JP4549985B2 - Spr検出能力を有するマイクロ流体デバイス - Google Patents

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Description

本発明はマイクロ流体デバイスに関する。より詳細には、本発明は表面プラズモン共鳴(「SPR」)能力を有する不透明なマイクロ流体デバイスに関する。
従来のSPRを検査手段として用いることにより、いくつかの利点がもたらされる。たとえば、SPRは相対的に速く、標識化が不要であり、現場で実行することができる。さらに、SPRは良好な感度を提供し、「リアルタイム」に実行することができ、動的な情報を生成する。すなわち、試薬を洗い流した後ではなく、結合が生じている間に結合を確認することができる。
SPRは、金属薄膜−液体界面における光の内部全反射の結果として生じる光学現象である。内部全反射は、光がガラスのような媒体内を進行し、異なる媒体であるたとえば緩衝液との界面から反射して、元の光学媒体を通って戻される状況において観測される。内部全反射が生じるためには、光の入射角が、光学媒体の屈折率によって決定される臨界角よりも大きくなければならない。光は全反射されるが、エバネッセント波又は表面プラズモンと呼ばれる、入射光運動量の成分が、界面の反対側において、概ね1波長の距離だけ媒体、たとえば緩衝液内に入り込む。
入射光が単色であり、偏光されており、且つ媒体間の界面が、入射光の波長に比べて極めて小さな厚みを有する、金又は銀のような金属薄膜でコーティングされる場合には、エバネッセント波は、金属薄膜表面において自由振動する電子、すなわちプラズモンと相互作用することができる。プラズモンは、或る特定の入射角のエバネッセント波からのエネルギーを吸収し、その入射角は、金属薄膜に隣接する、すなわち金属薄膜から約300nmの距離内の液状媒体の屈折率に依存する。こうして、液体内の所与の屈折率に関して、反射光の強度は、光の入射角によって変動し、ピーク吸収が生じる特定の角度において、反射光の強度が急激に落ち込む。この角度は、「共鳴角」と呼ぶことができる。
たとえば、緩衝液の屈折率の変化が共鳴角を変更するであろう。ピークが生じる角度を測定することにより、緩衝液の屈折率の変化を検出することができる。たとえば、緩衝液内のタンパク質はその屈折率を変更するので、共鳴角を測定することにより、金属薄膜に隣接する緩衝液内のタンパク質含有量を測定することができ、且つ絶えずモニタすることができる。さらに、緩衝液内の高分子と、たとえば表面固定化リガンド又は非特異に結合するポリマー、たとえばペプチド又はタンパク質に結合している抗体との相互作用が、屈折率の変化を引き起こす。この変化の結果として、共鳴角の相関的な変化が生じ、それは検出することができ、且つ定量化することができる。
SPR技術は、市販の計測器、たとえばBIACORE (Uppsala, Sweden)によって製造される計測器において利用される。さらに、SPR検出器が、Pharmacia Biosensor AB (Uppsala, Sweden)によって製造される。
BIACORE社の方法は、カルボキシメチル化デキストラン(carboxymethylated dextran)の薄層が共有結合される長鎖ヒドロキシアルキルチオール(long hydroxyalkyl thiol)の単層によって覆われる金薄膜を有するガラス基板から成るセンサチップの表面上に、リガンドを固定化することによる。その固定化手順は、計測器内の所定の位置にあるセンサチップで実行され、SPR検出器によって絶えずモニタされる。
センサチップはセンサチップの表面にわたってサンプルの流れを画定する多数のチャネルを形成したマイクロ流体カートリッジと接触する。マイクロ流体カートリッジは、センサにリガンドが導入されるときに所定の位置にあり、チャネル内のサンプルの流れを制御する空気弁を備える。
未知のサンプル又はライゲート(ligate)溶液が装置に導入され、固定化されたリガンドと接触する。リガンドとライゲートとの間の相互作用は、表面プラズモン共鳴技術によって直に観測され、その測定値が、Pharmacia BioSensor ABによって製造される、Bialogueのようなプログラムによってコンピュータ上に記録される。センサチップは、リガンドとの相互作用後に廃棄物として処分されるが、マイクロ流体カートリッジは再利用可能である。
BIACORE光検出器によって生成される可視光がセンサチップ上の金属薄膜に到達できるようにするために、透明な材料が必要である場合には、BIACOREシステムはガラスマイクロ流体センサチップに限定される。
先に示されたように、SPRはこれまでは、ガラス基板又はマイクロ流体チップで実行されてきた。本発明者等は、SPRが不透明な基板又はチップ上でも有効に実行することができ、ガラスよりも優れた数多くの利点を提供することを見い出した。SPR検出に関する先に詳述された有用性を考えると、SPR検出を透明なガラス以外の材料から形成されるマイクロ流体デバイスに拡張することは大きな意味がある。
ガラス基板上にある表面プラズモン生成薄膜から反射された光放射を測定するシリコン系センサが、いくつかの既存のSPRシステムにおいて用いられる。シリコンセンサが800nmにおいて高い感度があることを考えると、いくつかのSPRシステムの光検出器は、この高いセンサ感度を利用するために800nmの光放射を生成するように構成される。したがって、可視光以外の光放射を生成する、すなわち赤外線領域において動作するSPRシステムが知られている。しかしながら、これまで、本発明者は、不透明な材料から形成される基板又はマイクロ流体チップと共に用いられる如何なるSPRシステムも知らない。
従来技術のマイクロ流体システムは、用いられる特定の目的によっては、又は一般的な用途の場合には適している場合もあるが、これ以降に開示されるような本発明の目的には適していない。
したがって、本発明の目的は、透明なガラスマイクロ流体カートリッジ又はセンサチップを用いることに限定されないSPRシステムを製造することである。
本発明のさらに別の目的は、不透明なセンサチップを含み、システムの光検出器によって生成される可視光以外の光放射が少なくとも部分的に通り抜けることができ、センサチップにおいて表面プラズモンを生成できるようにするSPRシステムを製造することである。
