JP4564241B2 - Semiconductor device production system - Google Patents
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の半製品を収納した収納ケースにバーコードを付し、これを管理情報として利用した半導体装置の生産システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の半導体装置の生産システムにおいては、製品情報が記載されている伝票であるトラベルシートが、製造単位(以下、ロットと呼ぶ)毎に発行され、製品と共に各工程に送付される。従来の生産システムにおいては、このトラベルシートに記載されている製品情報と現物とを、人が照合して判断していた。
【0003】
また、1ロット分の半製品を収納するためには、ウェハー収納ケースのような半製品収納ケース2個、マガジンが3個から8個というように、複数個の収納ケースあるいはマガジンを必要とした。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の生産システムにおいては、トラベルシートと半製品とを作業員が判断していたため、人為的な間違いにより不良品を生産することがあった。
【0005】
また、1ロットの半製品を収納するために、複数個の収納ケースやマガジンを必要とする場合、他のロットの収納ケースやマガジンあるいはC型カセットが混入するという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、生産工程の簡素化を計り、人為的な介在を最小限にした半導体装置の生産システムを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の生産システムは、半導体装置を生産する製造工程において用いられ、前記半導体装置の半製品を収納する複数種類かつ複数個の収納ケースと、これらの収納ケースのそれぞれに添付され、前記複数種類かつ複数個の収納ケースを識別するバーコードと、これらのバーコードを読込み、無線でコンピュータと通信できる無線バーコードリーダーとを具備し、前記コンピュータは前記無線バーコードリーダーから受信した情報を元に前記収納ケースに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、この合否結果を作業者に伝達する伝達機能と、を備え、前記判断機能は、各工程のロット投入時および払出し時に1のロットを収納する複数個の収納ケースに他のロットを収納する収納ケースが混入したことを確認する収納ケース確認機能を有することを特徴とするものである。
【0008】
また、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記判断機能は、さらに、各工程のロット投入時または払出し時に、作業順序の整合性を確認する整合性確認機能を有することを特徴とするものである。
【0010】
さらに、本発明の半導体装置の生産システムにおいては、前記コンピュータは、さらに、払出し時に次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける製造番号を作業者に指示する指示機能を有することを特徴とするものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図1乃至図7について説明する。図1は、本発明による実施形態のシステム構成と無線バーコードリーダーとを示した図で、(A)はシステム構成の構成ブロック図、(B)は無線バーコードリーダーの斜視図である。
【0012】
同図(A)において、管理センター(図示せず。)にはコンピュータ5が設置されている。このコンピュータ5には、工程順位を定義するマスターが登録されているデータベースである工程順位定義マスター6、工程管理データベース7、モニター8、無線バーコードリーダー通信機9等が通信回線10を介して接続されており、これら相互の間でデータの受け渡しが出来るように構成されている。
【0013】
また、この無線バーコードリーダー通信機9は、同図(B)に示した無線バーコードリーダー11と情報のやり取りを無線で行うシステムであり、無線バーコードリーダー11には、メッセージを表示するモニター11Aと、ブザーを発するスピーカー11Bと、簡単な情報を入力することが出来る入力部11C等が備えられている。
【0014】
図2は、本発明による半導体装置の組立工程の順序を示す工程ブロック図で、投入工程12Aから各工程、すなわち、ウエハマウント12B、ダイシング12C、マウント12D、マウントキュア12E、ボンディング12F、モールド12G、モールドアフターキュア12H、Po12I、リン酸12J、外装12K、およびT/F12L等の各工程順位で製品が生産される様子を示している。
【0015】
そして、これらの各工程には、その各工程を識別するために、工程ID13A〜13Lが添付されている。
【0016】
なお、この工程IDは半導体装置を識別するための装置IDでもよい。
【0017】
この一連の組立工程において、製造工程への投入12Aからダイシング工程12Cまでの各工程には製造途中の半製品を収納する収納ケース14A,14B,および14Cがそれぞれの工程に置かれており、この各収納ケース14A〜14Cには他の収納ケースと識別が出来るように、収納ケースIDとして、バーコード15A〜15Cが各収納ケース14A〜14Cそれぞれに添付されている。
【0018】
そして、半導体装置を製造する際には、ロット毎に、図3に示したトラベルシート16が発行されて収納ケース14A〜14Cそれぞれに入れられ、次の工程に送られる。
【0019】
