KR20160049489A - 자기적으로 구동된 전송 요소들을 갖는 전송 시스템 및 전송 방법 - Google Patents

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Abstract

제 1 전송 트랙(2), 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 움직일 수 있는 제 1 캐리어(12), 제 2 전송 트랙(4), 및 바람직하게는 상기 제 2 전송 트랙(4)에 관하여 움직일 수 있는 제 2 캐리어(14)를 갖고 피스 제품을 전송하기 위한 전송 장치(1)로서, 상기 장치는 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 제 1 캐리어(12)를 움직이기 위한 적어도 하나의 제 1 코일 장치(22, 24, 26) 및 제 2 전송 트랙(4)에 관하여 제 2 캐리어(14)를 움직이기 위한 적어도 하나의 제 2 코일 장치(42, 44, 46)를 추가로 포함한다. 본 발명에 따라, 적어도 하나의 코일 장치(22, 42)는 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 제 1 캐리어(12)를 적어도 때때로 움직이고, 제 2 전송 트랙에 관하여 제 2 캐리어(14)를 적어도 때때로 움직이기 위해 제공된다.

Description

자기적으로 구동된 전송 요소들을 갖는 전송 시스템 및 전송 방법{TRANSPORT SYSTEM WITH MAGNETICALLY DRIVEN TRANSPORT ELEMENTS AND TRANSPORTATION METHOD}
본 발명은 특히 예를 들면 웨이퍼들 등과 같은 피스 제품(piece goods)을 전송하기 위한 전송 시스템 또는 전송 장치에 관한 것이다.
현재 본 기술에서 물품들을 전송하기 위한 다수의 시스템들 또는 캐리어 시스템들을 사용하는 상이한 전송 시스템들이 알려져 있다. 본 발명은 웨이퍼들을 화학적으로 폴리싱하기 위한 머신에 관하여 기술된다. 그러나, 본 발명이 또한 다른 전송 장치들에서 사용될 수 있다는 것이 지시된다.
현재 본 기술에서, 예를 들면, 상대적인 움직임, 특히 선형 방향의 움직임을 생성하기 위해 영구 자석들 및 코일들을 사용하는 전송 시스템들이 알려진다. 이러한 원리는 예를 들면, 선형 모터들에서 긴 시간 동안 적용되어 왔다.
현재 본 기술로부터 알려진 하나의 전송 시스템에서, 두 개의 부하 위치들로부터 두 개의 프로세스 챔버들로 전송될 수 있는 캐리어들이 포함된다. 전송 시스템은 여기서 캐리어들을 두 개의 부하 위치들로 전송하기 위해 공유된 미들 리턴 트랙을 사용한다. 이러한 전송 시스템은 세 개의 수평 선형 모션 시스템들(LMS-트랙들)로 구성된다. 상위 및 하위 트랙은 두 개의 프로세스 스테이션들에 대한 전송의 역할을 하고 미들 트랙은 캐리어들에 대해 언급되는 리턴 트랙의 역할을 한다. 또한, 예를 들면, 수평 트랙들의 왼쪽 및 오른쪽상의 두 개의 수직 트랙들이 제공된다. 이들은 캐리어에 대한 셔틀들의 역할을 하는 각각 두 개의 로터 또는 2차 부분들을 갖는 선형 모터 트랙들일 수 있다. 모든 네 개의 셔틀들에, LMS-코일이 장착된다. 이러한 LMS 코일은 셔틀들에 의해 움직이고 따라서 세 개의 LMS-코일들 중 두 개에 속할 수 있다.
현재 본 기술로부터 알려진 다른 머신에서, 수 개의 LMS-트랙들은 예를 들면, 반시계 방향으로 상이한 프로세스 챔버들을 통해 캐리어를 전송한다. 이러한 목적을 위해, 수 개의 LMS 트랙들이 필요하다. 사용되는 캐리어는 다수의 코일들을 포함한다. 이는 캐리어가 하나의 트랙으로부터 다른 것으로 전달될 때, 다수의 코일들이 포함된다는 것을 의미한다. 캐리어를, 예를 들면, 트랙 0으로부터 트랙 1로 전달하기 위해, 트랙 O의 적어도 두 개의 코일들이 트랙 1의 시작부로 움직여져야 한다. 이는 또한 예를 들면, 트랙(1, 2)과 트랙들의 다른 쌍들 사이에서 발생한다.
