JP4514738B2 - 膜密着性評価方法 - Google Patents
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
本発明に係る第2の評価方法は、膜開発、膜形成された物品の量産ラインにおける膜品質管理等にも有効である。
すなわち、ボールのヤング率をE1〔kgf/mm2 〕、ポアソン比をν1 、物品本体の膜形成部分のヤング率をE2〔kgf/mm2 〕、ポアソン比をν2 とし、ボール(圧子)半径をR〔mm〕、荷重をW〔kgf 〕とすると、
a={3/4 ×[ (1-ν1 2 )/E1+(1-ν2 2 )/E2] ×R×W}1/3 で表される。
(例えば、東京大学出版会発行「薄膜トライボロジー」(榎本祐嗣、三宅正二郎共著)ISBN4-13-0161150-X C3050 P3708E 参照)
前記膜表面に複数個のボールのそれぞれを該各ボールについて予め定めた大きさの荷重で押しつけつつ該膜表面における予め定めた同一軌道に沿って該膜表面に対し相対的に転動周回させることで該ボール転動周回軌道に対応する膜部分に予め定めた回数繰り返し荷重をかけるあたって、表面の少なくとも一部に膜形成した前記物品を回転駆動可能のホルダに保持させ、前記複数個のボールとして保持器に複数のボールが保持されたスラストボールベアリングの該複数のボールを採用し、該スラストボールベアリングの複数のボールを前記ホルダに保持させた前記物品の膜上に配置するとともに該各ボールに前記荷重を印加しつつ該ホルダを回転させて前記物品を回転させることで該ボールのそれぞれを前記膜に押しつけつつ該膜に対し相対的に同一軌道で転動周回させるのである。
さらに、アルミニウムや、シリコンを含んだ上記炭化物、窒化物及び炭窒化物も例示できる。
さらに、かかる炭化物、窒化物、炭窒化物のうち2以上を重ねた膜も例示できる。
窒化物の具体例として、窒化チタン(TiN)、窒化アルミニゥム(AlN)、窒化クロム(CrN)を挙げることができる。
炭窒化物の具体例として、炭窒化チタン(TiCN)を挙げることができる。
そして、多層膜の具体例として、TiC/TiN ,AlN/CrN ,TiCN/TiCなど、それぞれ硬質膜を組み合わせたものを挙げることができる。
例えば自動車部品用の浸炭焼入鋼であるときは、耐摩耗成膜としてDLC、CrN膜、TiNの膜を例示でき、
例えば切削工具用の高速度鋼であるときは、耐摩耗成膜としてTiAl膜を例示でき、 例えば金型用のダイス鋼であるときは、耐摩耗成膜としてTiN、TiAlN、TiCN、CrN、DLCの膜を例示できる。
JIS SKD11(ダイス鋼)の焼入焼戻し材からなる40mm×40mm×(厚み)5mmのテストピース本体を12個準備するとともに各テストピース本体表面を鏡面研磨し、その鏡面研磨面に中空陰極放電(HCD)イオンプレーティング法により厚み3μmの窒化クロム膜(CrN)を形成した。その際、テストピース本体毎に、膜形成条件のうち前処理クリーニングとしてのガスイオンによるテストピース本体表面のクリーニングの時間を変化させることで、テストピース本体への密着性の異なる膜〔CrN(1) 〜CrN(12) 〕を形成した。
この評価方法から分かるように、評価装置Aによる膜密着性の評価においては、膜密着性評価指標と照合すべき繰り返し荷重印加後の膜の状態として膜剥離状態を観察し、膜密着性評価指標は膜剥離状態に基づいて作成されたものを採用している。この点は後述する実施例2における評価装置Aによる膜密着性の評価においても同様である。
