JP4565677B2 - 出力誤差の少ない容量性圧力トランスジューサ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、概ね流体圧力センサに関し、特に出力誤差の少ない容量性圧力トランスジューサに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
米国特許第４，７１６，４９２号に示されているように、公知の圧力センサは、硬質のセラミック基板の上に狭い間隔で設置され、密封され、薄くて、比較的柔軟なセラミック・ダイヤフラムを有し、さらに、キャパシタを形成するために互いに近接して配置され、かつソースおよび検出キャパシタプレートとして働くようにダイヤフラムと基板の各対向面に形成された金属コーティングを有する容量性圧力トランスジューサを含んでいる。導電性のトレースが、基板に形成された孔内に収容されるピンまで延び、当該孔は、キャパシタプレートと外周部との間に位置されており、基板はトランスジューサに取り付けられている電子調整モジュールに接続されている。ダイヤフラムは、圧力に応じて曲がり、ソースおよび検出キャパシタプレートを移動させて相互に接近させ、それにより、プレート間のキャパシタンスを増大させる。上記キャパシタンスは上記電子調整モジュールにより測定される。導電性材料で作られた環状ガード・リングが、検出キャパシタプレートの周囲の基板上に印刷され、検出キャパシタプレートの電圧と同じ電圧に電気的に保持されている。通常、ガード・リングは、円形ソース・プレートの直径より少し小さな内径を持っている。このリングは、検出プレートの縁部におけるソースと検出プレート間の電界強度を弱くするためのガードとして働く。これら縁部の電界は望ましいものではない。何故なら、このような電界は、圧力トランスジューサの出力を非直線的なものにするからである。電子調整モジュールは、ソースと検出プレートとの間のキャパシタンスだけを測定するように設計され、ソース・プレートとガードとの間、検出プレートとガードとの間、または、ソース・プレートあるいは検出プレートとセンサのハウジングとの間のキャパシタンスは感知しない。
【０００３】
有極性流体または導電性流体と一緒に使用する場合には、トランスジューサの出力が、全目盛りの１％まで、またはそれ以上シフトすることが分かっている。キャパシタンスは、コンデンサ・プレート間の電界、および電界内の任意の誘電性材料の両方に依存するので、作動流体の誘電係数が変化すると、トランスジューサのキャパシタンスも変化するように、出力誤差は、ダイヤフラムを通過するソースと検出プレート間の電界および作動流体の電界よって引き起こされると考えらる。圧力トランスジューサは、水のような有極性または導電性の流体を含む多くの流体の圧力を監視するために使用されるという事実から考えて、このような出力誤差は望ましいものではない。
【０００４】
提案された一つの解決策は、柔軟で、黄銅ウールのような導電性の材料を通して、トランスジューサ・ハウジングに接続されているダイヤフラム上に薄い別々の金属シールドを設置するという方法である。ダイヤフラムを覆い、かつハウジングに接続されているこの導電性シールドは、全トランスジューサに対してガードとしての働きをする。すなわち、電界は、導電性シールドを通過しないため、シールドの両側の材料により影響を受けることはない。しかし、このアプローチは、上記ウールの断片が流体を劣化し、汚染する恐れがあること、トランスジューサの出力に対する柔軟なウールからの圧力の影響、金属シールドの耐久性、および種々の作動流体との互換性の問題、金属シールドによるヒステリシスの可能性、およびシールドとハウジングとの間の電気的接点の長期耐久性を含むいくつかの理由によりで十分なものとはいえない。
【０００５】
