JP4525862B2 - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性波フィルタ装置を示す模式的平面図である。本実施形態の弾性波フィルタ装置1は、圧電基板2を有する。圧電基板2上に図示の電極構造が形成されており、それによって、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置が構成されている。
なお、以下において、IDT電極の電極指のピッチで定まる波長をλIとする。
第1,第5のIDT電極11a,11e:電極指の本数各40本、但し、40本の内5本が狭ピッチ電極指部Aの電極指
第3のIDT電極11c:電極指の本数79本、但し、両端にそれぞれ5本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Dが設けられている。
メタライゼーションレシオ:0.68
電極膜厚:0.091λI
なお、以下において、IDT電極の電極指のピッチで定まる波長をλIIとする。
電極指交差幅:11.0λII
IDT電極における電極指の本数:71本
反射器における電極指の本数:各18本
メタライゼーションレシオ:0.60
電極膜厚:0.095λII
弾性波共振子14,16の仕様:
なお、以下において、IDT電極の電極指のピッチで定まる波長をλIIIとする。
電極指交差幅:15.0λIII
IDT電極における電極指の本数:111本
反射器における電極指の本数:18本
メタライゼーションレシオ:0.60
電極膜厚:0.091λIII
なお、比較例として、狭ピッチ電極指部D及び狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数がいずれも4本とされており、狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Cの周期とが同一とされていることを除いては、上記実施形態と同様にして構成された弾性波フィルタ装置を用意した。
以下に、本発明の第2の実施形態について説明する。なお、第2の実施形態も第1の実施形態と同じく、図1に示した構造を有しているので、第1の実施形態と共通する部分は、同一符号を使用することで、説明を省略する。
電極指交差幅=14.9λI
第1,第5のIDT電極11a,11e:電極指の本数各37本、但し、37本の内3本が狭ピッチ電極指部Aの電極指
第3のIDT電極11c:電極指の本数85本、但し、両端にそれぞれ7本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Dが設けられている。
メタライゼーションレシオ:0.68
電極膜厚:0.091λI
第2,第4のIDT電極11b,11dの狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期よりも0.14μm小さい。
以下に、本発明の第3の実施形態について説明する。なお、第3の実施形態も第1の実施形態と同じく、図1に示した構造を有しているので、第1の実施形態と共通する部分は、同一符号を使用することで、説明を省略する。
電極指交差幅=16.9λI
第1,第5のIDT電極11a,11e:電極指の本数各42本、但し、42本の内3本が狭ピッチ電極指部Aの電極指
第3のIDT電極11c:電極指の本数55本、但し、両端にそれぞれ5本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Dが設けられている。
第2,第4のIDT電極11b,11d:電極指の本数43本、但し、狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の本数が3本であり、狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数が7本であり、残りの部分における電極指の本数が33本とされている。
第1,第2の反射器11f,11gにおける電極指の本数:各65本
メタライゼーションレシオ:0.68
電極膜厚:0.091λI
第1,第5のIDT電極11a,11eの狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期は、第3のIDT電極11cの狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期よりも0.076μm小さい。
なお、比較例として、狭ピッチ電極指部A〜Dにおける電極指の本数がいずれも4本とされており、狭ピッチ電極指部A〜Dにおける電極指の周期がことを除いては、上記実施形態と同様にして構成された弾性波フィルタ装置を用意した。
第1,第5のIDT電極11a,11e:電極指の本数各42本、但し、42本の内5本が狭ピッチ電極指部Aの電極指である。
第3のIDT電極11c:電極指の本数55本、但し、両端にそれぞれ3本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Dが設けられている。
第2,第4のIDT電極11b,11d:電極指の本数43本、但し、狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の本数が7本であり、狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数が3本であり、残りの部分における電極指の本数が33本とされている。
第1,第5のIDT電極11a,11eの狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期は、第3のIDT電極11cの狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期よりも0.076μm大きい。
第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ部12も、一部のIDT電極の位相が反転されていることを除いては、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部11と同様に構成すればよい。
1)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の本数<狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数
2)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期<狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期、または
狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期<狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期
3)第1,第5のIDT電極11a,11eのメインの電極指部における電極指の周期>第3のIDT電極11cのメインの電極指部における電極指の周期
1)狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の本数<狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の本数
2)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期<狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期、または
狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期<狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期
3)第1,第5のIDT電極11a,11eのメインの電極指部における電極指の周期>第3のIDT電極11cのメインの電極指部における電極指の周期
1)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の本数<狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数
2)狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の本数<狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の本数
3)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期<狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期
4)狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期<狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期
5)第1,第5のIDT電極11a,11eのメインの電極指部における電極指の周期>第3のIDT電極11cのメインの電極指部における電極指の周期
1)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の本数>狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数
2)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期>狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期、または
狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期>狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期
3)第1,第5のIDT電極11a,11eのメインの電極指部における電極指の周期<第3のIDT電極11cのメインの電極指部における電極指の周期
1)狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の本数>狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の本数
2)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期>狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期、または
狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期>狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期
3)第1,第5のIDT電極11a,11eのメインの電極指部における電極指の周期<第3のIDT電極11cのメインの電極指部における電極指の周期
1)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の本数>狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の本数
2)狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の本数>狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の本数
3)狭ピッチ電極指部Bにおける電極指の周期>狭ピッチ電極指部Cにおける電極指の周期
4)狭ピッチ電極指部Aにおける電極指の周期>狭ピッチ電極指部Dにおける電極指の周期
5)第1,第5のIDT電極11a,11eのメインの電極指部における電極指の周期<第3のIDT電極11cのメインの電極指部における電極指の周期
2 … 圧電基板
3 … 不平衡端子
4 … 第1の平衡端子
5 … 第2の平衡端子
10 … 縦結合共振子型弾性波フィルタ部
10a… 第1のIDT電極
10b… 第2のIDT電極
10c… 第3のIDT電極
10d… 第4のIDT電極
10e… 第5のIDT電極
11 … 第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
11a… 第1のIDT電極
11b… 第2のIDT電極
11c… 第3のIDT電極
11d… 第4のIDT電極
11e… 第5のIDT電極
11f… 第1の反射器
11g… 第2の反射器
12 … 第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
12a… 第1のIDT電極
12b… 第2のIDT電極
12c… 第3のIDT電極
12d… 第4のIDT電極
12e… 第5のIDT電極
12f… 第1の反射器
12g… 第2の反射器
Claims (13)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された第1〜第5のIDT電極と、
前記第1〜第5のIDT電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に配置された第1,第2の反射器とを備え、
前記第1〜第5のIDT電極と前記第1,第2の反射器とにより縦結合共振子型弾性波フィルタ部が構成されており、
前記第1〜第5のIDT電極は、他のIDT電極に隣接している端部に、電極指の周期が残りの部分における電極指の周期よりも小さくされている狭ピッチ電極指部とを有し、
前記第1のIDT電極と、前記第2のIDT電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第1のIDT電極側部分とからなる領域を第1の領域、
前記第2のIDT電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第3のIDT電極側の部分と、前記第3のIDT電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第2のIDT電極側の部分とからなる領域を第2の領域、
前記第3のIDT電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第4のIDT電極側の部分と、前記第4のIDT電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第3のIDT電極側の部分とからなる領域を第3の領域、
前記第4のIDT電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第5のIDT電極側の部分と、前記第5のIDT電極とからなる領域を第4の領域とすると、
前記第1の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数及び前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれNx、前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数及び前記第3の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をNyとしたときに、電極指の総数Nxと電極指の総数Nyとは異なっており、
電極指の総数Nxと電極指の総数Nyのうち前記電極指の総数が多いほうの領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ないほうの領域にある狭ピッチ電極指部より、電極指の周期の平均値が大きくされており、
前記第1のIDT電極、前記第3のIDT電極、および前記第5のIDT電極のうち、前記電極指の総数が多いほうの領域に含まれるIDT電極が、前記電極指の総数が少ないほうの領域に含まれるIDT電極よりも、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされている、弾性波フィルタ装置。 - 前記第1の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第2の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が少なくされており、
前記第3の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第4の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が多くされている、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項2に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項2に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項2に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項2に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項2に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第2の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が多くされており、
前記第3の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第4の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が少なくされている、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項8に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項8に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項8に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項8に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
前記第1のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第3のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第2のIDT電極の前記第1の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第2のIDT電極の前記第2の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
前記第4のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第4のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の前記第3の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第5のIDT電極の前記第4の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
前記第3のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第1及び第5のIDT電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項8に記載の弾性波フィルタ装置。
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