JP4557458B2 - 研磨工具のツルーイング方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、成形金型等を研磨仕上加工するための研磨工具、そのツルーイング方法、前記研磨工具で研磨仕上げ加工された成形金型、この成形金型で得られた成形品及び、この成形品を用いて構成した装置に係り、該装置としては例えば、成形品としての光学素子を搭載した、高速で高精細な印字や画像が得られる印刷処理装置が挙げられる。
【0002】
【従来の技術】
研磨工具をツルーイングする方法としては各種の従来技術であり、例えば特開平8−1512号公報や、特開2000−61840号公報が挙げられる。特開平8−1512号公報の「微粒砥石のドレッシング状態評価方法」は、砥石作用面のドレッシング状態の評価を能率良く行うものである。すなわち、砥石の作用面を所定のドレッシング条件でドレッシング加工し、洗浄した後、常温硬化型樹脂に砥石の作用面の形状を転写したレプリカを作製してレプリカの断面曲線を測定し、砥粒突き出し量と、断面曲線の微細な凹凸の性質を表わす値を求める操作を繰返し行って両者の相関を求め、これを利用してドレッシング状態の評価を行うものである。これにより、実研磨を行うことなくドレッシング状態を評価することができる。また、特開2000−61840号公報の「研磨工具のツルーイング及びドレッシング方法」は、研磨工具の表面に引っ掻き傷が形成されないようなツルーイング方法について開示するものである。
【0003】
一方、研磨(研削)加工を行う場合において、遊離砥粒を用いた研磨(研削)工具の表面にスジをつけると、工具表面での砥粒の保持力が適切な状態となり、高効率な研磨(研削)加工が可能になるうえ、高精度な研磨表面が得られることが知られている。
【0004】
図8は、表面(加工面)にスジ2bを形成した研磨工具1bの正面図である。スジ2bは、図示のように研磨工具1bの回転方向に平行に設けられている。このようなスジ2bの入っている研磨工具1bで研磨加工を行うと、研磨工具1bのどの断面(例えば、図1の側面図である図2に示す第1断面,第2断面,第3断面)においても、研磨工具の断面形状が同一のものになり、研磨加工された被加工物の表面に図9に示すように同一形状の「うねり」が発生する。図9は、図8の研磨工具の第1断面乃至第n断面における研磨面のうねり状態と、その合成状態を示す模式的線図である。このため、合成された加工面には、各断面に生じている「うねり」と同一の「うねり」がそのまま残り、高精度の研磨面が得られない問題点があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高精度・高効率の研磨加工が可能な研磨工具を得るために、研磨工具の表面(加工面)にスジの形状やスジ付けの方法即ちツルーイング方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載の研磨工具のツルーイング方法は、球又は球の一部からなる加工面にスジを形成する、遊離砥粒を用いて研磨を行う研磨工具のツルーイング方法であって、研磨工具を所定の回転速度rで回転させながら、円錐状の研磨加工面を有するツルアーを、前記回転速度rと等しいか又はこれと異なる所定の回転速度Rで回転させ、該ツルアーの前記円錐状研磨加工面の側面に研磨工具の加工面を当接せしめ、研磨工具の加工面の被加工物と接触する幅内に、研磨加工時の当該研磨工具の回転方向に対して交差するスジを形成し、前記スジは、当該研磨工具が1回転する間に、その加工面の被加工物と一度に接触する幅を横切るような傾斜角度で形成されることを特徴とする。
これにより、工具表面に存在する「うねり」の被加工物への転写を一層平均化し、被加工物に研磨による「うねり」の発生をなくして、高精度な加工物を得ることができる。また、スジをつけることにより高効率の研磨加工ができる。
【0009】
研磨工具では、前記形状のツルアーを用いることにより、ドレッシング及びスジ付けを簡単に行うことができる。研磨工具の回転速度rとツルアーの回転速度Rとを同一とし、又は相異させることによりツルーイング状態が変り、所望のドレッシングやスジ付けを得ることができる。球又は球の一部を加工作用面として有する研磨工具を、すりばち状で円錐形状のツルアーによりツルーイングをすることによって、回転する工具の少なくとも加工時に被加工物と接触する幅において、工具表面にスジをつけることで、研磨工具を精度良く、また容易にツルーイングすることができる。
【0010】
