JP4562358B2 - Conductive pattern inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、基板上に形成された導電パターンの状態を検査する導電パターン検査装置に関する。   The present invention relates to a conductive pattern inspection apparatus that inspects the state of a conductive pattern formed on a substrate.

基板上に形成された導電パターンの状態を検査する方法として、従来から導電パターンの両端にピンプローブを接触させる方法が知られている。これは、一方のピンプローブに電流を流して他方のピンプローブで電圧値を検出する。そして、検出された値から導電パターンの抵抗値を求めることにより、導電パターンの断線や短絡を検出するというものである。   As a method for inspecting the state of a conductive pattern formed on a substrate, a method of bringing a pin probe into contact with both ends of a conductive pattern is conventionally known. In this method, a current is supplied to one pin probe and a voltage value is detected by the other pin probe. Then, by detecting the resistance value of the conductive pattern from the detected value, disconnection or short circuit of the conductive pattern is detected.

しかし、この方法では、ピンプローブの接触による導電パターンの損傷や、導電パターンのピッチに応じてピンプローブを交換しなければならないという問題があった。   However, this method has a problem that the conductive pattern is damaged due to the contact of the pin probe and the pin probe must be exchanged according to the pitch of the conductive pattern.

そこで、特許文献１には、非接触で導電パターンの状態を検査する回路パターン検査装置が開示されている。これは、導電パターンの一端と容量結合されている給電電極から交流信号を導電パターンに給電する。そして、導電パターンの他端に容量結合された２種類のセンサ電極でこの信号を検出し、検出された信号に基づいて導電パターンの状態を検査する。   Therefore, Patent Document 1 discloses a circuit pattern inspection apparatus that inspects the state of a conductive pattern in a non-contact manner. This feeds an AC signal to the conductive pattern from a power supply electrode capacitively coupled to one end of the conductive pattern. Then, this signal is detected by two types of sensor electrodes capacitively coupled to the other end of the conductive pattern, and the state of the conductive pattern is inspected based on the detected signal.

これによれば、非接触で検査できるため、パターンを損傷することがなく、ピッチに応じてプローブを交換する必要がない。
特開２００２−３６５３２５号公報 According to this, since it can test | inspect without contact, a pattern is not damaged and it is not necessary to replace | exchange a probe according to a pitch.
JP 2002-365325 A

ところで、この検査装置では、給電された信号は給電電極から導電パターンへ、導電パターンからグラウンドに流れる電流経路を形成する。そのため導電パターン上に誘起される電圧値は非常に小さく、雑音の影響を受けやすい。したがって、信頼性の高い検査ができなかった。また、高電圧の信号を供給する必要があり、放電などの対策を必要とした。   By the way, in this inspection apparatus, a fed signal forms a current path from the feeding electrode to the conductive pattern and from the conductive pattern to the ground. Therefore, the voltage value induced on the conductive pattern is very small and easily affected by noise. Therefore, a highly reliable inspection could not be performed. Further, it is necessary to supply a high voltage signal, and measures such as discharge are required.

そこで、本発明では、より簡易に信頼性の高い検査ができる導電パターン検査装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a conductive pattern inspection apparatus that can perform a simple and highly reliable inspection.

本発明に係る導電パターン検査装置は、基板上に複数配設された導電パターンの状態を検査する導電パターン検査装置であって、検査対象の導電パターンである対象パターンとその両側の導電パターンとを含む少なくとも３以上の導電パターンの両端と電気的に接続された一対の第１電極と、前記対象パターンの両側の導電パターン上に配される一対の電極であって、両側の導電パターンにそれぞれ静電結合された一対の第２電極と、前記一対の第１電極を介して導電パターンに第１周波数の交流信号を印加する第１印加手段と、前記第１印加手段による信号印加と並行して前記一対の第２電極を介して導電パターンに第２周波数の交流信号を印加する第２印加手段と、前記対象パターン上に設けられた電極であって、前記対象パターンに静電結合されたセンサ電極と、前記センサ電極における周波数毎の電圧値を検出する電圧検出手段と、検出された第１周波数の電圧値に基づいて断線の有無を、検出された第２周波数の電圧値に基づいて短絡の有無を、それぞれ検出する欠陥検出手段と、を有することを特徴とする。 Engaging Ru conductive pattern inspection apparatus of the present invention is a conductive pattern inspection apparatus for inspecting a state of the plurality disposed conductive pattern on a substrate, a conductive pattern on both sides and target pattern is a conductive pattern to be inspected preparative at least three conductive patterns across and electrically connected to the pair of first electrodes, including, a pair of electrodes disposed on both sides of the conductive pattern of the target pattern on both sides of the conductive pattern a pair of second electrode electrostatically coupled respectively, a first applying means for applying an AC signal of a first frequency to the conductive pattern through the pair of first electrodes, and the signal applied by the first applying means parallel a second application means for applying an AC signal of a second frequency to the conductive pattern through the pair of second electrodes and, an electrode provided on the target pattern, static in the target pattern A combined sensor electrodes, and a voltage detecting means for detecting a voltage value for each frequency in the sensor electrode, the presence or absence of disconnection based on the voltage value of the first frequency detected, the detected voltage value of the second frequency And defect detection means for detecting the presence or absence of a short circuit based on the above.

本発明に係る他の導電パターン検査装置は、基板上に列状に配設された複数のゲートパターンと、ゲートパターンに隣接して列状に配設された複数のＣｓパターンであって、その一端をＣｓ用コモンバーで接続された複数のＣｓパターンと、を検査する導電パターン検査装置であって、検査対象のゲートパターンである対象ゲートパターンを含む少なくとも１以上のゲートパターンの両端と電気的に接続される一対のゲート用電極と、前記一対のゲート用電極を介して前記対象ゲートパターンに第１周波数の交流信号を印加するゲート用印加手段と、前記対象ゲートパターンに隣接する検査対象のＣｓパターンである対象Ｃｓパターンを含む少なくとも１以上のＣｓパターンの他端と静電結合されたＣｓ用電極と、前記ゲート用印加手段による信号印加と並行して、Ｃｓ用コモンバーと前記Ｃｓ用電極とを介して前記対象Ｃｓパターンに第２周波数の交流信号を印加するＣｓ用印加手段と、前記対象ゲートパターンまたは前記対象Ｃｓパターンと静電結合されたセンサ電極と、一つのセンサ電極における第１周波数の電圧値および第２周波数の電圧値をそれぞれ弁別して検出する電圧値検出手段と、検出された電圧値に基づいてゲートパターンおよびＣｓパターンの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を有することを特徴とする。 Another conductive pattern inspection apparatus according to the present invention includes a plurality of gate patterns arranged in a row on a substrate and a plurality of Cs patterns arranged in a row adjacent to the gate pattern, A conductive pattern inspection apparatus for inspecting a plurality of Cs patterns, one end of which is connected by a Cs common bar, and electrically connected to both ends of at least one or more gate patterns including a target gate pattern which is a gate pattern to be inspected and a pair of gate electrodes which are connected, and the gate applying means for applying an AC signal of a first frequency to the target gate pattern through the pair of gate electrodes, Cs inspected adjacent to the target gate pattern at least one or more Cs pattern other end electrostatically coupled Cs electrode of including the target Cs pattern is a pattern, the gate application means In parallel with the signal applied, and Cs for applying means for applying an AC signal of a second frequency to said subject Cs pattern through said Cs electrode and the Cs for Komonba, the target gate pattern or the target Cs pattern and static A sensor electrode that is electrically coupled, a voltage value detection unit that discriminates and detects a voltage value of a first frequency and a voltage value of a second frequency in one sensor electrode, and a gate pattern and Cs based on the detected voltage value And defect detection means for detecting a defect of the pattern.

本発明に係る他の導電パターン検査装置は、基板上に列状に配設された複数のゲートパターンと、ゲートパターンに隣接して列状に配設された複数のＣｓパターンであって、その一端をＣｓ用コモンバーで接続された複数のＣｓパターンと、を検査する導電パターン検査装置であって、検査対象のゲートパターンである対象ゲートパターンを含む少なくとも１以上のゲートパターンの両端と電気的に接続される一対のゲート用電極と、前記一対のゲート用電極を介して前記対象ゲートパターンに交流信号を印加するゲート用印加手段と、前記対象ゲートパターンに隣接する検査対象のＣｓパターンである対象Ｃｓパターンを含む少なくとも１以上のＣｓパターンの他端と静電結合されたＣｓ用電極と、前記ゲート用印加手段による信号印加と並行して、Ｃｓ用コモンバーと前記Ｃｓ用電極とを介して前記対象Ｃｓパターンに交流信号を印加するＣｓ用印加手段と、前記対象ゲートパターンまたは前記対象Ｃｓパターンと静電結合された電極であって、前記ゲート用印加手段および前記Ｃｓ用印加手段の電源と接続されたセンサ電極と、前記ゲート用印加手段と前記センサ電極との間に流れる電流値を検出する第一電流値検出手段と、前記Ｃｓ用印加手段と前記センサ電極との間に流れる電流値を検出する第二電流値検出手段と、前記第一電流値検出手段および前記第二電流値検出手段で検出された電流値に基づいてＣｓパターンおよびゲートパターンの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を有し、前記センサ電極は、前記ゲート用印加手段およびＣｓ用印加手段の電源の中点に接続され、前記対象ゲートパターンまたは前記対象Ｃｓパターンのほぼ中心にある、ことを特徴とする。


Another conductive pattern inspection apparatus according to the present invention includes a plurality of gate patterns arranged in a row on a substrate and a plurality of Cs patterns arranged in a row adjacent to the gate pattern, A conductive pattern inspection apparatus for inspecting a plurality of Cs patterns, one end of which is connected by a Cs common bar, and electrically connected to both ends of at least one or more gate patterns including a target gate pattern which is a gate pattern to be inspected and a pair of gate electrodes which are connected, and the gate applying means for applying an AC signal to the target gate pattern through the pair of gate electrodes, a Cs pattern to be inspected adjacent to the target gate pattern object at least one or more Cs pattern other end electrostatically coupled Cs electrode for containing Cs pattern, a signal applied by the gate application means On the line, there at the and Cs for applying means for applying an AC signal to the target Cs pattern, the target gate pattern or the target Cs pattern and electrostatically coupled electrodes via the said Cs electrode and the Cs for Komonba Te, a sensor electrode connected to the power supply of the gate applying means and the Cs for application means, and the first current value detecting means for detecting a current flowing between the sensor electrode and the gate application means, based on the current value detected by the second current value detecting means and said first current value detecting means and the second current value detecting means for detecting a current flowing between the sensor electrode and the Cs for application means Cs pattern and a defect detecting means for defect detecting the gate pattern, was closed, the sensor electrode is connected is to mid-supply of the gate application means and Cs for application means Te Lies approximately in the center of the target gate pattern or the target Cs pattern, characterized in that.


なお、ここで、基板とは、液晶表示パネルなどに利用されるガラス基板などが好適であるが、複数の導電パターンが列状に配設されている基板であれば他の基板であってもよい。また、導電パターンは、ゲートパターン、Ｃｓパターン、データパターン等と称される導電パターンを含む。   Here, the substrate is preferably a glass substrate used for a liquid crystal display panel or the like, but may be another substrate as long as a plurality of conductive patterns are arranged in a row. Good. The conductive pattern includes a conductive pattern called a gate pattern, a Cs pattern, a data pattern, or the like.

