JP3461848B2 - 波長可変型レーザ装置 - Google Patents
波長可変型レーザ装置Info
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Description
に用いられる波長可変型レーザ装置に係り、特に広い波
長範囲でシングルモード状態を維持してレーザ光の波長
走査ができる波長可変型レーザ装置に関する。
研究、材料開発から医学、物理学、化学の研究に広く応
用されており、このレーザ分光分析装置に用いられるレ
ーザ光源として、Liu 氏とLittman 氏の発明に係る、い
わゆるリットマン型色素レーザ装置が知られている。
に示すように、回転鏡1、回折格子2および全反射鏡3
からレーザ共振器4を構成し、このレーザ共振器4の回
折格子2と全反射鏡3の間に色素セル5が設置される。
転鏡1の反射面が作る平面と、回折格子2の表面が作る
平面と、全反射鏡3の反射面が作る平面が正確に1軸に
交わるように微調整を行なう必要がある。この軸を回転
軸6という。
にYAGレーザや銅蒸気レーザ、エキシマレーザ等から
強力な励起光(通常はパルス状のレーザ光)を照射させ
ると、照射された励起光が色素セル5内の色素を励起さ
せ、回転鏡1と回折格子2を介した全反射鏡3とのレー
ザ共振器4間で光共振させ、シングルモード発振のレー
ザ光が得られる。
て、回転鏡1を回転軸6を回転中心として回転させる
と、レーザ共振器4の共振器長L(Lf +Lt )および
回折格子2への回転鏡1側からの入射角が同時に変化す
るが、この変化条件がレーザ波長の半波長の整数倍であ
るとき、シングルモード状態を崩さずに発振レーザ光の
波長を走査できることが知られている。
レーザ装置において、回転鏡1の反射面が作る平面と回
折格子2の表面が作る平面と、全反射鏡3の反射面が作
る平面を1軸に正確に交わらせ、この軸を回転軸6とす
ることは、色素レーザ装置の各光学素子に非常に高精度
の機械的加工精度が要求される一方、色素レーザ装置の
アライメント軸調整のための微調整が非常に困難であ
り、レーザ発振の調整に多大な労力と時間が必要であっ
た。
労力をかけて3平面を1軸に交差させ、シングルモード
のレーザ発振を達成しても、回転軸6廻りに回転鏡3を
回転させてレーザ発振波長を走査しようとすると、少し
の回転操作で軸ずれが生じ、シングルモードのレーザ発
振が停止してしまい、広い波長域に渡ってレーザ光の波
長可変走査を行なうことが不可能であった。従来の色素
レーザ装置では、シングルモードで波長可変走査できる
レーザ光の波長域は30cm-1程度であった。
もので、その目的は回転鏡や全反射鏡、回折格子がそれ
ぞれ作る平面を1軸に交差させる必要がなく、アライメ
ント軸調整が容易で、しかも広い波長範囲に亘ってシン
グルモードでレーザ光の波長走査ができる波長可変型レ
ーザ装置を提供することにある。
レーザ装置は、上述した課題を解決するために、請求項
1に記載したように、回転鏡と全反射鏡とを、回折格子
の高次の回折方向および入射方向に設置する一方、前記
回転鏡を所要の回転軸廻りに回転可能に支持し、前記回
折格子と全反射鏡の間にレーザ媒質を設置した波長可変
型レーザ装置において、前記回折格子の表面が作る面が
前記回転鏡の回転軸中心を通るように設定するととも
に、前記回転鏡と全反射鏡の反射面からの各法線が回折
格子上で交わる点をGとし、全反射鏡の反射面から交点
Gまでの距離をLf、前記回転鏡の回転軸中心から回転
鏡の反射面が作る平面上までの距離をRf、前記回折格
子上の交点Gから回転軸中心までの距離をLpとしたと
き、
のである。
発明の波長可変型レーザ装置は、請求項2に記載したよ
うに、全反射鏡と回折格子を架台上に間隔をおいて設置
し、前記全反射鏡および回折格子に微調整機構をそれぞ
れ設けたり、請求項3に記載したように、レーザ媒質は
色素、広いレーザ発振帯域を有する固体および半導体の
中から選択されるようにしたものである。
子の表面が作る面が回転軸中心を通るように設定すると
ともに、
回転鏡と全反射鏡の調整に大きな自由度を有し、アライ
メント軸調整が極めて容易で、しかも広い波長範囲をシ
ングルモードで波長走査することができる。
一実施例について添付図面を参照して説明する。
成例を示す原理図である。この波長可変型レーザ装置は
図示しない回転ステージ(回転テーブル)上に固定され
た回転鏡10と、上記回転ステージから独立した架台
(図示せず)に固定された回折格子11および全反射鏡
12とからレーザ共振器13が構成される。回転鏡10
と全反射鏡12とは回折格子11の高次の回折方向と入
射方向にそれぞれ設置される一方、回転鏡10は回転軸
15廻りに回転可能に支持される。回折格子11の高次
の回折方向と入射方向は発振されるレーザ光の波長によ