本発明者は、改質シリカ系媒体等の媒体を用いて分析物を捕捉及び放出するために設計されたマイクロ流体モジュールを備えるSPRシステムを発明した。1つの例示的な実施の形態では、本発明は、センサチップ及びSPR光検出器を備えるマイクロ流体システムである。そのセンサチップは不透明な材料、たとえばポリイミド又はシリコンなどから形成される。そのセンサチップは、表面の少なくとも一部に表面プラズモン生成層を有する簡単な固体基板であってもよく、又はそのセンサチップは、表面プラズモン生成層で少なくとも部分的にコーティングされたチャネルを含んでいてもよい。チャネルを含むセンサチップは、複数のチャネルを含む単一のユニットとして成形されてもよく、又はレーザアブレーションを用いて少なくとも1つのチャネルが形成される多数の層から形成されてもよい。そのセンサチップによれば、SPR光検出器によって生成される光放射が、表面プラズモン生成層を通り抜け、且つ相互作用できるようになる。
シリコンセンサチップは、電子回路とセンサチップとを集積できるようになるので有用である。さらに、シリコンセンサは、既知のフォトリソグラフィ及びマイクロマシニング技術を利用できるようにする。
ポリイミドセンサチップは、従来の二酸化ケイ素系分離システムにおいて分析するのが特に難しいことは既知である、タンパク質及びペプチドへの吸着特性が低いので有用である。この難しい種類の溶質との分離の成功が実証されたことにより、一般的に、他の種類の溶質の分離では問題が生じないことを確実にする。さらに、ポリイミドは縮合ポリマーであるので、その表面に種々の特性基を化学的に結合することができ、目的とする分析に応じて、種々の所望の表面特性を提供することができる。ポリマー基板へのこれらの結合は、塩基性領域(pH9から10)内でのpH安定性を示す。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは固体基板を含み得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは少なくとも1つのチャネルを有する固体成形体を含み得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは、互いに結合することができる層を含んでいてもよく、それにより、そのチップは高圧条件下で使用できるようになる。さらに、そのチップは、非常に薄くなるように設計され、薄いクレジットカード状にしてもよい。
センサチップ及び製造方法の種々の例示的な実施の形態は、同一出願人による米国特許第5,500,071号、第5,658,413号及び第6,033,628号に開示され、参照によりその全体が本明細書に援用される。しかしながら、本発明では、そのセンサチップは、SPR光検出器によって生成される、可視光以外の光放射、すなわちスペクトルの可視領域の部分である、390nm(紫)から780nm(赤)までの領域以外の光放射がチップ内又はチップ上にある表面プラズモン生成層を通り抜け、且つ表面プラズモン生成層と相互作用できる不透明な材料から形成される必要があるという点で、これらの引用文献から変更され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態のSPRシステムは、センサ基板と光検出器とを備える。光検出器は所定の波長検出範囲内の可視光以外の光放射を生成し、且つセンサ基板に向かって上記光放射を誘導するように構成され得る。センサ基板の少なくとも一部は表面プラズモン生成薄膜を含む。センサ基板は、可視光に対して透過性ではないが、可視光以外の光放射が表面プラズモン生成薄膜に通り抜けることができる材料から形成される。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサ基板は少なくとも1つのチャネルを有するセンサチップを備えてもよい。チャネル内にあるか、又はチャネルに隣接するセンサチップの少なくとも一部は表面プラズモン生成薄膜を含み得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは表面プラズモン生成薄膜に結合される親和性媒体を備え得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは、表面プラズモン生成薄膜に隣接するチャネル内にあるか、又は表面プラズモン生成薄膜から下流の個別のチャネル又はチャンバ内にある、クロマトグラフ媒体、たとえば化学的に改質されたシリカ系又は「ゴールド・オン・シリカ」系クロマトグラフ媒体を有し得る。その媒体は、表面プラズモン生成薄膜と同じようにして改質することができる。改質は、その場で、又はチャネル若しくはチャンバ内にその媒体を配置する前に行うことができる。流体の流れの含有物によってその場で行われる改質には、表面プラズモン生成薄膜を含むか、又はそれと接触しているチャネルの部分で同時に実行することができるリガンド−ライゲート結合(ligand-ligate attachments)を用いることができる。媒体をチャネル又はチャンバ内に配置する前に行うことができる化学的改質は、表面プラズモン生成薄膜上で実行されてきた、薄膜がリガンド−ライゲート結合に適応できるようにする工程と全く同じではないが類似の工程から成ることができる。
その媒体は、SPR現象が生じているエリアの上方にあるチャネル内に、又はその下流にある、物理的に表面プラズモン生成薄膜を越えて位置するエリアのチャネル若しくはチャンバ内に配置することができる。このエリア、チャネル又はチャンバは、たとえば、堰構造を用いて、又は1つのエリア内に媒体を集合させるように、エリア、チャネル又はチャンバ寸法を調整すること、たとえばテーパを設けることによって作り出すことができる。