本発明によれば、導電パターンへの交流信号の印加率が向上され、低電圧の交流信号であっても、信頼性の高い検査が可能となる。そのため、より簡易に信頼性の高い検査ができる。   According to the present invention, the application rate of the AC signal to the conductive pattern is improved, and even a low-voltage AC signal can be inspected with high reliability. Therefore, a more reliable inspection can be performed more easily.

他の本発明によれば、ゲートパターンおよびＣｓパターンへの交流信号の印加率が向上され、低電圧の交流信号であっても、信頼性の高い検査が可能となる。そのため、より簡易に信頼性の高いゲートパターンとＣｓパターンの検査ができる。   According to another aspect of the present invention, the application rate of the AC signal to the gate pattern and the Cs pattern is improved, and even a low-voltage AC signal can be tested with high reliability. Therefore, it is possible to more easily inspect the gate pattern and Cs pattern with high reliability.

以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。以下の説明では、特に液晶表示パネルなどに利用されるガラス基板に配設される導電パターンを検査対象としている。しかし、これに限定されるものではなく、互いに独立する列状導電パターンを有するものであれば、他の導電パターンを対象とするものであってもよい。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, a conductive pattern disposed on a glass substrate used particularly for a liquid crystal display panel or the like is an inspection target. However, the present invention is not limited to this, and other conductive patterns may be used as long as they have columnar conductive patterns that are independent of each other.

図１に本発明の実施例であるパターン検査装置１０の概略側面図、図２に概略上面図を示す。   FIG. 1 shows a schematic side view of a pattern inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a schematic top view.

この装置１０は、ガラス基板１２上に配設された導電パターン１４の状態を検査するものである。ガラス基板１２は、基台２４上に図示しない吸着手段によって固定される。ガラス基板１２上には、導電パターン１４が複数列状に配設されている。この導電パターン１４は、正常な状態では、互いに独立しており、隣接する導電パターン１４とは接しない。また、ほぼ等ピッチで配設されており、その両端の位置はほぼ同じである。ただし、不等ピッチや不等長の導電パターンを有するガラス基板であっても後述する２種類の電極の大きさなどを調整することにより対応できる。   The apparatus 10 inspects the state of the conductive pattern 14 disposed on the glass substrate 12. The glass substrate 12 is fixed on the base 24 by suction means (not shown). On the glass substrate 12, conductive patterns 14 are arranged in a plurality of rows. In a normal state, the conductive patterns 14 are independent from each other and do not contact the adjacent conductive patterns 14. Moreover, it arrange | positions at substantially equal pitch and the position of the both ends is substantially the same. However, even a glass substrate having conductive patterns with unequal pitches or unequal lengths can be accommodated by adjusting the sizes of two types of electrodes described later.

ガラス基板１２の上方には、所定の空間を空けて２種類の電極１６，１８が設けられている。給電電極１６は、検査時に導電パターン１４の一端の上方に位置決めされる導電性プレートである。これは、全パターンの端部を被う幅を有しており、全導電パターン１４の一端と静電結合される。ただし、給電電極１６は、２パターン以上の端部を被う幅であれば、他の幅であってもよい。その場合は、後述するセンサ電極１８のＹ方向への移動に合わせて給電電極１６も移動できるようにすればよい。   Two types of electrodes 16 and 18 are provided above the glass substrate 12 with a predetermined space therebetween. The power supply electrode 16 is a conductive plate that is positioned above one end of the conductive pattern 14 during inspection. This has a width that covers the ends of all patterns, and is electrostatically coupled to one end of all conductive patterns 14. However, the feed electrode 16 may have another width as long as it covers two or more patterns. In that case, the feeding electrode 16 may be moved in accordance with the movement of the sensor electrode 18 described later in the Y direction.

センサ電極１８は、ほぼ１パターン幅の導電性プレートである。これは、断線または短絡のような欠陥の有無検査の際には、検査対象の導電パターン１４の他端の上方に位置決めされる。また、欠陥位置の検出の際には、検査対象の導電パターン１４に沿って（Ｘ方向に）移動する。このセンサ電極１８も導電パターン１４と静電結合される。移動する際のセンサ電極１８の位置情報は、図示しない制御装置に送られ、記憶される。   The sensor electrode 18 is a conductive plate having a pattern width of approximately one. This is positioned above the other end of the conductive pattern 14 to be inspected in the presence or absence of a defect such as a disconnection or a short circuit. Further, when detecting the defect position, the defect moves along the conductive pattern 14 to be inspected (in the X direction). This sensor electrode 18 is also electrostatically coupled to the conductive pattern 14. The positional information of the sensor electrode 18 when moving is sent to and stored in a control device (not shown).

電源２０は、導電パターン１４に交流信号を印加するための交流電源である。この電源２０の両端は、センサ電極１８および給電電極１６に接続されている。したがって、電源２０から生成、出力される交流信号は、導電パターン１４に静電結合されたセンサ電極１８および給電電極１６を介して導電パターン１４に印加される。   The power source 20 is an AC power source for applying an AC signal to the conductive pattern 14. Both ends of the power source 20 are connected to the sensor electrode 18 and the power feeding electrode 16. Therefore, the AC signal generated and output from the power supply 20 is applied to the conductive pattern 14 via the sensor electrode 18 and the power supply electrode 16 that are electrostatically coupled to the conductive pattern 14.

ここで、導電パターン１４に印加される電圧は、両電極１６，１８が導電パターン１４に対してもつ静電容量の比で分割される。１パターンに対してセンサ電極１８および給電電極１６が有する静電容量はほぼ等しいため、導電パターン１４にかかる電圧は印加した交流電圧の約２分の１となる。そのため、効率よく電圧を加えることができ、電源２０で出力される信号の電圧は、数ボルトから数十ボルトのような低電圧でよいこととなる。   Here, the voltage applied to the conductive pattern 14 is divided by the ratio of the capacitance of the electrodes 16 and 18 with respect to the conductive pattern 14. Since the capacitance of the sensor electrode 18 and the power supply electrode 16 is substantially equal to one pattern, the voltage applied to the conductive pattern 14 is about one half of the applied AC voltage. Therefore, the voltage can be applied efficiently, and the voltage of the signal output from the power source 20 can be a low voltage such as several volts to several tens of volts.

電源２０とセンサ電極１８との間には、電流値を検出する電流検出器２２が設けられている。この電流検出器２２で検出された電流値は、制御装置に送られ、センサ電極１８の位置情報とともに記憶される。電流検出器２２には、例えば、トランスを用いることができ、巻回されるコイルの巻き数を調整することにより検出感度を調整できる。また、抵抗の電圧降下を差動増幅器で検出するものであってもよい。   A current detector 22 that detects a current value is provided between the power supply 20 and the sensor electrode 18. The current value detected by the current detector 22 is sent to the control device and stored together with the position information of the sensor electrode 18. For example, a transformer can be used for the current detector 22, and the detection sensitivity can be adjusted by adjusting the number of turns of the coil to be wound. Alternatively, the voltage drop of the resistor may be detected by a differential amplifier.

次に、このパターン検査装置１０での導電パターン検査原理について説明する。導電パターン１４の欠陥（断線および短絡）の有無を検査する場合は、センサ電極１８を検査対象導電パターン１４の一端の上方に、給電電極１６を他端の上方に位置決めし、電源２０から交流信号を出力する。出力された交流信号は、センサ電極１８および給電電極１６を介して導電パターン１４に印加される。   Next, the principle of conductive pattern inspection in the pattern inspection apparatus 10 will be described. When inspecting for the presence or absence of defects (disconnection or short circuit) in the conductive pattern 14, the sensor electrode 18 is positioned above one end of the inspection target conductive pattern 14, and the power supply electrode 16 is positioned above the other end. Is output. The output AC signal is applied to the conductive pattern 14 via the sensor electrode 18 and the power supply electrode 16.

導電パターン１４が断線および短絡のない正常なパターンの場合、導電パターン１４を含む閉回路が形成される。そのため、導電パターン１４には、印加された信号の電圧および回路内の抵抗に応じた所定の値（０より大きい）の電流が流れる。この電流値は電流検出器２２で検出される。   When the conductive pattern 14 is a normal pattern without disconnection and short circuit, a closed circuit including the conductive pattern 14 is formed. Therefore, a current of a predetermined value (greater than 0) corresponding to the voltage of the applied signal and the resistance in the circuit flows through the conductive pattern 14. This current value is detected by the current detector 22.

一方、断線Ａのある断線パターン１４ａの場合は、電流が流れない。そのため、電流検出器２２では、ほぼ０の電流値が検出される。また、短絡Ｂのある短絡パターン１４ｂの場合は、全体の抵抗値が下がり、正常な導電パターン１４より高い電流が検出される。   On the other hand, in the case of the disconnection pattern 14a having the disconnection A, no current flows. Therefore, the current detector 22 detects a current value of almost zero. Further, in the case of the short-circuit pattern 14b having the short-circuit B, the overall resistance value is decreased, and a current higher than that of the normal conductive pattern 14 is detected.

したがって、センサ電極１８をパターンに直行する方向（図２おけるＹ方向）へ移動させることにより、図２の右側に示すような電流値が得られる。すなわち、センサ電極１８が正常な導電パターン１４上にある場合は所定の値の電流値が、断線パターン１４ａ上にある場合はほぼ０の電流値が、短絡パターン１４ｂ上にある場合は所定の値より高い電流値がそれぞれ検出される。   Therefore, by moving the sensor electrode 18 in a direction perpendicular to the pattern (Y direction in FIG. 2), a current value as shown on the right side of FIG. 2 is obtained. That is, when the sensor electrode 18 is on the normal conductive pattern 14, a predetermined current value is obtained. When the sensor electrode 18 is on the disconnection pattern 14a, a substantially zero current value is obtained. When the sensor electrode 18 is on the short circuit pattern 14b, the predetermined value is obtained. Each higher current value is detected.

この電流値とセンサ電極１８の位置情報は制御装置に送られ、制御装置ではこれらの情報に基づいて短絡および断線のある導電パターンを特定する。すなわち、ほぼ０の電流値が検出された際にセンサ電極１８と静電結合している導電パターンを断線パターン、所定の値以上の電流値が検出された際のセンサ電極１８と静電結合している導電パターンを短絡パターンとして検出する。   The current value and the position information of the sensor electrode 18 are sent to the control device, and the control device specifies a conductive pattern having a short circuit and a disconnection based on the information. That is, the conductive pattern electrostatically coupled to the sensor electrode 18 when a current value of approximately 0 is detected is disconnected from the conductive pattern, and the conductive pattern is electrostatically coupled to the sensor electrode 18 when a current value equal to or greater than a predetermined value is detected. The conductive pattern is detected as a short-circuit pattern.

