JP4557025B2 - 真空容器内搬送装置 - Google Patents

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Description

本発明は、真空容器内にて被搬送物を搬送する真空容器内搬送装置に関する。
一般に、真空容器内搬送装置は、半導体の製造において、基板に塵埃がつかないように、真空容器内において、半導体を搬送するものである。従来では、例えば、搬送台をチェーンベルトに固定し、チェーンベルトを真空容器内の一端部に固定された回転モータと他端に固定された歯車に巻回したものがある。そして、この回転モータを回転することにより、搬送台を駆動する、所謂チェーン駆動により、真空容器内で搬送台を移動させていた。
また、真空容器には、被搬送物を真空容器内外に搬出・搬入するためのゲートが設けられており、搬送台には、ゲートを通して被搬送物を出し入れする移送機構が設けられている。
しかしながら、この真空容器内搬送装置では、回転モータを真空容器の内部に配置するため、回転モータに接続する電源ケーブルから発生する塵埃が問題となっていた。
また、チェーン駆動により搬送台を移動させるため、搬送台の位置決め精度が低いという問題があった。
さらに、搬送台には移送機構が設けられているため、搬送台を駆動させるためには、多くの電力が必要となり、真空容器内搬送装置の維持費が高くなってしまうという問題があった。
ここで、塵埃発生の問題を解決する方法として、磁気カップリングを利用して、真空容器外部に配置された駆動機構により真空容器内部に配置された搬送台を移動させるものが考えられる。
これは、真空容器内部の搬送台および、真空容器外部の駆動機構のそれぞれに磁気カップリングを設け、真空容器外部の磁気カップリングが真空容器の壁部に沿って移動することにより、駆動機構の駆動力が真空容器内部の磁気カップリングに伝達され、搬送台が真空容器内部を移動するようになっている。
したがって、搬送台の駆動機構を真空容器外部におくことにより、真空容器内で塵埃が発生することを防止できるようになっている。
なお、2つの磁気カップリングは、永久磁石のように磁極が一定方向に固定されているものである。また、外部の駆動機構は、回転モータとボールネジとを備えている。
しかしながら、この真空容器内搬送装置では、永久磁石のような磁気カップリング同士の相対位置が近接している状態、すなわち、磁気カップリング同士が同期した状態にあると、磁気吸引力による駆動力の伝達がほとんど発生しない。
このため、搬送台を目的位置に停止させる際には、搬送台の移動にともなって発生する摩擦により搬送台の位置制御精度を上げることができないという問題があった。
また、搬送台を一定速度で移動させている際には、磁気カップリング同士が同期した状態となっているため、搬送台の移動に伴う摩擦を制御することができず、搬送台の移動速度が不安定になる。したがって、搬送台に配置された被搬送物に悪影響を及ぼすと共に、所望の位置に停止させるまでに多くの所要時間を要することになるという問題があった。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、搬送台の位置決め精度を向上させると共に、一定速度で被輸送物を安全に輸送できる真空容器内搬送装置を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項1に係る発明は、真空容器内に配置され、所定の被搬送物を搬送するための搬送台と、該搬送台に取り付けられた2次側磁極と、真空容器外に該真空容器の壁面に沿って移動可能な電機子と、該電機子を移動させる電機子移動機構と、を備え、前記2次側磁極は、一定間隔をおいて複数の極歯を配置し、前記電機子は複数のコアにそれぞれ薄板状の永久磁石を埋め込むと共に、各コアにコイルを巻き付けたものであり、前記2次側磁極と前記電機子とでリニアモータを構成していることを特徴とする真空容器内搬送装置を提案している。
この発明に係る真空容器内搬送装置によれば、2次側磁極と電機子とによりリニアモータが構成されることになるため、電機子を移動させた際には、真空容器内の2次側磁極が磁気吸引力により追従して、搬送台が移動することになる。また、電機子の磁極を切り換えることによっても、2次側磁極が移動できるため、電機子の位置に対する搬送台の位置精度を向上させることができる。
そして、電機子が移動している際に、電機子の磁極を切り換えることにより、2次側磁極の移動を細かに制御して、搬送台を一定速度にて移動させることが可能となる。