り一義的に定められる。回折格子11と全反射鏡12は
並進機構等の微調整機構16,17により微調整自在に
支持される。
子11と全反射鏡12の間に、レーザ発振作用を有し、
広い波長域で発振可能なレーザ媒質18が設置される。
レーザ媒質18には、DCM、ローダミン6G等の色素
を用いた色素セルや、アレキサンドライトやチタンサフ
ァイヤ等の固体、半導体などがある。
構16により微調整され、回折格子11の表面が作る平
面が回転鏡10の回転軸15中心を通るように調節され
る。また、全反射鏡12は並進機構を兼ねる微調整機構
17により調整される。回折格子11の微調整機構16
は、回転鏡10を回転軸15廻りに回転させることに伴
って、レーザ発振がシングルモードからマルチモードに
変化するのを防止し、レーザ発振をシングルモード化さ
せている。シングルモードになりにくければ、全反射鏡
12を微調整機構(並進機構)17により微調整させて
シングルモード化を図っている。
ードのレーザ発振を行ない、シングルモードのまま波長
可変できる条件を説明する。
回転鏡10の反射面から立てた法線と全反射鏡12の反
射面から立てた法線が回折格子11上で交わる点をG、
回転鏡10の法線の始点をM、全反射鏡12の法線の始
点をNとする。回転鏡10の反射面が作る平面と回折格
子11の表面が作る平面との交わる軸をPとする。そし
て、線分GPとMPから線分GOとMOがずれたずれ角
度<PGO=α、<PMO=βとし、回転角<MOG=
θとする(Liu 氏とLittman 氏の色素レーザ装置でα=
β=0である)。
の法線と全反射鏡12からの入射光がなす角度をx、上
記法線と回転鏡10への回折光がなす角度(回折角度)
をψとする。
面が作る平面へ下した法線の交点をQとし、
法線との交点をM1 とし、GM<GM1 ならば、Rf を
負の値とする。
回転ステージ(テーブル)に固定されているため、Rf
は回転鏡10の固定により一義的に定まり、不変の一定
値に保たれる。このため、点Qは、回転鏡10の回転に
伴い、回転軸15の廻りを|Rf |の半径で回転動作せ
しめられる。
シングルモード発振可能となる条件を検討する。
長λは、回折格子11の回折条件から
とし、三角形MPSと三角形OGSに着目すると、
ド発振の条件から、共振器長Lは次式で表わされる。
ーザ装置がシングルモード発振条件{(N・λ)/2}
を保って波長走査できるレーザ共振器13の長さLの条
件は、
レーザ装置の共振器長Lは、3つの項の寄与で表現され
る。
ーザ装置がシングルモードの波長可変走査を可能とする
項であり、第2項のΔLf および第3項のΔLg は、シ
ングルモードの波長走査をスポイルするミスアライメン
トの項である。
レーザ共振器13の共振器長Lは、波長走査に対して特
定のNをもって半波長に比例した条件を維持することが
可能となり、シングルモード状態を保って波長可変走査
ができることを表わしている。この場合、Nはレーザの
縦モード数となる。
3の初期設定で一義的に決定される値であり、このΔL
f の値は、波長可変走査(回転鏡10の回転操作)とは
独立に設定できる。
ければ、波長走査に対して変化するものとなるが、 cos
ψは(1)式から解るように、波長に比例しないので、
波長走査に対して第1項とは全く異なる振舞をする。
ら、シングルモード波長走査の条件は、(4)式におい
て、第2項および第3項の合計が常に0になること、す
なわち、ΔLf =0、ΔLg =0の条件が成立すること
であり、このためには、
レーザ共振器のアライメント調整条件となる。
型レーザ装置のベストモードの一例を図2に示す。図1
と同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。
整の基本となるもので、回折格子11の表面が作る面は
確実に回転軸15を通らなければならないことを示して
いる。
イメントはさらに自由度があり、回転鏡10および全反
射鏡12の反射面の作る平面は、回転軸15を通る必要
がないことが判明した(但し、Lf +Rf =Lp となる
ように微調整が必要である)。このため、回転鏡10や
全反射鏡12の設置の自由度が大きくなり、また、従来
の波長可変型レーザ装置のように回転鏡10が回転軸心
を通るようにセットしたり、機械加工する必要がないの
で加工精度上の自由度も大きくなる。
は、回折格子11に図1に示すような並進機構を有した
微調整機構16を設け、回転軸15に回折格子11の表
面の作る面を正確に合せるように工夫されている。
して並進機構を設け、共振器長L(Lf+Lt)を微調整
できるようにして(9)式が成立できるように工夫され
ている。なお、光路NGにはレーザ媒質18等の光学素
子が挿入される。このような光学素子は通常、大気の屈
