JP4554825B2 - 焦点調整装置 - Google Patents
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Description
発明の属する技術分野
本発明は、特にレーザ装置用であり、一平面内で移動可能な担体上に配置された球状反射面を有する焦点調整鏡を備えた焦点調整装置に関する。
【0002】
従来の技術
このような焦点調整装置は、レーザ装置に使用されることがしばしばあり、正確な焦点調節のために各焦点調整鏡の精密な調節が必要である。従来の焦点調整装置において、スライド又はころ軸受を備えた移動テーブル(並進又は計測テーブル)が焦点調整鏡用担体として使用されている。これらの構造用のコストは極端に高く、常に存在する軸受のクリアランスにより要素の剛性が低減されてしまう。
【0003】
したがって、本発明の目的は、簡単で安定した構成で利する、簡単に製造することのできる、最初に規定されたタイプの焦点調整装置を提供することである。
【0004】
発明の概要
最初に規定されたタイプの本発明の焦点調整装置は、前記移動可能な担体は、上から見て少なくともほぼZ形状である揺動部材からなり、前記揺動部材は、横断アームへその両方の端部において関節接合されている揺動長手アームを有し、前記長手アームは、前記焦点調整鏡を担持し、前記横断アームは、前記担体の移動する前記平面に直角な回動軸線周りで回動できるように配置され、前記焦点調整鏡の前記球状反射面の湾曲の中心は、前記平面に直角でありかつ前記長手アームの幾何学的中心を通って延びている軸線のほぼ上にあることを特徴としている。
【0005】
この焦点調整装置では、上から見た時に揺動長手アームの中心が、焦点調整鏡の球状反射面によって描かれる円の中心と一致するように寸法決められかつ配置されたZ形状揺動部材が設けられている。Z形状揺動部材が移動する場合、揺動部材はその幾何学的中心を通って延びている軸線周りで回転し、その結果、焦点整鏡が対応して回転する。しかしながら、この焦点調整鏡が湾曲の中心回りで回転し、すなわち、焦点調整鏡が「反射面に沿って回転」し、このような回転によって焦点合わせされたビームを偏向させない。それゆえ、焦点合わせされたビームは、所定の直線に沿って延び続け、焦点は単にこの直線に沿って移動する。好ましくは、前記焦点調整鏡の焦点が線に沿って移動し、前記焦点調整鏡の反射面の湾曲の中心は、入射ビームと、前記線との間の中線上にある。
【0006】
本発明による焦点調整装置は、有利的には、特にレーザ共振器などのレーザ装置、例えば、国際出願第98/10494号に記載されたタイプのレーザ装置を用いて使用される。特に、本発明は、Herwig W. Kogelnik, Erich P. Ippen, Andrew Dienes, Charles Shankの1972年3月Journal of Quantum Electronics, QE-8, 第3号の「連続発振色素レーザ用の非点収差の補償されるキャビティ」に記載の非点収差補償レーザ共振器に使用することができる。このようなレーザ共振装置では、レーザ媒体、すなわち、特にチタンサファイヤレーザ水晶などのレーザ水晶が、レーザビームに関するブルースター角で、平面に平行な板の形態で配置されている。レーザビームは、焦点調整鏡によりレーザ媒体内で焦点合わせされる。しかしながら、ブルースター角で配置されたレーザ媒体内で焦点合わせすることによって非点収差がもたらされ、この非点収差は焦点調整鏡を傾斜させることによって補償される。
【0007】
しかしながら、基本的に、本焦点調整装置は、任意の装置内できわめて一般に使用することができ、光ビーム又はレーザビームそれぞれが凹面鏡によって焦点合わせされ、焦点は正確に調節されなければならない。
【0008】
担体及び軸受の構成については、例えば、(揺動部材の長手アームとしての)ブロックと、(「関節接合された」横断アームとしての)平坦な鋼ばねとを備えた構成の一態様が考えられる。また、強固な横断アームは長手アームに関節接続され、長手アームと反対の端部において回動可能に取り付けられている実施例が考えられる。簡単な製造のため、Z形状揺動部材の長手アームと反対の横断アームの端部は、一体ヒンジとして、薄い材料領域を介して基担体へ接続されていると有利である。この場合、基担体は、好ましくは、板状の構成である。