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップ又はセンサ基板はポリイミドから形成され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、光検出器は概ね700nm以上の波長を有する光放射を生成するように構成され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップまたはセンサ基板はシリコンから形成され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、光検出器は概ね1100nm以上の波長を有する光放射を生成するように構成され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、光検出器は、光放射が表面プラズモン生成薄膜から反射された後に、光放射を検出するように構成される検出器を含み得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、検出器は、たとえばPINダイオード、CMOSチップ及びCCDアレイのうちの1つのような、シリコン系検出器であり得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、検出器は赤外光検出器であり得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、赤外光検出器はInGaAsセンサを備え得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、SPRシステムはチャネル通して分析するためのサンプルを吸い込むポンプを備え得る。
本発明のセンサチップの例示的な実施の形態は、基板を含み、基板の少なくとも一部は表面プラズモン生成薄膜を含み得る。センサチップは、可視光に対して透過性ではないが、可視光以外の波長範囲の少なくとも一部の所定の波長を有する光放射がセンサチップを通り抜けて薄膜に達することができる材料から少なくとも部分的に形成され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、基板は少なくとも1つのチャネルを備えてよく、表面プラズモン生成薄膜は上記チャネル内に、又は上記チャネルに隣接して配置され得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、基板は互いに接着される多数の層を備え得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップ又はセンサ基板は、表面プラズモン生成薄膜に結合される親和性媒体又はクロマトグラフ分離媒体を備え得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、基板はポリイミド又はシリコンから形成され得る。
本発明の1つの例示的な方法は、SPR分析にマイクロ流体システムを用いるステップを含む。マイクロ流体システムは、センサチップと、光検出器とを備え得る。センサチップは少なくとも1つのチャネルを備え、上記チャネルの少なくとも一部は表面プラズモン生成薄膜を含み得る。光検出器は所定の波長検出範囲内の可視光以外の光放射を生成してもよく、且つこの光放射をセンサチップに向かって誘導するように構成されてもよい。センサチップは、不透明であるが、所定の波長検出範囲内の光放射が表面プラズモン生成薄膜まで通り抜けることができる材料から形成され得る。方法は、対象となる溶液をチャネル内に通すステップと、表面プラズモン生成薄膜に向けて、光検出器によって生成される可視光以外の光放射をセンサチップに通すステップとを含み得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは、表面プラズモン生成薄膜に付着した親和性媒体を備え得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップは、表面プラズモン生成薄膜に結合されるクロマトグラフ分離媒体を備え得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップはポリイミドから形成されてもよく、所定の波長範囲の低い方の値は700nmであり得る。
本発明の1つの例示的な実施の形態では、センサチップはポリイミド及びシリコンのうちの1つから形成されてもよく、所定の波長範囲の低い方の値は1100nmであり得る。
上記の目的及び関連する目的を達成するために、本発明は、添付の図面に示される形において具現することができる。しかしながら、図面は例示にすぎないという事実に留意されたい。種々の変形は、本発明の一部であると見なされ、本発明は特許請求の範囲によってのみ制限される。
図面においては、同様の構成要素が同様の参照番号によって示される。それらの図面は、「図面の簡単な説明」において簡単に説明される。
図1は、本発明の1つの例示的な実施形態のマイクロ流体システム10を示す。マイクロ流体システム10は、ポンピングテーブル12と、センサチップ14と、光検出器16とを備え得る。サンプル緩衝液が、ポンピング機構、たとえばロータ18によって、ポンピングテーブル12内のチャネル20を通って、注入口28を介してセンサチップ14内のチャネル22に吸い込まれ、排出口30を介してポンピングテーブル12内に戻され、廃棄物ライン24を介して排出されることができる。たとえば、6ポート回転弁を含むステータ36はポンピングテーブル12に接続され、サンプル及びキャリア緩衝液を注入するために用いられてもよい。余分なサンプル緩衝液を排出するために、たとえば、弁も廃棄物出口を備えることができる。
図2は、図1の断面図に示されるセンサチップ14の平面図を示す。破線で示されるチャネル22は、同じく破線で示される表面プラズモン生成薄膜26を含み、それは、限定はしないが、金又は銀のような金属などの表面プラズモン生成材料から形成され得ることができる。薄膜26は、側壁を含む、チャネル22の表面全体を覆っていてもよく、又はチャネルの一部のみ、すなわち底壁部分52だけを覆っていてもよい。
チャネル22は、約5μm〜200μmの範囲内の長さ、約5μm〜200μmの範囲内の深さ、及び概ね数ミリメートル〜2.5cmの範囲内の長さを有し得る。長方形の断面を有するチャネル22が示されるが、たとえば円形、楕円形などの他の形状をとることもできる。さらに、注入口28及び排出口30も別の形状をとることができる。