提案されたもう一つの解決策は、例えば、導電性コンデンサ・プレートおよびトレース用に使用される金のような同じ材料を使用してダイヤフラムの表面に印刷した金属シールドを使用するという方法である。上記印刷したシールドは、ワッシャおよび波形スプリングのような柔軟な機構を使用して、ハウジングに接続される。しかし、このアプローチの場合には、センサのコストを高くする構成部材を追加しなければならない。センサのコストをあまり高くしないで、出力誤差が最も少ないか、出力誤差を全く含まないセンサを提供することが望ましい。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの目的は、上記の制限のない、有極性または導電性流体と一緒に使用した場合に、改善され、その出力が誤差を含まない容量性流体圧力トランスジューサを提供することである。本発明の他の目的は、製造するのに経済的で、しかも信頼性が高く、比較的コストが安く、導電性流体と一緒に使用した場合、改善され、その出力が誤差を含まない容量性圧力トランスジューサを提供することである。
【０００７】
簡単に説明すると、本発明の改良形圧力センサは、面を持つ硬質セラミック基板を持つ容量性圧力トランスジューサと、整合され、相互に対向している面から間隔を置いて設置されている面を持つ、薄く、比較的柔軟なセラミック・ダイヤフラムとを備える。導電性検出プレートは、基板の面上に配置され、この場合、導電性検出トレースは、プレートから、プレートと基板の外周部との間に配置された検出ピン収容開口部まで延びる。導電性ガード・プレートは、検出プレートを囲んでいて、検出トレースに間隔を置いて隣接し、この検出トレースから離れている対向端部を持つ、連続していない環状の第一の部分と、環状部分の対向端部に隣接する位置からガード・ピン開口部に隣接し、検出トレースのどちらかの側面上で、検出トレースから間隔を置き、検出ピン開口部を囲み、この開口部から離れている位置まで、半径方向に外側に向かって延びる第二の部分を備える基板の面上に位置する。導電性ソース・プレートは、ダイヤフラムの面上に位置していて、この場合、導電性ソース・トレースは、ソース・プレートから、ソース・プレートとダイヤフラムの外周部の間に配置されたソース・ピンまで延びる。導電性ダイヤフラム・ガード・プレートは、ソース・プレートの周囲のソース・トレースに隣接しているが、離隔して配置されていて、またそこから離隔して配置されている対向端部を持つ、連続していない環状体の形をしている第一の部分を持つ。またダイヤフラム・ガード・プレートは、ガード・プレートの環状部分の対向端部に隣接する位置からガード・ピン位置に隣接し、ソース・ピン位置のどちらかの側面上であって、このソース・ピン位置から離隔した位置まで延びる。絶縁ガラス環状リングは、ダイヤフラムと基板とを密封状態で、離隔した状態に維持するために使用される。ガラス環状リングは、ダイヤフラムおよび基板の外周部に隣接して配置され、ソース、ガードおよび検出ピン収容開口部位置と整合している開放部分を持つ。本発明の特徴によれば、ガラス環状リングは、導電性材料を確実に相互の方向に徐々に移動しないようにするために、連続していない検出環状部分およびソース環状部分の端部に重なっている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図面について説明すると、図１の参照番号１０は、本発明の新規な圧力センサを示しており、圧力センサは、流体圧力応答容量性トランスジューサ１２を含む。トランスデューサ１２は、好適には、図に示すように、印加される流体圧力に晒される一方の面１２ａと、当該一方の面１２ａに対向し、配置されたトランスジューサ・ピン・ターミナル２４、２６、３４を含む面１２ｂとを有する平らなディスク形状をしている。好適には、上記トランスジューサは、アルミナのようなセラミック材料からなる薄くて比較的柔軟性のあるダイヤフラム１４を有し、ダイヤフラム１４は、セラミック製の基板１６上に近接して密封して重なるように搭載される。基板１６は、ダイヤフラムと類似の材料から構成される。ダイヤフラム１４は、掛けられた圧力の変化に応じて基板に対して移動することができるガラス・シーラント１８等（図４参照）により基板１６上に位置する。金属コーティング２０および２２（図２および図３）は、ダイヤフラムと基板の対向する第一の面１４ａ、１６ａ上にそれぞれ設けられ、これらは、加えられた圧力により変化するキャパシタンスを持つキャパシタを形成するように近接した関係で配置されたコンデンサプレートとして働く。ピン・ターミナル２４、２６は、トランスジューサの表面１２ｂ上に配置されたセラミック基板を介して密封状態でコンデンサ・プレートから延びる。金属ソース・ガード・リング２８は、ダイヤフラム１４上のコンデンサ・プレート２０を囲み、金属検出ガード・リング３０は、基板１６上のコンデンサ・プレート２２を囲み、基板１６は、当該基板を介してガード・リング２８、３０から延びるピン・ターミナル３４を有する。ピン・ターミナル３４は、以下に説明するピン・ターミナル２４、２６と同じ方法で延在する。