また、研磨工具の周速とツルアーの周速を変えることによつてツルーイングの粗工程と仕上げ工程をツルアーを交換せずに行うことで、ツルアー交換の工程を無くすことが作業時間短縮につながり、ツルアー交換時の研磨工具とツルアーの位置ずれが無くなることで高精度なツルーイングが可能となる。高精度なツルーイングが可能となることで、ツルーイング時間の短縮及び所望のツルーイング精度が得られずに再ツルーイングを行うことが無くなり、研磨工具のツルーイングによる消耗量が少なくなるうえ、電力の消費量が少なくなり環境負荷が低減される。
【0011】
また、ツルーイングの粗工程では研磨工具の周速とツルアーの周速を高速に設定するのに対して、ツルーイングの仕上げ工程では研磨工具の周速よりツルアーの周速を高速にすることで、ツルアーを交換せずにツルーイングの粗工程と仕上げ工程を実現でき、粗工程では高能率でツルーイングを行い、仕上げ工程では工具の回転方向と平行でないスジを表面につけるか又は、被加工物と一度に接触する幅を工具の1回転の間に横切るスジを表面につけることができる。
【0012】
本発明の請求項2に記載の研磨工具のツルーイング方法は、請求項1において、ツルアーを、研磨工具の加工面に圧接させることを特徴とする。圧接により、所望のスジを明確に形成でき、高精度・高効率の研磨加工ができる。
【0013】
請求項3に記載の研磨工具のツルーイング方法は、請求項1又は2において、ツルアーを、研磨工具の加工面に対して押し当て送りすることを特徴とする。押し当て送りを1回以上行うことによりスジ付けが確実にでき、高精度・高効率の研磨加工ができる。
【0014】
請求項4に記載の研磨工具のツルーイング方法は、請求項1乃至3のいずれかにおいて、研磨工具が素材から切り出された新しい研磨工具であることを特徴とする。素材からの新しい研磨工具の表面には各種のスジが生じているため、ツルアーを用いてこのスジを消し取ることにより、所望のスジ付けを行うための素材研磨工具を粗加工することができる。
【0015】
請求項5に記載の研磨工具のツルーイング方法は、請求項1乃至3のいずれかにおいて、研磨工具が、使用中のものであることを特徴とする。使用中の研磨工具はツルアーによるツルーイングにより、表面に付着している付着物を除去でき、その後、所望のスジ付けを正確に行うことができる。
【0016】
また、請求項6に記載の研磨工具のツルーイング方法は、請求項3において、研磨工具の回転速度r、ツルアーの回転速度R、ツルアーの研磨工具への押圧力P及びツルアーの押し当て送り速度vを、研磨工具のツルーイング条件に応じて制御手段によりコントロールすることを特徴とする。これにより、所望のドレッシングやツルーイングを自由に行うことができ、所望の研磨工具を適宜形成することが確実にできる。
【0019】
請求項1乃至6のいずれかに記載のツルーイング方法を適用して得られた研磨工具を用いて研磨仕上げ加工された成形金型は、高精度の金型面を有しているので、高精度の製品を成形することができるものである。
【0020】
また、上記成形金型により成形された成形品は、高精度製品であり、特に、高性能の光学素子が挙げられる。
【0021】
また、上記成形品を構成要素として内蔵した装置は、高精度の成形品を構成要素とするため、例えば、装置として印刷処理装置の場合には高速で、かつ高精細な印字や画像を得ることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳述する。図1は本発明の形態における研磨工具1を示す。この研磨工具1では、球の一部を加工作用面として形成されているが、これに限定するものではない。研磨工具1はその回転軸まわりに回転速度rで回転駆動される。また、その表面の一部の幅Wの箇所が、加工時に被加工物と接触する幅に相当する。本実施の形態では、この幅Wの範囲内においてスジ2が形成されている。このスジ2は、図示のように研磨工具1の工具回転方向に対して交差する形状のものからなる。図2は図1の側面図であり、図示の半径方向に沿う多数個断面を第1断面,第2断面,第3断面(,…第n断面)とする。
【0023】
図3は、前記の第1断面乃至第n断面における研磨工具1の表面のうねり状態を拡大表示したものである。図示のように、スジ2が工具回転方向に対し交差して形成されているため、第1断面から第n断面にわたりうねりの形状は、ずれた状態で形成される。この点で図9の従来技術の場合とは異なる。各断面におけるうねりがずれているため、このようなうねり特性を有している研磨工具1により被加工物を研磨加工すると、図3に示すように各うねりが合成され、うねりのない平坦な、かつ高精度の加工物を得ることができる。なお、スジ2の大きさが加工面の加工精度に直接影響を与えるため、あまりスジが大きいと粗い加工面が得られる。また、スジが全くない場合は高精度加工は得られるが、研磨工具の表面を全くスジなしにドレッシングすることは困難であると共に、スジをつけることにより前記のように砥粒の保持が容易となり、高効率の研磨加工ができる。このため、スジ2の形状、傾斜角度や大きさ等を適宜設定することにより所望の精度の加工面を得ることができる。