たとえばガラスから形成される結合カバー32及び34をそれぞれ、センサチップ14とポンピングテーブル12との間、及び光検出器16とセンサチップ14との間に配置することができる。さらに、ガラス結合カバー34上にある薄膜結合フィルム(図示せず)を用いて、ガラス結合カバー34とセンサチップ14との間の密接な光学接触又は結合を確保することもできる。薄膜は、センサチップ14の屈折率を光検出器16の屈折率に整合させる屈折率整合材料から形成され得る。薄膜は、たとえば、Upilex製品及びKapton製品のような、ポリイミドから形成されてもよく、たとえば約10〜150μmの厚みを有し得る。
図1及び図2に示されるような、本発明の1つの例示的な実施形態では、センサチップ14は、その中にチャネル22を含む、固体成形ユニットであってもよい。センサチップ14は、複数の個別の、又は相互に接続されるチャネル(図示せず)を含み得る。
センサチップ14のための不透明な材料は、特定の検査に応じて選択され得る。ポリイミドは、耐化学薬品性があり、タンパク質吸着が少なく、プロトタイプ作製及び集積に時間がかからないという特徴を有する。シリコンセンサは、電子回路を集積できるようにし、且つ、既知のフォトリソグラフィ及びマイクロマシニング技術を使用できるようにするので有用である。
ポリイミドは、従来の二酸化シリコン系分離システムにおいては分析するのが特に難しいことが知られている、タンパク質及びペプチドへの吸着特性が低いことが実証されている。この難しい種類の溶質との分離の成功が実証されたことは、一般的には、他の種類の溶質の分離では問題が生じないであろうことを確実にする。さらに、ポリイミドは縮合ポリマーであるので、その表面に種々の特性基を化学的に結合することができ、目的とする分析に応じて、種々の所望の表面特性を提供することができる。ポリマー基板へのこれらの結合は、塩基性領域(pH9から10)内でのpH安定性を示す。
センサチップ14は、表面プラズモンを生成するために、光検出器16の光放射発生器50によって生成される光放射が通り抜けられるようにすることができる。センサチップ14は不透明であるが、光検出器16の光放射発生器50によって生成される光放射が、たとえば矢印Aに沿ってセンサチップ14の底部分52を通り抜けることができ、且つたとえば矢印Bに沿って、反射して光検出器16の光放射センサ56に戻ることができる材料から形成され得る。
本発明の1つの例示的な実施形態では、センサチップ14は、Kapton(登録商標)としてDupont (Wilmington, Del.)から市販されるもの、又はUpilex(登録商標)として宇部興産株式会社(日本)から市販されるものなどの、ポリイミド材料から形成され得る。ポリイミドは、700nm以上の波長に対して相対的に透過性を有する。それゆえ、たとえば、ポリイミドセンサチップを用いる本発明の1つの例示的な実施形態では、光検出器16の光放射発生器50は、検出するために700nm以上の光放射を放射するように構成される。
シリコン及びポリイミド材料は1100nmよりも長い波長に対して相対的に透過性を有する。それゆえ、たとえば、ポリイミド又はシリコンのいずれかのセンサチップを組み込む実施形態の場合、光検出器16の光放射発生器50は、たとえば、1100nm以上の波長を有する光放射を放射するように構成してもよい。その光放射は、シリコン及び/又はポリイミドから形成されるセンサチップ14の少なくとも一部を通り抜けることができ、検出可能な表面プラズモンを生成することができる。
本発明のSPRシステムは以下に例示されるように用いることができる。最初に、特定のタイプの必要とされる検査を実施するために、どのセンサチップ材料タイプが最も適しているかに関して判定を行い得る。従来技術のSPRシステムとは異なり、表面プラズモンを生成するために、光検出器16は不透明な材料を通り抜ける光放射を放射するように構成されるので、センサチップ14は透明である必要はない。上記のように、ポリイミドは耐化学薬品性があり、タンパク質吸着が少なく、プロトタイプ作製及び集積に時間がかからないという特徴を有する。さらに、シリコンセンサは、電子回路を集積できるようにし、且つ、既知のフォトリソグラフィ及びマイクロマシニング技術を使用できるようにするので有用である。それらの材料が透明でないという事実にもかかわらず、センサチップ14に、これらの材料のいずれを用いてもよい。
予め選択されたセンサチップ14内のチャネル22の少なくとも一部は、たとえば薄膜26に直に付着することができるか、又はナノビーズ、ナノポーラスコーティングなどの表面積が大きな媒体を介して間接的に付着することができる媒体54、たとえば化学的に処理されたシリカ系媒体、金系媒体、非特異的に結合するポリマー、疎水性シロキサン表面、イオン交換ポリマーなどで処理され得る。
本発明の1つの例示的な実施形態では、クロマトグラフ媒体55、たとえば化学的に改質されたシリカ系又は「ゴールド・オン・シリカ」系クロマトグラフ媒体が、チャネル22内の表面プラズモン生成薄膜26に、又は図1に示されるように、表面プラズモン生成薄膜からの下流にある個別のチャネル又はチャンバ23内に結合されることができる。その媒体は、表面プラズモン生成薄膜26と同じようにして改質することができる。改質は、その場で、又はチャネル若しくはチャンバ22、23内にその媒体を配置する前に行うことができる。流体の流れの含有物のためにその場で行われる改質には、表面プラズモン生成薄膜を含むか、又はそれと接触しているチャネル22の部分で同時に実行することができるリガンド−ライゲート結合を用いることができる。媒体をチャネル又はチャンバ23内に配置する前に行うことができる化学的な改質は、表面プラズモン生成薄膜上で実行されてきた、薄膜がリガンド−ライゲート結合に適応できるようにする工程と全く同じではないが類似の工程から成ることができる。
その媒体55は、SPR現象が生じているエリアの上方にあるチャネル22内に、又はその下流にある、物理的に表面プラズモン生成薄膜を越えて位置するエリア内にあるチャネル又はチャンバ23内に配置することができる。このエリア、チャネル又はチャンバ23は、たとえば、堰構造を用いて、又は図1に示されるように、1つのエリア内に媒体を集合させるように、エリア、チャネル又はチャンバ寸法を調整すること、たとえばテーパを設けることによって作り出すことができる。