【0009】
同様に、前記Z形状揺動部材の横断アームは、一体ヒンジとして、薄い材料領域を介して前記長手アームへ接続されていると適切である。
【0010】
本焦点調整装置では、好ましくは、Melles Griotによるカタログの368頁及び369頁中の語「撓曲装置」に記載されているように、弾性変形可能な軸受要素を介して取り付けられている担体を用いた公知の技術を参照する。公知の装置によれば、担体は、軸受部分を弾性変形させることによって調節され、この結果、この用途には望ましくない平行な偏倚が生じる。このような平行な偏倚を避けるために、非常に複雑であるが「複合撓曲装置」と呼ばれる構造が提案されている。柔軟な取付物を備えたこの装置と比較して、このZ形状揺動部材はかなり製造が簡単であり、さらに、操作時により安定している。
【0011】
求められている大量生産のために、(クレーム6:参照番号なし)がさらに適切である。製造は、(例えば約20mmの厚さの)比較的に薄い開始板から開始し、開口用の各溝が、(例えば約15mmの)板の厚さの一部分にわたって例えばフライス削りで加えられる。次に、(例えば約5mmの)残りの厚さは、研削によって除去され、Z形状揺動部材を有する基担体を形成している板が、約15mmの厚さで形成される。溝又は開口それぞれを加えるために、当然、スパークエロージョン又はウォータートーチ切断などの他の手順を使用することもできる。
【0012】
一体ヒンジを形成する薄い材料領域又は材料ウェブは、約0.3mm〜0.5mmの厚さ、特に約0.4mmの厚さである。このような寸法により、薄い材料領域が破断することなくZ形状揺動部材の所望の弾性可動性が保証されている。驚くべきことに、より厚い材料ウェブがこのような約十分の数mmの厚さの薄い材料よりも容易に破断するということが示されている。
【0013】
一方で、要求される弾性変形能力を得るために、他方で、望まれる安定性を得るために、板状基担体とZ形状揺動部材はアルミニウム製又はアルミニウムマグネシウム合金製であることが適切である。
【0014】
より便利にも、Z形状揺動部材の外で、特に焦点合わせされる構成要素などの焦点調整装置の他の構成要素を収容する空間を提供すると、Z形状揺動部材の長手アームは上から見るとクランク形状であることが適切である。
【0015】
前述のように、本発明はレーザ装置で有利的に使用され、したがって、特に有利な用途では、例えばレーザ水晶などのレーザ媒体は、Z形状揺動部材の外部で、焦点調整鏡の焦点に配置されている。この例では、Z形状揺動部材はレーザ共振器の焦点調整鏡の一つを担持している。
【0016】
以下において、本発明は、添付図面に示されている特に好適な実施例でより詳細に説明されている。しかしながら、本発明はこの好適な実施例に限定されない。
【0017】
発明の実施の形態
図1には、レーザ装置1が略図的に示されている。ポンプビーム2がレンズ3を介してXに折り曲げられたレーザ共振器4に送られる。語「Xに折り曲げられた」は、端の反射鏡M3及びOCにそれぞれ向けられている二つのレーザビームアームd1、d2が互いに交差し、「X」を形成しているという事実に由来する。
【0018】
さらに、レーザ共振器4は二つのレーザ反射鏡M1、M2で構成され、チタンサファイヤ水晶5がこれら反射鏡M1とM2の間においてレーザ媒質として配置されている。この水晶は、面平行体、すなわち、平行六面体であり、例えば、光学的に非線形であり、カー要素を形成する。このレーザ水晶5は、損失を最小にするようにいわゆるブルースター角度で配置されており、レーザビームは、このレーザ水晶5内で焦点合わせされる。このブルースター角度で配置されたレーザ水晶5内での焦点合わせによって、非点収差がもたらされるが、これは、焦点調整鏡M1、M2を傾斜することによって補償される(角度β1及びβ2参照)。
【0019】
二つの焦点調整鏡の中の一つの焦点調整鏡M2は固定され、その一方で、他方の焦点調整鏡M1は、図1中の双頭矢印6で示されているように、レーザ水晶5中で焦点を調節するように正確に調節される。なお、レンズ3と共に、レーザ水晶5は、図1中のさらなる双頭矢印7、8で示されているように、取り付けコースにおいて直線的に移動させられる。これらの移動は、図3〜5においてより詳細に説明されている。