なお、このトラベルシート16にはロットを識別するためのロットIDとしてバーコード16Aが添付されている。
【0020】
また、マウント12Dからボンディング12Fまでの各工程には、工程毎に複数個のマガジン17A〜17Cそれぞれが設置されていて、このマガジン17A〜17Cであることを識別するマガジンIDがバーコード18A〜18Cとして添付されている。
【0021】
さらに、ボンディング12Fの次工程であるモールド12GからT/F12Lの各工程までには、各工程に複数個のC型カセット19A〜19Fそれぞれが設置されていて、これらC型カセット19A〜19Fにも、工程毎のC型カセットであることを識別するために、カセットIDがバーコード20A〜20Fとして添付されている。
【0022】
図4は、図1(A)に示した工程順位定義マスター6と、工程管理データベース7に記録されているデータ、および無線バーコードリーダー11(図1(B))から送られる整合性確認用データ等を説明するための説明図である。同図において、工程順位定義マスターデータ21は、半導体装置を製造する前にあらかじめ作成し、工程順位定義マスター6に登録されるもので、製品の製造過程を表すプロセスID21A毎に準備される。同図では、プロセスID“AK032”に関するデータを表している。
【0023】
また、製品の工程順序は工程ID21Bであらわされており、本実施形態では工程ID21Bが製造ラインの工程順に“マウントIN”から“ボンディングOUT”まで記録されている。
【0024】
この工程ID21Bには工程ID21Cと収納ケース入替え21Dの各項目があり、また、工程ID21Cには工程名“ウエハマウンド〜ボンディング”と工程の投入(以下、INと呼ぶ)か払出し(以下、OUTと呼ぶ)かの情報が記録されている。
【0025】
そして、収納ケース入替え21Dには、OUTの時に収納ケースの入替えが発生する場合は『有』が、発生しない場合は『無』が記録されている。
【0026】
工程管理データベース記録データ22は、各ロットの情報が記録されているデ−タで、ロットのIN時点か、もしくは、IN時点よりも前に作成されるものであり、ロットID22AとプロセスID22Bと工程ID22C、および収納ケースID22Dとが存在している。
【0027】
そして、これらの各データは工程を移動する際に、データの整合性を確認するために使用されるだけでなく、データの整合性が認められた時は、ロットが次の工程に移動するのと同じように、各々のデータも次の工程の情報に書き換わるようになっている。
【0028】
この整合性は作業者が工程を移動させる際に、無線バーコードリーダー11(図1(B))から整合性確認用データ23を入力することによって行われる。
【0029】
この整合性確認用データ23は、ロットID23Aと工程ID23B、および収納ケースID23Cとからなっており、このうち、ロットID23Aはトラベルシート16(図3)のバーコード16Aから入力されたものであり、工程ID23Bは、投入工程12A、または各工程12Bから12L(図2)に添付されている工程IDを示すバーコード13Aから13Lを、無線バーコードリーダー11の入力部11C(図3)から入力されたIN、もしくは、OUTの情報をつなぎ合わせたものである。
【0030】
なお、前述したINもしくはOUTの情報は、あらかじめバーコードを準備しておいて、無線バーコードリーダー11から読み込ませてもよい。
【0031】
一方、収納ケースID23Cは、収納ケース14Aから14Cに添付されているバーコード15A乃至15Cを無線バーコードリーダー11で読み取ったものであり、これから移動を試みるロットが収納されている全てのケースのバーコードを記録することになっている。
【0032】
次に、本発明の実施形態による確認作業の手順を説明する。
【0033】
まず、作業者は、半導体装置を製造するために、製造途中のロットを工程にINする前、または、OUTする前に、トラベルシート16(図3)に記載されているバーコード16A、すなわち、ロットIDを無線バーコードリーダー11(図1(B))から入力する。
【0034】
次に、投入12Aと各工程装置12Bから12Lに添付されているバーコード13A乃至13L、すなわち、工程IDを無線バーコードリーダー11から入力し、続いて工程のINかOUTかを、無線バーコードリーダー11の入力部11Cから入力する。
【0035】
最後に、作業対象であるロットが収納されている収納ケース14Aから14Cの収納ケースIDであるバーコ−ド15A乃至15Cをすべて入力する。
【0036】
これら全ての入力が終了すると、無線バーコードリーダー11は、整合性確認用データ23を編集して、無線バーコードリーダー通信機9(図1(A))に送信する。
【0037】
無線バーコードリーダー通信機9は、通信回線10(図1(A))を介して、コンピュータ5(図1(A))に整合性確認用データ23を転送し、コンピュータ5では、工程順位定義マスター6(図1(A))から工程順位定義マスターデータ21を、また、工程管理データベース7(図1(A))から工程管理データベース記録データ22を読み込む。
【0038】
この読み込む時の手順は、まず、整合性確認用データ23のロットID23Aと同一のロットID22Aを持つ工程管理データベース記録データ22を読み込む。
【0039】
次に、工程管理データベース記録データ22のプロセスID22Bと同一のプロセスID21Aの工程順位定義マスターデータ21を読み込み、ここで、コンピュータ5は整合性の確認を行う。
【0040】
この整合性確認の動作を、図5について説明する。図5は、整合性確認の動作手順を示したフローチャートで、コンピュータ5は、まず、工程管理データベース記録データ22の工程ID22Cと同一の工程ID21Bを工程順位定義マスターデータ21から検索して、次の工程21C“ボンディングOUT工程”と収納ケース入替え21D『有』を取得する。なお、この場合、工程21Cを確認用の工程データ、収納ケース入替え21Dを入替えデータとする(ステップS5−1)。