【０００９】
センサ１０は、さらに、その間に室３８を形成するために、トランスジューサの表面１２ｂの上に位置するように配置されているガラス強化ポリマのような絶縁材料からできているコネクタ本体３６を含む。好適には、上記コネクタ本体は、底部３６ａ、側壁部３６ｂ、および上記側壁部の周囲から延びるフランジ３６ｃを持つカップ形状であり、コネクタ本体は、好ましくは底部３６ａを介して室３８からセンサの外部の位置まで延在する複数のコネクタ・ターミナル４０、４２、４４（図示せず）を有する。コネクタ本体３６は、側壁部３６ｂの自由端部が、トランスジューサの表面１２ｂに直面するように配置され、室３８を形成している。ハウジング４６は、加えられた圧力に、トランスジューサの面１２ａを露出させるためのポート４６ａ、トランスジューサの面１２ａとポート４６ａとの間に配置された密封リング４８と、トランスジューサとコネクタ本体の少なくとも一部を収容するための金属スリーブ４６ｂとを含む。金属スリーブ４６ｂは、フランジ３６ｃのように、コネクタ本体の少なくとも一部上にスエージ加工等により変形された自由端部４６ｃを有し、コネクタ本体とトランスジューサを一緒に固定し、室３８を形成する。環境保護の密封を提供するために、自由端部４６ｃとコネクタ本体３６との間の環状の空間内にシーラント９０を射出することができる。
【００１０】
センサ１０は、さらに、トランスジューサおよびコネクタ・ターミナルに電気的に接続された、室３８に配置された電子回路５０を含み、電子回路５０は、米国特許第４，８７５，１３５号に開示されたタイプの容量性トランスジューサに加えられた圧力に対応する電気信号を供給する。このような電子回路は上記特許に示されており、電子回路の詳細はここに説明しないが、当業者であれば、電子回路は、基板５２またはそのようなものの上に搭載された、集積回路５３、抵抗６４、６６、コンデンサ５４、６２等の回路部品を含むことを理解することであろう。
【００１１】
図３に示すように、トランスジューサ１２の基板１６は、導電性で、スクリーン印刷のような適当な手段で、第一または内表面１６ａの中心に配置されているほぼ円形の検出プレート２２ａを有し、さらに基板１６は、半径方向に外側に検出ピン収容開口部１６ｂまで延在する導電性トレース２２ｂを有し、検出ピン収容開口部１６ｂは、検出プレートと円形の基板の外周部１６ｃとの中間に配置されている。導電性検出ガード・プレート３０は、第一の面１６ａ上に配置され、かつ第一の連続していないほぼ環状の部分３０ａを含み、当該部分３０ａは、検出トレース２２ｂから近接して離間された対向する対向端部３０ｂを有する。第二の検出ガード部分３０ｃは、各対向端部３０ｂに隣接する位置３０ｄから、ガード・ピン収容開口部１６ｄに隣接しかつ取り囲み、かつ検出ピン収容開口部１６ｂから離間され、かつ検出ピン収容開口部１６ｂを半径方向に越えた位置３０ｅで結合される位置まで、半径方向に外側に延在し、その結果、検出トレースと検出ピン収容開口部の周囲を延在する、閉じた開口３０ｆが形成される。
【００１２】
例を挙げて説明すると、本発明により作成された装置は、内半径０．１６０インチ（０．４０６４ｃｍ）、外半径０．２３５インチ（０．５９６９ｃｍ）、半径０．１５０インチ（０．３８１ｃｍ）の環状ガード部分を含む検出プレート２２ａを持つ。外半径０．２６５インチ（０．６７３１ｃｍ）の対向端部３０ｂが形成される。ピン開口部１６ｂ、１６ｄおよびソース・ピン開口部１６ｅは、０．３００インチ（０．７６２ｃｍ）の半径のところで２５度の間隔を持つ。また、基板１６が、整合ノッチ１６ｆと一緒に形成されていることに留意されたい。
【００１３】
