JP4564431B2 - キャパシタのトリミング方法及びプリント基板 - Google Patents
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Description
図において点線で囲まれた30はキャパシタである。キャパシタ30は、プリント基板6の一部分である。
1はレーザ発振器であり、YAGレーザの第3高調波のレーザビームを出力する。4はガルバノスキャナであり、回転可能に支持しているミラーの角度を変える。5は制御装置であり、レーザ発振器1及びガルバノスキャナ4を制御する。
本発明のトリミング方法によれば、銅でできた電極よりも除去し易い樹脂でできた誘電体を除去することによって、キャパシタンスを小さくするので、キャパシタンスを短時間で調整できる。
11はレーザ発振器であり、高出力を出し易い炭酸ガスレーザ、あるいは、YAGレーザの基本波等のレーザビームを出力する。レーザ発振器11から出力されたレーザビームは、ミラー411及びミラー422で反射され、キャパシタに照射される。
ウィンドウは、上側電極が形成された後に、上側電極にレーザ加工、あるいは、イオンビーム加工等を施すことによっても形成できる。
図2(A)に示すように上側電極311にウィンドウ311−mを形成した場合であっても、ウィンドウ311−mの直径が誘電体33の厚さ以下であれば電束線36の乱れは少ない。よって、直径が誘電体の厚さ以下のウィンドウ311−mは、キャパシタのキャパシタンスへは、ほとんど影響を及ぼさない。従って、上側電極311に形成されたウィンドウ311−mの面積分だけ上側電極311の面積を広げる必要はない。ウィンドウの直径の大きさのキャパシタンスへの影響をより低減させるためには、ウィンドウ311−mの直径は、誘電体33の厚さの半分以下であることが好ましい。
図2(B)に示すように、ウィンドウ直下の誘電体33は、ウィンドウ311−mに入射したレーザビームによって除去される。
また、本発明のトリミング方法は、電極の表面状態を利用することにより、より効果的に誘電体を除去することができる。図2(C)に示すように、ウィンドウ311−mに入射したレーザビームが粗面である上面35及び下面34によって乱反射されることによって、ウィンドウ直下よりも広い範囲の誘電体33が、除去される。
ΔC=εε0S0/d−ε0S0/d=(ε−1)ε0S0/d…(1)
さらに、キャパシタンスの減少量ΔCのキャパシタンスCに対する割合について説明する。但し、キャパシタの面積をSとする。この場合、ΔC/Cは、式(2)で与えられる。
ΔC/C=(ε−1)S0/εS…(2)
誘電体33が、プリント基板の絶縁層としてよく用いられるエポキシ樹脂である場合には、εは約3.0である。この場合には、ΔC/Cは、2S0/3Sで与えられる。
ΔC/C=S0/S…(3)
さらに、誘電体33の比誘電率が大きい場合には、誘電体を除去することによるキャパシタンスの減少量は、電極の一部を除去することによるキャパシタンスの減少量とほとんど変わらなくなる。
以下、実施例1について図面に基づいて説明する。図1(A)は、実施例1に係るキャパシタにレーザビームを照射する光学系の模式図である。図1(A)において、実施例1に係るキャパシタは平面図で示している。図1(B)は、実施例1に係るキャパシタのBB断面図である。図1において、図6に示されるのと同一の部品は、同一の符号を付けてある。
図において点線で囲まれた30はキャパシタである。311はキャパシタの上側電極である。上側電極311は銅を用いた。上側電極311の大きさは、縦3mm×横2mmとした。誘電体33は、エポキシ樹脂を用いた。誘電体33の厚さは、約60μmとした。そして、上側電極311の図における下半分にはウィンドウ311−m(m=1〜200)を格子状に形成した。ウィンドウ311−mは、直径約30μmの円とした。
また、図1(B)に示す上側電極311の下面34と下側電極32の上面35は、誘電体33との接着力を増すためそれぞれ積層される際に粗面化されている。
まず、ステップS10の処理において、テストピンを介して、回路の発振周波数を測定する。
始めにウィンドウ311−1にレーザビームを入射させれば、ウィンドウ311−2の位置を読み出す。
図4は、実施例2に係るキャパシタの平面図である。図4において、図1に示されるのと同一の部品は、同一の符号を付けてある。
図において点線で囲まれた30はキャパシタである。312は実施例2に係るキャパシタの上側電極である。上側電極312の全面にウィンドウ312−m(m=1〜200)を格子状に形成した。
実施例1においては、制御装置5は、隣接したウィンドウに順番にレーザビームを入射させていった。しかしながら、ウィンドウにレーザビームを入射させる順番はこの順番に限らない。
制御装置5は、できるだけ離れたウィンドウを選択してレーザビームを入射させていくこともできる。図4に示す例においては、制御装置5は、始めにウィンドウ312−1、次にウィンドウ312−200といったように、できるだけ離れたウィンドウを選択してレーザビームを入射させた。
図5は、上側電極に矩形の切り欠きを形成したキャパシタの平面図である。図5において、図1と同一の部品は、図1と同一の符号を付けてある。
図5において、313はキャパシタの上側電極である。そして、上側電極313には、約30μmの幅の矩形の切り欠き313−m(m=1〜n)をそれぞれ所定の間隔を空けて形成した。このように、ウィンドウは円に限らなくてもよい。
5 制御装置
6 プリント基板
11 レーザ発振器
22 上側接続パターン
23 下側接続パターン
24 左側基幹パターン
25 右側基幹パターン
30 キャパシタ
32 下側電極
33 誘電体
34 下面
35 上面
311 上側電極
311−m(m=1〜n) レーザ入射口
411 ミラー
422 ミラー
Claims (2)
- 誘電体と、この誘電体を挟み高さ方向に重ねて積層され下側電極の上面と上側電極の下面が粗面である一対の電極とから構成されるキャパシタの一部をレーザビームによって除去することによって、前記キャパシタのキャパシタンスを小さくするキャパシタのトリミング方法であって、
前記上側電極に設けられたレーザビーム入射口に、レーザビームを入射させて下側電極の上面と上側電極の下面で乱反射させ、
前記レーザビーム入射口の直下よりも広い範囲の誘電体を除去し、前記キャパシタのキャパシタンスを小さくすることを特徴とするキャパシタのトリミング方法。 - 請求項1に記載のキャパシタのトリミング方法において、
レーザビーム入射口のひとつに、レーザビームを入射させ、直前にレーザビームを入射させたレーザビーム入射口からできるだけ離れたレーザビーム入射口を選択して、レーザビームを入射させることを特徴とするキャパシタのトリミング方法。
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