JP4548789B2 - ウェーハ封止機構を有する液浸リソグラフィシステム - Google Patents
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- ウェーハ上に液浸リソグラフィ工程を行う液浸液を提供する液体と、
前記液浸液を前記液浸リソグラフィ工程へ用いるときに、前記ウェーハの縁のカバー部分から前記液浸液が漏出しないように前記ウェーハの縁の所定部分の上面をカバーするシールリングと、
前記ウェーハ上にある前記シールリングを設置したり除去したりするシールリングキャリアと、
を備えることを特徴とする液浸リソグラフィシステム。 - 前記ウェーハを設置するウェーハステージをさらに備えることを特徴とする請求項1記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記ウェーハステージは、前記ウェーハの上面を前記ウェーハに隣接する部分の上面と共面にする前記ウェーハを設置する凹溝をさらに備えることを特徴とする請求項2記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記凹溝は、前記シールリングの上面を前記凹溝の外部周縁の上面と共面にするダブルステップ構造を有することを特徴とする請求項3記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記ウェーハは、凹溝中に入れられずに前記ウェーハステージ上に設置されることを特徴とする請求項2記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記シールリングは、前記ウェーハの縁を超えるように延伸していることを特徴とする請求項1記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記シールリングキャリアは、前記シールリングを固定する、固定アームまたは折り畳み可能なアームのうちから選んだ少なくとも一つのアームを備えることを特徴とする請求項1記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記シールリングキャリアは、真空吸引力により前記シールリングを固定することを特徴とする請求項1記載の液浸リソグラフィシステム。
- ウェーハステージの凹溝中へウェーハを設置するステップと、
シールリングキャリアによってシールリングを設置して所定の前記ウェーハの縁部分の上面をカバーするステップと、
前記ウェーハ上に液浸液を用いて液浸リソグラフィ工程を行うステップと、
前記シールリングキャリアによって前記シールリングを取り除くステップと、
を含む液浸リソグラフィ方法であって、
前記シールリングにより前記ウェーハの縁のカバー部分から前記液浸液が漏出しないようにすることを特徴とする液浸リソグラフィ方法。
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