JP4668899B2 - 屈折型x線エレメント - Google Patents
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Description
で与えられる平方自乗平均(rms)幅のガウス関数である。上式でFは焦点距離、δは屈折率の実数部の減少分、lは減衰長である。また、この開口は、可能強度利得及び回折限界解像度を制限している。焦点距離を除き、開口は、材料特性のみの関数であり、したがって真に物理的に制限されている。可能な最も原子番号の小さい材料を選択すると、この物理的な制限が最大化される。これまでのところ、様々な重合体、ダイヤモンド、ベリリウム、ケイ素及びリチウムがレンズ材料として使用されている。当然、材料の選択も、利用可能な製造方法によって制限されており、さらにはコストの問題によって制限されている。
L2π=λ/δ (2)
で与えられる2π位相シフト長より分厚い材料の厚さを通過することができる。この長さは、硬X線の場合、10〜100μm程度である。λは波長である。
T(y)=exp(−X(y)/l)=exp(−k|y|l)
であることが好ましい。X(y)はエレメントを通る光線の総経路長、lは減衰長、kは定数、yは光軸までの距離である。実効開口は、
上式でΘは三角形プリズムの辺と辺の間の角度、hは三角形プリズムの高さ、bは三角形プリズムの底辺の幅、ygは列の傾斜の高さ、yaは列の高さ、Mは高さ方向のプリズム数、Lは列の長さ、Nは長さ方向のプリズム数、αは列の傾斜角である。
位相状態は、
b=nL2π=nλ/δ (4)
nは整数であり、以下ではn=1が仮定されている。δは屈折率の実数部の減少分、λは波長である。
x(y)=mod(2y/tanθ、b) (5)
である。mod()は割算後の余りである。
第1項は、複数プリズム・レンズでは良く知られている項である。y=−δy/2に頂点を有する放物線からの偏差は、
b=y・2δy/tanθにγを導入してこの項を考察する。
強度透過率は、
T(y)=exp(−X(y)/l)=exp(−k|y|l) (18)
であり、実効開口は、
・コンプトン散乱を無視することができるよう、低エネルギーを仮定すると、
・材料の密度がMPLには無関係の役割を果たしていること。
・MPLの場合より原子番号に対する依存性が強いこと。
・最適エネルギーが存在しないこと。低エネルギーの場合、開口(利得)がプラトーに到達すること。
であることは明らかである。
δ=2・10−4ρE−2 (28)
を取ることが、どちらかと言えば良好な近似である。λ=12.4Å/Eを使用すると、
X(j、t)=t(j+1)L2π (30)
で与えられ、透過率は、
T(j、t)=exp(−t(j+1)L2π/l) (31)
である。
Claims (18)
- 光線源から放出される光線を受け取るようになされた第1の端部と、前記第1の端部で受け取った前記光線が出現する第2の端部とを有する原子番号の小さい材料のボディを備えた、X線を屈折させるのに適した屈折型エレメント(10、20)であって、
前記屈折型エレメントが、同じプリズム(21)を積み重ねた複数の列を備えたことを特徴とする屈折型エレメント。 - 前記プリズムが、第1のプリズム形のボディから材料を除去することによって製造され、前記除去は、2πの倍数の位相シフト長(L2π)の倍数に相当する幅を有するチャネルをもたらすことを特徴とする請求項1に記載のエレメント。
- 前記エレメントの強度透過率が、X(y)が前記エレメントを通る光線の総経路長であり、lが減衰長であり、kが定数であり、yが光軸までの距離である、
T(y)=exp(−X(y)/l)=exp(−k|y|l)
である、前記請求項のいずれかに記載のエレメント。 - ケイ素若しくはダイヤモンドのうちの1つ又は複数からなる、前記請求項のいずれかに記載のエレメント。
- 入射する光線に対する前記エレメントの一方の端部の偏差長(yg)によって焦点距離が制御される、前記請求項のいずれかに記載のエレメント。
- 光線源から放出される光線を受け取るようになされた第1の端部と、前記第1の端部で受け取った前記光線が屈折する第2の端部とを有する原子番号の小さい材料を備えたボディを備えた、X線に適したレンズ(30)であって、
前記レンズが2つの部分を備え、各々の部分がそれぞれ同じプリズム(21)を積み重ねた複数の列を備え、且つ、互いに一定の角度で配置されていることを特徴とするレンズ。 - 前記プリズムが、第1のプリズム形のボディから材料を除去することによって製造され、前記除去は、2πの倍数の位相シフト長(L2π)の倍数に相当する幅を有するチャネルをもたらすことを特徴とする請求項8に記載のレンズ。
- 前記複数の列が互いに変位している、請求項8に記載のレンズ。
- 前記複数の列が互いに回転している、請求項10に記載のレンズ。
- 前記複数の列が直列に配置された、請求項10に記載のレンズ。
- 少なくともX線源(87)と、検出器アセンブリ(88)とを備え、さらに、請求項1から7までのいずれかに記載の屈折型エレメントを備えたX線装置(86)。
- 少なくとも1つのX線源(87)と、検出器アセンブリ(88)とを備え、さらに、請求項8から12までのいずれかに記載のレンズ(30)を備えたX線装置(86)。
- 請求項1から7までのいずれかに記載の屈折型エレメントを製造するための方法であって、より小さいサイズのプリズムを提供するために、プリズム形のボディから一部を除去するステップと、より小さいサイズの前記プリズムが前記エレメントを構築するために一列に組み立てられるステップとを含む方法。
- より小さいサイズの前記プリズムが、リソグラフィ・パターニングによって提供される、請求項15に記載の方法。
- 前記除去が、ケイ素中へのマクロエッチングによって達成される、請求項15に記載の方法。
- ダイヤモンドを化学気相成長させるために前記エレメントをモールドとして使用するステップをさらに含む、請求項15に記載の方法。
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