JP4708860B2 - 液浸露光装置 - Google Patents
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Description
(1)レンズ下の液膜を保持したまま、ウエハ上から液膜を退避させる。
(2)レンズ下の液膜を除去し、ウエハ上面の液膜をなくする。
前記最終光学素子の周辺に配置され、前記最終光学素子の下に液膜を供給し、かつ、該液膜を回収するノズルユニットを有し、
前記ノズルユニットには、気体を供給する気体供給口が設けられており、
前記ノズルユニットは、前記最終光学素子の下の液膜を回収し、かつ、該液膜のかわりに、前記最終光学素子および前記ノズルユニットの下の空間より外側の空間の湿度より高湿度の気体を前記最終光学素子の下に前記気体供給口から供給する、ことを特徴とする液浸露光装置である。
(ステップ1)図2のステージ位置においてステージ22bはウエハチェンジャー29からウエハ25bを受け取る。
(ステップ2)その後ステージ22bを移動させながらアライメントスコープ32はウエハ上のアライメントマーク及びウエハ基板22b上のアライメント用の基準マークを計測し、ウエハ基板に保持されたウエハのアライメント計測を行う。また、同時にフォーカススコープ33はウエハの面形状及び光軸方向のフォーカス計測を行う。
(ステップ3)アライメント計測及びフォーカス計測が終了した後、ステージ22bは鏡筒36のレンズ下位置に移動する。図4参照。
(ステップ4)ステージ22bが計測動作を実行している間、ステージ22aはレンズ下に液膜を保持した状態で、液浸露光を実行する。
(ステップ5)液浸露光を終了したステージ22aは、前記実施例1のように液体を回収し、レンズ下空間には高湿度の気体が供給されている。
(ステップ6)ステージ22aは(ステップ5)の状態、ステージ22bは(ステップ3)の状態で、図4のレンズ下位置に待機している。その後2つのステージは同期して移動し、レンズ下位置にあるステージはステージ22aからステージ22bに変わる。図5はこのときの移動途中のステージの側面図を表す。
(ステップ7)ステージ22bがレンズ下にある状態でレンズ下には、新たな液体が供給される。図6参照。
(ステップ8)同時にステージ22aはウエハチェンジャー29の近傍に移動する。
(ステップ9)ウエハチェンジャー29により、ステージ22aからウエハ10aが回収される。
(ステップ10)ステージ22bとステージ22aの役割を交換し、ステップ1からの動作が繰り返される。
2 ノズル
3 壁
4 気体供給口
5 供給気体
6 気体回収口
7 回収気体
8 レンズ下空間
10a,10b ウエハ1,2
21 ウエハステージ定盤
22a,22b ウエハステージ1,2
23a,23b 補助ステージ1,2
24a,24b ガイドレール1,2
25a,25b ステージ基板1,2
29 ウエハチェンジャー
31 スコープ支持台
32 アライメントスコープ
33 フォーカススコープ
36 鏡筒
Claims (4)
- 最終光学素子の下の液膜を介してウエハを露光する液浸露光装置において、
前記最終光学素子の周辺に配置され、前記最終光学素子の下に液膜を供給し、かつ、該液膜を回収するノズルユニットを有し、
前記ノズルユニットには、気体を供給する気体供給口が設けられており、
前記ノズルユニットは、前記最終光学素子の下の液膜を回収し、かつ、該液膜のかわりに、前記最終光学素子および前記ノズルユニットの下の空間より外側の空間の湿度より高湿度の気体を前記最終光学素子の下に前記気体供給口から供給する、ことを特徴とする液浸露光装置。 - 前記ノズルユニットに、前記気体供給口および前記最終光学素子の下の空間を含む空間を囲む壁が設けられている、ことを特徴とする請求項1記載の液浸露光装置。
- 前記ノズルユニットの前記壁よりも内側に、気体を回収する気体回収口が設けられており、
前記気体回収口は、前記気体供給口からの前記高湿度の気体の供給と同時に、気体を回収する、ことを特徴とする請求項2記載の液浸露光装置。 - ウエハを保持し移動する2つのウエハステージを有し、
前記2つのウエハステージは、前記最終光学素子の下で交換され、
前記2つのウエハステージは、その少なくとも一方のウエハステージが前記最終光学素子の下に常に存在するように交換される、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の液浸露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005149329A JP4708860B2 (ja) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 液浸露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005149329A JP4708860B2 (ja) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 液浸露光装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332100A JP2006332100A (ja) | 2006-12-07 |
JP2006332100A5 JP2006332100A5 (ja) | 2008-07-03 |
JP4708860B2 true JP4708860B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=37553519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005149329A Expired - Fee Related JP4708860B2 (ja) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 液浸露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4708860B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4899473B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2012-03-21 | 株式会社ニコン | 結像光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
US7866637B2 (en) | 2007-01-26 | 2011-01-11 | Asml Netherlands B.V. | Humidifying apparatus, lithographic apparatus and humidifying method |
JP5157637B2 (ja) * | 2008-05-21 | 2013-03-06 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004086470A1 (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-07 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2004114380A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005064210A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Nikon Corp | 露光方法、該露光方法を利用した電子デバイスの製造方法及び露光装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101364889B1 (ko) * | 2003-04-10 | 2014-02-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 장치용 진공 배출을 포함하는 환경 시스템 |
-
2005
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004086470A1 (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-07 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2004114380A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005064210A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Nikon Corp | 露光方法、該露光方法を利用した電子デバイスの製造方法及び露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006332100A (ja) | 2006-12-07 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080516 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101129 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |