mmの焦点距離を与える。
【0047】
上述した方法は、単に例として与えられており、ダイアモンド旋盤加工技術、レーザ切断などのような、他の方法が使用されてもよい。
【0048】
本発明による屈折型X線レンズは、マモグラフィ、骨密度解析、歯科適用、X線顕微鏡または結晶学などのような、全てのX線適用において使用されてもよい。
【0049】
図10に示されているように、X線結晶学装置100において、サンプル101上に入射する屈折されたX線ビーム102の空間パターンを検出することにより、サンプル101の結晶構造が決定される。小さなX線源104からの発散ビームは、レンズ103により結晶サンプル上に投影される。入射ビームは、より詳細には、結晶101のモザイク状広がりより低いか、または、それに等しい、低い発散、(十字火)を有していることが重要である。幾何学的形状により、サンプル上に入射するビームは、非常に小さな発散を有している。これにより、サンプル上の線束の利得が得られ、従って、画像収集時間が減ぜられる。線源からサンプルまでの最少距離は、ビーム発散上の制約により決定される。典型的なパラメータは、
線源サイズ:20μm
サンプル・サイズ:100μm
線源からレンズまでの距離:15cm
レンズからサンプルまでの距離:75cm
【0050】
レンズが有彩(chromatic)であるため、線源からの広帯域X線スペクトルから、狭いエネルギー・ピークが選択されることができる。これにより、画質および信号対雑音比が向上するであろう。この多様性は、すべてのサンプルに対して最適なエネルギーを選択するのに使用されることができる。
【0051】
理想的には、直列に配置された2つのレンズは、2次元合焦および2乗利得を得るために使用されることができるであろう。
【0052】
図11および図12に示されるように、別の適用はX線顕微鏡である。両者の場合、2つのレンズ111、112、121および122は、X線ビームを非常に小さな、通常、2、3μmより小さなスポットに合焦するのに使用される。図11の装置において、サンプル113は、焦点面に配置されている。放射されたビームは、単一X線検出器114上に入射する。全2次元画像を得るために、対象は、並進ステージにより逐一走査されなければならない。第1レンズ111は、ビームをy方向に合焦させ、第2レンズ112は、ビームをx方向に合焦させる。
【0053】
図12による装置において、サンプル123は、静止しており、レンズの焦点の下(または上に)配置されている。対象の拡大された画像は、画素分割された(pixelated)面検出器124により観察され、走査は必要ではなくなっている。
【0054】
本発明は、好ましい実施形態と関連して説明されたが、本発明をこれらの実施形態に限定する意図がないことが理解されるべきである。逆に、本発明は、付随する請求項により定義されるように、本発明の範囲内に含まれてもよい、別法、修正および等価なものを含むことを意図している。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による屈折型X線レンズの斜視略図である。
【図2】 本発明の第2の実施形態による鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズの断面の斜視略図である。
【図3a】 図2による断面を備える鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズの側面略図である。
【図3b】 鋸歯状歯形状により得られた放物線状レンズ(lenticular)形状を示す仮想投影図である。
【図4】 第2の実施形態による屈折型X線レンズの側面略図である。
【図5】 図4に示される実施形態による鋸歯状歯を有した屈折型X線レンズの1次元合焦幾何学的形状の側面図である。
【図6a】 別の実施形態の側面図である。
【図6b】 別の実施形態の平面図である。
【図7】 理論的説明のために示されている鋸歯状歯を表す図である。
【図8】 理論的説明のために示されている鋸歯状歯を表す図である。
【図9】 理論的説明のために示されている鋸歯状歯を表す図である。
【図10】 本発明によるレンズを備えている、結晶学的アプリケーション用装置の概略図である。
【図11】 本発明によるレンズを含む顕微鏡の概略説明図である。
【図12】 本発明によるレンズを含む顕微鏡の概略説明図である。
Claims (22)
- 低原子番号材料の部材(101、201、301、401)を備え、前記低原子番号材料の部材がX線源から放射されたX線を受けるようにされた第1端(105、205、305)および前記第1端(105、205、305)で受けられた前記X線が出る第2端(106、206、306)および第1と第2表面(207、208)を有しているX線用屈折装置において、
該X線用屈折装置が、前記第1または第2表面(207、208)の少なくとも1つの上で前記第1および第2端(105、205、305;106、206、306)の間に配置された、鋸歯状歯に形成された複数の溝(103、104)をさらに備え、前記第1端で受けられた前記X線が低原子番号材料の前記部材および前記複数の溝を通過し、前記第2端から出て、焦点に屈折されるように、前記複数の溝が向けられていることを特徴とするX線用屈折装置。 - 低原子番号材料の前記部材が、ポリメタクリル酸メチル、ビニル又はPVCのプラスチック材料で構成されていることを特徴とする、請求項1に記載のX線用屈折装置。
- 低原子番号材料の前記部材がベリリウムで構成されていることを特徴とする、請求項1に記載のX線用屈折装置。
- 前記溝がストレートカットを持つ鋸歯状歯の形状を有していることを特徴とする、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のX線用屈折装置。
- 前記複数の溝が変化しているサイズを有し、前記第1端から前記第2端に向けて連続して減少または増加していくことを特徴とする、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のX線用屈折装置。
- 低原子番号材料の部材(101、201、301、401)を含み、前記部材が、X線源から放射されたX線を受けるようにされた第1端(105、205、305)および前記第1端(105、205、305)で受けられた前記X線が出る第2端(106、206、306)および第1と第2表面(207、208)を有している屈折型X線レンズ(100、300、400、500、600)において、
前記部材が、前記少なくとも2つの表面(207、208)の少なくとも1つの上で前記第1および第2端(105、205、305;106、206、306)の間に配置された、鋸歯状歯に形成された複数の溝(103、104)をさらに備え、前記第1端で受けられた前記X線が、前記低原子番号材料の部材および前記複数の溝を通過し、前記第2端から出て、焦点に屈折されるように、前記複数の溝が向けられていることを特徴とする屈折型X線レンズ。 - 前記屈折型X線レンズが、前記複数の溝を持つ前記表面が互いに向かい合うように配置された2つの部材(101、201、301、401)を備えていることを特徴とする、請求項6に記載の屈折型X線レンズ。
- 前記2つの部材が、それぞれ、前記X線の光学軸に対して傾斜角度を有していることを特徴とする、請求項7に記載の屈折型X線レンズ。
- 前記部材が、非一致焦点を有していることを特徴とする、請求項7または請求項8に記載の屈折型X線レンズ。
- 前記レンズの2つの部材のそれぞれの焦点距離が、別々にそれぞれの傾斜角度を変えることにより変わることを特徴とする、請求項8に記載の屈折型X線レンズ。
- 前記低原子番号材料の部材が、ポリメタクリル酸メチル、ビニル又はPVCのプラスチック材料で構成されていることを特徴とする、請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズ。
- 前記低原子番号材料の部材が、ベリリウムで構成されていることを特徴とする、請求項8から請求項10のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズ。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを少なくとも2つ含む、X線の2次元合焦用X線システムであって、それぞれのX線が両方の屈折型X線レンズを次々と横切り、前記少なくとも2つの屈折型X線レンズ配置し、前記少なくとも2つの屈折型X線レンズの1つが他の屈折型X線レンズに関して光学軸のまわりに回転するように、前記少なくとも2つの屈折型X線レンズを配置することにより、合焦が得られることを特徴とする、X線の2次元合焦用X線システム。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを2つ使用することによって、X線の2次元合焦を提供する方法であって、それぞれのX線が両方の屈折型X線レンズを次々と横切り、前記2つの屈折型X線レンズの一方が他方の屈折型X線レンズに関して光学軸のまわりに回転するよう、請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを2つ使用することによって、X線の2次元合焦を提供する方法。
- 複合屈折型X線レンズのアレイであって、請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズが少なくとも1つの複合屈折型X線レンズに結合されていることを特徴とする、複合屈折型X線レンズのアレイ。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを用いてX線源から2峰性エネルギー分布を提供する方法。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを製作する方法であって、
彫刻装置によりキャリア上に溝の形を転写すること、
マスタを生成すること、および
マスタを用いて、溝を適当な材料にプレスすることを特徴とする制作方法。 - 前記材料がビニルまたはPVCであることを特徴とする、請求項17に記載の制作方法。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のX線用屈折装置を含むマモグラフィX線装置。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを含むマモグラフィX線装置。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを含むX線結晶学装置。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の屈折型X線レンズを含むX線顕微鏡装置。
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