本発明の1つの例示的な実施形態では、たとえば、イムノグロブリン(IgG)上にあるアミン官能基を用いて、IgGに共有結合される、SAM(自己組織化単層)、又は、たとえばカルボキシル化デキストラン(carboxylated dextran)、又は、ポリグルタミン酸、ポリアクリル酸若しくはメルカプトウンデカン酸などを含むカルボキシル化ポリマーブラシを、チャネル表面に付着させることができる。
本発明の1つの例示的な実施形態では、ビオチン標識化されたウシ血清アルブミン(ビオチン−BSA)を変性させて結合する疎水性表面を用いることができ、さらにビオチン−BSAを用いて、アビジン又はストレプトアビジン分子を固定化することができ、さらにそれらの分子を用いて、ビオチン改質(又は「共役」)IgGを固定化することができる。
たとえば、タンパク質又はペプチド断片(peptide factions)を含む未知のサンプル又はライゲート溶液が、たとえばロータ18及びステータ36を介して、チャネル22内に導入され、媒体54と接触することができる。1つの例示的な実施形態では、IgGに対して親和性を有するプロテインAを用いることができる。プロテインAは、ポリ(リシン)又はポリ(アリルアミン)によって改質された基板(ポリカチオン)上での静電的な相互作用によって、又はアミン−カルボキシレート化学反応による共有結合によって、又はアルデヒドを豊富に含む表面、たとえばアルデヒドデキストランブラシを用いる還元的なアミノ化(amination)によって固定化することができる。
媒体54と未知のサンプル又はライゲートとの間の相互作用は、光検出器16の光放射発生器50によって生成される光放射を薄膜26の底面に向けて誘導し、処理ユニット(図示せず)を用いて、「共鳴角」の変化を計算することによって観測することができる。「共鳴角」は、既知の方法を用いて判定することができる。たとえば、センサチップ14又は光検出器16を揺動又は旋回させることができる。その場合に、共鳴条件が、照明の波長の関数としての反射強度の一時的な低下として検出されるか、又は光検出器16によって出力される広帯域の光放射を走査又は掃引することができ、その場合には、スペクトロメータを用いて、反射した光が共鳴によって吸収される波長を見つけることができる。
上記のように、光検出器16によって生成される光放射は少なくとも、スペクトルの可視領域の部分以外の光放射を含むことができる。
さらに、上記のように、光検出器16は、薄膜26から反射される光放射を測定するためのセンサ56を備えることもできる。本発明の1つの例示的な実施形態では、センサ56には、シリコン系センサ、たとえばCMOSチップ、PINダイオード、CCDアレイなどを用いることができる。
約900nmよりも長い波長はシリコンセンサを通り抜ける傾向があり、すなわちシリコン系センサは、波長が長くなるほど透過性がある。それゆえ、本発明の1つの例示的な実施形態では、センサ56には、InGaAsセンサ、たとえば浜松ホトニクス株式会社によって製造されるInGaAsセンサのような赤外線センサを用いることができる。赤外線センサは、約1100〜2000nmの光放射に対して感度がある。
本発明はマイクロ流体チップに限定されないことに留意されたい。さらに正確に言うと、そのセンサチップは、プラズモン生成薄膜を有する、不透明な材料、たとえばポリイミド又はシリコンから形成される基板を備えることができ、チャネルを含んでも、含まなくてもよい。その場合に、センサチップ14は、光検出器上に実装又は配置される簡単な固体基板であってもよい。分析対象のサンプルを、表面プラズモン生成層上にある基板の上側表面上に置くことができる。
図3は、本発明の別の例示的な実施形態のセンサチップ14’の断面を示す。センサチップ14’は、上側チャネル表面40を有する上側層38と、第1の側方チャネル表面44及び第2の側方チャネル表面46を有する中間層42と、下側チャネル表面50を有する下側層48とを含む、多層化基板を含むことができる。全ての層38、42及び48は、その個々の上側及び下側表面において永久的に結合されて、センサチップ14’を形成することができる。上側チャネル表面40、第1の側方チャネル表面44、第2の側方チャネル表面46及び下側チャネル表面50を合わせて、チャネル22’が画定される。チャネル22’は中間層42においてレーザアブレーション又はエッチングによって形成することができ、約5μm〜200μmの範囲内の長さと、約5μm〜200μmの範囲内の深さと、概ね数ミリメートル〜2.5cmの範囲内の長さとを有することができる。長方形の断面を有するチャネル22’が示されるが、たとえば円形、楕円形などの他の形状をとることもできる。さらに、チャネル22’に対する注入口28’及び排出口30’も別の形状をとることができる。
センサチップ14’は2つの層又は4つ以上の層を含む場合もあることに留意されたい。2つのだけの層から成る場合には、チャネル22’は、それらの層の一方又は両方の表面内に形成される凹部によって作り出すことができる。別法では、多数の層を用いて、所与の段の厚みを増してもよく、又は凹部を含む段を実効的に積重してもよい。本発明の1つの例示的な実施形態では、2つのセンサチップを積重して、二段センサチップを形成することができる。
層38、42、48は同じ又は異なる材料から形成されてもよく、層38、42、48を互いに接合するために用いられる、Dupontから市販されるKJ(登録商標)として知られている熱接着剤の形のポリイミドの薄層を用いて同時押出し成形してもよい。熱接着層は、層38、42、48の片面又は両面に存在することができる。
表面プラズモン生成薄膜26’が下側チャネル表面50の少なくとも一部を覆っていてもよい。第1の側方チャネル表面44、第2の側方チャネル表面46及び/又は上側チャネル表面40も薄膜26’で覆うことができる。薄膜26’は、限定はしないが、金又は銀のような金属などの表面プラズモン生成材料から形成されることができる。本発明の1つの例示的な実施形態では、そのコーティングは、たとえば、概ね20〜50ナノメートルの厚みを有する金属から形成される。
層38、42、48は、10ミクロン〜1ミリメートルの範囲内の厚みで、十分な強度及び可撓性を有する材料から形成されることができる。その材料は耐溶剤性にすることもできる。
本発明の1つの例示的な実施形態では、図1及び図2のセンサチップ14の場合のように、薄膜26’は媒体54で処理することができ、チャネル22’内に、又は図1に示されるように、表面プラズモン生成薄膜26’から下流にある個別のチャネル又はチャンバ内にクロマトグラフ媒体55を含むことができる。
本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、本発明の数多くの明らかに広範な種々の実施形態を実施することができるので、本発明が添付の特許請求の範囲において規定される場合を除いて、その特定の実施形態に限定されないことを理解されたい。
本発明のマイクロ流体システムの長手方向の断面図である。 図1の断面図に示されるセンサチップの平面図である。 本発明のセンサチップの1つの例示的な実施形態の断面図である。
符号の説明
10 マイクロ流体システム
12 ポンピングテーブル
14 センサチップ
16 光検出器
18 ロータ
20 チャネル
22 チャネル
24 廃棄物ライン
26 表面プラズモン生成薄膜
28 注入口
30 排出口
32,34 結合カバー
36 ステータ
55 クロマトグラフ媒体

Claims (7)

  1. 少なくとも一部に表面プラズモン生成薄膜を含む基板を備えるSPRセンサチップであって、前記SPRセンサチップは、所定の波長を有する赤外線放射光を通過させて前記表面プラズモン生成薄膜に達することができるようにポリイミド材料により少なくとも部分的に形成され、前記ポリイミド材料は、可視光に対して透過性ではないが、不可視波長範囲の少なくとも一部における所定の波長を有する赤外線放射光に対して透過性である、SPRセンサチップ。
  2. 前記基板は少なくとも1つのチャネルを備え、前記表面プラズモン生成薄膜は前記チャネル内に、又は該チャネルに隣接して配置される、請求項1に記載のSPRセンサチップ。
  3. 前記表面プラズモン生成薄膜に隣接した少なくとも1つのチャネルにおいて、クロマトグラフ分離媒体をさらに備える、請求項2に記載のSPRセンサチップ。
  4. 前記表面プラズモン生成薄膜に結合される親和性媒体をさらに備える、請求項1、2又は3に記載のSPRセンサチップ。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載のSPRセンサチップと、
    前記所定の波長の不可視放射を生成し、前記PRセンサチップに向かって該不可視放射を誘導するように構成された光検出器と
    を備える、SPRシステム。
  6. 前記光検出器は、前記不可視放射が前記表面プラズモン生成薄膜から反射された後に、前記不可視放射を検出するように構成された検出器をさらに備える、請求項5に記載のSPRシステム。
  7. 請求項1〜4のいずれか1項に記載のSPRセンサチップを提供するステップと、
    対象となる溶液を前記チャネルに通すステップと、
    前記表面プラズモン生成薄膜に向けて、不可視放射を前記SPRセンサチップの前記基板に通すステップとを含む、方法。
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070176728A1 (en) * 2006-01-31 2007-08-02 Ranganath Tirumala R Tiled periodic metal film sensors
US20080318334A1 (en) * 2007-06-20 2008-12-25 Robotti Karla M Microfluidic devices comprising fluid flow paths having a monolithic chromatographic material
WO2009022985A1 (en) * 2007-08-14 2009-02-19 Agency For Science, Technology And Research Sensor chip for use in optical spectroscopy
US20090084166A1 (en) * 2007-09-27 2009-04-02 Robotti Karla M Sensors comprising a chelated metal ion linker layer
CN101868711B (zh) * 2007-11-22 2013-09-18 皇家飞利浦电子股份有限公司 组合的光学和电学传感器盒
JP4806699B2 (ja) * 2008-08-01 2011-11-02 日本電信電話株式会社 マイクロチップ及び該マイクロチップを用いた抗体固定化方法
CN101650370B (zh) * 2008-08-13 2013-05-01 中国科学院电子学研究所 一种集成微流控传感芯片及其对微流体进行检测方法
US8110148B2 (en) * 2008-11-06 2012-02-07 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Apparatus and method using rotary flow distribution mechanisms
US8696991B1 (en) 2010-01-04 2014-04-15 Harold W. Howe Field deployable surface plasmon resonance based biosensor
JP5796333B2 (ja) * 2011-04-26 2015-10-21 Jfeエンジニアリング株式会社 マイクロチップユニット及びマイクロチップユニットを用いた化合物の合成装置
US9417186B2 (en) * 2012-08-30 2016-08-16 Infineon Technologies Ag Opto-electronic sensor
MX362545B (es) * 2013-02-18 2019-01-24 Theranos Ip Co Llc Analisis de imagen y medicion de muestras biologicas.
US9757726B2 (en) * 2013-03-14 2017-09-12 Inguran, Llc System for high throughput sperm sorting
KR101759894B1 (ko) * 2014-04-09 2017-07-31 (주)플렉센스 랩온어칩 및 이의 제조 방법