【0020】
図2には、Zに折り曲げられた四つのレーザ共振器が同様に略図的に示されており、レーザビームアームd2は、上方に偏向させられ、レーザビームアームd1は下方に偏向させられる。これら二つのビームアームd1、d2は、二つのレーザ鏡M1、M2を接続した「Z」を形成する。
【0021】
また、図2によるレーザ装置の構造的な要素は図1のレーザ装置の構造的な要素に対応し、同じ参照番号が使用されており、さらなる説明を要しない。
【0022】
図1及び2で説明されるレーザ共振器4は、前述の焦点調整装置の使用の例として理解されうる。本焦点調整装置は、焦点調整のために使用される球状凹面鏡を調整する時と同様に、例えば三つの鏡共振器、又は(五つ以上の鏡を有する)複数の鏡共振器において使用されうる。
【0023】
レーザ水晶5において焦点調整鏡M1の焦点を正確に調節することができ、安定したレーザの活動のためにレーザ共振器4の安定領域を見出すために、この焦点調整鏡M1とレーザ水晶5の間のレーザビームの経路は、局地的に移動しないように、焦点調整鏡M1が移動しなければならない。このレーザビームの経路は図1及び2において9で与えられる。このレーザビームの方向を維持するために、複雑な移動テーブルが焦点調整鏡M1用担体として過去に使用されていた。この複雑な移動テーブルの代りに、図3〜5から明らかなように、上から見てほぼZ形状揺動部材10がここで使用され、揺動部材10は、特定の方法で以下により詳細に記載されているように配置及び寸法決めされており、長手方向に移動する間に回転しても、ビーム9の所定の方向を維持し、焦点調整鏡M1を移動させることによって焦点F(図5参照)を単に移動させている。
【0024】
Z形状揺動部材10は、例えば図1によるレーザ装置全体を装着する機能を有する板状基担体11から浮き彫りにされる。したがって、図3中、レンズ3、二つのレーザ鏡M2及びM1、二つの端の鏡M3及びOC、及びレーザ水晶5が基担体11に取り付けられている。このように、図1によって以前に説明した、Xに折り曲げられた四つの鏡を有するレーザ共振器4が形成されている。
【0025】
レーザ水晶5を備えた支持部材を双頭矢印7に従って移動させるように、調節軸12が設けられており、調節軸12は基板11上の固定軸受13に支持されており、平行に移動可能な担持要素14と係合する。担持要素14は、Z形状揺動部材10と同様に基担体11から浮き彫りにされ、図3中に略図的に15で示されているように上から見てほぼU字形状である。同様に、調節軸16がレンズ3用担持要素17及び18において係合し、レンズ3を双頭矢印8に従って平行に移動させることができる。
【0026】
これらの形状及び配置に関しては、Z形状揺動部材10と同様に、二つの担持要素14、17は、図4の上面図からより明確に見える。
【0027】
Z形状揺動部材10を得るために、二つのスロット形状の開口19、20が設けられており、開口19、20の形状が図4に示されている。薄い材料領域又はウェブ21、22及び23、24それぞれがこれら開口19と開口20の間に形成され、図面の平面に直角なヒンジ軸を有する一体のヒンジを形成する。一方の材料領域21、22は、Z形状揺動部材10の二つの外側横断アーム25、26を残りの平面形状の基担体11に接続し、その一方で、他方の材料領域23、24の各々は、横断アーム25、26の一方をZ形状揺動部材10の中央の揺動長手アーム27と接続する。
【0028】
同様に、担持要素14、17はスロット形状開口28、29及び30、31それぞれによって形成され、薄い材料ウェブは、同様に、32、33、34、35及び36、37、38、39それぞれにおいて形成され、一体のヒンジを形成する。このように、これら担持要素14、17は、図1〜3において、双頭矢印7及び8の方向に軸12及び16によってそれぞれに調節でき、軸12及び16に横断したわずかな偏倚が発生するが、この偏倚は本用途の場合には問題ない。
【0029】
しかしながら、重要なことは、焦点調整鏡M1はZ形状揺動部材10によって移動させることができ、その焦点F又はF´それぞれが、図5中の点線に示されている同じ線40上で、例えば量Δの移動中に移動することである。図5において、直線で略図的に示されているZ形状揺動部材10の開始位置は実線で示されており、開始位置に対して移動した位置は破線で10´において示されている。
