JP4516011B2 - ガス比例弁 - Google Patents

ガス比例弁 Download PDF

Info

Publication number
JP4516011B2
JP4516011B2 JP2005363620A JP2005363620A JP4516011B2 JP 4516011 B2 JP4516011 B2 JP 4516011B2 JP 2005363620 A JP2005363620 A JP 2005363620A JP 2005363620 A JP2005363620 A JP 2005363620A JP 4516011 B2 JP4516011 B2 JP 4516011B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
gas
iron core
movable iron
spring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005363620A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007162911A (ja
Inventor
邦夫 片岡
正則 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rinnai Corp
Original Assignee
Rinnai Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rinnai Corp filed Critical Rinnai Corp
Priority to JP2005363620A priority Critical patent/JP4516011B2/ja
Publication of JP2007162911A publication Critical patent/JP2007162911A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4516011B2 publication Critical patent/JP4516011B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Description

本発明は、ガス器具においてバーナに供給するガス流量を可変するために使用するガス比例弁に関する。
従来、この種のガス比例弁として、ガス入口室と、ガス出口室と、ガス入口室とガス出口室とを連通する弁孔を開設した弁座とを有する弁筐と、ガス入口室の弁座と反対側の面を閉塞するダイヤフラムと、弁筐内に弁座のガス出口室側の面に対向するように配置された、ダイヤフラムに連結される弁体と、ダイヤフラムを挟んでガス入口室と反対側に配置された、励磁コイルと可動鉄心とを有するソレノイドとを備え、励磁コイルへの通電で発生する磁力により可動鉄心を介して弁体を変位させるようにしたものは知られている(例えば、特許文献1参照)。このものでは、ガス流量が励磁コイルへの通電電流値に応じて変化すると共に、ガス入口室のガス圧(1次圧)が変動してもダイヤフラムに連動して弁体が変位して、1次圧の変動によるガス流量の変動が防止される。
更に、このものでは、弁体及び可動鉄心の自重の影響で制御精度が悪化することを防止するため、弁体及び可動鉄心の自重をキャンセルするための付勢手段を備えている。ここで、ガス比例弁をソレノイドが上方に位置する姿勢で配置する場合、付勢手段は、弁筐内に設けた、弁体を上方に付勢する第1スプリングと、可動鉄心とその上方に設けられるスプリング受けとの間に介設した、可動鉄心を下方に付勢する第2スプリングとで構成される。第1スプリングの付勢力は、弁体及び可動鉄心が自重に抗して押し上げられて弁体が弁座に着座するように、即ち、弁孔が弁体で閉塞されてガス比例弁が閉弁状態になるように設定される。そして、第2スプリング用のスプリング受けを上下に位置調節自在とし、第2スプリングの付勢力を、スプリング受けの位置調節により、弁体及び可動鉄心が第1スプリングの付勢力に抗して押し下げられて弁体が弁座から若干離れるように、即ち、ガス比例弁が小開度で開かれるように調節している。換言すれば、第2スプリング用のスプリング受けを付勢力調節手段として、励磁コイルへの非通電時にガス比例弁が小開度で開かれるように付勢手段の付勢力を調節している。
また、ガス比例弁をソレノイドが下方に位置する倒置姿勢で配置する場合は、可動鉄心とその下方に設けられるスプリング受けとの間に介設した、可動鉄心を上方に付勢するスプリングで付勢手段を構成している。そして、スプリング受けを上下に位置調節自在とし、スプリングの付勢力を、付勢力調節手段たるスプリング受けの位置調節で、弁体及び可動鉄心が自重に抗して押し上げられて弁体が弁座から若干離れるように調節している。
ところで、ガス比例弁によるガス流量の可変範囲の下限値はバーナが失火等を生ずることなく安定燃焼する範囲で可及的に小さく設定する必要があり、励磁コイルに通電する最小電流値をガス流量が所要の下限値になるように正確に設定することが必要になる。最小電流値は、ガス比例弁を制御するマイコンへの設定器からの信号により微小幅で変更できるようになっている。そして、ガス比例弁をガス器具に組み込んだ後、ガス出口室のガス圧(2次圧)がガス流量の所要の下限値に対応する値(一般的に15mmHO)になるように、2次圧を計測しながら最小電流値を調節している。