このとき、上述したように両端でほぼ同じ静電容量を介して導電パターン１４に交流信号が印加されるため、低電圧の信号を印加しても高い電流値が検出可能となる。そのため、ノイズなどの影響を受けにくく、低電圧であっても精度の良い検査が可能となる。また、低電圧であるため、放電の対策などが不要となり、簡易に検査することができる。さらに、センサ電極１８を導電パターン１４と直行する方向に１回移動させるだけで断線と短絡の有無の検査を同時に行うことができる。   At this time, as described above, an alternating current signal is applied to the conductive pattern 14 via substantially the same capacitance at both ends, so that a high current value can be detected even when a low voltage signal is applied. Therefore, it is difficult to be affected by noise and the like, and an accurate inspection can be performed even at a low voltage. In addition, since the voltage is low, it is not necessary to take measures against discharge and the inspection can be performed easily. Furthermore, it is possible to simultaneously inspect for disconnection and short-circuiting by moving the sensor electrode 18 once in a direction perpendicular to the conductive pattern 14.

次に、欠陥の位置を検出する原理について図３、図４を用いて説明する。図３は、断線位置検出の原理を表す図であり、図４は短絡位置検出の原理を表す図である。それぞれ、図の下側に電流検出器２２で検出される電流値を示す。   Next, the principle of detecting the position of the defect will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a diagram illustrating the principle of disconnection position detection, and FIG. 4 is a diagram illustrating the principle of short circuit position detection. The current values detected by the current detector 22 are shown on the lower side of the figure, respectively.

断線位置または短絡位置を検出する場合は、断線パターン１４ａまたは短絡パターン１４ｂに沿ってセンサ電極１８を移動させる。   When detecting a disconnection position or a short-circuit position, the sensor electrode 18 is moved along the disconnection pattern 14a or the short-circuit pattern 14b.

断線パターン１４ａに沿ってセンサ電極１８を移動させた場合、図３の下側に示すような電流値が検出される。すなわち、センサ電極１８が断線Ａより手前（図中において左側）にある間は、電流は流れないためほぼ０の値が検出される。そしてセンサ電極１８が断線位置を超えた時点で、所定の値の電流値が検出される。そして、さらに給電電極１６側に近づけると全体の抵抗値が下がるため、電流値が上昇していく。この電流値とセンサ電極１８の位置情報は制御装置に送られ、制御装置ではこれらの情報に基づいて断線位置を検出する。すなわち、電流値がほぼ０から所定の値に変化した時のセンサ電極１８の位置を断線位置として検出する。   When the sensor electrode 18 is moved along the disconnection pattern 14a, a current value as shown in the lower side of FIG. 3 is detected. That is, while the sensor electrode 18 is in front of the disconnection A (on the left side in the figure), no current flows, so a value of almost 0 is detected. When the sensor electrode 18 exceeds the disconnection position, a predetermined current value is detected. Further, as the power supply electrode 16 is further approached, the overall resistance value decreases, and the current value increases. The current value and the position information of the sensor electrode 18 are sent to the control device, and the control device detects the disconnection position based on the information. That is, the position of the sensor electrode 18 when the current value changes from approximately 0 to a predetermined value is detected as the disconnection position.

一方、短絡パターン１４ｂに沿ってセンサ電極１８を移動させた場合、図４の下側に示すような電流値が検出される。すなわち、電流値は、センサ電極１８が短絡Ｂの手前にある間は穏やかに増加し、短絡Ｂを超えた時点でほぼ一定になる。そして、センサ電極１８をさらに給電電極１６側に近づけると再び、緩やかな増加を始める。制御装置では緩やかな増加から一定への変局点が生じた際のセンサ電極１８の位置を短絡位置として検出する。   On the other hand, when the sensor electrode 18 is moved along the short-circuit pattern 14b, a current value as shown in the lower side of FIG. 4 is detected. That is, the current value increases gently while the sensor electrode 18 is in front of the short circuit B, and becomes almost constant when the short circuit B is exceeded. Then, when the sensor electrode 18 is further brought closer to the power supply electrode 16 side, a gentle increase is started again. In the control device, the position of the sensor electrode 18 when the inflection point from the gradual increase to the constant occurs is detected as the short-circuit position.

このように、センサ電極を欠陥のある導電パターン沿って移動させ、そのときの電流値を検出することにより、欠陥位置を特定することができる。   In this way, the defect position can be specified by moving the sensor electrode along the defective conductive pattern and detecting the current value at that time.

なお、本実施例では、センサ電極１８を移動させているが、ガラス基板１２を移動させてもよい。また、欠陥位置の検出は、全パターンについての欠陥有無検査終了後に行ってもよいし、欠陥パターンが検出される都度、行ってもよい。   In this embodiment, the sensor electrode 18 is moved, but the glass substrate 12 may be moved. Further, the detection of the defect position may be performed after completion of the defect presence inspection for all patterns, or may be performed every time a defect pattern is detected.

次に、コモンバーを給電電極として用いる場合について説明する。   Next, a case where a common bar is used as a power supply electrode will be described.

一般に導電パターン１４には、静電気による導電パターン損傷防止のために、全導電パターンの一端をコモンバーと呼ばれる導電性プレートで接続していることがある。このようなガラス基板の場合、このコモンバーを給電電極として用いることができる。   In general, one end of all conductive patterns may be connected to the conductive pattern 14 by a conductive plate called a common bar in order to prevent damage to the conductive pattern due to static electricity. In the case of such a glass substrate, this common bar can be used as a feeding electrode.

具体的には、図５に示すようにセンサ電極１８とコモンバー３０とを介して導電パターン１４に交流信号を印加する。このとき、コモンバー３０への給電は、例えば、１ピンの接触式プローブなどを用いればよい。コモンバー３０は、全パターンの一端に電気的、物理的に接続されているため、上述した給電電極と同じ働きをする。   Specifically, an AC signal is applied to the conductive pattern 14 via the sensor electrode 18 and the common bar 30 as shown in FIG. At this time, power supply to the common bar 30 may be performed using, for example, a 1-pin contact probe. Since the common bar 30 is electrically and physically connected to one end of all patterns, the common bar 30 performs the same function as the above-described power supply electrode.

したがって、センサ電極１８をＹ方向に移動させた場合、電流検出器２２で検出される電流値は、図５の右側に示すようになる。すなわち、断線パターン１４ａ上ではほぼ０の、短絡パターン１４ｂ上では所定の値より大きな電流値が検出される。また、断線Ａまたは短絡Ｂの位置を検出する場合は、センサ電極１８を欠陥のある導電パターンに沿って移動させればよい。   Therefore, when the sensor electrode 18 is moved in the Y direction, the current value detected by the current detector 22 is as shown on the right side of FIG. That is, a current value that is substantially 0 on the disconnection pattern 14a and greater than a predetermined value is detected on the short-circuit pattern 14b. When detecting the position of the disconnection A or the short circuit B, the sensor electrode 18 may be moved along a defective conductive pattern.

このようにコモンバー３０を給電電極として利用することにより、より容易にパターン検査をすることができる。また、導電パターン１４への給電がより確実にできるため、より正確な検査ができる。   Thus, by using the common bar 30 as a power supply electrode, pattern inspection can be performed more easily. In addition, since the power supply to the conductive pattern 14 can be more reliably performed, more accurate inspection can be performed.

次に他の実施例について用いて説明する。   Next, another embodiment will be described.

図６は、他の実施例であるパターン検査装置１０の概略上面図である。このパターン検査装置１０では、給電電極として、パターンの両端に設けられる１対の第１電極３２と検査対象パターンの両側パターン上に設けられる一対の第２電極３４とを用いる。また、検査対象パターン上に設けられたセンサ電極３６における電圧値に基づいて欠陥検査を行う。   FIG. 6 is a schematic top view of a pattern inspection apparatus 10 according to another embodiment. In this pattern inspection apparatus 10, a pair of first electrodes 32 provided at both ends of the pattern and a pair of second electrodes 34 provided on both side patterns of the inspection target pattern are used as power supply electrodes. Further, defect inspection is performed based on the voltage value at the sensor electrode 36 provided on the inspection target pattern.

一対の第１電極３２は、検査時に導電パターン１４の両端の上方に位置決めされる導電性プレートであって、断線検査用の給電電極として機能する。第１電極３２は、全パターンの端部を被う幅を有しており、全導電パターン１４の端部と静電結合される。ただし、第１電極３２は、検査対象パターンとその両側の導電パターンとを含む３パターン以上の端部を被う幅であれば、他の幅であってもよい。その場合は、後述するセンサ電極３６のＹ方向への移動に合わせて第１電極３２も移動できるようにすればよい。   The pair of first electrodes 32 are conductive plates positioned above both ends of the conductive pattern 14 during inspection, and function as power supply electrodes for disconnection inspection. The first electrode 32 has a width that covers the ends of all the patterns, and is electrostatically coupled to the ends of all the conductive patterns 14. However, the first electrode 32 may have another width as long as it covers three or more patterns including the inspection target pattern and the conductive patterns on both sides thereof. In that case, the first electrode 32 may be moved in accordance with the movement of the sensor electrode 36 described later in the Y direction.

一対の第２電極３４は、検査時に検査対象パターンの両側パターンの上方に位置決めされる導電性プレートであって、短絡検査用の給電電極として機能する。第２電極３４は、ほぼ１パターンと同じ幅を有しており、検査対象パターンの両側の導電パターン１４と静電結合される。この第２電極３４は、後述するセンサ電極３６の移動に合わせて、移動できるようになっている。   The pair of second electrodes 34 are conductive plates positioned above both side patterns of the inspection target pattern at the time of inspection, and function as power supply electrodes for short circuit inspection. The second electrode 34 has substantially the same width as one pattern, and is electrostatically coupled to the conductive patterns 14 on both sides of the inspection target pattern. The second electrode 34 can be moved in accordance with the movement of a sensor electrode 36 described later.

センサ電極３６は、ほぼ１パターン幅の導電性プレートである。これは、断線または短絡のような欠陥の有無検査の際には、検査対象の導電パターン１４の中央から所定距離ずれた位置に位置決めされる。また、欠陥位置の検出の際には、検査対象の導電パターン１４に沿って移動する。このセンサ電極３６も導電パターン１４と静電結合される。このときのセンサ電極３６の位置情報は、図示しない制御装置に送られ、記憶される。   The sensor electrode 36 is a conductive plate having approximately one pattern width. This is positioned at a position shifted by a predetermined distance from the center of the conductive pattern 14 to be inspected in the presence or absence of a defect such as a disconnection or a short circuit. Further, when the defect position is detected, the defect moves along the conductive pattern 14 to be inspected. This sensor electrode 36 is also electrostatically coupled to the conductive pattern 14. The position information of the sensor electrode 36 at this time is sent to and stored in a control device (not shown).

第１電源４０と第２電源４２は、それぞれ異なる周波数である第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２の交流信号を生成、出力するものである。第１電源４０の両端は一対の第１電極３２に接続されており、第２電源４２の両端は一対の第２電極３４に接続されている。したがって、第１電源４０および第２電源４２から生成、出力される２つの周波数ｆ１、ｆ２の交流信号は、それぞれ一対の第１電極３２および第２電極３２を介して導電パターン１４に印加される。   The first power supply 40 and the second power supply 42 generate and output alternating signals of the first frequency f1 and the second frequency f2, which are different frequencies. Both ends of the first power source 40 are connected to the pair of first electrodes 32, and both ends of the second power source 42 are connected to the pair of second electrodes 34. Therefore, the AC signals of the two frequencies f1 and f2 generated and output from the first power supply 40 and the second power supply 42 are applied to the conductive pattern 14 via the pair of first electrodes 32 and second electrodes 32, respectively. .