【0030】
図3を参照すると、調節のために、調節軸41は、42において焦点調整鏡M1用支持手段と係合する基板11に適切に取り付けられている。
【0031】
図5には、球状反射面43を有する焦点調整鏡M1の円曲線44が示されている。図5の上面図において、焦点調整鏡M1の球状反射面43の曲線の中心M、すなわち、円44の中心は、Z形状揺動部材10の長手アーム27の中心(回動軸線)と一致し(又は、より正確には、軸線が図5の図の平面に直角にこの中心まで延びている)、円44の中心Mは、入射ビームd1と、焦点Fがそれに沿って移動する線40との間の中線46上にあるということがわかる。
【0032】
中心Mの一致は重要である。というのは、Z形状揺動部材10の移動中において、揺動部材10の長手アーム27が例えば、図5において右に移動し、かつ同時に移動している真中の軸線Mの周りで回動した時に、焦点調整鏡M1が長手方向移動及び回転で移動するが、焦点調整鏡M1が長手方向に移動した中心M回りで回転するので、この焦点調整鏡M1の回りの回転により、焦点合わせされるレーザビームに有害な影響をもたらさず、d1及び9それぞれを参照すると、反射面43の球形状により、焦点F又はF´それぞれは図1及び2中のレーザビーム経路9に対応する前記線40上にあるままであることが実現されるからである。この例ではレーザ水晶5で焦点合わせされる構成部分がこの焦点F又はF´に配置され、レーザの安定領域を調節するために移動量Δに対応する焦点F又はF´それぞれをレーザ水晶5の所定の位置に正確に調節することができ、又はレーザ鏡M1、M2の間の距離をそれぞれ変更できるということがわかる。
【0033】
図5からわかるように、この調節において、レーザビームアームd1は、図5中のd1´を参照すると、長手方向コースに平行に幾分偏倚しており、このレーザビームの平行な偏倚にかかわらず、付随した端の鏡M3は、単に自身にレーザビームd1を反射することができるほど大きくなければならない平面鏡であるので、この平行な偏倚は問題とならない。
【0034】
レーザ装置の構成の態様が図3に見られ、種々の構成要素が基担体11上に配置され、調節可能な焦点調整鏡M1がこの基担体11から浮き彫りにされているZ形状揺動部材10上に配置されており、極端に小型で安定しかつ強固な配置が得られ、この担体の形状は大量生産にも適している。板状の基担体11は、アルミニウム又はアルミニウムマグネシウム合金製であり、約15mmの厚さである。基担体11は、生産時には例えば20mmの厚さを有する適切な金属板で開始し、種々の開口19、20、28、29、30、31に対応した約15mmの深さの溝が特にフライス削りで形成される。次に、この例では5mmである板の残りの厚さは研削によって除去され、基担体11には厚さ全体を通して通過する開口が形成される。これにより、残りの薄い材料領域の弾性変形の下で担持要素14、17又はZ形状揺動部材10それぞれの可動性が保証される。
【0035】
当然、以前に説明した配置及び方向からの特定の偏差については、例えば、Z形状揺動部材10の長手アーム27の中心を通って延びている軸線から反射面43の曲線の中心Mのわずかな偏差であれば許容できる。さらに、二つの横断アーム25、26は、長さが互いに幾分異なってもよい。図5の略図に示されているように、Z形状揺動部材10の長手アーム27は直線である必要がなく、図4中の45において明らかであるように、クランク状に曲げられてもよい。このように、焦点調整鏡M1と焦点調整鏡M2の間の焦点合わせされたレーザビーム9の経路内にレーザ水晶5を配置することはより容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 いわゆるXに折り曲げられた四つの鏡のレーザ共振器の略図である。
【図2】 いわゆるZに折り曲げられた四つの鏡のレーザ共振器の同様な略図である。
【図3】 図1によるXに折り曲げられたレーザ共振器の構成要素を備えた板状基担体の上面図であり、焦点調整鏡の一つは、基担体内で一体にされ、かつ基担体内で移動可能に取り付けられ、かつ上から見てZ形状の揺動部材上に取り付けられている。
【図4】 レーザ装置の構成要素なしのZ形状揺動部材を備えた図3の基板の上面図である。