また、請求項2に係る発明は、請求項1に記載の真空容器内搬送装置において、前記電機子移動機構は前記真空容器の外側に前記リニアモータとは別のリニアモータにより構成されていることを特徴とする真空容器内搬送装置を提案している。
また、請求項3に係る発明は、請求項1又は請求項2に記載の真空容器内搬送装置において、前記2次側磁極の位置情報と前記電機子の位置情報に基づいて、前記電機子により前記2次側磁極の位置を制御する制御装置を備えている真空容器内搬送装置を提案している。
この発明に係る真空容器内搬送装置によれば、この制御装置により2次側磁極の位置を制御することにより、電機子の位置に対する搬送台の位置精度をさらに向上させることができると共に、搬送台を目的とする停止位置に精度よく、かつ、短時間の間に停止させることができる。
請求項1に係る発明によれば、2次側磁極と電機子とによりリニアモータを構成しているため、電機子の位置に対する搬送台の位置精度を向上させることができる。また、搬送台を一定速度にて移動させることが可能となるため、被搬送物を安全に搬送することができる。
また、請求項3に係る発明によれば、制御装置により、電機子の磁極切換の制御を行うことにより、電機子の位置に対する搬送台の位置精度をさらに向上させることができると共に、搬送台を目的とする停止位置に精度よく、かつ、短時間の間に停止させることができる。
以下、本発明の第1の実施形態に係る真空容器内搬送装置について、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る真空容器内搬送装置1は、図1、図2に示すように、真空容器2内に配置され、所定の被搬送物3を保持して搬送する搬送台4と、搬送台4の下面4aに固定された2次側磁極5(以下、2次磁極5と呼ぶ。)と、真空容器2の外側に、真空容器2の外壁面2bに沿って移動可能に配置された電機子6と、電機子6を移動させる電機子移動機構7とを備えている。
真空容器2には、ゲート8が設けられており、被搬送物3を真空容器2に対して出し入れできるようになっている。
搬送台4の下面4a側には、搬送台4が真空容器2の長さ方向に沿って移動するための軌道9が設けられている。
2次磁極5は、例えば、図3に示すように、保持部材5aに極性の異なる複数の永久磁石5bを、軌道9の長さ方向に沿って、順次交互に配置されているものである。
また、電機子6は、保持部材6aに、複数のコア6bおよびコイル6cを備えたものであって、コイル6cに通電することによって、各コア6bに磁極が形成されるものである。各コア6bの磁極は、コイル6cへの通電を制御することにより切り換えられるようになっている。これら2次磁極5および電機子6によりリニアモータ20が構成されている。
また、リニアモータ20を構成する2次磁極5および電機子6は、図3(b)に示すようなものでもよい。すなわち、2次磁極5は、永久磁石5bの代わりに一定間隔をおいて極歯5cを配置し、また、電機子6は、コア6bに薄板状の永久磁石6dを埋め込むと共に、コア6bにコイル6cを巻き付けたものであってもよい。この構成では、2次磁極5と電機子6とに磁路Hが形成された場合には、2次磁極5がI方向に移動することになる。
電機子移動機構7は、図1に示すように、駆動源となる回転モータ11と、回転モータ11の回転軸に連結されたボールネジ12と、ボールネジ12に螺着された雌ねじ部13とから構成されている。
ボールネジ12は、直動軸受9と平行な方向に配置されており、また、雌ねじ部13には、電機子6が固定されている。したがって、回転モータ11が回転することにより、電機子6が、雌ねじ部13と共にボールネジ12の長さ方向に移動するようになっている。
また、搬送台4には、搬送台4の位置情報を検出する位置センサ(位置検出手段)14が、電機子6には、電機子6の位置情報を検出する位置センサ(図示せず)が、それぞれ設けられており、これら2つの位置センサは、回転モータ11および電機子6を制御する制御装置15に接続されている。
ここで、位置センサ14は、真空容器2内部から外部に向けて搬送台4の位置情報を外部に向けて送信するものを備えており、光スイッチ、光波距離計、磁気センサ、レゾルバ等によるものであってもよい。
また、位置センサ14に限らず、例えば、真空容器2に透明部を設けて外部から光学式、渦電流式あるいは、カメラでセンシングするものでもよい。
制御装置15は、2つの位置センサにより検出される搬送台4および電機子6位置情報に基づき、電機子6をコントロールして2次磁極5の位置を細かに制御するものである。例えば、図3(a)のリニアモータ20の場合には、電機子6の磁極を切り換えることにより、2次磁極5の位置を制御することになる。