그러나, 코일들의 이러한 움직임은 달성하기 어렵다. 따라서, 본 발명의 하나의 목적은 움직임들을 용이하게 하고, 특히 가동 코일들의 조작을 용이하게 하는 것이다.
이러한 목적은 독립 청구항들의 목적에 의해 충족된다. 이점들 및 실시예들은 종속항들의 목적이다.
본 발명에 따라 피스 제품을 전송하기 위한 전송 장치는 제 1 전송 트랙, 이러한 제 1 전송 트랙에 관하여 움직일 수 있는 제 1 캐리어, 제 2 전송 트랙, 및 바람직하게는 또한 이러한 제 2 전송 트랙에 관해 움직일 수 있는 제 2 캐리어를 구비한다. 또한, 장치는 제 1 전송 트랙에 관하여 제 1 캐리어를 움직이기 위한 적어도 하나의 코일 장치 및 적어도 하나의 캐리어 및 특히 제 2 전송 트랙에 관하여 제 2 캐리어를 움직이는 적어도 하나의 제 2 코일 장치를 포함한다.
본 발명에 따라, 적어도 하나의 코일 장치는 적어도 때때로 제 1 전송 트랙들에 관하여 제 1 캐리어 및 적어도 때때로 제 2 전송 트랙에 관하여 제 2 캐리어를 움직이기 위해 제공된다. 따라서, 적어도 하나의 코일이 이러한 제 1 트랙 및 제 2 트랙 모두에 사용되는 것이 제안된다. 이러한 경우에서, 특정의 코일이 하나의 트랙으로부터 다른 것으로 변위될 수 있는 것이 가능하지만, 특정 코일이 제 1 트랙의 일 부분이거나 또는 제 2 트랙의 일 부분으로 전기적으로 스위칭되는 것이 또한 가능하다. 본 발명에 따른 장치는 심지어 코일이 두 개의 상이한 트랙들에 대해 사용될지라도, 구동 모드가 유지될 수 있는 것을 허용한다. 다른 실시예에서, 적어도 하나의 캐리어 및 바람직하게는 두 개의 캐리어들은 미리 결정된 방향으로 및 특히 폐쇄되지 않은 부분을 따라 움직일 수 있다.
바람직하게는 적어도 두 개의 트랙들이 서로로부터 완전히 분리된다.
본 발명의 다른 실시예에서, 적어도 두 개의 트랙들은 적어도 부분적으로 평행하게 및/또는 수직으로 연장된다. 따라서, 복수의 트랙들이 존재하는 것이 가능하고, 이들 트랙들의 일 부분은 평행 방향으로 연장하고 이들 트랙들의 일 부분은 서로에 대해 수직인 방향들로 연장한다. 바람직하게 또한 복수의 캐리어들이 제공되고 매우 바람직하게 캐리어들의 수는 적어도 같지만, 바람직하게는 트랙들의 수를 초과한다. 바람직하게 적어도 두 개의 캐리어들은 아마도 동일한 트랙에 관하여 서로로부터 독립적으로 움직인다.
다른 바람직한 실시예에서, 적어도 하나의 트랙, 바람직하게는 더 많은 트랙들 및 바람직하게는 모든 트랙들이 직선을 이룬다. 그러나, 트랙들이 곡선이거나 또는 곡선 섹션들을 갖는 것이 또한 가능하다.
또한, 장치가 직선인 트랙들 및 곡선 부분들을 갖거나 곡선인 다른 트랙들을 포함하는 것이 가능하다.
다른 바람직한 실시예에서, 하나보다 많은 전송 트랙들에 대해 서빙하는 하나보다 많은 코일 장치들이 존재한다. 일반적으로, 코일들은 트랙상에 캐리어들을 제어 및/또는 움직이기 위해 사용된다. 시스템은 다수의 트랙들로 구성될 수 있지만, 통상 코일은 단지 한 번에 하나의 트랙의 부분일 수 있다. 새로운 기능에 의해 코일들의 물리적 세트는 통상 단일 코일 또는 다수의 코일들로 구성된다. 다수의 코일들의 경우에, 이들 다수의 코일들은 바람직하게는 함께 움직여진다. 코일들의 물리적 세트가 트랙의 시작 또는 끝인 경우, 그들은 바람직하게 단지 다른 트랙으로 움직여질 수 있다. 코일들은 바람직하게는 그들이 포함할 수 있는 센서들과 함께 다른 트랙으로 움직여진다.
