JP4529606B2 - 近接露光装置及び近接露光装置の制御方法 - Google Patents
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このような近接露光装置では、マスク保持枠の下面に設けたマスク吸着部に、マスクの端部が吸着保持されているとともに、マスク保持を確実にするために、爪部材をマスクの端部に当接した機械的な保持機構でマスクがマスク保持枠に固定されている。
また、マスクの歪み発生を防止するために爪部材による局部的な固定を行わず、真空圧のみでマスクを吸着保持すると、何らかの原因で真空圧が停止したときに、マスクがマスク保持枠から落下して破損するおそれがある。
また、請求項3記載の発明は、被露光材としての基板を保持する基板ステージと、この基板ステージの上方に配置したマスクフレームと、このマスクフレームの中央部開口にマスク位置調整手段を介して配置したマスク保持枠と、このマスク保持枠の下面に設けられ、マスクパターンを有するマスクを吸着保持するマスク吸着部と、パターン露光用の光を照射する照射手段とを備え、前記基板を前記マスクに接近させ、前記照射手段の光を前記マスクに向けて上方から照射することでマスクパターンを前記基板に露光転写する近接露光装置の制御方法において、前記マスク吸着部に保持される前記マスクの端部の下方に位置するクランパを、ブレーキ付きシリンダを作動させて前記マスクの下面に当接させるステップと、前記クランパが前記マスクの下面に当接した後に、前記ブレーキ付きシリンダをそのピストンロッドを微小にストロークさせるブレーキ開放状態に制御するステップと、前記ブレーキ付きシリンダをブレーキ開放状態としてから所定時間経過後にブレーキ作動状態とするステップとを有している。
また、ブレーキ付きシリンダをブレーキ開放状態とし、所定時間の経過後に、ブレーキ付きシリンダをブレーキ作動状態とすることから、マスクの下面に当接しているクランパの押し付け力が低減するので、クランパの押し付けによるマスクの歪みの発生を最小限に抑えることができ、基板に露光転写される露光パターンの精度悪化を防止することができる。
さらに、請求項2記載の近接露光装置によると、上記の効果に加えて、マスク吸着部へのマスクの吸着保持を、迅速、且つ確実に行うことができる。
図1は、本発明に係る近接露光装置の概略構成を示す図であり、図2は、本実施形態の装置のマスクステージ1を上方から示した図であり、図3及び図4は、本発明に係る第1実施形態のマスク脱落防止機構40を示す図である。
図1に示すように、本実施形態の装置は、露光すべきパターンが描かれているマスクMを、マスクステージ1で保持すると共に、基板Wを基板ステージ2で保持し、この状態で基板ステージ2をマスクMに対してX軸方向とY軸方向の二軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にマスクMと基板Wとを近接して対向配置した状態で、照射手段3からパターン露光用の光をマスクMに向けて照射することにより、マスクMのパターンを基板W上に露光転写するようにした装置である。
Y軸ステージ送り機構5と基板ステージ2の間には、基板ステージ2の単純な上下動作を行う上下粗動装置7と、基板ステージ2を上下に微動させてマスクMと基板Wとの対向面間のすき間を所定量に微調整する上下微動装置8が設置されている。
ギャップセンサ31は、後述する真空吸着板26のY軸方向に沿う二辺の内側上方にY軸方向に互いに離間して2カ所ずつ、合計4箇所配置されており、これらの4個のギャップセンサ31による測定結果に基づいて図示しない制御装置で演算処理を行うことでマスクMと基板Wとの対向面間の平行度のずれ量を検出することができ、この検出ずれ量に応じて上述した上下微動装置8の上下微動機能と傾き調整機能が制御されてマスクMと基板Wとの対向面間の平行度が確保されるようになっている。
各マスク脱落防止機構40は、図3及び図4に示すように、真空吸着板26の下方に位置する板状のクランパ42と、クランパ42の上面に設けられてマスクMの端部の下面に当接可能なプラスチック製やウレタン製等の当接部材44と、シリンダ本体46aをマスク保持枠25に固定し、ピストンロッド46bをクランパ42の長手方向の両端部に連結してクランパ42を上下方向に移動させる一対のシリンダ46と、一対のシリンダ46の空気供給制御を行う制御バルブ48と、制御バルブ48に対して制御信号を送るコントローラ50とで構成されている。
先ず、ブレーキ付きシリンダ46のピストンロッド46aを縮退させて、クランパ42を上昇させていく(ステップS10)。
次に、クランパ42の上面に設けた当接部材44がマスクMの端部の下面に当接したときに、ブレーキ付きシリンダ46の駆動を停止することで、クランパ42の上昇を停止する(ステップS20)。
次に、所定時間(例えば2、3秒)の経過後、ブレーキ付きシリンダ46をブレーキ作動状態とする(ステップS40)。
このように、マスク脱落防止機構40の当接部材44がマスクMの端部の下面に当接してマスクMを下側から支持しているので(ステップS20)、何らかの原因で真空圧発生装置の駆動が停止し、吸着保持板26によるマスクMの吸着保持が行われなくなっても、マスクMが落下して破損するのを防止することができる。
本実施形態の脱落防止機構54は、クランパ42の上面にマスク吸着補助シリンダ56を設け、このマスク吸着補助シリンダ56の空圧制御を行う制御バルブ58を設けている。
次に、コントローラ50のシーケンス処理による本実施形態のマスク脱落防止機構54の動作について図8のフローチャートを参照して説明する。なお、本実施形態では、マスク保持枠25の吸着保持板26にマスクMを吸着保持するときに、マスク脱落防止機構54が動作を開始するものとする。
次に、マスクMの吸着保持が完了した時点で、マスク吸着補助シリンダ56のピストンロッド56aがマスクMの下面から離れて押し付ける動作を解除する(ステップS4)。
次に、クランパ42の上面に設けた当接部材44がマスクMの端部の下面に当接したときに、ブレーキ付きシリンダ46の駆動を停止することで、クランパ42の上昇を停止(ステップS20)。
次に、所定時間(例えば2、3秒)の経過後、ブレーキ付きシリンダ46をブレーキ作動状態とする(ステップS40)。
本実施形態によると、クランパ42の上面に設けたマスク吸着補助シリンダ56が、吸着保持板26に吸着保持されるマスクMの補助動作を行うので、吸着保持板26へのマスクMの吸着保持を、迅速、且つ確実に行うことができる。
また、第1実施形態のマスク脱落防止機構40と同様の作用効果を奏することができる。
3 照射手段
10 X軸方向駆動装置(マスク位置調整手段)
12 Y軸方向駆動装置(マスク位置調整手段)
24 マスクフレーム
25 マスク保持枠
26 真空吸着板(マスク吸着部)
40,54 マスク脱落防止機構
42 クランパ
46 空圧式のブレーキ付きシリンダ
44 当接部材
50 コントローラ(制御部)
56 吸着保持シリンダ(マスク吸着補助手段)
W 基板
Claims (3)
- 被露光材としての基板を保持する基板ステージと、この基板ステージの上方に配置したマスクフレームと、このマスクフレームの中央部開口にマスク位置調整手段を介して配置したマスク保持枠と、このマスク保持枠の下面に設けられ、マスクパターンを有するマスクを吸着保持するマスク吸着部と、パターン露光用の光を照射する照射手段とを備え、前記基板を前記マスクに接近させ、前記照射手段の光を前記マスクに向けて上方から照射することでマスクパターンを前記基板に露光転写する近接露光装置において、
前記マスク吸着部に吸着保持される前記マスクの端部の下面を下側から支持するマスク脱落防止機構を備え、
該マスク脱落防止機構は、前記マスク吸着部に保持される前記マスクの端部の下方に位置するクランパと、このクランパを上下方向に移動可能なアクチュエータと、前記クランパが前記マスクの端部の下面に当接するように前記アクチュエータの駆動制御を行う制御部とを有し、
前記アクチュエータは、上下方向にストロークするピストンロッドが前記クランパと連結し、所定位置までストロークした前記ピストンロッドをその位置で保持するブレーキ作動状態と、前記ピストンロッドを微小にストロークさせるブレーキ開放状態を有するブレーキ付きシリンダであり、前記制御部は、前記クランパが前記マスクの下面に当接した後に前記ブレーキ付きシリンダをブレーキ開放状態とし、所定時間の経過後、ブレーキ作動状態とする制御を行うことを特徴とする近接露光装置。 - 前記クランパの上部にマスク吸着補助手段を設け、このマスク吸着補助手段は、前記マスク吸着部に対して前記マスクの吸着保持を行っているときに前記マスクを下側から押し付ける動作を行うとともに、前記マスクの吸着保持が完了したときに押し付け動作を解除することを特徴とする請求項1に記載の近接露光装置。
- 被露光材としての基板を保持する基板ステージと、この基板ステージの上方に配置したマスクフレームと、このマスクフレームの中央部開口にマスク位置調整手段を介して配置したマスク保持枠と、このマスク保持枠の下面に設けられ、マスクパターンを有するマスクを吸着保持するマスク吸着部と、パターン露光用の光を照射する照射手段とを備え、前記基板を前記マスクに接近させ、前記照射手段の光を前記マスクに向けて上方から照射することでマスクパターンを前記基板に露光転写する近接露光装置の制御方法において、
前記マスク吸着部に保持される前記マスクの端部の下方に位置するクランパを、ブレーキ付きシリンダを作動させて前記マスクの下面に当接させるステップと、
前記クランパが前記マスクの下面に当接した後に、前記ブレーキ付きシリンダをそのピストンロッドを微小にストロークさせるブレーキ開放状態に制御するステップと、
前記ブレーキ付きシリンダをブレーキ開放状態としてから所定時間経過後にブレーキ作動状態とするステップと
を有することを特徴とする近接露光装置の制御方法。
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