ES2701832T3 (es) * 2014-05-27 2019-02-26 Academia Sinica Dispositivo de detección, y sistema de detección y método de detección que usan el mismo
WO2016132625A1 (ja) * 2015-02-18 2016-08-25 シャープ株式会社 試料容器、計測方法、および試料容器の製造方法
US10859493B2 (en) 2015-06-12 2020-12-08 Lacrisciences, Llc Miniature, field portable, surface plasmon resonance apparatus and its applications in the detection of chemical and biological agents
EP3353531A2 (en) 2015-09-24 2018-08-01 LacriSciences LLC Optical sensors, systems and methods of using same
CA3005050A1 (en) 2015-11-10 2017-05-18 Lacriscience, Llc Systems and methods for determining sample osmolarity
CN105609588B (zh) * 2016-01-22 2018-01-05 南京理工大学 Au纳米颗粒增强的高性能无机钙钛矿CsPbX3纳米晶可见光探测器
DE102017105113B4 (de) 2017-03-10 2021-09-30 Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Engl.Leibniz Institute of Photonic Technology) Anordnung und Verfahren für die Erfassung von Änderungen der optischen Weglänge in einem Nano-Kapillarkanal
CN108931503A (zh) * 2018-04-19 2018-12-04 中山大学 一种基于局域表面等离子体共振传感的多指标检测器件

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10253529A (ja) * 1997-03-05 1998-09-25 Nippon Laser Denshi Kk 液体クロマトグラフ装置用センサー
JP2003075334A (ja) * 2001-08-31 2003-03-12 Fuji Photo Film Co Ltd 全反射減衰を利用したセンサー
JP2003270131A (ja) * 2002-03-19 2003-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 特定成分の濃度測定方法
JP2004309552A (ja) * 2003-04-02 2004-11-04 Dainippon Printing Co Ltd 光回路部材とその製造方法
JP2004361256A (ja) * 2003-06-05 2004-12-24 Aisin Seiki Co Ltd 表面プラズモン共鳴センサー及び表面プラズモン共鳴測定装置
JP2005156415A (ja) * 2003-11-27 2005-06-16 Aisin Seiki Co Ltd 表面プラズモン共鳴センサ

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9100392D0 (sv) * 1991-02-08 1991-02-08 Pharmacia Biosensor Ab A method of producing a sealing means in a microfluidic structure and a microfluidic structure comprising such sealing means
US5395587A (en) * 1993-07-06 1995-03-07 Smithkline Beecham Corporation Surface plasmon resonance detector having collector for eluted ligate
JP3032677B2 (ja) * 1994-03-24 2000-04-17 アヴェンティス・リサーチ・ウント・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー 燃料蒸気判別方法及び装置
US5658413A (en) * 1994-10-19 1997-08-19 Hewlett-Packard Company Miniaturized planar columns in novel support media for liquid phase analysis
US5500071A (en) * 1994-10-19 1996-03-19 Hewlett-Packard Company Miniaturized planar columns in novel support media for liquid phase analysis
US6066448A (en) * 1995-03-10 2000-05-23 Meso Sclae Technologies, Llc. Multi-array, multi-specific electrochemiluminescence testing
SE9502258D0 (sv) * 1995-06-21 1995-06-21 Pharmacia Biotech Ab Method for the manufacture of a membrane-containing microstructure
US6415235B1 (en) * 1996-11-06 2002-07-02 Texas Instruments Incorporated Fixed optic sensor system and distributed sensor network