【0041】
次に、(ステップS5−1)で取得した工程データと、整合性確認用データ23の工程ID23Bを比較する(ステップS5−2)。この比較の結果、不一致(NG)である場合はNGルーチンに入ってNG1(ステップS5−3)を経て終了する。一方、一致(OK)である場合は、収納ケースIDの整合性確認が必要かどうかを確認するが、その確認方法は、(ステップS5−1)で取得した工程データがINの時か、もしくは、OUTの時は(ステップS5−1)で取得した入替えデータが『無』の時に確認を行う(ステップS5−4)。
【0042】
この確認で比較の必要がないときは、NOルーチンに入って、OKと判断されて(ステップS5−6)終了し、比較の必要なときはYESルーチンに入って、工程管理用データベース記録データ22の収納ケースID22Dと整合性確認用データ23の収納ケースID23Cとが一致するかどうか確認する(ステップS5−5)。
【0043】
この確認で、収納ケースID23Cとが全て一致した時は、OKと判断されて(ステップS5−6)終了し、収納ケースID23Cが一致しないケースが現れた時は、NGルーチンに入って、NG2(ステップS5−7)を経て終了する。
【0044】
そのために、コンピュータ5によって行われた整合性の確認結果は、通信回線10(図1(A))を介して、モニター8(図1(A))、もしくは、無線バーコードリーダー通信機9(図1(A))に送られ、モニター8(図1(A))の画面上には確認結果が表示され、作業者にその結果を知らせる。
【0045】
一方、無線バーコードリーダー通信機9は、その確認結果を無線バーコードリーダー11(図1(B))に送付し、無線バーコードリーダー11では附属のモニター11Aにその結果が表示される。
【0046】
また、結果がNGの時は、附属のスピーカー11B(図1(B))からブザーが鳴り、このブザーから移動する工程が入力した収納ケースに誤りがあることを作業者に知らせる。
【0047】
結果がOKの場合は、工程管理データベース記録データ22の工程ID22C、および収納ケースID22Dを整合性確認用データ23の工程ID23B、および収納ケースID23Cの各データに書きかえる。
【0048】
ここで、作業者に対して、次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける半導体製造装置番号等を伝達し、指示する機能を、図6について説明する。
【0049】
図6は、現在OUT作業をした半導体装置に対して、次に生産するロット、および現在OUT作業をしたロットに対して、次に仕掛ける半導体製造装置を検出するフローチャートで、OUT時に整合OKの場合に動作するフローチャートである。
【0050】
なお、前提条件として、工程管理データベース記録データ24,25,および26(以上、図4)の各工程IDを装置ID24A,25A,および26Aとし、また、予約ID24B,25B,および26Bそれぞれを追加するものとする。
【0051】
図6において、いま、現工程が“マウントキュア”であるとすれば、まず、該当するプロセスID、この場合“AK032”の工程順位定義マスターデータ21(図4)から、次の工程ID“ボンディング”を取得し(ステップS6−1)、また、該当するプロセスID“AK032”の装置マスターデータ27(図4)から、(ステップS6−1)で取得した次工程の装置IDである“ボンディング”の全て、すなわち、装置IDである“ボンディング♯1〜♯6”に対応する6台分の工程管理データベース記録データ23を取得する(ステップS6−2)。
【0052】
次に、(ステップS6−2)で取得した装置ID“ボンディング”に対する工程管理データベース記録データ25および26を全て取得する(ステップS6−3)。
【0053】
この(ステップS6−3)で取得した工程管理データベース記録データ25および26のうち、現時点での工程管理データベース記録データ25に、INおよびOUTの両方が無い装置IDか、もしくは、OUTのある装置IDであるかを判定する(ステップS6−4)。
【0054】
判定の結果、この場合はOUTの装置IDであるから、ロット仕掛かり中ではないので、その装置ID“マウントキュア♯1”を現在OUTしたロット、すなわち、ロットID24Cを次に仕掛ける半導体製造装置とし、現在、OUTしたロットに対する工程管理データベース記録データの予約IDに1をセットする。
【0055】
工程管理データベース記録データ26のみが取得された場合、装置ID26AはOUTのある装置IDであるため、“ボンディング♯1”が次に仕掛ける半導体製造装置となり、工程管理データベース記録データ25の予約ID25Bに“1”がセットされる。
【0056】
また、次に生産するロットを検出する方法は、まず、該当プロセスID“AK032”の工程順位定義マスターデータ21から、直前の工程ID、この場合、前工程は“マウント”であるから、装置ID“マウント♯1〜♯3”を取得し(ステップS6−6)、次いで、該当プロセスIDの装置マスターデータ27から、(ステップS6−6)で取得した前工程の装置ID“マウント♯1〜♯3”を全て取得する(ステップ5−7)。
【0057】
次に、(ステップS6−7)で取得した装置ID“マウント”3台分に対する工程管理データベース記録データ24全てを取得する(ステップS6−8)、次いで、(ステップS6−8)で取得した工程管理データベース記録データ24の装置データがOUTのある装置ID24Aか、かつ予約IDが“0”のロットID24Cであるかを判定する(ステップS6−9)。
【0058】