다른 바람직한 실시예에서, 또한 캐리어는 자석 및/또는 자기화 가능한 요소를 포함한다. 따라서, 코일들은 캐리어들에 제공된 자석들과 통합되고 트랙들에 관하여 캐리어들을 움직이는 역할을 한다.
다른 바람직한 실시예에서, 코일 장치는 제 1 전송 트랙에 관하여 제 1 캐리어를 움직이거나 또는 제 2 전송 트랙에 관하여 제 2 캐리어를 움직이도록 제공된다. 다시 말해서, 특히 시간의 특정 지점에서, 일 특정 코일 장치는 제 1 트랙에 관하여 하나의 캐리어 또는 제 2 트랙에 관하여 하나의 캐리어를 움직이도록 제공된다. 따라서, 적어도 하나의 코일 장치는 제 1 또는 제 2 트랙에 관하여 캐리어들을 움직이도록 제공된다.
다른 바람직한 실시예에서, 적어도 하나의 코일 장치는 제 1 전송 트랙과 제 2 전송 트래 사이에서 변위가능하다. 매우 바람직하게, 코일 장치는 하나의 전송 트랙의 적어도 하나의 종료 섹션 내지 다른 트랙의 일 섹션 사이에 변위 가능하다. 바람직하게는, 다른 전송 트랙의 섹션은 또한 일 종료 섹션이다.
다른 바람직한 실시예에서, 각각의 트랙은 두 개의 종료 섹션들을 구비한다. 이는 바람직하게는 트랙들이 폐쇄되지 않는 것을 의미한다.
다른 바람직한 실시예에서, 적어도 하나의 코일 장치는, 적어도 하나, 바람직하게는 적어도 두 개의 코일들을 포함한다. 또한 하나의 코일 장치는 복수의 코일들 및/또는 일 세트의 코일들, 예를 들면 세 개 이상의 코일들을 포함할 수 있다.
바람직하게는 코일 장치의 코일들은 서로로부터 독립하게 에너지가 공급될 수 있다. 바람직하게는, 적어도 하나의 코일 및 바람직하게는 모든 코일들은 전기적으로 구동된 코일들이다. 따라서, 코일들은 바람직하게는 전기 도전체를 포함한다.
다른 매우 바람직한 실시예에서, 제 1 트랙의 적어도 하나의 섹션은 제 2 트랙의 적어도 하나의 섹션에 인접하게 정렬된다. 바람직하게는, 제 1 트랙의 적어도 하나의 섹션은 제 2 트랙의 적어도 하나의 섹션에 인접하게 정렬된다. 바람직하게는 코일이 추가되거나 제거될 때 종료 섹션들은 변경된다. 이는, 코일이 특정 트랙으로부터 제거되는 경우, 이러한 트랙의 종료 섹션은 이러한 종료 섹션에 지금 정렬되는 코일에 의해 규정될 것이라는 것을 의미한다. 바람직하게는, 두 개의 트랙들 사이에 움직여질 수 있는 코일은 때때로 제 1 트랙의 종료 섹션 및 때때로 제 2 트랙의 종료 섹션을 규정한다.
다른 바람직한 실시예에서, 제 1 트랙의 적어도 하나의 섹션은 적어도 때때로 코일 장치를 수용하기 위한 수용 공간을 포함한다. 바람직하게는 모든 트랙들은 코일 장치들을 수용하기 위한 적어도 하나의 수용 공간을 포함한다. 바람직하게는 적어도 하나의 코일은 제 1 트랙의 수용 공간으로부터 제 2 트랙의 수용 공간으로 움직여질 수 있다.