ここで、一対の第１電極３２と導電パターン１４との間に形成される静電容量は、両端でほぼ等しくなる。そのため、導電パターン１４にかかる第１周波数ｆ１の電圧は印加した交流電圧の約２分の１となる。これにより、効率よく電圧を加えることができるため、電源４０で出力される信号の電圧は、数ボルトから数十ボルトのような低電圧でよいこととなる。また、一対の第２電極３４が形成する静電容量も両側でほぼ等しくなるため、第２電源４２で出力される信号の電圧は、数ボルトから数十ボルトのような低電圧でよいこととなる。第１電源４０および第２電源４２は、ともに、トランスを用い、中点アースされていることが好適である。   Here, the capacitance formed between the pair of first electrodes 32 and the conductive pattern 14 is substantially equal at both ends. Therefore, the voltage of the first frequency f1 applied to the conductive pattern 14 is about one half of the applied AC voltage. Thereby, since a voltage can be applied efficiently, the voltage of the signal output from the power supply 40 may be a low voltage such as several volts to several tens of volts. In addition, since the capacitance formed by the pair of second electrodes 34 is substantially equal on both sides, the voltage of the signal output from the second power source 42 may be a low voltage such as several volts to several tens volts. Become. Both the first power source 40 and the second power source 42 are preferably grounded using a transformer.

センサ電極３６には、周波数毎の電圧値を検出する電圧値検出器４４が接続されている。これは、センサ電極３６で検出された交流信号を増幅する増幅器４６と周波数毎の信号を取り出すための弁別フィルタ４８で構成されている。これにより、周波数毎の電圧値を検出することができる。また、検出された信号の極性を判別できる位相検波器（図示せず）も備えている。   A voltage value detector 44 that detects a voltage value for each frequency is connected to the sensor electrode 36. This is composed of an amplifier 46 that amplifies the AC signal detected by the sensor electrode 36 and a discrimination filter 48 for extracting a signal for each frequency. Thereby, the voltage value for every frequency is detectable. A phase detector (not shown) that can determine the polarity of the detected signal is also provided.

次に、このパターン検査装置１０での導電パターン検査原理について説明する。   Next, the principle of conductive pattern inspection in the pattern inspection apparatus 10 will be described.

導電パターン１４の欠陥（断線または短絡）の有無を検査する場合は、センサ電極３６を検査対象の導電パターン１４の中央からずれた位置に位置決めし、第１電源４０から交流信号を出力する。この交流信号は、一対の第１電極３２を介して導電パターン１４に印加される。   When inspecting the presence or absence of a defect (disconnection or short circuit) in the conductive pattern 14, the sensor electrode 36 is positioned at a position shifted from the center of the conductive pattern 14 to be inspected, and an AC signal is output from the first power supply 40. This AC signal is applied to the conductive pattern 14 via the pair of first electrodes 32.

第１電源４０は、中点アースされているため、一対の第１電源４０を介して印加される信号の電圧は、その両端で１８０度位相が異なっている。そのため、正常な導電パターン１４に誘起される電圧値は、打ち消しあいによりパターンの中心でほぼ０となり、その両端に近づくほど徐々に増加または減少していく。したがって、導電パターン１４が断線および短絡のない正常なものである場合、センサ電極３６は導電パターン１４の中心からずれた位置にあるため、センサ電極には所定の値の電圧がかかる。この電圧値は、電圧値検出器４４により検出される。   Since the first power supply 40 is grounded at the midpoint, the voltage of the signal applied via the pair of first power supplies 40 is 180 degrees out of phase at both ends. Therefore, the voltage value induced in the normal conductive pattern 14 becomes almost zero at the center of the pattern due to cancellation, and gradually increases or decreases as it approaches both ends. Therefore, when the conductive pattern 14 is normal without disconnection and short circuit, the sensor electrode 36 is located at a position shifted from the center of the conductive pattern 14, and therefore a voltage of a predetermined value is applied to the sensor electrode. This voltage value is detected by a voltage value detector 44.

一方、断線Ａのある断線パターン１４ａの場合は、導電パターン１４の左右から印加される逆位相の電圧の打ち消しがない。そのため、中央位置からずれたセンサ電極３６においては、一端から印加される電圧値がそのまま（位相の打ち消しがないまま）検出される。この電圧値は、正常導電パターン１４で検出される電圧値より高いものとなる。したがって、所定の電圧値より高い周波数ｆ１の電圧が検出されれば断線パターンとして検出することができる。   On the other hand, in the case of the disconnection pattern 14 a having the disconnection A, there is no cancellation of the reverse-phase voltage applied from the left and right of the conductive pattern 14. Therefore, in the sensor electrode 36 shifted from the center position, the voltage value applied from one end is detected as it is (without phase cancellation). This voltage value is higher than the voltage value detected by the normal conductive pattern 14. Therefore, if a voltage having a frequency f1 higher than a predetermined voltage value is detected, it can be detected as a disconnection pattern.

一方、短絡の有無を検査する場合は、センサ電極３６を検査対象導電パターン１４の中央からずれた位置に位置決めし、第２電源４２から第２周波数ｆ２の交流信号を出力する。導電パターン１４が短絡のない正常なものである場合、センサ電極３６には周波数ｆ２の所定の値の電圧がかかる。この電圧値は、電圧値検出器４４により検出される。一方、短絡Ｂのある短絡パターン１４ｂの場合は、両側から印加される電圧のバランスが崩れるため、通常より高い値の電圧が検出される。したがって、所定の電圧値より高い周波数ｆ２の電圧が検出されれば短絡パターンとして検出することができる。   On the other hand, when inspecting the presence or absence of a short circuit, the sensor electrode 36 is positioned at a position shifted from the center of the inspection target conductive pattern 14, and an AC signal having the second frequency f <b> 2 is output from the second power source 42. When the conductive pattern 14 is normal without a short circuit, a voltage having a predetermined value of frequency f2 is applied to the sensor electrode 36. This voltage value is detected by a voltage value detector 44. On the other hand, in the case of the short-circuit pattern 14b having the short-circuit B, the voltage applied from both sides is unbalanced, and thus a voltage having a value higher than usual is detected. Therefore, if a voltage having a frequency f2 higher than a predetermined voltage value is detected, it can be detected as a short-circuit pattern.

したがって、センサ電極３６をパターンに直行する方向（図６におけるＹ方向）へ移動させることにより、図６右側に示すような電圧値が得られる。すなわち、周波数ｆ１の電圧値は、センサ電極３６が正常な導電パターン１４上にある場合は所定の値となり、断線パターン１４ａ上にある場合は所定の値より高い値の電圧値が検出される。一方、周波数ｆ２の電圧値は、センサ電極３６が正常な導電パターン１４上にある場合は所定の値の電圧値が得られる。また、センサ電極３６が短絡パターン１４ｂ上にあり、かつ、一対の第２電極３４のうち一方のみが他の短絡パターン１４ｂ上にある場合は所定の値より高い値の電圧値が検出される。 Therefore, by moving the sensor electrode 36 in a direction perpendicular to the pattern (Y direction in FIG. 6), a voltage value as shown on the right side of FIG. 6 is obtained. That is, the voltage value of the frequency f1 is a predetermined value when the sensor electrode 36 is on the normal conductive pattern 14, and a voltage value higher than the predetermined value is detected when the sensor electrode 36 is on the disconnection pattern 14a. On the other hand, the voltage value of the frequency f2 is a predetermined voltage value when the sensor electrode 36 is on the normal conductive pattern 14 . The sensor electrode 36 is Ri short pattern 14b on the near and if only one of the pair of second electrode 34 is on a other short pattern 14b voltage value higher than a predetermined value is detected The

この電流値とセンサ電極１８の位置情報は制御装置に送られ、制御装置ではこれらの情報に基づいて欠陥のある導電パターンを特定する。すなわち、所定以上の周波数ｆ１の電圧値が検出された際にセンサ電極３６と静電結合されているパターンを断線パターンとして検出する。また、所定以上の周波数ｆ２の電圧値が検出された際にセンサ電極３６と静電結合されているパターンを短絡パターンとして検出する。   The current value and the position information of the sensor electrode 18 are sent to the control device, and the control device identifies a defective conductive pattern based on the information. That is, when a voltage value having a frequency f1 greater than or equal to a predetermined value is detected, a pattern electrostatically coupled to the sensor electrode 36 is detected as a disconnection pattern. Further, when a voltage value of a frequency f2 that is equal to or higher than a predetermined value is detected, a pattern that is electrostatically coupled to the sensor electrode 36 is detected as a short-circuit pattern.

なお、この断線と短絡の有無の検出は、当然、同時に行ってもよい。電圧値検出器４４は、周波数毎の電圧値を検出するための弁別フィルタ４８を有しているため、導電パターン１４にｆ１とｆ２の電圧が印加されても、それぞれの電圧値を検出できる。したがって、センサ電極３６と第２電極３４とを移動させることにより、短絡と断線とを同時に検出することができる。   Note that the detection of the disconnection and the presence or absence of a short circuit may naturally be performed simultaneously. Since the voltage value detector 44 has the discrimination filter 48 for detecting the voltage value for each frequency, each voltage value can be detected even when the voltages of f1 and f2 are applied to the conductive pattern 14. Therefore, by moving the sensor electrode 36 and the second electrode 34, it is possible to simultaneously detect a short circuit and a disconnection.

このとき、上述したように両端でほぼ同じ静電容量を介して導電パターン１４に交流信号が印加されるため、信号印加率が高くなる。そのため、信号が低電圧であっても、十分検出可能な電圧が誘起され、低電圧であってもノイズなどの影響を受けにくく、精度の良い検査が可能となる。また、低電圧であるため、放電などの対策の必要がなく簡易に検査することができる。さらに、センサ電極３６と第２電極３４とを導電パターン１４と直行する方向に１回移動させるだけで断線Ａと短絡Ｂの両方を同時に検出することができる。   At this time, as described above, an AC signal is applied to the conductive pattern 14 through substantially the same capacitance at both ends, so that the signal application rate increases. Therefore, even if the signal is a low voltage, a sufficiently detectable voltage is induced. Even if the signal is a low voltage, it is difficult to be affected by noise and the like, and an accurate inspection is possible. In addition, since the voltage is low, it is not necessary to take measures such as discharge, and the inspection can be performed easily. Furthermore, both the disconnection A and the short circuit B can be detected simultaneously by moving the sensor electrode 36 and the second electrode 34 once in the direction orthogonal to the conductive pattern 14.

なお、センサ電極がちょうど断線位置にある場合、または断線と断線の間にある場合、センサ電極では電圧値を検出できない。しかし、その場合には、所定の電圧値ではなく、０の電圧値が検出される。そのため、ほぼ０の電圧値が検出された導電パターンは、断線パターンとして検出することができる。   When the sensor electrode is just at the disconnection position or between the disconnection, the sensor electrode cannot detect the voltage value. However, in that case, a voltage value of 0 is detected instead of a predetermined voltage value. Therefore, a conductive pattern in which a voltage value of approximately 0 is detected can be detected as a disconnection pattern.

