JP4550785B2 - Carrier placement device - Google Patents
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Description
本発明は基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置装置に関する。 The present invention relates to a carrier mounting device on which a carrier that accommodates a substrate is mounted.
基板を収容するキャリアとしては従来のように基板の主面を垂直にして、複数の基板を水平方向に一列に配列した状態で基板を収容する水平配列キャリアに加え、近年では基板の主面を水平にして複数の基板を垂直方向に一列に配列した状態で基板を収容する垂直配列キャリアが使用されるようになった。 In addition to a horizontal arrangement carrier that accommodates substrates in a state where a plurality of substrates are arranged in a row in a horizontal direction as a conventional carrier for accommodating substrates, the main surface of the substrate is recently A vertical arrangement carrier that accommodates substrates in a state where a plurality of substrates are arranged in a line in a vertical direction in a horizontal direction has come to be used.
垂直配列キャリア(以下、単にキャリアという。)を図6に示す。 A vertical array carrier (hereinafter simply referred to as a carrier) is shown in FIG.
このキャリアCは不図示のキャリア搬送装置によって載置台900に載置され、また持ち去られる。キャリアCは底部に図示せぬ3つのピン穴を有し、載置台900が有する3本のピン901と嵌合する。そして、前記ピン穴とピン901とが嵌合することでキャリアCは載置台900上の所定の位置に位置決めされる。
The carrier C is mounted on the mounting table 900 by a carrier transport device (not shown) and is taken away. The carrier C has three pin holes (not shown) at the bottom, and fits with the three
また、位置決めされたキャリアCに対しては基板搬送ロボット902が基板Wを搬入、搬出する。このようにキャリアCが載置台900上の所定の位置に位置決めされることによって、前記キャリア搬送装置は正確にキャリアCを保持して搬送することができる。また、基板搬送ロボット902も正確に基板Wを搬送できる。
Further, the
ところで、キャリアCが何らかの理由で正確にピン901に嵌合しない状態で載置台900に載置されることがある。
By the way, the carrier C may be mounted on the mounting table 900 in a state where the carrier C is not accurately fitted to the
この場合、載置台900上でキャリアCは所定の位置に無いので、例えばキャリア搬送装置でキャリアCを搬出しようとしても該キャリア搬送装置はキャリアCを正確に保持できない。 In this case, since the carrier C is not in a predetermined position on the mounting table 900, for example, even if the carrier C is carried out by the carrier transport device, the carrier transport device cannot hold the carrier C accurately.
また、基板搬送ロボット902で基板を搬入または搬出する場合、該基板搬送ロボット902は正確に基板を搬入または搬出を行うことができず、最悪の場合は搬送ロボット902がキャリアCに衝突したり、基板Wが破損する虞がある。
Further, when the
本発明の目的は載置台に載置されたキャリアが正常に載置されているかどうかが正確に確認できるキャリア載置装置を提供することである。 The objective of this invention is providing the carrier mounting apparatus which can confirm correctly whether the carrier mounted in the mounting base is mounted normally.
請求項1に記載の発明は、底部に凹部又は凸部からなる嵌合部を有する基板収納用のキャリアを載置するキャリア載置装置において、キャリアを載置させる載置部と、前記載置部に設けられ、キャリア底部の凹部又は凸部に対応して嵌合し、キャリアを位置決めする凸部又は凹部を有する位置決め手段と、前記載置部にキャリアが載置された場合、キャリアが占める空間に物体があるか否かを検出する有無センサと、前記有無センサによる検出後に、前記載置部に載置されたキャリアの上下方向における位置を検出する検出センサと、前記検出センサの検出結果に基づいて、情報を報知する報知部とを備え、前記報知部は、キャリアが前記載置部に正常に載置されたときの上下方向におけるキャリアの位置を基準位置として、前記検出センサの検出結果からキャリアが上下方向において前記基準位置にあるか否かを判断し、前記有無センサが有と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていると正常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知するとともに、前記有無センサが無と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが載置されていないと報知することを特徴とする。
The invention according to
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記有無センサは、キャリアが占める空間に検出光を発射する投光部と、前記検出光を受光する受光部とを備える。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the presence sensor includes a light projecting unit that emits detection light into a space occupied by a carrier, and a light receiving unit that receives the detection light.
