JP4539384B2 - マイクロレンズの製造方法、及びマイクロレンズ用型の製造方法 - Google Patents
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- 凹形状、凸形状、又は凹凸形状を近似した階段状のパターンから形成されるマイクロレンズの製作方法であって、基板上にレジストを塗布し、前記階段状のパターンで同じ高さとなる領域を、それぞれ1枚ずつのマスクを使用して露光し、これらのマスクを使用した露光が終わった後で、全露光領域に対して等しい露光量で一括露光を行い、その後レジストを現像する工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
- 請求項1に記載のマイクロレンズの製造方法であって、前記レジストを現像した後、前記レジストと前記基板を同時にエッチングすることにより前記レジストを除去し、前記レジストに形成されていた形状を前記基板に転写する工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
- レンズの形状を凹形状、凸形状、又は凹凸形状を近似した階段状のパターンに近似し、請求項1に記載の方法により、前記階段状の形状のレジストを有するマイクロレンズを製造し、その後、前記レジストを溶解する溶剤の蒸気の雰囲気中に曝露することにより、前記階段状の部分を滑らかにする工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
- 請求項3に記載のマイクロレンズの製造方法であって、前記レジストの階段状の部分を滑らかにした後、前記レジストと前記基板を同時にエッチングすることにより前記レジストを除去し、前記レジストに形成されていた形状を前記基板に転写する工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
- 請求項1から請求項4に記載のマイクロレンズを、マイクロレンズ製造用型に代えたマイクロレンズ用型の製造方法。
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JPH0821908A (ja) * | 1994-07-11 | 1996-01-23 | Fujitsu Ltd | 光学素子の製造方法 |
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JPH07191209A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Fujitsu Ltd | 微小光学素子の製造方法 |
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