このように構成された真空容器内搬送装置1の作用について、以下に説明する。
すなわち、回転モータ11を駆動すると、図4に示すように、ボールネジ12がB方向に回転すると共に、電機子6が雌ねじ部と共にA方向に移動することになる。この際には、電機子6と2次磁極5とが吸引し合うように、搬送台4が2次磁極5と共に電機子6に追従してA方向に移動する。
この移動の際には、搬送台4と電機子6との相対位置を2つの位置センサにより検出し、制御装置15により2次磁極5の位置を制御するため、搬送台4と電機子6との相対位置を一定に保つことができる。
また、搬送台4が目的位置に達して停止する際には、搬送台4の位置を位置センサ10により検出し、制御装置により2次磁極の位置を制御することにより、搬送台4が微小に動いて、適切な位置に停止することができる。
上記のように、本実施形態に係る真空容器内搬送装置1によれば、真空容器2の壁部を挟んで、リニアモータ20を構成することにより、搬送台4を移動することができる。このため、制御装置15の制御により、2次磁極5の位置が細かに制御されるため、搬送台4と軌道9との摩擦に関係なく、電機子6の位置に対する搬送台4の位置精度を向上させることができる。
そして、電機子6が移動している際に、制御装置15により2次磁極5の位置を細かに制御して、搬送台4を一定速度にて移動させることが可能となる。したがって、被搬送物3を安全に搬送することができる。
また、制御装置15により2次磁極5の位置を細かに制御して、搬送台4を目的とする停止位置に精度よく、かつ、短時間の間に停止させることができる。
さらに、リニアモータ20により搬送台の移動機構が構成されているため、電機子移動機構7は、高い制御精度が要求されないため、電機子6の位置センサ精度も要求されず、安価に真空容器内搬送装置1を構成することができる。
なお、本実施形態においては、軌道9は直線状に形成されるとしたが、この構成に限られることはなく、真空容器2の形状に合わせて湾曲していてもよい。
また、軌道9は、2次元平面上に配することに限らず、2次元曲面上に配するとしてもよい。したがって、例えば、軌道9が平面上に円形状に配されるとしてもよく、円柱の周面に配されるとしてもよい。
さらに、搬送台4および2次磁極5は、軌道9に沿って移動するとしたが、これに限ることはなく、例えば、搬送台4に車輪を設けて真空容器2の内壁面に沿って移動するとしてもよい。
また、電機子移動機構7は、回転モータ11、ボールネジ12および雌ねじ部13により構成するとしたが、これに限ることはなく、例えば、同じく回転モータを利用したラックピニオン、ベルトプーリにより構成するとしてもよい。また、リニアモータや流体直動シリンダにより構成するとしてもよい。
また、電機子移動機構7の駆動源として回転モータを使用する場合には、電機子6の位置検出を電機子に設けた位置センサにより行うことに限らず、例えば、回転モータ等において電機子6の位置検出を行ってもよい。
さらに、リニアモータ20の相対位置検出を搬送台4および電機子6の双方に位置センサにより行うとしたが、これに限ることはなく、直接電機子6側で行うとしてもよい。すなわち、真空容器2内の2次磁極5の位置を電機子6にある位置センサで検出することにより、相互の位置関係を求めるとしてもよい。
次に、本発明の第2の実施形態に係る真空容器内搬送装置について、以下に説明する。
なお、本実施形態に係る真空容器内搬送装置の説明において、上述した第1の実施形態に係る真空容器内搬送装置1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して、説明を省略することにする。
本実施形態に係る真空容器内搬送装置21は、図5、図6に示すように、真空容器2内には軌道9が設けられ、この軌道9の延在方向に沿って一対のスライダー22,23が走行できるようになっている。
このスライダー22,23の下面22a,23a側にはそれぞれ、2次磁極5が取り付けられている。また、スライダー22,23の上面22b,23b側には、第1、第2のリンク(連結部材)24,25の一端側24a,25aが、軌道9の延在方向に直交する軸線C回りにそれぞれ揺動自在に取り付けられている。
さらに、第1、第2のリンク24,25の他端側24b,25bは、搬送台4に軸線C回りに揺動自在に取り付けられている。