図8は、非通電時にガス比例弁が小開度で開かれるようにした場合の励磁コイルへの通電電流値と2次圧との相関関係を示している。従来例の如く非通電時にガス比例弁が小開度で開かれるように付勢手段の付勢力を調節すれば、2次圧がガス流量の所要の下限値に対応する15mmHOになるときの電流値が小さくなり、消費電力の低減を図ることができる。然し、2次圧は電流値に対し2次曲線的に変化し、低電流域での電流値に対する2次圧の変化量は極小さくなる。ここで、最小電流値の可変設定範囲はマイコンの能力上の制約から然程広く確保できない。そのため、付勢手段の付勢力のバラツキで非通電時の2次圧が変化すると、2次圧が15mmHOになるポイントが最小電流値の可変設定範囲から外れて、最小電流値を正しく設定できなくなる。従って、個々のガス比例弁について付勢手段の付勢力を正確に調節することが必要になり、その調節作業が非常に面倒になる。
また、ダイヤフラムは、ガス比例弁が閉弁状態であるときのダイヤフラムの形状に合わせて成形されるため、従来例の如く非通電時にガス比例弁が小開度で開かれるようにすると、非通電時にダイヤフラムが成形形状とは異なる形状に撓むことになる。そのため、ダイヤフラムに常時応力が作用し、ダイヤフラムの経時劣化を生じやすくなる。従って、付勢手段の付勢力を正確に調節しても、その後のダイヤフラムの劣化で非通電時の2次圧が変化して、2次圧が15mmHOになるポイントが最小電流値の可変設定範囲から外れてしまうことが間々ある。この場合、付勢手段の付勢力を再調節することが必要になるが、ガス比例弁をガス器具に組み込んだ状態でスプリング受け等の付勢力調節手段を操作することはガス器具内の他の部品が邪魔になって難しい。そのため、ガス比例弁を一旦ガス器具から取外して付勢力調節手段を操作せざるを得なくなり、メンテナンス作業が非常に面倒になる。
特開平7−158762号公報
本発明は、以上の点に鑑み、付勢手段の付勢力の調節を不要として生産性の向上を図ることができるようにすると共に、ダイヤフラムの経時劣化も可及的に抑制できるようにしたガス比例弁を提供することをその課題としている。
上記課題を解決するために、本発明は、ガス入口室と、ガス出口室と、ガス入口室とガス出口室とを連通する弁孔を開設した弁座とを有する弁筐と、ガス入口室の弁座と反対側の面を閉塞するダイヤフラムと、弁筐内に弁座のガス出口室側の面に対向するように配置された、ダイヤフラムに連結される弁体と、ダイヤフラムを挟んでガス入口室と反対側に配置された、励磁コイルと可動鉄心とを有するソレノイドとを備え、励磁コイルへの通電で発生する磁力により可動鉄心を介して弁体を変位させるようにしたガス比例弁であって、弁体及び可動鉄心の自重をキャンセルするための付勢手段を備え、ソレノイドが下方に位置する姿勢で配置されるものにおいて、可動鉄心とその下方に設けられるスプリング受けとの間に介設した、可動鉄心を上方に付勢するスプリングだけで前記付勢手段が構成され、スプリング受けの設置位置は、付勢手段の付勢力励磁コイルへの非通電時に弁体が弁座に着座するように一義的に設定されて調節不能となるように、一義的に定まり、ガス比例弁によるガス流量の可変範囲の下限値の調節は励磁コイルに通電する最小電流値の調節のみで行われることを特徴とする。
本発明では、励磁コイルへの非通電時に弁体が弁座に着座してガス比例弁が閉弁状態になることから、ガス流量が所要の下限値になるときの励磁コイルへの通電電流値が比較的高くなり、最小電流値の可変設定範囲が然程広くなくても、この可変設定範囲でのガス流量の変化量を十分に確保できる。従って、付勢手段の付勢力の公差内でのバラツキが有っても、ガス流量が所要の下限値になるポイントが最小電流値の可変設定範囲から外れることはない。かくして、最小電流値のみの調節でガス流量の下限値を所要の値に正確に調節することができる。そして、付勢手段の付勢力が調節不能であるため、付勢力調節手段による面倒な調節作業が不要となり、生産性が向上する。
また、非通電時にガス比例弁が閉弁状態になるため、閉弁状態でのダイヤフラムの形状に合わせて成形されるダイヤフラムに常時は応力が作用せず、ダイヤフラムの経時劣化が抑制される。そして、最小電流値の可変設定範囲でのガス流量の変化量が上記の如く十分に確保されるため、ダイヤフラムは、長期間使用しても、ガス流量が所要の下限値になるポイントが最小電流値の可変設定範囲から外れる程には劣化せず、最小電流値の調節でガス流量の下限値を所要の値に修正でき、メンテナンスが容易になる。
ところで、ガス比例弁をソレノイドが下方に位置する姿勢で配置する場合は、可動鉄心とその下方に設けられるスプリング受けとの間に介設した、可動鉄心を上方に付勢するスプリングだけで付勢手段が構成される。これは従来も同様であるが、本発明では、スプリング受けの設置位置が一義的に定まるようにする。これにより、スプリングの付勢力がスプリング受けの位置調節不良で規定値からずれてしまうことを防止できる。
また、ガス比例弁をソレノイドが上方に位置する姿勢で配置する場合は、弁筐内に設けた、弁体を上方に付勢するスプリングだけで付勢手段が構成されていることが望ましい。上記従来例では、弁筐内のスプリングと、可動鉄心とその上方に設けられるスプリング受けとの間に介設される第2のスプリングとで付勢手段を構成し、スプリング受けの位置調節で付勢手段の付勢力を調節できるようにしているが、本発明では、付勢手段の付勢力の調節が不要であるため、第2のスプリングを省略でき、これにより部品点数を削減してコストダウンを図ることができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1乃至図4は夫々本発明の第1乃至第4実施形態のガス比例弁を示している。これら各ガス比例弁はガス給湯器等のガス器具においてバーナに供給するガス流量を可変するために使用するものである。各実施形態のガス比例弁の構造は大部分が共通しており、先ず、共通部分の構造について説明する。