また、本実施例では、電源を中点アースとし、センサ電極を中心からずれた位置に位置決めしている。これは、０という電圧値を確実に異常として検出するためである。しかし、このようにしなくても、正常なパターンと欠陥のあるパターンとでは電圧値に何らかの変化があるので、変化のあるパターンを欠陥パターンとして検出すればよい。   In this embodiment, the power source is a midpoint ground, and the sensor electrode is positioned at a position shifted from the center. This is because a voltage value of 0 is reliably detected as abnormal. However, even if this is not done, since there is some change in the voltage value between the normal pattern and the defective pattern, the changed pattern may be detected as a defective pattern.

次に、断線または短絡の位置を検出する原理について図７、図８を用いて説明する。   Next, the principle of detecting the position of disconnection or short circuit will be described with reference to FIGS.

図７は、断線位置検出の原理を表す図であり、図８は短絡位置検出の原理を表す図である。それぞれ、図の下側に電圧値検出器４４で検出される電圧値を示す。   FIG. 7 is a diagram illustrating the principle of disconnection position detection, and FIG. 8 is a diagram illustrating the principle of short circuit position detection. The voltage values detected by the voltage value detector 44 are respectively shown on the lower side of the figure.

断線位置を検出する場合は、断線パターン１４ａに沿ってセンサ電極３６を移動させる。その場合、図７の下側に示すような電圧値が検出される。すなわち、センサ電極３６が断線Ａより手前（図中において左側）にある間は、片側（図中においては左側）から印加される信号の電圧値が検出される。そしてセンサ電極３６が断線位置を超えた時点で、位相が１８０度変化し、反対側（図中において右側）から印加される信号の電圧値が検出される。したがって、センサ電極３６で検出された信号の極性を位相検波器により判別し、極性が反転した位置を断線位置として検出できる。この検出結果とセンサ電極３６の位置情報は制御装置に送られ、制御装置ではこれらの情報に基づいて断線位置を検出する。つまり、電圧の位相が１８０度変化した時のセンサ電極３６の位置が断線位置として検出される。   When detecting the disconnection position, the sensor electrode 36 is moved along the disconnection pattern 14a. In that case, a voltage value as shown in the lower side of FIG. 7 is detected. That is, while the sensor electrode 36 is in front of the disconnection A (left side in the figure), the voltage value of the signal applied from one side (left side in the figure) is detected. When the sensor electrode 36 exceeds the disconnection position, the phase changes by 180 degrees, and the voltage value of the signal applied from the opposite side (right side in the figure) is detected. Therefore, the polarity of the signal detected by the sensor electrode 36 is discriminated by the phase detector, and the position where the polarity is inverted can be detected as the disconnection position. The detection result and the position information of the sensor electrode 36 are sent to the control device, and the control device detects the disconnection position based on the information. That is, the position of the sensor electrode 36 when the voltage phase changes by 180 degrees is detected as the disconnection position.

一方、短絡パターン１４ｂに沿ってセンサ電極３６を移動させた場合、図８の下側に示すような電圧値が検出される。すなわち、センサ電極３６が短絡Ｂの手前では所定の値の電圧値であり、短絡位置に近づくほどバランスか崩れるので、短絡位置の上方に来たとき急激に上昇下降するピークを示す。そして、短絡Ｂを過ぎると再び所定の値の電圧値に戻る。すなわち、短絡Ｂの位置において電圧値のピークが検出される。制御装置ではこのピークの電圧値が検出された際のセンサ電極３６の位置を短絡位置として検出する。   On the other hand, when the sensor electrode 36 is moved along the short-circuit pattern 14b, a voltage value as shown on the lower side of FIG. 8 is detected. That is, the voltage of the sensor electrode 36 is a predetermined voltage value before the short circuit B, and the balance is lost as it approaches the short circuit position. Therefore, when the sensor electrode 36 comes above the short circuit position, the peak rapidly rises and falls. Then, when the short circuit B is passed, the voltage value returns to the predetermined value again. That is, the peak of the voltage value is detected at the position of the short circuit B. The control device detects the position of the sensor electrode 36 when the peak voltage value is detected as a short-circuit position.

このように、センサ電極を欠陥のある導電パターンに沿って移動させ、そのときの電圧値を検出することにより、欠陥位置を特定することができる。   As described above, the defect position can be specified by moving the sensor electrode along the defective conductive pattern and detecting the voltage value at that time.

なお、本実施例では、センサ電極３６を移動させているが、ガラス基板１２を移動させてもよい。また、欠陥位置の検出は、全パターンについての欠陥有無検査終了後に行ってもよいし、欠陥パターンが検出される都度、行ってもよい。また、導電パターン１４にコモンバーが接続されている場合は、コモンバーを第１電極として用いてもよい。   In this embodiment, the sensor electrode 36 is moved, but the glass substrate 12 may be moved. Further, the detection of the defect position may be performed after completion of the defect presence inspection for all patterns, or may be performed every time a defect pattern is detected. Further, when a common bar is connected to the conductive pattern 14, the common bar may be used as the first electrode.

次に、他の実施例であるパターン検査装置１０について説明する。   Next, a pattern inspection apparatus 10 which is another embodiment will be described.

このパターン検査装置１０は、特に液晶表示パネルに用いられるガラス基板に配設されるゲートパターンとＣｓパターンとの検査に用いられるものである。   The pattern inspection apparatus 10 is used particularly for inspection of a gate pattern and a Cs pattern disposed on a glass substrate used for a liquid crystal display panel.

液晶表示パネルの製造工程においては、まず、ガラス基板１２上にゲートパターンとＣｓパターンとが同時に配設される。ゲートパターンは、ガラス基板上に列状に複数配設される導電パターンである。Ｃｓパターンは、これと交互に列状に配設されている導電パターンである。このゲートパターンとＣｓパターンとの距離がきわめて小さい（例えば数十μｍ）ため、短絡が生じやすい。この短絡検査に特に適したパターン検査装置１０について説明していく。   In the manufacturing process of the liquid crystal display panel, first, a gate pattern and a Cs pattern are simultaneously disposed on the glass substrate 12. A plurality of gate patterns are conductive patterns arranged in rows on a glass substrate. The Cs pattern is a conductive pattern arranged alternately in a row. Since the distance between the gate pattern and the Cs pattern is extremely small (for example, several tens of μm), a short circuit tends to occur. A pattern inspection apparatus 10 particularly suitable for this short circuit inspection will be described.

図９にこのパターン検査装置１０の概略上面図を示す。   FIG. 9 shows a schematic top view of the pattern inspection apparatus 10.

検査対象のガラス基板１２上には、ゲートパターン５０とＣｓパターン５２が互いに隣接して配設されている。また、ゲートパターン５０とＣｓパターン５２はともにコモンバー５４、５８によりその一端が接続されている。   On the glass substrate 12 to be inspected, a gate pattern 50 and a Cs pattern 52 are disposed adjacent to each other. The gate pattern 50 and the Cs pattern 52 are both connected at one end by common bars 54 and 58.

ガラス基板１２の上方には、給電電極として、ゲート用電極５６、Ｃｓ用電極６０が設けられている。また、センサ電極６２が検査対象の導電パターン上に設けられている。   Above the glass substrate 12, a gate electrode 56 and a Cs electrode 60 are provided as power supply electrodes. The sensor electrode 62 is provided on the conductive pattern to be inspected.

ゲート用電極５６は、検査時にゲート用コモンバー５４とは反対側のゲートパターン５０の一端に設けられている導電性プレートである。これは、全ゲートパターン５０の一端を被う幅を有しており、全ゲートパターン５０の一端と静電結合されている。ただし、検査対象のゲートパターンを含む１以上のゲートパターンを被う幅であれば他の幅であってもよい。その場合は、後述するセンサ電極６２のＹ方向への移動に合わせて移動できるようにすればよい。   The gate electrode 56 is a conductive plate provided at one end of the gate pattern 50 opposite to the gate common bar 54 at the time of inspection. This has a width that covers one end of the entire gate pattern 50, and is electrostatically coupled to one end of the entire gate pattern 50. However, other widths may be used as long as they cover one or more gate patterns including the gate pattern to be inspected. In that case, the sensor electrode 62 described later may be moved in accordance with the movement in the Y direction.

Ｃｓ用電極６０は、検査時にＣｓ用コモンバー５８とは反対側のＣｓパターン５２の一端に設けられている導電性プレートである。これも、Ｃｓパターン５２と静電結合されており、全Ｃｓパターン５２の一端を被う幅を有している。もちろん、対象Ｃｓパターンを含む１以上のＣｓパターンを被う幅であれば他の幅であってもよい。   The Cs electrode 60 is a conductive plate provided at one end of the Cs pattern 52 opposite to the Cs common bar 58 at the time of inspection. This is also electrostatically coupled to the Cs pattern 52 and has a width that covers one end of the entire Cs pattern 52. Of course, other widths may be used as long as they cover one or more Cs patterns including the target Cs pattern.

センサ電極６２は、検査時に検査対象のゲートパターン５０またはＣｓパターン５２上方に位置決めされる導電性プレートであって、これらと静電結合されている。センサ電極６２は、検査時には、Ｙ方向またはＸ方向に移動することができ、そのときの位置情報は、図示しない制御装置に送られ、記憶される。   The sensor electrode 62 is a conductive plate positioned above the gate pattern 50 or the Cs pattern 52 to be inspected at the time of inspection, and is electrostatically coupled to these. The sensor electrode 62 can move in the Y direction or the X direction at the time of inspection, and the position information at that time is sent to and stored in a control device (not shown).

センサ電極６２には、電圧値検出器７６が設けられており、センサ電極６２の位置における電圧値が検出される。検出された電圧値は、センサ電極６２の位置情報とともに制御装置に送られ、記憶される。   The sensor electrode 62 is provided with a voltage value detector 76, and the voltage value at the position of the sensor electrode 62 is detected. The detected voltage value is sent to the control device together with the position information of the sensor electrode 62 and stored.

電圧値検出器７６は、センサ電極６２で検出された交流信号を増幅する増幅器７８と周波数毎の信号を取り出すための弁別フィルタ８０で構成されている。これにより、周波数毎の電圧値を検出することができる。また、検出された信号の極性を判別できる位相検波器（図示せず）も備えている。   The voltage value detector 76 includes an amplifier 78 that amplifies the AC signal detected by the sensor electrode 62 and a discrimination filter 80 that extracts a signal for each frequency. Thereby, the voltage value for every frequency is detectable. A phase detector (not shown) that can determine the polarity of the detected signal is also provided.

ゲートパターン５０には、ゲート用電極５６とゲート用コモンバー５４とを介して周波数ｆ１の交流信号が印加される。これは、一端をゲート用電極５６、他端をゲート用コモンバー５４に接続したゲート用電源６４により印加される。一方、Ｃｓパターン５２には、Ｃｓ用電極６０とＣｓ用コモンバー５８とを介してＣｓ用電源６６により周波数ｆ２の交流信号が印加される。ゲート用電源６４とＣｓ用電源６６は、ともに中点アースされている。   An AC signal having a frequency f1 is applied to the gate pattern 50 via the gate electrode 56 and the gate common bar 54. This is applied by a gate power source 64 having one end connected to the gate electrode 56 and the other end connected to the gate common bar 54. On the other hand, an AC signal having a frequency f2 is applied to the Cs pattern 52 by the Cs power source 66 via the Cs electrode 60 and the Cs common bar 58. The gate power supply 64 and the Cs power supply 66 are both grounded at the midpoint.