다른 바람직한 실시예에서, 적어도 때때로 캐리어를 코일 장치에 결합하는 결합 메커니즘이 제공된다. 매우 바람직하게 결합 메커니즘은 캐리어를 코일에 기계적으로 결합한다. 따라서, 이러한 상황에서 코일과 함께 캐리어를 움직이는 것이 가능하다. 그러나, 결합 메커니즘은 코일이 변위된 후 다시 언록(unlock)될 수 있다. 이러한 바람직한 실시예에서, 캐리어 자체는 코일을 전송하기 위해 사용된다. 특히, 결합은 캐리어 및/또는 코일을 하나의 트랙으로부터 다른 것으로 전송하기 위해 일어난다. 매우 바람직하게는 코일 및 캐리어 사이의 결합은 자동으로 작동될 수 있고 특히 자동으로 가능 및 블능으로 될 수 있다.
다른 매우 바람직한 실시예에서, 다른 상황들에서, 특히 종래에 트랙을 따라 움직여질 때, 캐리어는 코일들에 관하여 움직인다.
다른 매우 바람직한 실시예에서, 코일들의 적어도 일부는 고정적으로 정렬된다. 특히, 종단 섹션들에서 코일들과 다른 코일들은 항상 고정적이다. 다른 바람직한 실시예에서, 캐리어는 다른 트랙으로 전송 동안 코일에 관하여 정지된다(특히 코일 장치는 이러한 상황에서 캐리어에 결합되기 때문에).
예를 들면, 단일의 물리적 코일은 특정 트랙의 단부와 다른 트랙의 시작 사이에 전송될 수 있다는 것이 가능하다. 또한, 단일의 물리적 코일은 두 개의 다른 트랙들의 단부 내지 다른 트랙의 시작 사이에 전송될 수 있다. 이는 특정 트랙(1)의 시작이 코일이 없거나 또는 두 개의 물리적 상이한 코일들로 구성된다는 것을 의미한다.
또한, 두 개의 코일들의 물리적 세트는 트랙(2)의 시작과 다른 트랙(3)의 시작 사이에 전송될 수 있는 것이 가능하다. 캐리어가 예를 들면, 다른 트랙으로 움직이는 코일들 위에 있는 경우, 캐리어는 그의 트랙으로부터 제거되고 또한 새로운 트랙에 추가될 것이다. 캐리어는 바람직하게는 새로운 트랙으로 움직이는 동안 잠금을 유지할 것이다. 캐리어 ID는 바람직하게는 캐리어에 속하고 시스템에서 다른 캐리어에 할당되지 않을 수 있다. 코일이 다른 트랙에 추가될 때, 캐리어는 새로운 트랙의 위치 규정에 맞출 수 있다.
따라서, 바람직하게는 적어도 하나의 캐리어는 식별을 포함한다. 이러한 식별은 바람직하게는 이러한 캐리어를 정확하게 규정한다. 상기에 언급된 바와 같이, 이러한 ID는 바람직하게는 변경되지 않거나 다른 캐리어에 할당되지 않을 수 있다.
다른 바람직한 실시예에서, 적어도 하나의 코일 장치 및/또는 적어도 하나의 캐리어는 장치의 적어도 하나의 특징적인 피처를 감지하기 위한 센서 디바이스를 포함한다.
특히 센서 디바이스는 코일 장치에 정렬된다. 이러한 특징적인 피처는, 예를 들면, 트랙에 관하여 코일 및/또는 캐리어의 위치일 수 있다. 또한 다른 물리적 파라미터들은 예를 들면, 트랙에 관하여 캐리어의 속도, 두 개의 캐리어들 사이의 거리, 등으로서 평가될 수 있다.
또한, 특징적인 피처는 트랙에 관한 코일의 위치 및/또는 캐리어에 관한 코일의 위치일 수 있다.
다른 바람직한 실시예에서, 트랙 레이아웃은 트랙이 활성이거나 유휴 상태에 있을 때에만 변경할 수 있다. 코일이 다수의 캐리어들 또는 하나의 캐리어의 일 부분을 검출할 때, 코일의 제거가 가능하지 않다. 코일이 제거될 때, 캐리어는 바람직하게는 정지된다. 코일이 트랙에 추가되고 코일이 에러 상태인 경우, 코일이 추가되는 트랙은 바람직하게는 에러 또는 치명적인 에러 상태가 된다.
다른 실시예에서, 캐리어의 위치의 조정을 또한 허용하는 메모리 디바이스가 개시된다. 따라서, 조정 테이블은 각각의 캐리어에 대해 사용될 수 있다. 이러한 테이블은 캐리어의 자기 플레이트의 자석들의 부정확성을 위해 위치 조정을 포함할 수 있다. 이는 캐리어들의 위치 정확성을 개선하는 것을 돕고 또한 속도 리플을 감소시킨다.