図２について説明すると、トランスジューサ１２のダイヤフラム１４は、スクリーン印刷のような適当な手段で、第一の面または内表面１４ａの中心に配置された導電性で、ほぼ円形のソース・プレート２０ａを有し、さらにダイヤフラム１４は、半径方向に外側にソース・ピン位置１４ｂまで延在する導電性トレース２０ｂを有する。ソース・ピン位置１４ｂは、ソース・プレートと円形状のダイヤフラムの外周部１４ｃの中間に配置され、ダイヤフラムの外周部は基板１６の外周部と整合している。導電性ソース・ガード・プレート２８は、第一の面１４ａ上に配置され、かつソーストレース２０ｂから隣接して離間された対向する対向端部２８ｂを有する第一の連続していないほぼ環状の部分２８ａを有する。第二のソース・ガード部分２８ｃは、各対向端部２８ｂに隣接する位置２８ｄから、アース・ピン位置１４ｄに隣接しかつそれを囲み、かつソース・ピン位置１４ｂから離間され、かつソース・ピン位置１４ｂを半径方向に越えた位置２８ｅで結合された位置、まで延在し、その結果、ソース・トレースおよびソース・ピン位置の周囲を延びる、閉じた開口部２８ｆが形成される。
【００１４】
ガードが設置されていない従来のソース・プレートは、通常、検出ガード環状体の外半径とほぼ同じ大きさの半径を持つ。この実施形態に示すように、ソース・プレート２０の半径は、検出ガード環状体の内半径と外半径の中間であり、上記検出プレートの半径より少し大きい０．１７０インチ（０．４３１８ｃｍ）である。連続していない環状部分２８ａの内半径および外半径は、それぞれ０．１８０インチ（０．４５７２ｃｍ）および０．２３５インチ（０．５９６９ｃｍ）である。対向端部２８ｂの外半径は、０．２６５インチ（０．６７３１ｃｍ）で、検出ガードの対向端部３０ｂのそれと同じである。整合ノッチ１４ｆが、基板１６のノッチ１６ｆと同じ方法で外周部に設けられている。
【００１５】
図４に示された、ほぼ円形の部材である、間隔を設け密封を行うガラス環状体１８には、閉じた開口部１８ａ、１８ｂ、１８ｃが設けられ、これらの開口部は、整合ノッチ１８ｆを用いて、ピン収容開口部１６ｂ、１６ｄ、１６ｅと整合するように、２５度の角度で離れている。
【００１６】
ダイヤフラムの第一の面上にソース・プレート、ソース・トレースおよびソース・ピン開口部を囲むソース・ガード・プレート２８を設置するのみならず、基板の第一の面上で、検出プレート、検出トレースおよび検出ピン収容開口部を囲む検出ガード・プレート３０を設置すると、有極性および導電性流体による圧力トランスジューサの出力誤差が、ほぼ完全に除去される。
【００１７】
図５は、変更したソース・ガード２８’を有するダイヤフラム１４’を示している。ソース・ガード２８’において、対向端部２８ｂ’の外側の半径は、連続していないほぼ環状の部分の残り部分と同じ半径であり、すなわち、０．２３５インチ（０．５９６９ｃｍ）である。半径方向に延びる第二の部分２８ｃ’は、本質的に、トレース２０ｂの幅と同じ幅を持つトレースの形をしている。対向端部２８ｂ’のもっとも短い外半径とガラス環状体１８とを組合せは、対向端部を半径方向に外側に越えて延在するガラス材料を提供し、これにより、ダイヤフラムと基板上の各金属層がガラスの縁部を這い上がって互いに接触することが防止される。
【００１８】
図６および図７は、ダイヤフラム１４”および基板１６”の両方の、もう一つの変更した金属化パターンを示す。検出トレース２２ｂ”およびソース・トレース２０ｂ”は、図２および図３の実施形態のものよりも少し狭くなっていて、例えば、０．０２０インチ（０．０５０８ｃｍ）に対する０．００８インチ（０．０２０３ｃｍ）である。第二のガード部分３０ｃ”と２８ｃ”は、ほぼ円形の開口部３０ｆ”および２８ｆ”により形成され、これらの開口部は、連続していない環状部の対向端部３０ｂ”、２８ｂ”の外半径３０ｇ、２８ｇと一体になる。半径３０ｇ、２８ｇは、好適には、相互に同じ長さであり、ガラス環状体１８の内半径１８ｄが、少し短くなるように選択され、その結果、ガラス層１８ｅが、ガード層の上に重なり、導電性材料がガラス層の縁部を這い上がるのを防止し、かつ検出およびトレース層とショートするのを防止する。