折率(約1.0)より大きな屈折率を有するため、NG
間の光路長はNG間の幾何学的距離Lfに比べて長くな
る。このような場合、(9)式における距離Lfとして
は実質的な光路長をとらなければならない。この光学素
子の挿入による光路長Lfの変化は、全反射鏡12、回
転軸10の一方もしくは両方の位置を微調整機構17を
用いて回折格子11に近付け、補償することにより行な
われる。
て説明する。
は、回転鏡10、回折格子11、全反射鏡12を架台よ
り垂直に直立させて調整する。このための調整として
は、公知の技術であるアライメント用のレーザ光を用い
るのが望ましい。
軸15の中心を通過するように回折格子11の微調整機
構16を用いてアライメント調整(粗調)を行ない、α
=0の条件を満足させる。このアライメント調整も公知
の技術にあるアライメント用レーザ光を用いるのが望ま
しい。
18に励起光Bを入射させる。励起光Bには通常パルス
状レーザ光を用い、YAGレーザの第2高調波レーザや
銅蒸気レーザ、N2 レーザ、エキシマレーザ等を用い
る。レーザ媒質18が半導体レーザの場合、電流を流
し、この通電状態で、レーザが発振するが、必ずしもシ
ングルモード発振はしないので、全反射鏡12を並進機
構等の微調整機構17を用いて微調整し、シングルモー
ド発振させる。
回転鏡10を回転軸15の廻りに極く僅か回転させる。
この回転鏡10の回転に伴ってレーザ発振が、シングル
モードからマルチモードに変化するならば、微調整機構
16を動かし(並進動作が望ましい)、発振をシングル
モード化させる。このとき、シングルモードになりにく
ければ他の並進機構である微調整機構17を協働させて
僅かに調整する。
5の廻りに僅かに動かし、同様の調整を行なう。
子11の表面が作る面は、回転軸15を通りしかも共振
器長Lがシングルモード発振を満足する条件になる。つ
まり、(8)式および(9)式の条件が同時に満足され
る。この状態で、回転鏡10を回転軸15を中心として
回転すれば、シングルモード状態を維持したまま広い波
長域で波長走査が可能になる。
としてYAGレーザの第2高調波を用い、レーザ媒質と
してDCM等の色素セルを用いた実験において発振波長
633nmを中心として190cm-1の波長走査が可能とな
った。このとき色素であるDCMの溶媒はアルコールで
あった。
ーザ装置からのレーザ光を凹レンズで拡散ビームとし
て、自由スペクトル領域(FSR)1cm-1、フィネス2
0の平行平面のエタロンを通して得られる干渉パターン
を1次元のCCD検出器でモード測定した結果を図3
(A),(B)に示す。この図3(A),(B)から明
らかなように、発振レーザ光の波形に分割が見られず、
レーザ発振はシングルモード化されていることが解る。
この実施例で使用した回折格子11の一実施例は、24
00本/mmのホログラフィックレーティングであり、D
CM色素の濃度は6×10-4mol/l、共振器長Lは〜5
cmであった。
0と全反射鏡12は、その反射面が作る平面が回転鏡1
0の回転軸15を通過するという従来例のような調整上
の制約を受けない。また、回折格子11の調整も並進可
能な微調整機構16で実行可能でかつレーザ共振器13
の調整も全反射鏡12の微調整機構16としての並進機
構のみで行ない得る。
素子の表面の延長面を1つの回転軸を通るように正確に
合せる非常に難しい微調整が不要となり、安価で調整が
簡単しかも高性能な波長可変シングルモードレーザが実
現できる。
係に自由度があるため、回折格子11と全反射鏡12と
の間の距離を長くとることができ、その間にレーザ媒質
18以外に光学素子、例えばE/Oモジュレータ、ポッ
ケルスセルなどを挿入できる利点がある。
と全反射鏡12の調整に自由度があるため、アライメン
ト軸調整が極めて容易で、広い波長範囲をシングルモー
ドを保って波長走査できる。さらにこの自由度があるた
め、全反射鏡12と回折格子11間の距離を長くとれ、
この間に他の光学素子を挿入して、変調その他の制御が
し易くなる。この波長可変型レーザ装置では、190cm
-1程度までシングルモードで波長可変走査が可能な画期
的性能を有することが判った。
回折格子の表面が作る面が前記回転軸中心を通るように
設定するとともに、前記回転鏡と全反射鏡の反射面から
の法線が回折格子上で交わる点をGとし、全反射鏡の反
射面から交点Gまでの距離をLf 、回転軸中心から回転
鏡の反射面が作る平面上までの距離をRf 、前記交点G
から回転軸中心までの距離をLp としたとき、
鏡と全反射鏡の調整に自由度を持たせることができ、ア
ライメント軸調整が従来の色素レーザ装置に比べ、極め
て容易で広い波長範囲をシングルモードを保った状態で
波長走査できる。
を示す原理図。
ード例を示す図。
得られるシングルモードのレーザ光の観測例を示す図、