다른 바람직한 실시예에서, 동일한 트랙 시작 및/또는 트랙 종료, 그러나 바람직하게는 동일한 시간이 아닌 두 개의 물리적 상이한 코일들을 추가 및/또는 제거하는 것이 또한 가능하다.
또한 바람직하게는, 적어도 두 개의 코일들을 트랙 시작 또는 트랙 종료로부터 다른 트랙 시작으로 다른 트랙 종료로의 세트로서 움직이는 것이 가능하다.
다른 바람직한 실시예에서, 단지 하나의 캐리어는 일 세트의 코일들상에 허용되고 세트는 바람직하게는 그 자신의 센서 디바이스들 특히 홀 센서들을 포함한다. 따라서, 바람직하게는 하나보다 많은 캐리어에 대해 공유된 센서들이 없다. 또한, 특히 코일당 두 개의 센서들을 포함하는 예를 들면 두 개의 코일들보다 더 긴 캐리어들이 제공될 수 있다.
다른 바람직한 실시예에서, 캐리어들로부터 적어도 하나의 트랙의 특정 영역을 자유롭게 하는 것이 가능하다. 이러한 움직임은, 속도 모드에서 바람직하게 행해질 것이고(캐리어들은 그들의 홈 위치에 있지 않다) 트랙의 이러한 영역 내 센서들이 임의의 더 많은 캐리어를 검출하지 않을 때까지 바람직하게 정지할 것이다.
다른 애플리케이션에서, 두 개의 캐리어들의 자석 플레이트들이 서로를 향하여 배치되는 것이 발생할 수 있다. 애플리케이션이 단지 하나의 캐리어를 움직이기를 원하는 경우(특히, 상기 캐리어 아래의 코일을 사용함으로써), 다른 캐리어는 그의 장소에 유지될 것이다.
따라서, 트랙의 요청된 영역 내 캐리어들은 속도 루프에서 움직일 것이고 요청된 영역 밖의 캐리어들은 고정되는 것이 바람직하다. 따라서, 트랙의 단지 하나의 영역이 동일한 시간에 하나의 트랙상에 활성일 수 있는 것이 바람직하다.
본 발명은 또한 피스 제품들을 전송하기 위한 방법에 대한 것이고, 피스 제품들은 제 1 전송 트랙을 따라 제 1 캐리어에 의해 제 2 전송 트랙을 따라 제 2 캐리어에 의해 전송되고, 전송 트랙에 관하여 캐리어들을 움직이기 위해, 코일 장치들이 제공된다.
본 발명에 따라, 적어도 때때로 코일 장치가 특히 적어도 하나의 캐리어와 함께 하나의 트랙으로부터 다른 트랙으로 변위된다.
다른 바람직한 실시예에서, 두 개 이상의 트랙들에 관하여 움직여질 수 있는 복수의 캐리어가 제공된다. 다른 바람직한 실시예에서, 캐리어는 적어도 때때로 코일 장치에 결합된다. 특히 캐리어는 코일 장치에 결합되고, 동시에 코일 장치는 하나의 트랙으로부터 다른 트랙으로 변위된다.
다른 바람직한 실시예에서, 변위 방향은 바람직하게는 전송 방향과 상이하고, 특히 변위 방향은 전송 방향에 수직일 수 있다.
다른 바람직한 실시예에서, 캐리어들은 트랙들의 종료 섹션들 사이에 변위된다.
다른 바람직한 실시예에서, 장치는 적어도 세 개의 전송 트랙들을 포함한다. 특히, 적어도 하나의 캐리어는 그들 세 개의 전송 트랙들 중 적어도 두 개에 관하여 전송될 수 있다. 다른 실시예에서, 적어도 두 개의 전송 트랙들은 그들의 전송 방향에서 서로 교차한다. 이는, 두 개의 전송 트랙들의 전송 방향에 수직으로 연장하는 기하학적 영역에서, 두 개의 전송 트랙들이 존재한다는 것을 의미한다. 이러한 영역에서 캐리어들은 하나의 전송 트랙으로부터 다른 것으로 변위될 수 있다.