【0024】
図4の研磨工具1aは、図1のスジ2と異なりスジとして、工具1aが1回転する間に、被加工物と一度に接触する幅wを横切るような傾斜角度のスジ2aを設けたものである。このようなスジ2aを設けることにより、うねりが図1の研磨工具1の場合より少ない、平坦な加工面を得ることができる。
【0025】
次に、前記スジ2,2aを設けるための手段や、そのスジ付け方法等を説明する。工具形状として球又は球の一部を加工作用面として有する研磨工具1と、この研磨工具1をツルーイングするための工具を図5に示す。この工具は、鉢状で円錐形状の工具でありツルアー3と呼ぶ。このツルアー3の研磨工具1と接触する部分には、研磨工具を削るための砥粒が固定されている。このツルアー3と研磨工具1とを回転させ、互いに押し当てることによつてツルーイングが進行する。
【0026】
一般的には工具を成形することをツルーイングといい、目立てを行うことをドレッシングというが、本発明ではそれらを区別しないでツルーイングという。ツルーイング工程では、第1に研磨工具を加工機に取り付けたときの研磨工具の回転振れを除去して所望の形状に加工する必要があり、この工程を本発明では粗工程と呼ぶ。これに対して研磨工具表面に所望のスジ2をつける工程を仕上げ工程と呼ぶ。
【0027】
粗工程では研磨工具1の周速とツルアー3の周速とを同一に、かつ両者を高速に設定することで高能率に研磨工具1の成形を行うことができる。仕上げ工程では研磨工具の周速よりツルアーの周速を高速にすることによって研磨工具1の表面に所望のスジをつけることができる。研磨工具表面のスジ2の角度は、研磨工具1とツルアーの3と接触部分における相対速度の比によってが決まる。仕上げ工程では、粗工程より少なくとも研磨工具1の周速を小さくする。研磨工具の状態は加工性能に非常に大きな影響を及ぼすため、ツルーイングの粗工程を充分に行うことによって、研磨工具表面のスジ2の状態や、切粉や砥粒の付着の状態について初期状態を統一する。
【0028】
ツルアー3と研磨工具1を互いに押し当てる方法としては、所定の荷重をかけて接触させる方法がある。この方法により高精度なツルーイングが実現できる。
また、別の方法として所定の寸法ずつ押し当てる。いわゆる定寸送りという方法がある。この方法によれば、押し当てた所定の寸法分を削るのに充分な時間をかけることにより、スパークアウト効果が得られるため、高精度なツルーイングが実現できる。
【0030】
図6は、本発明の研磨工具のツルーイング方法を総括的に説明するための概要構成図である。研磨工具1は回転速度rで回転駆動される。研磨工具1の外面には、研磨工具1の表面をドレッシング又はツルーイングするための円錐面状の砥粒を有するツルアー3が当接係合する。このツルアー3は回転速度Rで回転駆動される。一方、ツルアー3には、これを研磨工具1側に押圧力Pで押圧する押圧手段や、送り速度vでツルアー3を押し送りする送り手段(いずれも図略)が付設されている。研磨工具1の回転手段、ツルアー3の回転手段、前記押圧手段、送り手段等はいずれも制御手段5によりコントロールされる。以上の構成において、制御手段5によるコントロールにより研磨工具1では、その性状に応じた所望の各種形態のドレッシングやツルーイングが可能になり、所望のスジ2等が形成される。
【0031】
図7は、以上のツルーイング方法等によりドレッシング及びツルーイングされた研磨工具1によって製作される成形金型6を示す。研磨工具1が以上のように高精度の研磨面を得ることができる形状のものであるため、成形金型6は高精度のものに製作される。また、研磨工具1の切れ味もよく、高効率で金型製作が可能になる。
【0032】
また、図7は、この成形金型6によって成形された製品、例えば、光学素子7を示す。成形金型6が高精度に形成されるため、光学素子7も高精度のものを製作することができる。また、この図7には、前記光学素子7を用いて組み付けられる装置8が示されている。この装置8としては、例えば、印刷処理装置等が挙げられる。
【0033】
(実施例1)
球の一部を加工作用面として有する研磨工具を、すりばち状の円錐形状のツルアーによってツルーイングを行う実施例を示す。粗工程では荷重を300gf,研磨工具回転速度を300rpm,ツルアー回転速度を300rpm,仕上げ工程では荷重を100gf,研磨工具回転速度を50rpm,ツルアー回転速度を150rpmとしてツルーイングを行った。粗工程と仕上げ工程では同一のツルアーを使用しており、途中でツルアーの交換の必要はない。使用した研磨工具は素材から切り出して作成して初めて使用するものなので、作成時の研磨工具表面のスジをツルーイングによって消すのに充分なツルーイングを行った。工具表面を顕微鏡で観察して工具作成時のスジが消えたかどうかを判断した。