請求項1のキャリア載置装置では、キャリア底部の凹または凸部と載置部の位置決め手段とが嵌合するように、キャリアが載置部に載置され位置決めされる。 In the carrier mounting device according to the first aspect, the carrier is mounted and positioned on the mounting portion so that the concave or convex portion of the carrier bottom and the positioning means of the mounting portion are fitted.
キャリアが載置部に正常に載置されている場合、キャリア底部の凹部または凸部と載置部の位置決め手段とが嵌合するので、キャリアは上下方向において所定の基準位置に位置する。一方、キャリアが載置部に正常に載置されなかった場合、キャリア底部の凹部または凸部と載置部の位置決め手段とが嵌合しないので、キャリアは上下方向において所定の基準位置から外れた位置に位置する。 When the carrier is normally placed on the placement portion, the concave portion or the convex portion at the bottom of the carrier and the positioning means of the placement portion are fitted, so that the carrier is positioned at a predetermined reference position in the vertical direction. On the other hand, when the carrier is not normally placed on the placement portion, the concave portion or the convex portion at the bottom of the carrier and the positioning means of the placement portion do not fit, so the carrier has deviated from the predetermined reference position in the vertical direction. Located in position.
そして、有無センサは、載置部にキャリアが載置された場合、キャリアが占める空間に物体があるか否かを検出する。また、検出センサは、有無センサによる検出後に、載置部に載置されたキャリアの上下方向における位置を検出し、報知部は、この検出センサの検出結果に基づいて、情報を報知する。 The presence sensor detects whether or not there is an object in the space occupied by the carrier when the carrier is placed on the placement unit. The detection sensor detects the position of the carrier placed on the placement unit in the vertical direction after detection by the presence sensor, and the notification unit notifies information based on the detection result of the detection sensor.
すなわち、報知部は、有無センサが有と判断した場合、キャリアが上下方向において基準位置にあると検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に正常に載置されていると正常報知でき、基準位置にないと検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に正常に載置されていないと異常報知できる。これによって、載置部の載されたキャリアが正常に載置されたか否かを正確に検出できる。 That is, when the detection unit determines that the presence sensor is present and the detection sensor determines that the carrier is at the reference position in the vertical direction, the notification unit can normally notify that the carrier is normally placed on the placement unit, When the detection sensor determines that the carrier is not at the reference position, an abnormality can be notified that the carrier is not normally placed on the placement portion. Thereby, it is possible to accurately detect whether or not the carrier on which the placement unit is placed is normally placed.
また、請求項1のキャリア載置装置では、有無センサと検出センサと2つのセンサを備えているので、キャリアが載置部に存在しているにもかかわらず、基準位置にないと検出センサが判断しても、キャリアが載置部上にあると検出できる。これによって、少なくとも、キャリアが載置部に正常に載置されていないことを検出できる。 In addition, since the carrier mounting apparatus of the first aspect includes the presence sensor, the detection sensor, and the two sensors, the detection sensor is not located at the reference position even though the carrier exists in the mounting portion. Even if it judges, it can detect that a carrier exists on a mounting part. Thereby, at least, it can be detected that the carrier is not normally placed on the placement portion.
また、請求項1のキャリア載置装置では、報知部は、有無センサが無と判断した場合、キャリアが上下方向において基準位置にあると検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に正常に載置されていないと異常報知でき、基準位置にないと検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に載置されていないと報知できる。
In the carrier mounting device according to
さらに、請求項2のキャリア載置装置では、有無センサは、投光部及び受光部を備えているので、非接触でキャリアの有無を検出でき、その結果、有無センサとキャリアとの接触がなく、接触によって生じる汚染物質の発生が防止できる。また、有無センサとキャリアとが磨耗することによる有無センサの損耗を防止できる。
Furthermore, in the carrier mounting apparatus according to
図1は本発明のキャリア載置装置1を示す。
FIG. 1 shows a
キャリア載置装置1はキャリアCを載置する載置台3を有し、載置台3上の所定位置に第1ピン5a、第2ピン5b、第3ピン5cが突出している。(以下、第1ピン5a、第2ピン5b、第3ピン5cを総称してピン5という。)
ピン5はそれぞれ、キャリアCの底部に設けられた第1ピン穴6a、第2ピン穴6b、第3ピン穴6cと嵌合可能であって、該ピン穴と嵌合することによって、キャリアCを位置決めする(図1では第3ピン穴6cのみ図示。)。なお、以下、第1ピン穴6a、第2ピン穴6b、第3ピン穴6cを総称してピン穴6という。
The
Each of the pins 5 can be fitted into a
また、図1のようにキャリアCがピン5によって位置決めされたときのキャリアCの上下方向における位置を基準位置という。さらに、基準位置にあるキャリアCの底面の上下方向における位置を基準底面位置という。本実施形態では基準底面位置は載置台3の上面USの位置と同じである。 Further, the position in the vertical direction of the carrier C when the carrier C is positioned by the pin 5 as shown in FIG. Furthermore, the position in the vertical direction of the bottom surface of the carrier C at the reference position is referred to as a reference bottom surface position. In the present embodiment, the reference bottom surface position is the same as the position of the upper surface US of the mounting table 3.
なお、キャリアCの前面Fには図示はしないが基板を出し入れする開口が設けられている。 The front surface F of the carrier C is provided with an opening for taking in and out the substrate (not shown).
次に、載置台3には第1正常センサ7a、第2正常センサ7bが設けられており、キャリアCの底面BS(後述)の上下方向の位置を検出する。
Next, the mounting table 3 is provided with a first
また、載置台3には載置台3上のキャリアCの有無を検出する有無センサ9の投光部9aが設けられている。投光部9aは載置台3の上面USよりも低い位置に設けられており、キャリアCとは非接触である。そして、投光部9aは斜め上方に向かって検出光DL1を発射している。検出光DL1はキャリアCが載置台3上でピン5によって位置決めされたとき、キャリアCが占める空間SPを通過している。そして、検出光DL1の延長上で、キャリアCが占める空間SPよりも外には有無センサ9の受光部9bが設けられている。本実施形態の有無センサ9は検出光DL1が遮られたときONになる設定である。
Further, the mounting table 3 is provided with a
次に図2に従い、ピン5について説明する。ここでは第1ピン5aを例にして説明する。図2は図1のS−S断面の一部を示している。
Next, the pin 5 will be described with reference to FIG. Here, the
図2のように第1ピン5aは頂部が円錐状である略円柱状部材で、載置台3において鉛直方向に立設されている。そして、該第1ピン5aはキャリアCの底部の第1ピン穴6aと嵌合可能となっている。
As shown in FIG. 2, the
なお、第2ピン5b、および、第3ピン5cは上記第1ピン5aと同様の構造で、また、第2ピン穴6b、および、第3ピン穴6cは第1ピン穴6aと、同様の構造をしている。
The
次に同じく図2に従い第1正常センサ7aについて説明する。なお、便宜上、第1正常センサ7aのハッチングは省略している。
Next, the first
第1正常センサ7aは上部が平面形状で、投光素子71と受光素子72とを有している。そして、第1正常センサ7aはその上部の平面が載置台3の上面USよりも低い位置に配されている。投光素子71は斜め上方に検出光DL2を発射する。また受光素子72は投光素子71から発射され、物体にあたって反射した検出光DL2を検出するが、特に所定距離に存在する物体から反射した検出光のみを検出するよう設定されている。
The first
ここでは、基準底面位置にある底面BSで反射した検出光DL2を検出したとき、第1正常センサ7aがONになるよう設定されている。
Here, when the detection light DL2 reflected by the bottom surface BS at the reference bottom surface position is detected, the first
逆に、例えばキャリアCが正常に置かれなかった場合、キャリアCは第1ピン5aと正常に嵌合しないので底面BSは基準底面位置に至らず、基準底面位置よりも上方に位置してしまう。このときは前記受光素子72は検出光DL2を検出しないので、第1正常センサ7aはOFFになる。
On the other hand, for example, when the carrier C is not normally placed, the carrier C does not normally fit with the
なお、後述するがキャリアCが基準位置に到来するのは全てのピン穴6にピン5が嵌合したときであり、このとき、底面BSも基準底面位置に到来する。従って、底面BSが基準底面位置にあることが検出できれば、キャリアCが載置台3上に正常に載置されていると言える。 As will be described later, the carrier C arrives at the reference position when the pins 5 are fitted in all the pin holes 6, and at this time, the bottom surface BS also arrives at the reference bottom surface position. Therefore, if it can be detected that the bottom surface BS is at the reference bottom surface position, it can be said that the carrier C is normally mounted on the mounting table 3.