본 발명의 다른 이점들 또는 실시예들은 첨부된 도면들로부터 명백해질 것이다.
본 발명은 전성 시스템에서 코일들의 움직임들을 용이하게 하고, 특히 가동 코일들의 조작을 용이하게 하는 방법 및 장치들을 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 제 1 장치를 도시하는 도면.
도 2는 캐리어들을 움직이기 위한 다른 장치를 도시하는 도면.
도 3은 본 발명에 기초되는 원리의 개략도.
도 1은 본 발명이 적용되는 전송 장치를 도시한다. 이러한 전송 장치는 여기서, 캐리어들이 여기서 수평 방향으로 전송될 수 있는 세 개의 전송 트랙들(2, 4, 6)을 포함한다. 이들 전송 트랙들은 여기서 서로에 평행하다. 참조 번호(30)는 피스 제품들, 여기서 웨이퍼들을 처리하기 위한 프로세스 챔버를 지시한다.
장치는 두 개의 부하 위치들을 포함하고, 도면에서, 제 1 부하 위치에서, 셔틀(20a)은 그 순간에 정렬되고, 제 2 부하 위치에서 다른 셔틀(20b)은 그 순간에 정렬된다. 캐리어들(12)은 두 개의 트랙들(2, 6)에 의해 프로세스 챔버들(30)로 전송되고 트랙(4)을 통해 다시 리턴된다. 각각의 트랙들(2, 4, 6)의 두 개의 측면들상에, 트랙들(2, 6)로부터 트랙(4)으로 캐리어들을 변위시키는 역할을 하는 두 개의 수직 트랙들(32, 34)이 정렬된다. 이러한 목적을 위해, 두 개의 셔틀들(20c, 20d)이 제공된다.
셔틀들(20a 내지 20d)의 각각에 대하여, 코일 장치가 장착된다. 캐리어(12)를 트랙(2)으로부터 트랙(4)으로 움직이기 위해, 각각의 셔틀(예를 들면, 20c)은 그에 결합된 코일(22)과 함께 움직여진다. 따라서, 셔틀들(20a 내지 20d)에 결합된 코일들은 세 개의 전송 트랙들(2, 4, 6) 중 두 개에 각각 속할 수 있다. 코일(42)은 셔틀(20d)에 결합된다. 코일들(26, 36, 46)은 각각 전송 트랙들(4, 6, 8)의 일 부분인 고정된 코일들이다.
도 2는 본 발명에 따라 다른 전송 장치(1)를 도시한다. 여기서 네 개의 전송 트랙들(2, 4, 6, 8)(또한 트랙0, 트랙1, 트랙2 및 트랙3으로 언급됨)이 제공된다. 캐리어들(12)은 트랙들의 각각상에 전송될 수 있다.
모든 네 개의 전송 트랙들(2, 4, 6, 8)은 영역(A)에서 그들의 수평 방향으로 교차한다는 것을 볼 수 있다. 따라서, 이러한 영역은 네 개의 전송 트랙들의 종료 또는 시작 섹션들 각각을 표시한다. 참조 번호들(26, 36, 46)은 고정적으로 정렬되는 코일 장치들을 말하고, 항상 일 특정한 전송 트랙의 부분이다. 반대로, 코일 장치들(22, 24)은 적어도 두 개의 전송 트랙들 간에 움직여질 수 있다. 도면에서, 코일 장치들(22)은 화살표(P1)에 의해 도시된 바와 같이 전송 트랙(2)으로부터 전송 트랙(4)으로 움직여질 수 있고 그 반대일 수 있다. 영역(B)에서, 단지 두 개의 트랙들(4, 6)은 수평 방향으로 교차한다. 따라서, 영역(A)는 또한 트랙들(4, 6)의 시작 섹션이고, 영역(B)은 이들 두 개의 트랙들(4, 6)에 대한 종료 섹션이다.
코일 장치들(42, 44)은 전송 트랙(6, 8) 사이에 움직여질 수 있고(화살표(P2)) 코일 장치들(23, 25)은 전송 트랙들(4, 6) 사이에 움직여질 수 있다(화살표(P3)).