次に、ゲートパターン５０とＣｓパターン５２との短絡Ａおよび断線Ｂの検出原理について説明する。この場合、センサ電極６２を検査対象のゲートパターン５０またはＣｓパターン５２上に位置決めする。このとき、センサ電極６２は、パターンの中心から若干ずれた位置にあることが好適である。   Next, the detection principle of the short circuit A and the disconnection B between the gate pattern 50 and the Cs pattern 52 will be described. In this case, the sensor electrode 62 is positioned on the gate pattern 50 or Cs pattern 52 to be inspected. At this time, the sensor electrode 62 is preferably located at a position slightly deviated from the center of the pattern.

この状態で、ゲート用電源６４およびＣｓ用電源６６から周波数ｆ１、ｆ２の交流信号を印加する。そして、センサ電極６２における周波数毎の電圧値を電圧値検出器７６で検出する。   In this state, AC signals of frequencies f1 and f2 are applied from the gate power supply 64 and the Cs power supply 66. The voltage value for each frequency in the sensor electrode 62 is detected by the voltage value detector 76.

このとき、短絡Ａまたは断線Ｂのない正常なゲートパターン５０には、周波数ｆ１（ゲート用電源の周波数）の電圧が誘起されるが、周波数ｆ２（Ｃｓ用電源の周波数）の電圧は誘起されない。また、正常なＣｓパターン５２には、周波数ｆ２（Ｃｓ用電源の周波数）の電圧が誘起されるが、周波数ｆ１の電圧（ゲート用電源の周波数）は誘起されないこととなる。   At this time, in the normal gate pattern 50 without the short circuit A or the disconnection B, the voltage of the frequency f1 (frequency of the gate power supply) is induced, but the voltage of the frequency f2 (frequency of the Cs power supply) is not induced. In addition, in the normal Cs pattern 52, a voltage of frequency f2 (frequency of the Cs power supply) is induced, but a voltage of frequency f1 (frequency of the gate power supply) is not induced.

一方、短絡Ａのあるゲートパターン５０ａには、周波数ｆ１の電圧とともに周波数ｆ２の電圧も誘起される。また、短絡ＡのあるＣｓパターン５２ａでも周波数ｆ１と周波数ｆ２の両周波数の電圧が誘起される。つまり、周波数ｆ２（Ｃｓ用電源の周波数）の電圧が誘起されたゲートパターン、周波数ｆ１（ゲート用電源の周波数）の電圧が誘起されたＣｓパターンは、短絡が生じていると判断できる。   On the other hand, in the gate pattern 50a having the short circuit A, the voltage f2 is also induced together with the voltage f1. Further, even in the Cs pattern 52a having the short circuit A, voltages having both the frequency f1 and the frequency f2 are induced. That is, it can be determined that a short circuit has occurred in the gate pattern in which the voltage of frequency f2 (frequency of the power source for Cs) is induced and the Cs pattern in which the voltage of frequency f1 (frequency of the power source for gate) is induced.

次に、断線Ｂの有無検出について説明する。断線Ｂの有無検出の場合には、検出される電圧値に着目する。ゲートパターン５０、Ｃｓパターン５２のいずれであっても、正常なパターンの場合は、所定の値の電圧値が検出される。これは、パターンの両側から逆位相の電圧が印加されているためである。電圧の位相の打ち消しがあるため、電圧値は、パターンの中心でほぼ０となり、両端に近づくにつれ徐々に高く（低く）なる。したがって、中心から若干ずれた位置にあるセンサ電極６２の位置においては、所定の電圧値（０以上）が検出される。   Next, the presence / absence detection of the disconnection B will be described. When detecting the presence or absence of the disconnection B, attention is paid to the detected voltage value. If the gate pattern 50 or the Cs pattern 52 is a normal pattern, a predetermined voltage value is detected. This is because reverse phase voltages are applied from both sides of the pattern. Since the voltage phase cancels out, the voltage value becomes almost zero at the center of the pattern and gradually increases (lowers) as it approaches both ends. Therefore, a predetermined voltage value (0 or more) is detected at the position of the sensor electrode 62 slightly deviated from the center.

一方、断線のあるパターン５０ｂ、５２ｂの場合には、位相の打ち消しがないため、所定の値より高い電圧値が検出される。つまり、所定の値より高い電圧値が検出されたパターンは、断線パターン５０ｂ、５２ｂとして検出できる。   On the other hand, in the case of the broken patterns 50b and 52b, since there is no phase cancellation, a voltage value higher than a predetermined value is detected. That is, a pattern in which a voltage value higher than a predetermined value is detected can be detected as the disconnection patterns 50b and 52b.

なお、センサ電極がちょうど断線位置にある場合、または断線と断線の間にある場合、センサ電極では電圧値を検出できない。しかし、その場合には、所定の電圧値ではなく、０の電圧値が検出される。そのため、ほぼ０の電圧値が検出された導電パターンは、断線パターンとして検出することができる。   When the sensor electrode is just at the disconnection position or between the disconnection, the sensor electrode cannot detect the voltage value. However, in that case, a voltage value of 0 is detected instead of a predetermined voltage value. Therefore, a conductive pattern in which a voltage value of approximately 0 is detected can be detected as a disconnection pattern.

センサ電極６２をＹ方向に移動させることにより図９右側に示すような電圧値が得られる。すなわち、センサ電極６２が短絡Ａの生じているＣｓパターン５２ａ上またはゲートパターン５０ａ上にあるときは、周波数ｆ１および周波数ｆ２のいずれの電圧も所定の値が検出される。   By moving the sensor electrode 62 in the Y direction, a voltage value as shown on the right side of FIG. 9 is obtained. That is, when the sensor electrode 62 is on the Cs pattern 52a or the gate pattern 50a where the short circuit A occurs, a predetermined value is detected for both the voltage f1 and the frequency f2.

一方、断線の生じているゲートパターン５０ｂ上にあるときは、周波数ｆ１の電圧値は高くなる。また、断線の生じているＣｓパターン５２ｂ上にあるときは、周波数ｆ２の高い電圧値が検出される。   On the other hand, when it is on the gate pattern 50b where the disconnection occurs, the voltage value of the frequency f1 becomes high. Further, when the line is on the Cs pattern 52b where the disconnection occurs, a voltage value having a high frequency f2 is detected.

この電圧値とセンサ電極６２の位置情報は制御装置に送られ、制御装置では、これらの情報に基づいて短絡パターンおよび断線パターンを検出する。すなわち、周波数ｆ１の電圧が検出されたＣｓパターン５２、または、周波数ｆ２の電圧が検出されたゲートパターン５０を短絡パターンとして検出する。また、所定の値より高い、または、０の電圧値が検出されたパターンを断線パターンとして検出する。   The voltage value and the position information of the sensor electrode 62 are sent to the control device, and the control device detects a short-circuit pattern and a disconnection pattern based on the information. That is, the Cs pattern 52 from which the voltage at the frequency f1 is detected or the gate pattern 50 from which the voltage at the frequency f2 is detected is detected as a short-circuit pattern. A pattern in which a voltage value higher than a predetermined value or 0 is detected is detected as a disconnection pattern.

次に、欠陥の位置を検出する場合について説明する。欠陥位置を検出する場合は、欠陥パターンに沿ってセンサ電極６２を移動させる。   Next, a case where a defect position is detected will be described. When detecting the defect position, the sensor electrode 62 is moved along the defect pattern.

センサ電極６２を短絡パターン５０ａ、５２ａに沿って移動させると、センサ電極６２が短絡Ａの上方にきた際に最大の電圧値が検出される（図１０）。一方、センサ電極６２を断線パターン５０ｂ、５２ｂに沿って移動させると、断線Ｂの上方にセンサ電極６２がきた際に位相が１８０度反転する（図１１）。制御装置では、電圧値（位相検波結果）およびセンサ電極６２の位置情報に基づいて短絡または断線の位置を検出する。   When the sensor electrode 62 is moved along the short-circuit patterns 50a and 52a, the maximum voltage value is detected when the sensor electrode 62 comes above the short-circuit A (FIG. 10). On the other hand, when the sensor electrode 62 is moved along the disconnection patterns 50b and 52b, the phase is inverted by 180 degrees when the sensor electrode 62 comes above the disconnection B (FIG. 11). In the control device, the position of the short circuit or the disconnection is detected based on the voltage value (phase detection result) and the position information of the sensor electrode 62.

このように、本実施例によれば、パターンの両端から交流信号を印加するために信号印加率が高い。そのため、検出される信号がノイズの影響を受けにくく、精度の高い検査が可能となる。また、低電圧の交流信号でも検査可能であるため、放電の対策などを必要とせず、簡易に検査を行うことができる。   Thus, according to the present embodiment, the signal application rate is high because the AC signal is applied from both ends of the pattern. Therefore, the detected signal is hardly affected by noise, and a highly accurate inspection is possible. In addition, since it is possible to inspect even with a low-voltage AC signal, it is possible to easily inspect without requiring countermeasures against discharge.

また、短絡の生じやすいゲートパターンとＣｓパターンとの短絡を容易に検出することができる。さらに、センサ電極６２をＹ方向に移動させることにより、短絡と断線の有無検査を同時に行うことができる。   Further, it is possible to easily detect a short circuit between the gate pattern and the Cs pattern that are likely to cause a short circuit. Furthermore, by moving the sensor electrode 62 in the Y direction, it is possible to perform a short circuit and a disconnection inspection at the same time.

なお、本実施例では、ゲート用コモンバー５４のあるガラス基板１２を用いたが、ゲート用コモンバー５４のないガラス基板１２でも当然よい。ゲート用コモンバー５４がない場合は、ゲートパターンの端部と静電結合する一対のゲート用電極５６をゲートパターン５０の両端に設けるようにすればよい。   In the present embodiment, the glass substrate 12 with the gate common bar 54 is used, but the glass substrate 12 without the gate common bar 54 may naturally be used. When the gate common bar 54 is not provided, a pair of gate electrodes 56 that are electrostatically coupled to the ends of the gate pattern may be provided at both ends of the gate pattern 50.

次に他の実施例について図１２を用いて説明する。これもゲートパターンとＣｓパターンの短絡を検出するのに好適なパターン検査装置１０である。   Next, another embodiment will be described with reference to FIG. This is also a pattern inspection apparatus 10 suitable for detecting a short circuit between the gate pattern and the Cs pattern.

これは、欠陥の有無検出を電流値に基づいて行うものである。   This is to detect the presence or absence of a defect based on the current value.

このパターン検査装置１０においては、センサ電極６２は、ゲート用電源６４とＣｓ用電源６６の中点に接続されている。   In the pattern inspection apparatus 10, the sensor electrode 62 is connected to the middle point between the gate power source 64 and the Cs power source 66.

次に、このパターン検査装置１０を用いての欠陥（短絡または断線）の有無検査について説明する。   Next, the presence / absence inspection for defects (short circuit or disconnection) using the pattern inspection apparatus 10 will be described.