図1乃至図4を参照して、1はガス比例弁の弁筐1である。この弁筐1は、弁筐1の周壁部に開設したガス入口2aに連なるガス入口室2と、弁筐1の周壁部に開設したガス出口3aに連なるガス出口室3と、ガス入口室2とガス出口室3とを連通する弁孔4aを開設した弁座4とを備えている。弁座4は、ガス入口室2に内挿した弁筐1の内ケース5の先端に一体成形されている。弁筐1の内面には、弁座4を受ける段部1aが形成されており、この段部1aと弁座4との間にシールリング6を介設して、ガス入口2a側からガス出口3a側への弁孔4a以外の箇所でのガス漏れを防止できるようにしている。
シールリング6は、図5に示す如く、表裏両面にビード6aを有している。ビード6aの自由状態の形状は図5の仮想線で示す通りであり、ビード6aのみの圧縮でシール性が確保される。これによれば、シールリング6から弁座4に作用する圧縮反力が小さくなって、弁座4の変形が防止される。そのため、弁座4の変形でガス流量の制御精度に悪影響が及ぶことはない。また、弁座4には、シールリング6の内周側に位置する突条4bが形成されている。この突条4bにより組付け時のシールリング6の位置ずれが防止され、シールリング6が弁筐1の内面と内ケース5の外面との間に噛み込むようなことはない。尚、内ケース5の基端のフランジ部5aとこれに対向する弁筐1の端縁との間にも同様のシールリング6´が介設されている。
ガス比例弁は、ガス入口室2の弁座4と反対側の面を閉塞するダイヤフラム7と、弁筐1内に弁座4のガス出口室3側の面に対向するように配置された弁体8とを備えている。弁体8は、これに一体のロッド部8aを介してダイヤフラム7に連結されている。ガス比例弁は、更に、ダイヤフラム7を挟んでガス入口室2と反対側に配置されたソレノイド9を備えている。ソレノイド9は、ダイヤフラム7を覆うカバーを兼ねるベースプレート10の外面に配置した励磁コイル11と、励磁コイル11の内周のガイドスリーブ12に摺動自在に内挿した可動鉄心13とを有している。ガイドスリーブ12の外端部には、ダイヤフラム7の背圧を大気圧にするための大気開放孔14aを形成した筒体14が連設されている。以上が各実施形態に共通の構造である。
次に、図1乃至図3に示す第1乃至第3実施形態のガス比例弁の特徴的な構造について説明する。第1乃至第3実施形態のガス比例弁は、ソレノイド9が下方に位置する倒置姿勢で配置されるものである。第1乃至第3実施形態では、筒体14内に、弁体8及び可動鉄心13の自重をキャンセルするための付勢手段となるスプリング15を収納している。スプリング15は可動鉄心13とこれより下方位置で筒体14に装着するスプリング受け16との間に介設されており、可動鉄心13がスプリング15により上方に付勢される。
スプリング受け16の設置位置は一義的に定まるようになっている。これにより、スプリング15の付勢力は一義的に設定されて調節不能になる。ここで、スプリング15の付勢力は弁体8と可動鉄心13の合計重量より若干小さくなるように設定されており、励磁コイル11への非通電時に弁体8が弁座4に軽く着座して、ガス比例弁は閉弁状態になる。
スプリング受け16の取付け構造は第1乃至第3実施形態で夫々異なっており、この点について説明する。第1実施形態のスプリング受け16は、図1に示す如く、筒体14の内面の下端近傍部分に形成した段部14bに当接する下端のフランジ部16aを有している。また、筒体14の内面の段部14bより上方部分の周方向複数箇所に突条14cを形成すると共に、スプリング受け16の先端部外周の周方向複数箇所に、突条14cの上縁に係合する爪部16bを突設している。かくして、スプリング受け16を、各爪部16bが各突条14c間の隙間に合致する位相にした状態で、筒体14にその下方から挿入した後、スプリング受け16を回転させれば、フランジ部16aが段部14bに当接した状態で各爪部16bが各突条14cに係合する。この状態では、スプリング受け16が筒体14に上下方向に変位不能に装着され、スプリング受け16の設置位置が一義的に定まる。尚、フランジ部16aは、その外周に形成した溝16cにより段部14bに当接する部分が薄肉に形成されている。そして、この薄肉部分の弾性によりスプリング受け16が筒体14にガタ無く装着される。
第2実施形態のスプリング受け16は、図2に示す如く、外周にねじ部が形成されて、筒体14に下方から螺入されるようになっている。そして、スプリング受け16の下端にフランジ部16dを形成し、スプリング受け16をフランジ部16dが筒体14の下端に当接するまで筒体14に螺入することにより、スプリング受け16の設置位置が一義的に定まるようにしている。
第3実施形態のスプリング受け16は、図3に示す如く、筒体14の下端に当接する下端のフランジ部16eと、フランジ部16eの周方向複数箇所から筒体14の外面に沿って上方にのびる舌片部16fとを有している。また、筒体14の外面の周方向複数箇所に爪部14dを突設すると共に、各舌片部16fに各爪部14dに対応するスリット状の係合孔16gを形成している。そして、筒体14の下端にフランジ部16eが当接した状態で係合孔16gの上端の孔縁部に爪部14dが係合して、スプリング受け16の設置位置が一義的に定まるようにしている。