JIS SKH51(高速度鋼)の焼入焼戻し材からなる直径30mm×(厚み)5mmのテストピース本体を12個準備するとともに各テストピース本体表面を鏡面研磨し、その鏡面研磨面に陰極アーク放電式イオンプレーティング法により厚み1μmのダイアモンド状炭素膜(DLC膜)を形成した。その際、テストピース本体毎に、膜形成条件のうち前処理クリーグとしてのガスイオンによるテストピース本体表面のクリーニングの時間を変化させることで、テストピース本体への密着性の異なる膜〔DLC(1) 〜DLC(12) 〕を形成した。
本発明の評価方法で短時間(例えば10分以下)で膜密着性を評価するには、押しつけ荷重Wを、最大ヘルツ接触面圧Pmaxが物品本体の膜形成部分の降伏応力の1.5倍以上程度とすればよい。
1 膜密着性評価対象物品
11 物品1の本体
12 膜
2 物品ホルダ
21 ホルダ上部
22 ホルダ軸
3 スラストボールベアリング
31 ボール
32 保持器
4 押圧用部材
41 ボール案内溝
5 ロードセル
6 潤滑油
Claims (6)
- 表面の少なくとも一部に膜形成した物品における該膜の物品本体への密着性を評価する膜密着性評価方法であって、該物品本体上に形成された該膜の表面に複数個のボールのそれぞれを該各ボールについて予め定めた大きさの、前記物品本体の膜形成部分に塑性変形を生じさせる荷重で押しつけつつ予め定めた同一周回軌道に沿って該膜表面に対し相対的に転動周回させることで該ボール転動周回軌道に対応する膜部分に予め定めた回数繰り返し荷重を印加し、該繰り返し荷重をかけるあたっては該膜及びボールを潤滑剤中に浸漬し、該繰り返し荷重印加後の該膜部分の膜剥離状態を予め定めた、膜剥離状態に基づく膜密着性評価指標と照合して前記物品本体に対する膜密着性を評価することを特徴とする膜密着性評価方法。
- 前記物品本体の膜形成部分に塑性変形を生じさせる荷重は、該荷重をW〔kgf〕、一つの前記ボールと前記膜との接触半径をa〔mm〕、円周率をΠとしたとき3W/(2Πa 2 )で表される最大ヘルツ接触面圧Pmax〔kgf/mm 2 〕が前記物品本体の膜形成部分を構成している材料の降伏応力〔kgf/mm 2 〕の1.5倍以上となる荷重である請求項1記載の膜密着性評価方法。
- 前記膜表面に複数個のボールのそれぞれを該各ボールについて前記予め定めた大きさの荷重で押しつけつつ該膜表面における予め定めた同一周回軌道に沿って該膜表面に対し相対的に転動周回させることで該ボール転動周回軌道に対応する膜部分に予め定めた回数繰り返し荷重をかけるあたっては、表面の少なくとも一部に膜形成した前記物品を回転駆動可能のホルダに保持させ、前記複数個のボールとして保持器に複数のボールが保持されたスラストボールベアリングの該複数のボールを採用し、該スラストボールベアリングの複数のボールを前記ホルダに保持させた前記物品の膜上に配置するとともに該各ボールに前記荷重を印加しつつ該ホルダを回転させて前記物品を回転させることで該ボールのそれぞれを前記膜に押しつけつつ該膜に対し相対的に同一軌道で転動周回させ、該各ボールに前記荷重を印加するにあたっては、該各ボールに相対的に転動可能に嵌合するボール案内溝を有する押圧用部材を介して前記各ボールに前記荷重を印加する請求項1又は2記載の膜密着性評価方法。
- 膜密着性評価対象である前記表面の少なくとも一部に膜形成した物品は、車輛部品、車輛以外の機械の部品、家電製品の部品、成形型、切削工具及び治具から選ばれた物品又は膜密着性評価において該物品に相当し得る膜形成したテストピースである請求項1、2又は3記載の膜密着性評価方法。
- 前記膜は耐摩耗性膜であり、前記物品本体の膜形成部分は、硬さが該耐摩耗性膜より小さい材料で形成されている請求項1から4のいずれかに記載の膜密着性評価方法。
- 前記耐摩耗性膜はダイアモンド状炭素膜である請求項5記載の膜密着性評価方法。
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