도 3은 본 발명에 따라 다른 전송 장치(1)를 도시한다. 여기서, 영역(A)에서 교차하는 세 개의 수평 트랙들(2, 4, 6, 8)이 제공된다. 따라서, 이러한 영역(A)에서, 또한 네 개의 전송 트랙들(2, 4, 6, 8)의 시작 또는 종료 섹션들(2a, 4a, 6a, 8a)이 제공된다. 참조 기호(26, 36, 46)는 또한 고정이고 하나의 트랙에만 속하는 코일 장치들을 지시한다. 반대로, 코일 장치들(22, 42)은 두 개의 트랙들 사이에 각각 움직여질 수 있다.
1 : 전송 장치 2, 4, 6, 8 : 전송 트랙
2a, 4a, 6a, 8a : 전송 트랙들의 종단부들
12 : 캐리어 20a 내지 20d : 셔틀들
22, 23, 24 : 트랙들 사이에 움직일 수 있는 코일 장치들
25, 42, 44, 26 : 고정 코일 장치(하나의 전송 트랙에만 속합)
30 : 프로세스 챔버 32, 34 : 수직 트랙들
A, B : 영역들 P1 내지 P3 : 화살표들

Claims (11)

  1. 제 1 전송 트랙(2), 상기 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 움직일 수 있는 제 1 캐리어(12), 제 2 전송 트랙(4), 및 바람직하게는 상기 제 2 전송 트랙(4)에 관하여 움직일 수 있는 제 2 캐리어(14)를 갖고 피스 제품들을 전송하기 위한 전송 장치(1)로서, 상기 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 상기 제 1 캐리어(12)를 움직이기 위한 적어도 하나의 제 1 코일 장치(22, 24, 26) 및 상기 제 2 전송 트랙(4)에 관하여 상기 제 2 캐리어(14)를 움직이기 위한 적어도 하나의 제 2 코일 장치(42, 44, 46)를 추가로 포함하는, 상기 전송 장치(1)에 있어서,
    적어도 하나의 코일 장치(22, 42)는 적어도 때때로 상기 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 상기 제 1 캐리어(12)를 움직이고 적어도 때때로 상기 제 2 전송 트랙에 관하여 상기 제 2 캐리어(14)를 움직이기 위해 제공되는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 코일 장치(22, 42)는 상기 제 1 전송 트랙(2)에 관하여 상기 제 1 캐리어(12)를 움직이거나 또는 상기 제 2 전송 트랙(4)에 관하여 상기 제 2 캐리어(14)를 움직이기 위해 제공되는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    적어도 하나의 코일 장치(22, 42)는 상기 제 1 전송 트랙(2)과 상기 제 2 전송 트랙(4) 사이에 변위 가능한 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 코일 장치(22, 42)는 하나의 트랙(2)의 적어도 하나의 종료 섹션 내지 다른 트랙의 일 섹션 사이에 변위 가능한 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 코일 장치(22, 42)는 적어도 하나, 바람직하게는 적어도 두 개의 코일들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 트랙(2)의 적어도 하나의 섹션은 상기 섹션 트랙(4)의 적어도 하나의 섹션에 인접하게 정렬되는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 트랙(2)의 하나의 섹션은 적어도 때때로 코일 장치를 수용하기 위한 수용 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 때때로 캐리어를 코일 장치에 결합하는 결합 메커니즘이 제공되는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 캐리어는 식별을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 코일 장치 및/또는 적어도 하나의 캐리어는 상기 장치의 적어도 하나의 특징적인 피처를 감지하기 위한 센서 디바이스를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전송 장치.
  11. 피스 제품들을 전송하기 위한 방법으로서, 상기 피스 제품들은 제 1 전송 트랙(2)을 따라 제 1 캐리어(12)에 의해 및 제 2 전송 트랙(4)을 따라 제 2 캐리어(14)에 의해 전송되고, 상기 전송 트랙(2, 4)에 관하여 캐리어들을 움직이기 위해, 코일 장치들(22, 42)이 제공되는, 상기 피스 제품들을 전송하기 위한 방법에 있어서,
    적어도 때때로 상기 코일 장치가 하나의 트랙(2, 4)으로부터 적어도 하나의 캐리어(12, 14)와 함께 다른 트랙(4, 2)으로 변위되는 것을 특징으로 하는, 피스 제품들을 전송하기 위한 방법.
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