次に、図4に示す第4実施形態のガス比例弁の特徴的な構造について説明する。第4実施形態のガス比例弁はソレノイド9が上方に位置する姿勢で配置されており、可動鉄心13は自重で弁体8のロッド部8aに当接する。そして、弁筐1内に、弁体8及び可動鉄心13の自重をキャンセルするための付勢手段として、弁体8と弁筐1のガス出口室3側の端壁との間に介設される、弁体8を上方に付勢するスプリング17を配置している。尚、筒体14には、塵埃の侵入防止のため第1実施形態と同様のスプリング受け16のみが装着され、スプリング15は収納されていない。
上記スプリング17の付勢力は、弁体8と可動鉄心13の合計重量を若干上回るように設定されており、励磁コイル11への非通電時に弁体8がスプリング17の付勢力で弁座4に軽く着座して、ガス比例弁は閉弁状態になる。スプリング17の付勢力を調節するための手段は設けられておらず、従って、スプリング17の付勢力は一義的に設定されて調節不能である。
上記第1乃至第4の何れの実施形態のガス比例弁でも、励磁コイル11への通電で発生する磁力により可動鉄心13を介して弁体8が変位し、ガス流量が励磁コイル11への通電電流値に応じて変化する。図6に示すように、励磁コイル11への通電回路にはパワートランジスタ18が励磁コイル11と直列に介設されており、マイコン19によりトランジスタ駆動回路20を介してパワートランジスタ18をPWM制御でオンオフし、ガス流量が目標値になるように励磁コイル11への通電電流値を変化させる。
ここで、ガス比例弁によるガス流量の可変範囲の下限値はバーナが失火等を生ずることなく安定燃焼する範囲で可及的に小さく設定する必要があり、励磁コイル11に通電する最小電流値をガス流量が所要の下限値になるように正確に設定することが必要になる。マイコン19の最小電流設定端子に可変抵抗21aを具備する分圧回路から成る設定器21を接続し、設定端子に入力する電圧信号を可変抵抗21aの調節で変化させると、PWM制御の最小デューティー比、即ち、最小電流値が微小幅で変更され、最小電流値の精密な調節が可能になる。但し、最小電流値の可変設定範囲はマイコン19の能力上の制約から然程広く確保できない。尚、励磁コイル11に通電する最大電流値も同様の設定器を用いて調節できるようになっており、最大電流値の調節によりガス流量の可変範囲の上限値が所定の値に設定される。
図7は励磁コイル11への非通電時にガス比例弁が閉弁状態になるようにした場合の励磁コイル11への通電電流値とガス出口室3のガス圧(2次圧)との相関関係を示している。ガス比例弁によるガス流量の可変範囲の所要の下限値に対応する2次圧が15mmHOである場合、最小電流値は2次圧が15mmHOになるように調節することが必要になる。ここで、上記第1乃至第4実施形態の如く励磁コイル11への非通電時にガス比例弁が閉弁状態になるようにすると、励磁コイル11への非通電時にガス比例弁が小開度で開かれるようにした図8に示す場合に比し、電流値の変化に対する2次圧の変化量が大きくなる比較的高い電流域で2次圧が15mmHOになる。そのため、最小電流値の可変設定範囲が然程広くなくても、この可変設定範囲での2次圧の変化量を十分に確保できる。従って、スプリング15,17の付勢力の公差内でのバラツキが有っても、2次圧が15mmHOになるポイント、即ち、ガス流量が所要の下限値になるポイントが最小電流値の可変設定範囲から外れることはない。かくして、最小電流値のみの調節でガス流量の下限値を所要の値に正確に調節することができる。そして、スプリング15,17の付勢力の調節が不要になるため、ガス比例弁の生産性が大幅に向上する。
また、非通電時にガス比例弁が閉弁状態になるため、閉弁状態での形状に合わせて成形されるダイヤフラム7に常時は応力が作用せず、ダイヤフラム7の経時劣化が抑制される。そして、最小電流値の可変設定範囲でのガス流量の変化量が上記の如く十分に確保されるため、ダイヤフラム7は、長期間使用しても、2次圧が15mmHOになるポイントが最小電流値の可変設定範囲から外れる程には劣化しない。従って、最小電流値の調節でガス流量の下限値を所要の値に修正でき、メンテナンスも容易になる。
以上、本発明の実施形態を図面を参照して説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第4実施形態においては、弁体8を上方に付勢するスプリング17を弁体8と弁筐1のガス出口室3側の端壁との間に介設したが、弁座4とダイヤフラム7に対する弁体8の連結部との間に弁体8を上方に付勢するスプリングを介設しても良い。また、ガス比例弁を倒置姿勢で配置する場合のスプリング受け16の取付け構造は、スプリング受け16の設置位置が一義的に定まる限り、第1乃至第3実施形態以外の構造であっても良い。
本発明の第1実施形態のガス比例弁の縦断面図。 本発明の第2実施形態のガス比例弁の縦断面図。 本発明の第3実施形態のガス比例弁の縦断面図。 本発明の第4実施形態のガス比例弁の縦断面図。 図1のA部の拡大図。 ガス比例弁の制御回路を示す回路図。 本発明のガス比例弁による電流値と2次圧との関係を示すグラフ。 従来のガス比例弁による電流値と2次圧との関係を示すグラフ。
符号の説明
1…弁筐、2…ガス入口室、3…ガス出口室、4…弁座、4a…弁孔、7…ダイヤフラム、8…弁体、9…ソレノイド、11…励磁コイル、13…可動鉄心、15…可動鉄心を上方に付勢するスプリング、16…スプリング受け、17…弁体を上方に付勢するスプリング。