なお、第2正常センサ7bは第1正常センサ7aと同様の構成であって、同じく底面BSが基準底面位置にあるときONになるように設定されている。
The second
このように第1正常センサ7a、第2正常センサ7bは検出光によって非接触でキャリアCの底面BSの上下方向の位置を検出している。このため、発塵を抑制することができ、周囲に基板に対する汚染物質を飛散させることを防止できる。
As described above, the first
また、第1正常センサ7aおよび第2正常センサ7bとキャリアCとは接触しないので、第1正常センサ7aおよび第2正常センサ7bの上面に傷が付いたり損耗することがない。このため検出光が良好に投光、受光される期間が非常に長くなり、第1正常センサ7aおよび第2正常センサ7bの誤動作は長期にわたって抑制され、交換頻度を少なくできる。
Further, since the first
次に、図3に従って第1正常センサ7a、第2正常センサ7bの載置台3における配置について説明する。図3は、載置台3の上面図である。
Next, the arrangement of the first
図のように第1ピン5a、第2ピン5b、第3ピン5cが載置台3に設けられている。そして、第1ピン5a、第2ピン5b、第3ピン5cによって位置決めされたときのキャリアCの底面BSの輪郭LSが2点鎖線で示されている。
As shown in the figure, a
なお、説明の便宜上、本図では底面BSを上方から透視した状態で図示している。 For convenience of explanation, this figure shows the bottom surface BS seen through from above.
キャリアCの底面BSは輪郭LSが示すように略長方形であって、基板が出し入れされる前面F側に位置する辺SD1と平行で、かつ、底面の中央CPを通る第1直線L1と、該第1直線L1と直交し、かつ底面の中央CPを通る第2直線L2とで4つの領域に区切ることができる。なお、ここで底面の中央CPとは底面の略重心に対応する。 The bottom surface BS of the carrier C is substantially rectangular as indicated by the contour LS, and is parallel to the side SD1 located on the front surface F side where the substrate is taken in and out, and passes through the center CP of the bottom surface, It can be divided into four regions by a second straight line L2 orthogonal to the first straight line L1 and passing through the center CP of the bottom surface. Here, the center CP at the bottom corresponds to the approximate center of gravity of the bottom.
そして、前記4つの領域を、図面左上の領域を始まりに反時計回りに底面領域R1、R2、R3、R4と定義すると、第1正常センサ7aは底面領域R1の上下方向の位置を検出する位置に配置され、第2正常センサ7bは底面領域R1とは底面の中央CPに関して対称な位置にある底面領域R3の上下方向の位置を検出する位置に配置される。(領域R1,R3にはハッチングを施してある。)
具体的には第1正常センサ7aおよび、第2正常センサ7bのそれぞれが発射する検出光が、底面BSが基準底面位置にあるときの底面領域R1、底面領域R3に到達するよう、該第1正常センサ7a、第2正常センサ7bが配置される。
When the four regions are defined as bottom region R1, R2, R3, R4 counterclockwise starting from the upper left region of the drawing, the first
Specifically, the first
また、キャリアCは底面の中央CPを囲んで略二等辺3角形の頂点に配された第1ピン穴6a、第2ピン穴6b、第3ピン穴6cを有し、それぞれに第1ピン5a、第2ピン5b、第3ピン5cが嵌合することによって3点で位置決めされるので、第1ピン5a、第2ピン5b、第3ピン5cの何れか2つが嵌合すれば残りの1つも嵌合する。これら3つのピン5が3つのピン穴6に嵌合することによってキャリアCは基準位置に位置決めされるとともにその底面BSは基準底面位置に到来する。
Further, the carrier C has a
本実施形態では略四角形の底面BSの中央CPを挟んで対角に位置する底面領域が基準底面位置にあるかどうかを検出している。これによって、底面BS全体が基準底面位置にあるかどうかを検出でき、ひいてはキャリアCが基準位置にあるかどうか検出できる。 In the present embodiment, it is detected whether or not the bottom surface region located diagonally across the center CP of the substantially rectangular bottom surface BS is at the reference bottom surface position. Thereby, it is possible to detect whether or not the entire bottom surface BS is at the reference bottom surface position, and thus whether or not the carrier C is at the reference position can be detected.