この判定の結果、工程管理データベース記録データがOUTのある装置IDで、且つロットIDが“0”である場合、そのロットID“01B34LK2”(図3)を現在OUT作業した半導体製造装置に対して次に生産するロットとし、そのロットに対する工程管理データベース記録データの予約IDに“1”をセットする。
【0059】
すなわち、図4に示すように、現工程が“マウントキュア”である場合、前工程は、マウント、装置IDは、“マウント♯1〜♯3”であり、最大3台分の工程管理データベースの記録データを取得することになる。
【0060】
工程管理データベース記録データ24のみが取得された場合、装置ID24AはOUTであることから、ロットID24Cである“01B34LK1”が次に仕掛けるロットとなり、予約ID24Bに“1”をセットする。
【0061】
なお、この予約ID24Bは、同一ロットIDおよび同一装置IDの指示を防止するために必要であり、したがって、OUT(投入)OK時には“0”に戻す。
【0062】
このようにして、検出された次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける半導体製造装置番号は、通信回線10(図1(A))を介して、モニター8(図1(A))、もしくは、無線バーコードリーダー通信機9(図1(A))に送られ、モニター8の画面上には検出結果が表示されて作業者に指示する。
【0063】
また、無線バーコードリーダー通信機9は、検出結果を無線バーコードリーダー11(図1(B))に送付し、無線バーコードリーダー11では附属のモニター11Aの画面上に結果を表示して作業者に指示する。
【0064】
この場合、作業者への指示は、視覚的な表示ではなく、聴覚的な音声出力で知らせてもよい。
【0065】
このように、各工程のロット投入(IN)時、または、払出し(OUT)時に、作業順序の整合性を確認することで、作業順序の誤りがなくなり、不良の生産を防止することが出来る。
【0066】
また、各工程のロット投入時、および払出し時に、ロットの収納ケースの確認を行うことで、ロットの取り違えを防止できる外、ロットが複数の収納ケースで構成される工程では、他のロットの収納ケースが混入するのを防止することが出来る。
【0067】
さらに、払出し時に、次に生産するロット情報または次に仕掛ける装置番号を作業者に指示することで、作業者は前後工程の生産状況を把握することなく製品を投入することが出来る。
【0068】
図7は、本発明による他の実施形態である生産システムの構成を示すブロック図で、図1及び図2と同一構成部分には同一符号を付して示し、その部分の詳細な説明は省略し、以下では図1乃至図2と相違する部分について主として説明する。
【0069】
同図において、各々の工程装置12Bから12Lを通信回線10でコンピュータ5に接続し、各工程装置12Bから12Lにはコンピュータ5からの命令で生産を中止する機能を具備させてある。
【0070】
そして、本実施形態では、無線バーコードリーダー11(図1(B))から各種情報を読み込ませる時に、個々の工程装置12B乃至12Lそれぞれを識別するための各装置ID13A〜13Lを入力することにより、図5に示した整合性確認の結果がNGのときに入力された装置IDを持つ装置の生産を中止に出来るので、特に、IN(投入)時に発生する不良の作り込みを確実に防止することが出来る。
【0071】
また、OUT(払出し)時に指示した次に生産するロット情報、または、次に仕掛ける装置番号以外に製品をIN(投入)した場合にも、生産を中止することが可能となる。
【0072】
【発明の効果】
上記した本発明によれば、各工程のロット投入時、または、払出し時に、作業順序の整合性を確認することにより、作業順序の誤りがなくなり、生産不良を防止することが出来る。
【0073】
また、本発明によれば、各工程のロット投入時、または、払出し時に、ロットの収納ケースの確認を行うことで、ロットの取り違えを防止で来る外、ロットが複数の収納ケースで構成される工程においても、他のロットの収納ケースが混入するのを防止することが出来る。
【0074】
さらに、本発明によれば、払出し時に、次に生産するロット情報や次に仕掛ける装置番号等を作業者に指示することにより、作業者が前後工程の生産状況を把握することなく、製品を投入することが出来るので、工程管理に対する人為的介入が最小限度にとどまり、それだけ人為的ミスがなくなり、全システムの信頼性を著しく向上させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による実施形態のシステム構成と無線バーコードリーダーとを示した図で、(A)はシステム構成の構成ブロック図、(B)は無線バーコードリーダーの斜視図である。
【図2】本発明による半導体装置の組立工程の順位を示した工程ブロック図である。
【図3】トラベルシートの説明図である。
【図4】本発明による無線バーコードリーダーから送られる整合性確認用データを説明するための説明図である。
【図5】本発明による整合性確認の動作手順を示したフローチャートである。
【図6】本発明による次に仕掛ける半導体製造装置を検出するフローチャートである。
【図7】本発明による他の実施形態である生産システム構成を示した構成ブロック図である。
【図8】従来のシステムにおける各工程に用いられる収納ケース、マガジン、およびC型カセットの使用個数を説明するための説明図である。
【符号の説明】
1,2 収納ケース
3 マガジン
4 C型カセット
5 コンピュータ
6 工程順位定義マスター
7 工程管理データベース
8,11A モニター
9 無線バ−コードリーダー通信機
10 通信回線
11 無線バ−コードリーダー
11B スピーカー
11C 入力部
12A 投入工程
12B ウエハマウント工程
12C ダイシング工程