Claims (1)

  1. ガス入口室と、ガス出口室と、ガス入口室とガス出口室とを連通する弁孔を開設した弁座とを有する弁筐と、ガス入口室の弁座と反対側の面を閉塞するダイヤフラムと、弁筐内に弁座のガス出口室側の面に対向するように配置された、ダイヤフラムに連結される弁体と、ダイヤフラムを挟んでガス入口室と反対側に配置された、励磁コイルと可動鉄心とを有するソレノイドとを備え、励磁コイルへの通電で発生する磁力により可動鉄心を介して弁体を変位させるようにしたガス比例弁であって、弁体及び可動鉄心の自重をキャンセルするための付勢手段を備え、ソレノイドが下方に位置する姿勢で配置されるものにおいて、
    可動鉄心とその下方に設けられるスプリング受けとの間に介設した、可動鉄心を上方に付勢するスプリングだけで前記付勢手段が構成され、スプリング受けの設置位置は、付勢手段の付勢力励磁コイルへの非通電時に弁体が弁座に着座するように一義的に設定されて調節不能となるように、一義的に定まり、ガス比例弁によるガス流量の可変範囲の下限値の調節は励磁コイルに通電する最小電流値の調節のみで行われることを特徴とするガス比例弁。
JP2005363620A 2005-12-16 2005-12-16 ガス比例弁 Active JP4516011B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005363620A JP4516011B2 (ja) 2005-12-16 2005-12-16 ガス比例弁