本実施形態では第1正常センサ7a、第2正常センサ7bを、それぞれ底面領域R1、R3を検出するように配置しているが、底面領域R2,R4を検出するように配置してもよく、要は底面の中央CPを中心に対角に位置する底面領域を検出すればよい。
In the present embodiment, the first
なお、第1正常センサ7a、第2正常センサ7bはそれぞれ第1ピン穴6a、第2ピン穴6b、が存在する部分以外であれば底面領域R1、R3の領域内のどの部分の上下方向の位置を検出するようにも配置できるが、本実施形態のように第1ピン穴6a、第2ピン穴6b近傍の底面を検出する位置に配置するのが好ましい。これは、キャリアCが正常に載置されなかった場合、ピン穴付近の底面BSは他の底面BSの部分に比べて基準底面位置から外れる量が多いからである。
It should be noted that the first
次に図4に従いキャリア載置装置1のハード構成を説明する。
Next, the hardware configuration of the
図のように第1正常センサ7a、第2正常センサ7b、有無センサ9が報知部20に接続されている。報知部20は、CPUやRAM、ROMを有して各種情報を処理する情報処理部11と、情報処理部11からの情報を表示するディスプレイ12と、前記情報処理部11と外部装置14とを接続するインターフェース13とを有する。なお、外部装置14としては例えば基板処理装置や基板搬送装置、キャリア搬送装置、などがある。
As shown in the figure, the first
次に図5のフローチャートを用いてキャリア載置装置1の動作の一例を説明する。
Next, an example of operation | movement of the
キャリア載置装置1は起動直後、即ち図のスタートSSでは第1正常センサ7a、第2正常センサ7bそれぞれは検出光を発射している状態になる。また、有無センサ9も検出光DL1を発射している状態である。
The
その後、図5のステップ1に入る。ステップS1では外部装置14がインターフェース13を通じてキャリアCの載置状態を照会してきたかどうか、情報処理部11が判断する。照会が無い場合はステップS1を繰り返す。照会があった場合はステップS2に進む。
Thereafter, the process enters
ステップS2では有無センサ9がONになっているかどうか情報処理部11が判断する。有無センサ9がONになっていれば、載置台3にキャリアCもしくはそれ以外の物体が存在すると判断してステップS3に進む。
In step S2, the
ステップS3では第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bが共にONかどうか判断し、ONの場合はキャリアCが正常に載置台3に載置されているものと判断してステップS4に進む。
In step S3, it is determined whether both the first
ステップS4ではキャリアCが正常に載置されたことをディスプレイ12に表示するとともにインターフェース13を通じてキャリアCが正常に載置されていることを外部装置14に報知する。
In step S4, the
ステップS3に戻り、第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bが共にONでは無かった場合キャリアCが正常に載置台3に載置されていないと判断し、ステップS5に進む。
Returning to step S3, if neither the first
ステップS5での状態とは有無センサ9がONになっているにもかかわらず、第1正常センサ7a、第2正常センサ7bのいずれかまたは両方がOFFになっている状態であるので、載置台3上に何らかの物体が存在し、その物体が仮にキャリアCであっても当該キャリアCは正常に載置されているわけではないという状態であると推定される。
The state in step S5 is a state in which one or both of the first
よって、キャリアCが正常に載置されていないことをディスプレイ12に表示し、オペレータにこの旨、報知すると共に、インターフェース13を通じてキャリアCが正常に載置されていないことを外部装置14に報知する。
Therefore, the
ステップS2に戻って、有無センサ9がOFFの場合はステップS6に進む。ステップS6では第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bの何れかがONになっているかどうか判断する。何れかがONになっている場合はステップS7に進む。
Returning to step S2, if the
ステップS7での状態とは、有無センサ9がOFFでかつ、第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bの何れかがONの状態である。すなわち、キャリアCが正常に載置されていれば少なくとも有無センサ9はONになるはずであるにもかかわらず、有無センサ9はOFFで、第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bの何れかがONになっているということである。従って、ここでは有無センサ9では検出できなかった物体が第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bの何れかで検出されていることになる。
The state in step S7 is a state in which the
よって、ステップS5同様、キャリアCは正常に載置されていないことをディスプレイ12に表示し、オペレータにこの旨、報知すると共に、インターフェース13を通じてキャリアCが正常に載置されていないことを外部装置14に報知する。
Therefore, as in step S5, the
再びステップS6に戻って、第1正常センサ7a、および、第2正常センサ7bの何れもONになっていない場合は載置台3上に何も無い状態であるのでステップS8に進み外部装置14に対してキャリアCが載置されていないことを報知する。
Returning to step S6 again, if neither the first
本実施形態では第1正常センサ7a、第2正常センサ7b、有無センサ9のすべてがONとなって初めてキャリアCが正常に載置されたと判断する。このため、キャリアCが正常に載置されているか否かを正確に報知することができる。
In the present embodiment, it is determined that the carrier C is normally placed only when all of the first
以上、本実施形態では底部に凹部としてピン穴を有するキャリアCを対象としているが、底部に凸部を有するキャリアの場合、載置台に該凸部と嵌合する凹部を設けて上下方向におけるキャリアの底面の位置が基準底面位置にあるかどうかを検出すればよい。 As described above, in the present embodiment, the carrier C having a pin hole as a concave portion at the bottom portion is targeted. However, in the case of a carrier having a convex portion at the bottom portion, the carrier in the vertical direction is provided with a concave portion that fits the convex portion on the mounting table. What is necessary is just to detect whether the position of the bottom face is in a reference | standard bottom face position.