12D マウント工程
12E マントキュア工程
12F ボンディング工程
12G モールド工程
12H モールドアフターキュア工程
12I Po工程
12J リン酸工程
12K 外装工程
12L T/F工程
13A〜13L 工程ID
14A〜14C 収納ケース
15A〜15C,16A バーコード
16 トラベルシート
17A〜17C マガジン
18A〜18C,20A〜20F バーコード
21 工程順位定義マスターデータ
21A,22B プロセスID
22,24〜26 工程管理データベース記録データ
22A,23A,24C ロットID
22C,23B 工程ID
22D,23C 収納ケースID
23 整合性確認用データ
24A,25A,26A 装置ID
24B,25B,26B 予約ID[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor device production system in which a barcode is attached to a storage case storing semi-finished products of a semiconductor device, and this is used as management information.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in this type of semiconductor device production system, a travel sheet, which is a slip in which product information is described, is issued for each manufacturing unit (hereinafter referred to as a lot) and sent to each process together with the product. In the conventional production system, a person collates the product information described in the travel sheet with the actual product.
[0003]
In addition, in order to store a half-finished product for one lot, a plurality of storage cases or magazines are required, such as two semi-finished product storage cases such as a wafer storage case and three to eight magazines. .
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional production system as described above, since the operator has judged the travel sheet and the semi-finished product, a defective product may be produced due to human error.
[0005]
Further, when a plurality of storage cases or magazines are required to store one lot of semi-finished products, there is a problem that storage cases, magazines or C-type cassettes of other lots are mixed.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor device production system that simplifies the production process and minimizes human intervention.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
A semiconductor device production system according to the present invention is used in a manufacturing process for producing a semiconductor device, and is attached to each of a plurality of types and a plurality of storage cases for storing semi-finished products of the semiconductor devices , A barcode that identifies the plurality of types and a plurality of storage cases; and a wireless barcode reader that can read these barcodes and communicate with a computer wirelessly, the computer receiving information from the wireless barcode reader comprising a determining function for determining the acceptability