なお、この実施の形態においては、図1,2に示す第1の実施形態と同様に制御装置15を備えており、この制御装置15により2次磁極5の位置を細かに制御して、スライダー22,23間の相互距離を制御できるようになっている。
また、スライダー22,23を移動させる電機子6は、電機子移動機構7により真空容器2の壁部2cに沿って移動することになるが、この電機子移動機構7は、電機子6の下方側に設けられた2つのリニアモータ20により構成されている。
このように構成された真空容器内搬送装置21の作用について、以下に説明する。
第1の実施形態と同様に、搬送台4をA方向に搬送させる場合には、制御装置15によりスライダー22,23の間隔を制御することによって、搬送台4を軌道9の長さ方向に沿う搬送通路に直交する幅方向(DE方向)に移動させることができる。
すなわち、図5に示すように、第1、第2のリンク24,25が実線で示されている位置にある場合には、搬送台4が2本の軌道9の中間に位置している。この状態でスライダー22,23間の距離を維持したまま、スライダー22,23をA方向に移動させれば、搬送台4は、軌道9の中間に位置した状態を保ってA方向に移動することになる。
一方、2点鎖線で示すように、制御装置15によりスライダー22,23間の距離を狭めた場合には、搬送台4は、D方向に向けて移動することになる。
上記のように、本実施形態に係る真空容器内搬送装置21によれば、搬送台4を搬送通路の幅方向(DE方向)に移動させることができるため、例えば、図8に示すように、真空容器2のゲート8を通じてプロセスチャンバ31を設けた際に、各プロセスチャンバ31毎に、被搬送物3を搭載した搬送台4を側方に移動させて、各種の必要な作業を行うことができる。
また、搬送台4を側方に移送する移送機構を別途設ける必要がないため、搬送台4の重量を軽くして、搬送台4を移送するための駆動力の省力化を図ることができる。
なお、本実施形態においては、2つの電機子6を移動させる電機子移動機構7は2つのリニアモータ20により構成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図7に示すように、1つのリニアモータ20により構成されるとしてもよい。この場合には、電機子移動機構7に一定間隔をおいて固定された2つの電機子6の長さをスライダー22,23の移動方向に沿って長く形成して、各スライダー22,23が移動できる範囲を広くすればよい。
また、搬送台4を軌道9の側方に移動させる構成として、第1、第2のリンク24,25を使用するとしたが、この構成に限られることはなく、搬送台4を側方に移動させる構成であればよい。
また、搬送台4を軌道9に直交するDE方向に移動させるとしたが、これに限ることはなく、軌道9に交差する方向に移動できればよい。したがって、例えば、ラックピニオンにより搬送台4を回転させるように、軌道9と交差する方向に移動する機構を構成するとしてもよい。
また、2つのスライダー22,23により1つの搬送台4を軌道9に交差する方向(DE方向)に移動させるとしたが、この構成に限られることはなく、例えば、図8に示すように、3つのスライダー22,23,26により2つの搬送台4,4をDE方向に移動させる構成としてもよい。この場合、各搬送台4に隣接する2つのスライダー22,23、若しくはスライダー23,26は、各搬送台4が独立して移動できるように、それぞれ独立して制御される。
この構成では、複数の搬送台4を移動させるスライダーの数を節約することができるため、真空容器内搬送装置21の製造コストおよび維持費の削減を図ることができる。
さらに、スライダー22,23は、軌道9に沿って移動するとしたが、これに限ることはなく、例えば、スライダー22,23に車輪を設けて真空容器2の内壁面に沿って移動するとしてもよい。
さらに、第1、第2のリンク24,25は、搬送台4に対して揺動自在に連結されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも一方のリンクが搬送台4に対して揺動自在に連結されていればよい。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
本発明の第1の実施形態に係る真空容器内搬送装置を示す正面図である。 図1の真空容器内搬送装置の平面図である。 図1の真空容器内搬送装置において、2次側磁極および電機子により構成されるリニアモータの一例を示す説明図であり、(a)は2次側磁極として永久磁石を使用したもの、(b)は極歯を配置したものを示している。 図1の真空容器内搬送装置の動作を示す正面図である。 本発明の第2の実施形態に係る真空容器内搬送装置を示す平面図である。 図5の真空容器内搬送装置の正断面図である。 他の実施形態に係る真空容器内搬送装置の正断面図である。 他の実施形態に係る真空容器内搬送装置の平面図である。