1 キャリア載置装置
3 載置台
5a 第1ピン
5b 第2ピン
5c 第3ピン
6a 第1ピン穴
6b 第2ピン穴
6c 第3ピン穴
7a 第1正常センサ
7b 第2正常センサ
9 有無センサ
9a 投光部
9b 受光部
20 報知部
71 投光素子
72 受光素子
L1 第1直線
L2 第2直線
R1,R2,R3,R4 底面領域
US 上面
DESCRIPTION OF
Claims (2)
キャリアを載置させる載置部と、
前記載置部に設けられ、キャリア底部の凹部又は凸部に対応して嵌合し、キャリアを位置決めする凸部又は凹部を有する位置決め手段と、
前記載置部にキャリアが載置された場合、キャリアが占める空間に物体があるか否かを検出する有無センサと、
前記有無センサによる検出後に、前記載置部に載置されたキャリアの上下方向における位置を検出する検出センサと、
前記検出センサの検出結果に基づいて、情報を報知する報知部とを備え、
前記報知部は、キャリアが前記載置部に正常に載置されたときの上下方向におけるキャリアの位置を基準位置として、前記検出センサの検出結果からキャリアが上下方向において前記基準位置にあるか否かを判断し、
前記有無センサが有と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていると正常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知するとともに、
前記有無センサが無と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが載置されていないと報知することを特徴とするキャリア載置装置。 In the carrier placing device for placing the carrier for storing the substrate having a fitting portion composed of a concave portion or a convex portion at the bottom,
A placement unit for placing the carrier;
Positioning means that is provided in the mounting part and has a convex part or a concave part that fits in correspondence with the concave part or the convex part of the carrier bottom and positions the carrier;
When a carrier is placed on the placement section, a presence / absence sensor that detects whether there is an object in the space occupied by the carrier, and
A detection sensor for detecting a position in a vertical direction of the carrier placed on the placement unit after detection by the presence sensor;
Based on the detection result of the detection sensor, and a notification unit for reporting information,
The notification unit determines whether the carrier is in the reference position in the vertical direction from the detection result of the detection sensor, with the position of the carrier in the vertical direction when the carrier is normally placed on the placement unit as a reference position. Determine whether
When it is determined that the presence sensor is present, when the detection sensor determines that the carrier is in the reference position in the vertical direction, the carrier is normally notified that the carrier is normally placed on the placement unit, and the carrier When the detection sensor determines that the carrier is not in the reference position in the vertical direction, the carrier is informed that the carrier is not normally placed on the placement unit, and
When it is determined that the presence sensor is absent, when the detection sensor determines that the carrier is in the reference position in the up-down direction, an abnormality is notified that the carrier is not normally placed on the placement unit, and the carrier A carrier mounting device that reports that a carrier is not mounted when the detection sensor determines that the reference position is not in the vertical direction .
前記有無センサは、キャリアが占める空間に検出光を発射する投光部と、前記検出光を受光する受光部とを備えるキャリア載置装置。 The carrier mounting apparatus according to claim 1 ,
The presence / absence sensor is a carrier mounting device including a light projecting unit that emits detection light into a space occupied by a carrier and a light receiving unit that receives the detection light.
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---|---|---|---|
JP2006223832A JP4550785B2 (en) | 2006-08-21 | 2006-08-21 | Carrier placement device |
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