この場合、センサ電極６２を検査対象のゲートパターン５０またはＣｓパターン５２上に位置決めする。そして、ゲートパターン５０およびＣｓパターン５２にそれぞれの電極５６，６０とコモンバー５４、５８とを介して交流信号を印加する。このとき、センサ電極６２は、両電源６４、６６の中点に接続されている。この場合、センサ電極６２と電源６４，６６とを接続する線によって、２つの回路ＩＲとＩＬが形成される。このＩＲとＩＬに流れる電流値は、短絡Ａおよび断線Ｂのない正常なパターンであれば、ほぼ等しく、逆向きとなる。したがって、正常なパターンの場合、電流検出器６８、７０では、ほぼ０の電流値が検出される。   In this case, the sensor electrode 62 is positioned on the gate pattern 50 or Cs pattern 52 to be inspected. Then, an AC signal is applied to the gate pattern 50 and the Cs pattern 52 through the electrodes 56 and 60 and the common bars 54 and 58, respectively. At this time, the sensor electrode 62 is connected to the midpoint between the two power sources 64 and 66. In this case, two circuits IR and IL are formed by a line connecting the sensor electrode 62 and the power sources 64 and 66. The values of the currents flowing through the IR and IL are almost equal and reverse in a normal pattern without the short circuit A and the disconnection B. Therefore, in the case of a normal pattern, the current detectors 68 and 70 detect a substantially zero current value.

しかし、短絡Ａが生じているパターン５０ａ、５２ｂ上にセンサ電極６２がある場合は、電圧のバランスが崩れる（ＩＲとＩＬでの電流値が不等になる）ため、両方の電流検出器６８、７０で、高い電流値が検出される。このときの電流値は、センサ電極６２の位置情報とともに制御装置に記憶される。   However, when the sensor electrode 62 is on the pattern 50a, 52b in which the short circuit A occurs, the voltage balance is lost (the current values at IR and IL become unequal), so both current detectors 68, At 70, a high current value is detected. The current value at this time is stored in the control device together with the position information of the sensor electrode 62.

また、断線Ｂがある場合にも高い電流値が検出される。しかし、この場合、断線Ｂが生じたパターンとは異なるパターン用の電流検出器ではほぼ０の電流値となる。つまり、ゲートパターンに断線がある場合は、ゲート用電流検出器６８では高い電流値が、Ｃｓ用電流検出器７０ではほぼ０の電流値が検出される。反対にＣｓパターンに断線がある場合は、Ｃｓ用電流検出器７０では高い電流値が、ゲート用電流検出器６８ではほぼ０の電流値が検出される。   A high current value is also detected when there is a disconnection B. However, in this case, the current detector for a pattern different from the pattern in which the disconnection B occurs has a current value of almost zero. That is, when the gate pattern is disconnected, the gate current detector 68 detects a high current value, and the Cs current detector 70 detects a substantially zero current value. On the other hand, when the Cs pattern is disconnected, the Cs current detector 70 detects a high current value, and the gate current detector 68 detects a substantially zero current value.

したがって、ゲート用電流検出器６８，Ｃｓ用電流検出器７０の両方で高い電流値が検出された場合は短絡、ゲート用電流検出器６８，Ｃｓ用電流検出器７０のいずれかのみで高い電流値が検出された場合は断線と判断できる。   Therefore, when a high current value is detected by both the gate current detector 68 and the Cs current detector 70, a short circuit occurs, and a high current value is obtained only by either the gate current detector 68 or the Cs current detector 70. When is detected, it can be determined that the wire is disconnected.

したがって、センサ電極６２をＹ方向に移動させることにより、短絡と断線の有無検査を同時に行うことができる。   Therefore, by moving the sensor electrode 62 in the Y direction, it is possible to perform a short circuit and a disconnection inspection at the same time.

断線位置を特定する場合は、センサ電極６２を断線のあるパターンに沿って移動させればよい。パターンの両側から逆位相の電圧が印加されているため、断線位置を境に位相が異なることとなる。そのため、位相検波装置（図示せず）などにより位相の変化を見ることにより断線位置を特定することができる。また、断線位置では、電流値がほぼ０となるため、ほぼ０の電圧値が検出された位置を断線位置として特定してもよい。   When specifying the disconnection position, the sensor electrode 62 may be moved along a pattern having a disconnection. Since voltages having opposite phases are applied from both sides of the pattern, the phases differ from each other at the disconnection position. Therefore, the disconnection position can be specified by observing the phase change with a phase detector (not shown) or the like. Further, since the current value is substantially 0 at the disconnection position, a position where a voltage value of approximately 0 is detected may be specified as the disconnection position.

このように、本実施例によれば、パターンの両端から交流信号を印加するために信号印加率が高い。そのため、検出される信号がノイズの影響を受けにくく、精度の高い検査が可能となる。また、低電圧の交流信号でも検査可能であるため、放電などの対策を必要とせず、簡易に検査を行うことができる。   Thus, according to the present embodiment, the signal application rate is high because the AC signal is applied from both ends of the pattern. Therefore, the detected signal is hardly affected by noise, and a highly accurate inspection is possible. In addition, since inspection can be performed even with a low-voltage AC signal, it is possible to easily perform inspection without requiring measures such as discharge.

また、短絡の生じやすいゲートパターンとＣｓパターンとの短絡を容易に検出することができる。   Further, it is possible to easily detect a short circuit between the gate pattern and the Cs pattern that are likely to cause a short circuit.

次に他の実施例について、図１３を用いて説明する。これは、より容易にゲートパターンとＣｓパターンとの短絡を検出するためのものである。   Next, another embodiment will be described with reference to FIG. This is for more easily detecting a short circuit between the gate pattern and the Cs pattern.

この検査装置１０は、引き出し電極８２を有するゲートパターン５０とコモンバー５８により一端を接続されたＣｓパターン５２との短絡を検出するものである。   This inspection apparatus 10 detects a short circuit between the gate pattern 50 having the lead electrode 82 and the Cs pattern 52 connected at one end by the common bar 58.

交流信号を出力、生成する電源６４の両端は、センサ電極６２とコモンバー５８に接続されている。センサ電極６２は、ほぼ引き出し電極と同じ幅の導電性プレートであって、短絡の検出の際には、検査対象の導電パターンに接続された引き出し電極８２上方に位置決めされ、引き出し電極８２と静電結合される。   Both ends of a power supply 64 that outputs and generates an AC signal are connected to a sensor electrode 62 and a common bar 58. The sensor electrode 62 is a conductive plate having substantially the same width as that of the extraction electrode. When a short circuit is detected, the sensor electrode 62 is positioned above the extraction electrode 82 connected to the conductive pattern to be inspected. Combined.

電源６４の一端はコモンバー５８に、他端はセンサ電極６２に接続される。コモンバー５８と電源６４との間には、電流値を検出するための電流検出器６８が設けられている。   One end of the power supply 64 is connected to the common bar 58 and the other end is connected to the sensor electrode 62. A current detector 68 for detecting a current value is provided between the common bar 58 and the power source 64.

次に、このパターン検査装置１０での短絡検出原理について説明する。短絡の有無を検出する場合は、センサ電極６２を検査対象のゲートパターン５０と接続された引き出し電極８２上方に位置決めする。そして、電源６４から交流信号を出力する。電源２０の一端はコモンバー５８に、他端はセンサ電極６２に接続する。   Next, the principle of short circuit detection in the pattern inspection apparatus 10 will be described. When detecting the presence or absence of a short circuit, the sensor electrode 62 is positioned above the extraction electrode 82 connected to the gate pattern 50 to be inspected. Then, an AC signal is output from the power supply 64. One end of the power supply 20 is connected to the common bar 58 and the other end is connected to the sensor electrode 62.

このとき、コモンバー５８はＣｓパターン５２と電気的物理的に接続されている。また、センサ電極６２は、引き出し電極８２を介してゲートパターン５０と電気的に接続されている。したがって、ゲートパターン５０とＣｓパターン５２が短絡していない場合、電流は流れないこととなる。したがって、センサ電極６２が正常なパターン上にある場合には、ほぼ０の電流値が検出される。   At this time, the common bar 58 is electrically and physically connected to the Cs pattern 52. Further, the sensor electrode 62 is electrically connected to the gate pattern 50 through the extraction electrode 82. Therefore, when the gate pattern 50 and the Cs pattern 52 are not short-circuited, no current flows. Therefore, when the sensor electrode 62 is on a normal pattern, a current value of almost zero is detected.

一方、ゲートパターン５０とＣｓパターン５２とが短絡していると、短絡部Ａを介して電流が流れることとなる。したがって、センサ電極６２が短絡しているパターン上にある場合には、高い電流値が検出される。   On the other hand, when the gate pattern 50 and the Cs pattern 52 are short-circuited, a current flows through the short-circuit portion A. Therefore, when the sensor electrode 62 is on a short-circuited pattern, a high current value is detected.

したがって、センサ電極６２をＹ方向に移動させると、図１３の右側に示すような電流値が検出される。すなわち、正常なゲートパターン５０の場合は、ほぼ０の、短絡の生じているゲートパターン５０ａの場合は高い値の電流値が検出される。制御装置では、このときの電流値とセンサ電極６２の位置情報とに基づいて短絡の有無を検出する。すなわち、高い電流値が検出された際のセンサ電極６２と電気的に接続されたゲートパターン５０を短絡のあるパターンとして検出する。   Therefore, when the sensor electrode 62 is moved in the Y direction, a current value as shown on the right side of FIG. 13 is detected. That is, in the case of the normal gate pattern 50, a high current value is detected in the case of the gate pattern 50a in which the short-circuit occurs. The control device detects the presence or absence of a short circuit based on the current value at this time and the position information of the sensor electrode 62. That is, the gate pattern 50 electrically connected to the sensor electrode 62 when a high current value is detected is detected as a short-circuited pattern.

このように、本実施例によれば１つの電源で短絡の有無を検出することができる。   Thus, according to the present embodiment, it is possible to detect the presence or absence of a short circuit with a single power source.

本発明の実施例であるパターン検査装置の概略側面図である。1 is a schematic side view of a pattern inspection apparatus that is an embodiment of the present invention. 本発明の実施例であるパターン検査装置の概略上面図である。It is a schematic top view of the pattern inspection apparatus which is an Example of this invention. 断線位置検出の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a disconnection position detection. 短絡位置検出の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a short circuit position detection. 他の実施例であるパターン検査装置の概略上面図である。It is a schematic top view of the pattern inspection apparatus which is another Example. 他の実施例であるパターン検査装置の概略上面図である。It is a schematic top view of the pattern inspection apparatus which is another Example. 断線位置検出の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a disconnection position detection. 短絡位置検出の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a short circuit position detection. 他の実施例であるパターン検査装置の概略上面図である。It is a schematic top view of the pattern inspection apparatus which is another Example. 短絡位置検出の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a short circuit position detection. 断線位置検出の原理を示す図である。It is a figure which shows the principle of a disconnection position detection. 他の実施例であるパターン検査装置の概略上面図である。It is a schematic top view of the pattern inspection apparatus which is another Example. 他の実施例であるパターン検査装置の概略上面図である。It is a schematic top view of the pattern inspection apparatus which is another Example.