連続していない第一の環状体２８ａ”、３０ａ”には、ガード・ピン位置１４ｅとガード・ピン収容開口部１６ｅと半径方向で整合している丸みを帯びた凹部２８ｈ、３０ｈが設けられている。この特徴は、ガラス環状体１８の内側部分上の金属移動がトレース層と接触するのを防止するのに適当な隙間を提供する。例を挙げて説明すると、図６および図７の一点鎖線は、組立てたトランスジューサのガラス環状体１８および検出トレース２２ｂ”（図６）およびソース・トレース２０ｂ”（図７）の内部境界の相対的位置を示す。連続していない第一のガード環状部２８ａ”の凹部２８ｈにより、金属が、検出トレース２２ｂ”からガラス環１８の縁部を横切って徐々に移動した場合でも、ガード・プレート２８との接触を防止するための十分な隙間が確保される。ソース・トレース２０ｂ”に関連するガード・プレート３０”の凹部３０ｈの場合にも、同じことがいえる。ピン収容開口部１６ｂ、１６ｄおよび１６ｅとそれぞれ整合し、また図に示すように、検出およびソース・トレースと、ガラス環の縁部との間の重畳部分の周囲の、例えば、０．００３インチ（０．００７６２ｃｍ）の選択された隙間と整合するために、ガラス環１８内に、窓１８ａ、１８ｂおよび１８ｃが形成される。
【００１９】
本発明を説明するために、その特定の実施形態を説明してきたが、本発明は、添付の特許請求の範囲内に含まれるすべての修正およびその等価物を含むことを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧力センサの立面断面図である。
【図２】本発明の一実施形態のソース・プレート、およびソース・ガード・プレート構成を示す図１の容量性トランスジューサのダイヤフラムの第一の面、すなわち、内面の平面図である。
【図３】第一の実施形態の検出プレート、および検出ガード・プレート構成を示す図１の基板の第一の面、すなわち、内面の図２類似の平面図である。
【図４】同様に、ダイヤフラムおよび／または基板の外周部を示す、各容量性トランスジューサの基板とダイヤフラムとの間で上記実施形態で使用されるガラス・スペーサの平面図である。
【図５】その上に修正したソース・ガード・プレート構成が描かれているダイヤフラムの図２類似の平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態のソース・プレート、およびソース・ガード・プレート構成を示す図１の容量性トランスジューサのダイヤフラムの図２類似の平面図である。
【図７】図６のダイヤフラムと一緒に使用する検出プレートと検出ガード・プレート構成を示す図１の容量性トランスジューサの基板の図３類似の平面図である。
【符号の説明】
１０ 圧力センサー
１２ トランスジューサ
１２ａ、１２ｂ 面
１４ ダイヤフラム
１４ａ 面
１６ セラミック基板
１６ａ 面
１６ｂ 検出ピン収容開口部
１６ｃ 外周部
１６ｄ ピン開口部
１８ ガラス・シーラント
２０、２２ コンデンサ・プレート
２２ａ 検出プレート
２２ｂ 検出トレース
２４、２６、３４ ピン・ターミナル
２８、３０ ガードリング
２８ａ、３０ａ 環状部分
２８ｂ、３０ｂ 対向端部
２８ｃ、３０ｃ ガード部分
３６ コネクタ本体
３６ａ 底部
３６ｂ 側壁部
３６ｃ フランジ
３８ 室
４０，４２，４４ コネクタ・ターミナル
４６ ハウジング
４６ａ ポート
４６ｂ スリーブ
４６ｃ 自由端部
４８ 密封リング
５０ 電子回路
５２ 基板
５３ 集積回路
５４，６２ コンデンサ
６４、６６ 抵抗
９０ シーラント

Claims (4)

1. 容量性圧力トランスジューサを有する圧力センサであって、
   第１および第２の対向面と円形の外周部を有する電気的に絶縁性のセラミックから構成される剛性のある基板と、
   第１および第２の対向面と円形の外周部を有する電気的に絶縁性のセラミックから構成され、当該第１の対向面が基板の第1の対向面と直面し間隔をもつように前記基板上に取り付けられる比較的柔軟なダイヤフラムと、
   電気的に導電性の材料から構成され、前記基板の第１の対向面の中心に配置された検出プレートと、
   互いに離間したソースピン、ガードピンおよび検出ピンの収容開口部であって、各収容開口部が、前記検出プレートと前記円形の外周部との中間の位置で前記基板の第１および第２の対向面の間を延在する前記収容開口部と、
   前記基板の第１の対向面上に形成され、前記検出プレートから検出ピンの収容開口部まで延在する電気的に導電性の検出トレースと、
   前記基板の第1の対向面上に形成された電気的に導電性の検出ガードプレートであって、前記検出ガードプレートは、前記検出プレートに隣接して対向する端部を有する第1の非連続環状部分を有し、当該第1の非連続環状部分はさらに前記検出プレートの周囲に離間して配置され、前記検出ガードプレートはさらに、前記対向する端部のいずれかに隣接する検出ガードプレートの環状部分の位置からガードピンの収容開口部に隣接しかつこれを取り囲みさらに半径方向に外側に延在する第２の部分を有し、当該第２の部分は、前記対向する端部の一方の端部から他方の端部に至るまで検出ピンの収容開口部から離間されかつ連続してこれを取り囲む、前記検出ガードプレートと、
   電気的に導電性の材料から構成され、前記ダイヤフラムの第１の対向面の中心に配置され、前記ダイヤフラムが前記基板上に取り付けられたとき、前記検出プレートに整合するソースプレートと、
   前記ダイヤフラムが前記基板上に取り付けられたとき、ソースピンおよびガードピンの収容開口部とそれぞれ整合し、かつ前記ダイヤフラムの第１の対向面上に形成されたソースピンおよびガードピンの位置と、
   前記ダイヤフラム上に形成され、前記ソースプレートから前記ソースピンの位置まで延在する電気的導電性のソーストレースと、
   前記ダイヤフラムの第１の対向面上に形成された電気的に導電性のソースガードプレートであって、当該ソースガードプレートは、第２の対向する端部を有する第１の非連続環状部分を有し、当該第1の非連続環状部分は前記ソースプレートの周囲に離間され、第２の対向する端部は前記ソーストレースに隣接するように離間され、前記ソースガードプレートはさらに、第２の対向する端部のいずれかに隣接する位置から前記ガードピンの位置に隣接しかつこれを取り囲みさらに半径方向に外側に延在する第２の部分を有し、当該第２の部分は、前記対向する端部の一方から他方の端部に至るまでソースピンの位置から離間されかつ連続してこれを取り囲む、前記ソースガードプレートと、
   前記基板から離間されたダイヤフラムを維持する電気的に絶縁性のスペーサと、
   前記ダイヤフラムが流体受け入れポートに露出されるように前記容量性圧力トランスジューサを収容するハウジングと、
   前記ハウジング内に取り付けられ、複数の端子を搭載するコネクタ本体と、
   前記容量性圧力トランスジューサと前記コネクタ本体との間に形成された室と、
   前記室内に配置され、前記容量性圧力トランスジューサと前記複数の端子に電気的に接続された電気回路と、
   を有する圧力センサ。
2. 前記スペーサは、前記基板の第1の非連続環状部分と前記円形の外周部に半径方向に隣接する位置との間に配置されたガラス環状リングであり、当該ガラス環状リングは、前記ソースピン、ガードピンおよび検出ピンの収容開口部と整合された開口部を有する、請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記基板および前記ダイヤフラムは、外周部が一致する円柱状であり、前記検出ガードプレートおよび前記ソースガードプレートの各第１の非連続環状部分の端部は、前記基板と前記ダイヤフラムの円柱状の縦軸から半径方向に選択された距離にあり、前記ガラス環状リングは、前記選択された距離よりも小さい内径を有する円形状であり、その結果、前記ガラス環状リングは、前記検出ガードプレートおよび前記ソースガードプレートの各第1の非連続環状部分の端部と重なる、請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記検出ガードプレートおよび前記ソースガードプレートの第１の非連続環状部分には、前記ソースピンの収容開口部と前記ソースピンの位置に半径方向に整合されている、外周が凹んだ凹部が形成されている、請求項１に記載の圧力センサ。

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