AU730827B2 (en) * 1997-06-09 2001-03-15 Caliper Technologies Corporation Apparatus and methods for correcting for variable velocity in microfluidic systems
DE69902023T2 (de) * 1998-01-23 2003-02-27 Torsana Biosensor As Vedbaek Nachweis einer substanz durch brechzahländerung
JP3380744B2 (ja) * 1998-05-19 2003-02-24 株式会社日立製作所 センサおよびこれを利用した測定装置
WO2000052457A1 (en) * 1999-03-02 2000-09-08 Helix Biopharma Corporation Card-based biosensor device
US6008893A (en) * 1999-03-22 1999-12-28 Biacore Ab Reversible-flow conduit system
US6127129A (en) * 1999-05-04 2000-10-03 Wisconsin Alumni Research Foundation Process to create biomolecule and/or cellular arrays on metal surfaces and product produced thereby
US8080380B2 (en) * 1999-05-21 2011-12-20 Illumina, Inc. Use of microfluidic systems in the detection of target analytes using microsphere arrays
US6361958B1 (en) * 1999-11-12 2002-03-26 Motorola, Inc. Biochannel assay for hybridization with biomaterial
US20010030751A1 (en) * 1999-12-22 2001-10-18 Bartholomew Dwight U. Sensor and method for determining a property of each of a plurality of liquids
AU1290402A (en) * 2000-11-02 2002-05-15 Biacore Ab Valve integrally associated with microfluidic liquid transport assembly
US6809828B2 (en) * 2001-01-25 2004-10-26 Texas Tech University Universal detector for biological and chemical separations or assays using plastic microfluidic devices
US20020187557A1 (en) * 2001-06-07 2002-12-12 Hobbs Steven E. Systems and methods for introducing samples into microfluidic devices
US7670556B2 (en) * 2001-07-10 2010-03-02 Wisconsin Alumni Research Foundation Surface plasmon resonance imaging of micro-arrays
WO2003014711A1 (fr) * 2001-08-07 2003-02-20 Mitsubishi Chemical Corporation Puce de detection a resonance de plasmon de surface et procede et dispositif d'analyse d'echantillon utilisant cette puce
AU2003276870A1 (en) * 2002-09-07 2004-03-29 Lightwave Bioapplications Bioanalysis systems including optical integrated circuit
US6867857B2 (en) 2002-10-29 2005-03-15 Nanostream, Inc. Flow cell for optical analysis of a fluid
US7403281B2 (en) * 2004-05-07 2008-07-22 University Of Wyoming Raman spectrometer

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10253529A (ja) * 1997-03-05 1998-09-25 Nippon Laser Denshi Kk 液体クロマトグラフ装置用センサー
JP2003075334A (ja) * 2001-08-31 2003-03-12 Fuji Photo Film Co Ltd 全反射減衰を利用したセンサー
JP2003270131A (ja) * 2002-03-19 2003-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 特定成分の濃度測定方法
JP2004309552A (ja) * 2003-04-02 2004-11-04 Dainippon Printing Co Ltd 光回路部材とその製造方法
JP2004361256A (ja) * 2003-06-05 2004-12-24 Aisin Seiki Co Ltd 表面プラズモン共鳴センサー及び表面プラズモン共鳴測定装置
JP2005156415A (ja) * 2003-11-27 2005-06-16 Aisin Seiki Co Ltd 表面プラズモン共鳴センサ

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