符号の説明Explanation of symbols

１０ パターン検査装置、１４ 導電パターン、１６ 給電電極、１８，３６，６２ センサ電極、２０，４０，４２，６４，６６ 電源、２２ 電流検出器、３０ コモンバー、３２ 第１電極、３４ 第２電極、４４ 電圧値検出器、５０ ゲートパターン、５２ Ｃｓパターン、５６ ゲート用電極、６０ Ｃｓ用電極、８２ 引き出し電極。   10 pattern inspection device, 14 conductive pattern, 16 power supply electrode, 18, 36, 62 sensor electrode, 20, 40, 42, 64, 66 power supply, 22 current detector, 30 common bar, 32 first electrode, 34 second electrode, 44 voltage detector, 50 gate pattern, 52 Cs pattern, 56 gate electrode, 60 Cs electrode, 82 extraction electrode.

Claims (10)

基板上に複数配設された導電パターンの状態を検査する導電パターン検査装置であって、
検査対象の導電パターンである対象パターンとその両側の導電パターンとを含む少なくとも３以上の導電パターンの両端と電気的に接続された一対の第１電極と、
前記対象パターンの両側の導電パターン上に配される一対の電極であって、両側の導電パターンにそれぞれ静電結合された一対の第２電極と、
前記一対の第１電極を介して導電パターンに第１周波数の交流信号を印加する第１印加手段と、
前記第１印加手段による信号印加と並行して前記一対の第２電極を介して導電パターンに第２周波数の交流信号を印加する第２印加手段と、
前記対象パターン上に設けられた電極であって、前記対象パターンに静電結合されたセンサ電極と、
前記センサ電極における周波数毎の電圧値を検出する電圧検出手段と、
検出された第１周波数の電圧値に基づいて断線の有無を、検出された第２周波数の電圧値に基づいて短絡の有無を、それぞれ検出する欠陥検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 A conductive pattern inspection apparatus for inspecting the state of a plurality of conductive patterns arranged on a substrate,
A pair of first electrodes electrically connected to both ends of at least three or more conductive patterns including a target pattern which is a conductive pattern to be inspected and conductive patterns on both sides thereof;
A pair of electrodes disposed on both sides of the conductive pattern of the target pattern, a pair of second electrode electrostatically coupled to both sides of the conductive pattern,
A first application means for applying an AC signal of a first frequency to the conductive pattern through the pair of first electrodes,
Second application means for applying an AC signal having a second frequency to the conductive pattern via the pair of second electrodes in parallel with the signal application by the first application means;
An electrode provided on the target pattern, a sensor electrode that is capacitively coupled to said target pattern,
Voltage detecting means for detecting a voltage value for each frequency in the sensor electrode,
Defect detecting means for detecting the presence or absence of a disconnection based on the detected voltage value of the first frequency, and the presence or absence of a short circuit based on the detected voltage value of the second frequency, respectively;
A conductive pattern inspection apparatus characterized by comprising: 請求項１に記載の導電パターン検査装置であって、
電圧検出手段は、センサ電極の電位を周波数で弁別して検出する弁別手段を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to claim 1,
The voltage detection means includes discrimination means for discriminating and detecting the potential of the sensor electrode by frequency, and a conductive pattern inspection apparatus. 請求項１または２に記載の導電パターン検査装置であって、
第１印加手段と第２印加手段のうち少なくとも一方の電源は、中点アースされており、
センサ電極は、対象パターンの中心からずれた位置にあることを特徴とする導電パターン検出装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to claim 1 or 2,
The power source of at least one of the first application unit and the second application unit is grounded at a midpoint,
The conductive pattern detection device, wherein the sensor electrode is at a position shifted from the center of the target pattern. 請求項１ないし３のいずれか１に記載の導電パターン検査装置であって、さらに、
断線または短絡が検出された導電パターンに沿ってセンサ電極を移動させる移動手段と、
移動における電圧値の変化から断線または短絡の位置を検出する位置検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to claim 1, further comprising:
Moving means for moving the sensor electrode along the conductive pattern in which disconnection or short circuit is detected;
Position detecting means for detecting the position of disconnection or short circuit from a change in voltage value during movement; and
A conductive pattern inspection apparatus characterized by comprising: 基板上に列状に配設された複数のゲートパターンと、
ゲートパターンに隣接して列状に配設された複数のＣｓパターンであって、その一端をＣｓ用コモンバーで接続された複数のＣｓパターンと、
を検査する導電パターン検査装置であって、
検査対象のゲートパターンである対象ゲートパターンを含む少なくとも１以上のゲートパターンの両端と電気的に接続される一対のゲート用電極と、
前記一対のゲート用電極を介して前記対象ゲートパターンに第１周波数の交流信号を印加するゲート用印加手段と、
前記対象ゲートパターンに隣接する検査対象のＣｓパターンである対象Ｃｓパターンを含む少なくとも１以上のＣｓパターンの他端と静電結合されたＣｓ用電極と、
前記ゲート用印加手段による信号印加と並行して、Ｃｓ用コモンバーと前記Ｃｓ用電極とを介して前記対象Ｃｓパターンに第２周波数の交流信号を印加するＣｓ用印加手段と、
前記対象ゲートパターンまたは前記対象Ｃｓパターンと静電結合されたセンサ電極と、
一つのセンサ電極における第１周波数の電圧値および第２周波数の電圧値をそれぞれ弁別して検出する電圧値検出手段と、
検出された電圧値に基づいてゲートパターンおよびＣｓパターンの欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 A plurality of gate patterns arranged in a row on the substrate;
A plurality of Cs patterns arranged in a row adjacent to the gate pattern, the Cs patterns having one end connected by a Cs common bar;
A conductive pattern inspection apparatus for inspecting
A pair of gate electrodes electrically connected to both ends of at least one or more gate patterns including a target gate pattern which is a gate pattern to be inspected ;
And gate means for applying an AC signal of a first frequency to the target gate pattern through the pair of gate electrodes,
At least one or more Cs pattern other end electrostatically coupled Cs electrode of including the target Cs pattern is Cs pattern to be inspected adjacent to the target gate pattern,
In parallel with the signal applied by the gate application means, and for Cs applying means for applying an AC signal of a second frequency to said subject Cs pattern through said Cs electrode and the Cs for Komonba,
Said target gate pattern or the target Cs pattern and electrostatically coupled sensor electrode,
Voltage value detecting means for discriminating and detecting the voltage value of the first frequency and the voltage value of the second frequency in one sensor electrode;
A defect detection means for detecting a defect in the gate pattern and the Cs pattern based on the detected voltage value;
A conductive pattern inspection apparatus characterized by comprising: 請求項５に記載の導電パターン検査装置であって、さらに、
断線または短絡が検出された対象パターンに沿ってセンサ電極を移動させる移動手段と、
移動における電圧値の変化から断線または短絡の位置を検出する位置検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to claim 5, further comprising:
Moving means for moving the sensor electrode along the target pattern in which disconnection or short circuit is detected;
Position detecting means for detecting the position of disconnection or short circuit from a change in voltage value during movement; and
A conductive pattern inspection apparatus characterized by comprising: 請求項５または６に記載の導電パターン検査装置であって、
ゲート用印加手段およびＣｓ用印加手段の電源は、中点アースされており、
センサ用電極は、対象パターンの中心位置からずれた位置にあることを特徴とする導電パターン検査装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to claim 5 or 6,
The power source for the gate applying means and the Cs applying means is grounded at the midpoint,
The conductive pattern inspection apparatus, wherein the sensor electrode is located at a position shifted from the center position of the target pattern. 基板上に列状に配設された複数のゲートパターンと、
ゲートパターンに隣接して列状に配設された複数のＣｓパターンであって、その一端をＣｓ用コモンバーで接続された複数のＣｓパターンと、
を検査する導電パターン検査装置であって、
検査対象のゲートパターンである対象ゲートパターンを含む少なくとも１以上のゲートパターンの両端と電気的に接続される一対のゲート用電極と、
前記一対のゲート用電極を介して前記対象ゲートパターンに交流信号を印加するゲート用印加手段と、
前記対象ゲートパターンに隣接する検査対象のＣｓパターンである対象Ｃｓパターンを含む少なくとも１以上のＣｓパターンの他端と静電結合されたＣｓ用電極と、
前記ゲート用印加手段による信号印加と並行して、Ｃｓ用コモンバーと前記Ｃｓ用電極とを介して前記対象Ｃｓパターンに交流信号を印加するＣｓ用印加手段と、
前記対象ゲートパターンまたは前記対象Ｃｓパターンと静電結合された電極であって、前記ゲート用印加手段および前記Ｃｓ用印加手段の電源と接続されたセンサ電極と、
前記ゲート用印加手段と前記センサ電極との間に流れる電流値を検出する第一電流値検出手段と、
前記Ｃｓ用印加手段と前記センサ電極との間に流れる電流値を検出する第二電流値検出手段と、
前記第一電流値検出手段および前記第二電流値検出手段で検出された電流値に基づいてＣｓパターンおよびゲートパターンの欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を有し、
前記センサ電極は、前記ゲート用印加手段およびＣｓ用印加手段の電源の中点に接続され、前記対象ゲートパターンまたは前記対象Ｃｓパターンのほぼ中心にある、
ことを特徴とする導電パターン検査装置。 A plurality of gate patterns arranged in a row on the substrate;
A plurality of Cs patterns arranged in a row adjacent to the gate pattern, the Cs patterns having one end connected by a Cs common bar;
A conductive pattern inspection apparatus for inspecting
A pair of gate electrodes electrically connected to both ends of at least one or more gate patterns including a target gate pattern which is a gate pattern to be inspected ;
A gate applying means for applying an AC signal to the target gate pattern through the pair of gate electrodes,
At least one or more Cs pattern other end electrostatically coupled Cs electrode of including the target Cs pattern is Cs pattern to be inspected adjacent to the target gate pattern,
In parallel with the signal applied by the gate application means, and for Cs applying means for applying an AC signal to said subject Cs pattern through said Cs electrode and the Cs for Komonba,
A the target gate pattern or the target Cs pattern and electrostatically coupled electrodes, a power source and connected to the sensor electrode of the gate applying means and the Cs for application means,
A first current value detecting means for detecting a current flowing between the sensor electrode and the gate application means,
A second current value detecting means for detecting a current flowing between the sensor electrode and the Cs for application means,
And defect detecting means for detecting a defect of Cs pattern and gate pattern based on the current value detected by the first current value detecting means and the second current value detecting means,
I have a,
The sensor electrode is connected to a midpoint of a power source of the gate application unit and the Cs application unit, and is substantially at the center of the target gate pattern or the target Cs pattern.
A conductive pattern inspection apparatus. 請求項５乃至８のいずれか１に記載の導電パターン検査装置であって、
一対のゲート用電極のうち、一方は、ゲート用コモンバーであることを特徴とする導電パターン検査装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to any one of claims 5 to 8 ,
One of the pair of gate electrodes is a gate common bar, and the conductive pattern inspection device. 請求項５乃至８のいずれか１に記載の導電パターン検査装置であって、
一対のゲート用電極のうち、少なくとも一方は、ゲートパターンと静電結合により接続されていることを特徴とする導電パターン検査装置。 The conductive pattern inspection apparatus according to any one of claims 5 to 8 ,
A conductive pattern inspection apparatus, wherein at least one of the pair of gate electrodes is connected to the gate pattern by electrostatic coupling.
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