(B)は図3(A)の左半分を拡大して示す図。
Claims (3)
- 【請求項1】 回転鏡と全反射鏡とを、回折格子の高次
の回折方向および入射方向に設置する一方、前記回転鏡
を所要の回転軸廻りに回転可能に支持し、前記回折格子
と全反射鏡の間にレーザ媒質を設置した波長可変型レー
ザ装置において、前記回折格子の表面が作る面が前記回
転鏡の回転軸中心を通るように設定するとともに、前記
回転鏡と全反射鏡の反射面からの各法線が回折格子上で
交わる点をGとし、全反射鏡の反射面から交点Gまでの
距離をLf、前記回転鏡の回転軸中心から回転鏡の反射
面が作る平面上までの距離をRf、前記回折格子上の交
点Gから回転軸中心までの距離をLpとしたとき、 【数1】 の関係が成立するようにアライメント軸調整してなるこ
とを特徴とする波長可変型レーザ装置。 - 【請求項2】 全反射鏡と回折格子を架台上に間隔をお
いて設置し、前記全反射鏡および回折格子に微調整機構
をそれぞれ設けたことを特徴とする請求項1記載の波長
可変型レーザ装置。 - 【請求項3】 レーザ媒質は色素、広いレーザ発振帯域
を有する固体および半導体の中から選択されてなること
を特徴とする請求項1記載の波長可変型レーザ装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP06475292A JP3461848B2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 波長可変型レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06475292A JP3461848B2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 波長可変型レーザ装置 |
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JPH05267768A JPH05267768A (ja) | 1993-10-15 |
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Family
ID=13267222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06475292A Expired - Lifetime JP3461848B2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 波長可変型レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3461848B2 (ja) |
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JP2001156393A (ja) | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Ando Electric Co Ltd | V溝格子ミラー及びこれを用いた外部共振器型波長可変光源 |
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JP2005524246A (ja) | 2002-04-30 | 2005-08-11 | アジレント・テクノロジーズ・インク | パラメータ補正を有する波長可変レーザ光源 |
WO2003098756A1 (en) * | 2002-05-17 | 2003-11-27 | Agilent Technologies,Inc. | Laser cavity with variable dispersion element |
JP2007019056A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Japan Atomic Energy Agency | 波長可変レーザー共振器及び波長掃引方法 |
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CN114937923B (zh) * | 2022-07-21 | 2022-09-20 | 华中科技大学 | 一种外腔半导体激光器系统 |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP06475292A patent/JP3461848B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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