符号の説明
1,21 真空容器内搬送装置
2 真空容器
3 被搬送物
4 搬送台
5 2次側磁極
6 電機子
7 電機子移動機構
15 制御装置
24 第1のリンク(連結部材)
25 第2のリンク(連結部材)

Claims (3)

  1. 真空容器内に配置され、所定の被搬送物を搬送するための搬送台と、
    該搬送台に取り付けられた2次側磁極と、
    真空容器外に該真空容器の壁面に沿って移動可能な電機子と、
    該電機子を移動させる電機子移動機構と、を備え、
    前記2次側磁極は、一定間隔をおいて複数の極歯を配置し、
    前記電機子は複数のコアにそれぞれ薄板状の永久磁石を埋め込むと共に、各コアにコイルを巻き付けたものであり、
    前記2次側磁極と前記電機子とでリニアモータを構成していることを特徴とする真空容器内搬送装置。
  2. 前記電機子移動機構は前記真空容器の外側に前記リニアモータとは別のリニアモータにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空容器内搬送装置。
  3. 前記2次側磁極の位置情報と前記電機子の位置情報に基づいて、前記電機子により前記2次側磁極の位置を制御する制御装置を備えている請求項1又は請求項2に記載の真空容器内搬送装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010040946A (ja) * 2008-08-07 2010-02-18 Sinfonia Technology Co Ltd 真空処理装置
JP2010040945A (ja) * 2008-08-07 2010-02-18 Sinfonia Technology Co Ltd 真空処理装置
KR20200043537A (ko) * 2015-08-21 2020-04-27 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판의 운송을 위한 장치, 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치, 및 자기 부상 시스템의 유지보수를 위한 방법
GB201611174D0 (en) * 2016-06-28 2016-08-10 Johnson Matthey Fuel Cells Ltd System and method for the manufacture of membrane electrode assemblies

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02151256A (ja) * 1988-11-29 1990-06-11 Shinko Electric Co Ltd パルスモータ
JPH07109024A (ja) * 1993-10-13 1995-04-25 Seiko Seiki Co Ltd 搬送装置
JPH08119409A (ja) * 1994-10-27 1996-05-14 Tokyo Electron Ltd 集合処理装置
JP2001157435A (ja) * 1999-11-24 2001-06-08 Shinko Electric Co Ltd リニアモータおよびその二次側スケール製作方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02151256A (ja) * 1988-11-29 1990-06-11 Shinko Electric Co Ltd パルスモータ
JPH07109024A (ja) * 1993-10-13 1995-04-25 Seiko Seiki Co Ltd 搬送装置
JPH08119409A (ja) * 1994-10-27 1996-05-14 Tokyo Electron Ltd 集合処理装置
JP2001157435A (ja) * 1999-11-24 2001-06-08 Shinko Electric Co Ltd リニアモータおよびその二次側スケール製作方法

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