【0034】
このようにツルーイングされたウレタン製の研磨工具を使用して研磨加工を行った。ダイヤモンドスラリーを滴下しながら、所定の荷重を1.0Nに設定して、工具回転速度を100rpm,工具送り速度を40〜120mm/minとして、ステンレス製金型の加工を行った。研磨加工中に工具に対してブラシを押し当てながらインプロセスクリーニングを行うことによつて、工具表面に付着した切粉と余分な砥粒を除去することを行った。以上により高精度で高能率な研磨加工が実現できた。
【0035】
(実施例2)
球の一部を加工作用面として有する工具をすりばち状の円錐形状のツルアーによってツルーイングを行う実施例を示す。粗工程では切り込みを30μmを3回,研磨工具回転速度を300rpm,ツルアー回転速度を300rpm,仕上げ工程では切り込みを5μmを2回,研磨工具回転速度を40rpm,ツルアー回転速度を100rpmとしてツルーイングを行った。粗工程と仕上げ工程では同一のツルアーを使用しており、途中でツルアーの交換の必要はない。使用した研磨工具は一度使用した工具なので、前回の研磨による研磨工具への付着物を除去するのん充分なツルーイングを行った。工具表面を顕微鏡で観察して付着物が残存しているかどうかを判断した。ここで工具材質によっては付着物が完全には除去できないものもあるので、必ずしも完全には除去する必要が無く、各加工において初期状態が同じ状態になればよい。ツルーイング後の研磨工具の色で判断する方法や、予めツルーイング量を決めておいてそのツルーイング量を毎回行うという方法がある。又は、実際に研磨を行ってみてその研磨量が所定の値となることでツルーイング終了と判断する方法もある。
【0036】
このように、ツルーイングされたウレタン製の研磨工具を使用して研磨加工を行った。ダイヤモンドスラリーを滴下しながら、所定の荷重を3.0Nに設定して、工具回転速度を200rpm,工具送り速度を30〜200mm/minとして、ステンレス製金型の加工を行った。研磨加工中に工具に対してブラシを押し当てながらインプロセスクリーニングを行うことによって工具表面に付着した切粉と余分な砥粒を除去することを行った。以上により高精度で高能率な研磨加工が実現できた。
【0037】
以上の説明において研磨工具1,1aの形状を前記説明のものとしたが、その形状やスジの形状等については前記の説明のものに限定するものではない。また、ツルアーについても前記のものに限定するものではない。
【0038】
【発明の効果】
1)本発明の請求項1に係る研磨工具のツルーイング方法によれば、ツルアーを用いることによりドレッシング及びスジ付けが容易に、かつ高効率に行われる。また、研磨工具とツルアーの回転速度のコントロールのみにより所望のドレッシングやスジ付けを効率的に行うことができる。また、この方法により得られた研磨工具によれば、工具表面に存在する「うねり」の被加工面への転写を高精度に平均化することができ、うねりの生じていない加工物を得ることができ、高精度・高効率の研磨(研削)加工が可能になる。
2)本発明の請求項2に係る研磨工具のツルーイング方法によれば、ツルアーを圧接させることにより、より明確なスジを形成することができる。
3)本発明の請求項3に係る研磨工具のツルーイング方法によれば、押し当て送りを1回以上行うことにより、スジ付けを確実、かつ高精度に行うことができる。
4)本発明の請求項4に係る研磨工具のツルーイング方法によれば、素材状態の研磨工具はその表面を簡単に綺麗にドレッシングすることができ、このスジ付けを高精度に行うことができる。
5)本発明の請求項5に係る研磨工具のツルーイング方法によれば、研磨工具に付着している付着物をツルアーにより完全に取り外すことができ、使用中の研磨工具を高精度・高効率にツルーイングすることができる。
6)本発明の請求項6に係る研磨工具のツルーイング方法によれば、ドレッシングやツルーイングを自由に行うことができ、所望の研磨工具を適宜形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るスジ付き研磨工具の正面図。
【図2】図1の研磨工具の第1断面乃至第3断面を示す側面図。
【図3】研磨工具の第1断面乃至第n断面における研磨面のうねり状態と、その合成状態を示す模式的線図。
【図4】本発明の他の実施の形態に係るスジ付き研磨工具の正面図。
【図5】ツルアーと研磨工具との係合状態を示す正面図。
【図6】研磨工具のツルーイング方法の総括的説明図。
【図7】本発明のツルーイング方法により得られた研磨工具により製作される成形金型、この成形金型による成形品及びこの成形品を用いた装置を示す模式図。