result of the manufacturing process of semi-finished products that are accommodated in the storage case based on a transfer function for transmitting the acceptance result in operator, to the said determining function includes the steps When a lot of storage cases that store one lot are mixed with a plurality of storage cases that store one lot at the time of lot insertion and withdrawal It is characterized in that it has a storage case confirmation function of confirming a.
[0008]
In the semiconductor device production system of the present invention, the determination function further includes a consistency confirmation function for confirming the consistency of the work sequence at the time of lot input or delivery of each process. It is.
[0010]
Furthermore, in the semiconductor device production system of the present invention, the computer further has an instruction function for instructing an operator of lot information to be produced next at the time of payout or a production number to be placed next. Is.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a system configuration and a wireless barcode reader according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a block diagram of the system configuration, and FIG. 1B is a perspective view of the wireless barcode reader.
[0012]
In FIG. 1A, a
[0013]
The wireless
[0014]
FIG. 2 is a process block diagram showing the order of the assembly process of the semiconductor device according to the present invention. It shows a state in which products are produced in respective process orders such as mold after
[0015]
And in order to identify each process, process ID13A-13L is attached to each of these processes.
[0016]
The process ID may be a device ID for identifying a semiconductor device.
[0017]
In this series of assembling processes,
[0018]
When the semiconductor device is manufactured, the
[0019]
A bar code 16A is attached to the
[0020]
In each process from the
[0021]
Furthermore, a plurality of C-
[0022]
FIG. 4 shows the process
[0023]
Further, the process sequence of the product is represented by a process ID 21B, and in this embodiment, the process ID 21B is recorded from “mount IN” to “bonding OUT” in the process order of the production line.
[0024]
The process ID 21B includes items of a process ID 21C and a storage case replacement 21D, and the process ID 21C includes a process name “wafer mound to bonding” and a process input (hereinafter referred to as IN) or a payout (hereinafter referred to as OUT). Information) is recorded.