【図5】 Z形状揺動部材の略図であり、移動したときの動作の態様を示し、移動した位置を破線で示している。
Claims (15)
- 一つの平面内で移動可能な担体上に配置されかつ球状反射面を有する焦点調整鏡(M1)を備えた焦点調整装置において、
前記移動可能な担体は、上から見て少なくともほぼZ形状である揺動部材(10)からなり、前記揺動部材は、横断アーム(25、26)へその両方の端部において関節接合されている揺動長手アーム(27)を有し、前記長手アームは、前記焦点調整鏡(M1)を担持し、前記横断アーム(25、26)は、前記担体の移動する前記平面に直角な回動軸線周りで回動できるように配置され、前記焦点調整鏡(M1)の前記球状反射面(43)の湾曲の中心(M)は、前記平面に直角でありかつ前記長手アーム(27)の幾何学的中心を通って延びている軸線のほぼ上にあることを特徴とする焦点調整装置。 - 前記焦点調整鏡(M1)の焦点(F)が線(40)に沿って移動し、前記焦点調整鏡(M1)の反射面(43)の湾曲の中心(M)は、入射ビーム(d1)と、前記線(40)との間の中線(46)上にあることを特徴とする請求項1に記載の焦点調整装置。
- 前記Z形状揺動部材(10)の前記横断アーム(25、26)の端部は、一体ヒンジとして、薄い材料領域(21、22)を介して基担体(11)へ接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の焦点調整装置。
- 前記基担体(11)は板状部分を有することを特徴とする請求項3に記載の焦点調整装置。
- 前記Z形状揺動部材(10)の横断アーム(25、26)は、一体ヒンジとして、薄い材料領域(23、24)を介して前記長手アーム(27)へ接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記Z形状揺動部材(10)の横断アーム(25、26)は、一体ヒンジとして、薄い材料領域(23、24)を介して前記長手アーム(27)へ接続されており、前記Z形状揺動部材(10)は、開口(19、20)を設けることによって、前記板状基担体(11)から分離され、その一方で、前記薄い材料領域(21、22、23、24)を形成することを特徴とする請求項4に記載の焦点調整装置。
- 前記板状基担体(11)と前記Z形状揺動部材(10)は約15mmの厚さであることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記薄い材料領域(21、22、23、24)は約0.3〜0.5mmの厚さであることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記薄い材料領域(21、22、23、24)は約0.4mmの厚さであることを特徴とする請求項3〜8のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記板状基担体(11)と前記Z形状揺動部材(10)はアルミニウム製であることを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記板状基担体(11)と前記Z形状揺動部材(10)はアルミニウムマグネシウム合金製であることを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記Z形状揺動部材(10)の長手アーム(27)は上から見てクランク形状であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 例えばレーザ水晶(5)などのレーザ媒体は、前記Z形状揺動部材(10)の外部で、前記焦点調整鏡(M1)の焦点(F)に配置されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の焦点調整装置。
- 前記Z形状揺動部材(10)は、レーザ共振器(4)の焦点調整鏡の一つ(M1)を担持していることを特徴とする請求項13に記載の焦点調整装置。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の焦点調整装置を備えたレーザ装置(1)。
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