【図8】従来のスジ付き研磨工具の正面図。
【図9】図8の研磨工具の第1断面乃至第n断面における研磨面のうねり状態と、その合成状態を示す模式的線図。
【符号の説明】
1 研磨工具
1a 研磨工具
2 スジ
2a スジ
3 ツルアー
5 制御手段
6 成形金型
7 成形品
8 装置
Claims (6)
- 球又は球の一部からなる加工面にスジを形成する、遊離砥粒を用いて研磨を行う研磨工具のツルーイング方法であって、研磨工具を所定の回転速度rで回転させながら、円錐状の研磨加工面を有するツルアーを、前記回転速度rと等しいか又はこれと異なる所定の回転速度Rで回転させ、該ツルアーの前記円錐状研磨加工面の側面に研磨工具の加工面を当接せしめ、研磨工具の加工面の被加工物と接触する幅内に、研磨加工時の当該研磨工具の回転方向に対して交差するスジを形成し、前記スジは、当該研磨工具が1回転する間に、その加工面の被加工物と一度に接触する幅を横切るような傾斜角度で形成されることを特徴とする研磨工具のツルーイング方法。
- ツルアーを、研磨工具の加工面に圧接させることを特徴とする請求項1に記載の研磨工具のツルーイング方法。
- ツルアーを、研磨工具の加工面に対して押し当て送りすることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨工具のツルーイング方法。
- 研磨工具が、素材から切り出された新しい研磨工具であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の研磨工具のツルーイング方法。
- 研磨工具が、使用中のものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の研磨工具のツルーイング方法。
- 研磨工具の回転速度r、ツルアーの回転速度R、ツルアーの研磨工具への押圧力P及びツルアーの押し当て送り速度vを、研磨工具のツルーイング条件に応じて制御手段によりコントロールすることを特徴とする請求項3に記載の研磨工具のツルーイング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001136091A JP4557458B2 (ja) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | 研磨工具のツルーイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001136091A JP4557458B2 (ja) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | 研磨工具のツルーイング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002331463A JP2002331463A (ja) | 2002-11-19 |
JP4557458B2 true JP4557458B2 (ja) | 2010-10-06 |
Family
ID=18983447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001136091A Expired - Fee Related JP4557458B2 (ja) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | 研磨工具のツルーイング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4557458B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5463476B2 (ja) * | 2008-07-30 | 2014-04-09 | アイセル株式会社 | 摩擦攪拌加工装置及び摩擦攪拌加工用ツールの再生方法 |
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-
2001
- 2001-05-07 JP JP2001136091A patent/JP4557458B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002331463A (ja) | 2002-11-19 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060511 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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