[0025]
In the storage case replacement 21D, “present” is recorded when the storage case replacement occurs at OUT, and “none” is recorded when it does not occur.
[0026]
The process management
[0027]
These data are not only used to check data consistency when moving from process to process, but when data consistency is confirmed, the lot moves to the next process. Similarly to the above, each data is rewritten to the information of the next process.
[0028]
This consistency is performed by inputting
[0029]
This
[0030]
The above-described IN or OUT information may be read from the wireless barcode reader 11 by preparing a barcode in advance.
[0031]
On the other hand, the
[0032]
Next, a procedure of confirmation work according to the embodiment of the present invention will be described.
[0033]
First, in order to manufacture a semiconductor device, an operator must enter the barcode 16A described in the travel sheet 16 (FIG. 3) before entering or out of a lot in process. The lot ID is input from the wireless barcode reader 11 (FIG. 1B).
[0034]
Next, the
[0035]
Finally, all the
[0036]
When all these inputs are completed, the wireless barcode reader 11 edits the
[0037]
The wireless barcode
[0038]
In this reading procedure, first, the process management
[0039]
Next, the process order
[0040]
This consistency check operation will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flowchart showing the operation procedure of the consistency check. First, the
[0041]
Next, the process data acquired in (Step S5-1) is compared with the
[0042]
If there is no need for comparison in this confirmation, the routine enters a NO routine, where it is determined to be OK (step S5-6) and ends. If a comparison is necessary, the routine enters YES, and the process management
[0043]
In this confirmation, when all the
[0044]
For this purpose, the confirmation result of the consistency performed by the
[0045]
On the other hand, the wireless barcode
[0046]
When the result is NG, a buzzer sounds from the attached speaker 11B (FIG. 1 (B)), and informs the operator that there is an error in the input storage case in the process of moving from the buzzer.
[0047]
When the result is OK, the
[0048]
Here, the function of transmitting and instructing the worker the lot information to be produced next or the semiconductor manufacturing apparatus number to be set next will be described with reference to FIG.
[0049]
FIG. 6 is a flowchart for detecting the next lot to be produced for the semiconductor device currently performing the OUT operation and the semiconductor manufacturing apparatus to be set next for the lot currently performing the OUT operation. It is a flowchart which operate | moves.
[0050]
As preconditions, the process IDs of the process management
[0051]
In FIG. 6, if the current process is “mount cure”, first, from the corresponding process ID, in this case “AK032”, the process order definition master data 21 (FIG. 4), the next process ID “bonding” is performed. "(Step S6-1), and from the apparatus master data 27 (FIG. 4) of the corresponding process ID" AK032 "," bonding "which is the apparatus ID of the next process acquired in (step S6-1). All, that is, the process management
[0052]
Next, all the process management
[0053]
Of the process management
[0054]
As a result of the determination, in this case, since the device ID is OUT, the lot is not in progress. Therefore, the lot where the device ID “
[0055]
When only the process management
[0056]
Further, in the method for detecting the next production lot, first, from the process order
[0057]
Next, all the process management
[0058]
As a result of the determination, if the process management database record data is an apparatus ID with OUT and the lot ID is “0”, the lot ID “01B34LK2” (FIG. 3) is currently applied to the semiconductor manufacturing apparatus that has performed the OUT operation. Next, the lot to be produced is set, and “1” is set in the reservation ID of the process management database recording data for the lot.
[0059]
That is, as shown in FIG. 4, when the current process is “mount cure”, the previous process is mount, the device ID is “
[0060]
When only the process management
[0061]
Note that the reservation ID 24B is necessary to prevent the instruction of the same lot ID and the same apparatus ID, and is therefore returned to “0” when OUT (input) is OK.
[0062]
In this way, the detected lot information to be produced next or the semiconductor manufacturing apparatus number to be set next is sent to the monitor 8 (FIG. 1A) via the communication line 10 (FIG. 1A), Alternatively, it is sent to the wireless barcode reader communication device 9 (FIG. 1A), and the detection result is displayed on the screen of the monitor 8 to instruct the operator.