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005363620A JP4516011B2 (ja) 2005-12-16 2005-12-16 ガス比例弁

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007162911A JP2007162911A (ja) 2007-06-28
JP4516011B2 true JP4516011B2 (ja) 2010-08-04

Family

ID=38246039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005363620A Active JP4516011B2 (ja) 2005-12-16 2005-12-16 ガス比例弁

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4516011B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5693512B2 (ja) * 2012-03-30 2015-04-01 リンナイ株式会社 比例弁
JP6071928B2 (ja) * 2014-03-07 2017-02-01 リンナイ株式会社 比例弁
JP6751005B2 (ja) * 2016-10-28 2020-09-02 リンナイ株式会社 比例弁
CN108506529A (zh) * 2017-02-28 2018-09-07 芜湖美的厨卫电器制造有限公司 燃气比例阀及燃气热水器
CN110686088A (zh) * 2018-07-05 2020-01-14 宁波方太厨具有限公司 燃气比例阀阀芯及应用有该阀芯的比例阀组件
JP7164421B2 (ja) 2018-12-11 2022-11-01 リンナイ株式会社 ガバナ付き電磁比例弁
CN109899541A (zh) * 2019-03-28 2019-06-18 广东万和热能科技有限公司 阀芯、燃气比例阀及燃气热水器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5874677U (ja) * 1981-11-16 1983-05-20 タイム技研株式会社 電磁弁
JPS58184073U (ja) * 1982-06-01 1983-12-07 シ−ケ−デイコントロ−ルズ株式会社 ガス用流量制御弁
JPH0525084U (ja) * 1991-09-13 1993-04-02 伊藤工機株式会社 圧力比例制御弁
JPH07158762A (ja) * 1993-12-06 1995-06-20 Taimu Giken Kk 比例電磁弁
JP2001317652A (ja) * 2000-05-01 2001-11-16 Time Engineering Co Ltd 電磁比例弁

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5874677U (ja) * 1981-11-16 1983-05-20 タイム技研株式会社 電磁弁
JPS58184073U (ja) * 1982-06-01 1983-12-07 シ−ケ−デイコントロ−ルズ株式会社 ガス用流量制御弁
JPH0525084U (ja) * 1991-09-13 1993-04-02 伊藤工機株式会社 圧力比例制御弁
JPH07158762A (ja) * 1993-12-06 1995-06-20 Taimu Giken Kk 比例電磁弁
JP2001317652A (ja) * 2000-05-01 2001-11-16 Time Engineering Co Ltd 電磁比例弁

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007162911A (ja) 2007-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4516011B2 (ja) ガス比例弁
US7523763B2 (en) Three-port electromagnetic valve
US20100108927A1 (en) Silent solenoid valve for fluid regulation system
EP2853794B1 (en) Electromagnetic valve
EP2910828A1 (en) Electromagnetic valve
KR101814423B1 (ko) 유량 조정 밸브
CN110242785B (zh) 电磁阀
EP3387508B1 (en) Pressure regulator
KR100571097B1 (ko) 가스 조절 장치
US20150083241A1 (en) Electromagnetic valve
WO2019004000A1 (ja) パイロット式電磁弁
CA3143183A1 (en) Proportional solenoid valve
JP2003232462A (ja) ガスバルブ
JP4668755B2 (ja) 電磁比例弁
JP4081366B2 (ja) 電磁比例弁とその組立方法
KR20180009719A (ko) 가스밸브장치
CN111373182A (zh) 阀装置以及使用该阀装置的控制装置的控制方法、流体控制装置以及半导体制造装置
US20220147067A1 (en) Cartridge flow rate adjusting assembly and hydraulic flow rate control valve with a dual adjusting scale
JP4612059B2 (ja) 比例電磁弁
JP4217585B2 (ja) 電磁比例弁
JP5693522B2 (ja) 電磁比例弁
JP2004116616A (ja) 流量制御弁
JP2006057819A (ja) 電磁比例弁
JP2014062477A (ja) ガス燃料供給制御装置
JP4053846B2 (ja) 電気式膨張弁

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070704

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090917

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091013

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100511

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100513

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4516011

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140521

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250