[0063]
Further, the wireless barcode
[0064]
In this case, the instruction to the operator may be notified by an audio output instead of a visual display.
[0065]
In this way, by confirming the consistency of the work order at the time of lot input (IN) or payout (OUT) in each process, errors in the work order can be eliminated and defective production can be prevented.
[0066]
In addition, it is possible to prevent lots from being mistaken by checking lot storage cases at the time of lot insertion and withdrawal at each process. In addition, lots can be stored in a process consisting of multiple storage cases. It is possible to prevent the case from being mixed.
[0067]
Furthermore, by giving the worker the lot information to be produced next or the device number to be placed next at the time of payout, the worker can input the product without grasping the production status of the preceding and following processes.
[0068]
FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of a production system according to another embodiment of the present invention. The same components as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. In the following description, differences from FIGS. 1 and 2 will be mainly described.
[0069]
In the figure, each of the process devices 12B to 12L is connected to the
[0070]
In the present embodiment, when various types of information are read from the wireless barcode reader 11 (FIG. 1B), the
[0071]
Further, production can be stopped even when a product other than the lot information to be produced next designated at the time of OUT (dispensing) or the device number to be placed next is IN (input).
[0072]
【The invention's effect】
According to the above-described present invention, by confirming the consistency of the work sequence at the time of lot input or delivery of each process, the error in the work sequence can be eliminated and production failure can be prevented.
[0073]
In addition, according to the present invention, the lot storage case can be prevented by checking the storage case of the lot at the time of lot insertion or withdrawal in each process, and the lot is configured by a plurality of storage cases. Also in the process, it is possible to prevent the storage cases of other lots from being mixed.
[0074]
Furthermore, according to the present invention, at the time of paying out, by instructing the worker about the lot information to be produced next, the device number to be placed next, etc., the worker can input the product without grasping the production status of the preceding and following processes. As a result, human intervention for process control is minimized, so that human error is eliminated, and the reliability of the entire system can be remarkably improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a system configuration and a wireless barcode reader according to an embodiment of the present invention, in which (A) is a block diagram of the system configuration and (B) is a perspective view of the wireless barcode reader.
FIG. 2 is a process block diagram showing an order of assembly processes of a semiconductor device according to the present invention.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a travel sheet.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining consistency confirmation data sent from a wireless barcode reader according to the present invention.
FIG. 5 is a flowchart showing an operation procedure of consistency check according to the present invention.
FIG. 6 is a flowchart for detecting the next semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of a production system according to another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining the number of storage cases, magazines, and C-type cassettes used in each process in a conventional system.
[Explanation of symbols]
1, 2
14A-
22, 24-26 Process management
22C, 23B Process ID
22D, 23C storage case ID
23
24B, 25B, 26B Reservation ID
Claims (3)
前記コンピュータは前記無線バーコードリーダーから受信した情報を元に前記収納ケースに収納されている半製品の製造過程の合否結果を判断する判断機能と、
この合否結果を作業者に伝達する伝達機能と、を備え、
前記判断機能は、各工程のロット投入時および払出し時に1のロットを収納する複数個の収納ケースに他のロットを収納する収納ケースが混入したことを確認する収納ケース確認機能を有することを特徴とする半導体装置の生産システム。A plurality of types and a plurality of storage cases that are used in a manufacturing process for producing a semiconductor device and store semi-finished products of the semiconductor device, and a plurality of types and a plurality of storage cases attached to each of these storage cases, It includes a barcode for identifying , a wireless barcode reader that reads these barcodes and can communicate with a computer wirelessly,
A determination function for determining a pass / fail result of a manufacturing process of a semi-finished product stored in the storage case based on information received from the wireless barcode reader;
And a transmission function for transmitting the acceptance result in operator,
The determination function has a storage case confirmation function for confirming that a plurality of storage cases storing one lot are mixed with storage cases storing other lots at the time of lot insertion and withdrawal in each process. A semiconductor device production system.
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