JP4513275B2

JP4513275B2 - Clean bench

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Publication number: JP4513275B2
Application number: JP2003124371A
Authority: JP
Inventors: 健一郎村田; 恭光池上
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-05-07
Filing date: 2003-04-28
Publication date: 2010-07-28
Anticipated expiration: 2023-04-28
Also published as: JP2004031928A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、清浄作業台に係り、特に局所的に高い清浄度の作業空間を形成するための清浄作業台に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電デバイスや半導体デバイスなどの電子部品は、電子機器の高性能化、小型化に伴って小型化、微細化が著しく、製造工程における空気中の塵埃による汚染によって性能や歩留まりが大きく左右される。このため、圧電デバイスや半導体デバイスなどの製造工場においては、高い清浄度が要求され、一般にクリーンルームを設けてクリーンルーム内で製造が行なわれる。
【０００３】
しかし、広い作業部屋全体を高清浄度のクリーンルームにすると多くの設備費を必要とし、ランニングコストも多額となる。また、例えば、試作品や研究開発品の製造、不良品のちょっとした手直しなどをする場合、広い作業エリアを必要としないことが多い。そこで、周囲の清浄度はそれほど高くなくとも、局所的に高い清浄度の作業領域を確保できれば経済的で目的を充分に達成することができ、また製造工場の設備費を削減することができる。そこで、従来からクリーンベンチと称する作業台が開発されている。
【０００４】
このクリーンベンチは、一般に、正方形または矩形状の作業台の三辺に壁を設けるとともに、他の一辺を作業用の開口部とし、この作業用開口部の対向面から作業用開口部に向けて高清浄度の空気を吹き付けるようになっている。また、他のクリーンベンチとして、清浄な作業領域の床面を多孔板によって形成し、上方の天井部に設けた吹き出し口から高清浄度の空気を多孔床面に向けて吹き出し、その清浄空気を多孔床面から外部に排出するように構成したものもある。そして、特許文献１には、作業領域の床面を多孔板によって構成するとともに、天井面から吹き出した清浄空気の一部を前面の作業用開口部から外部に吹き出し、多孔の床面の下方に流下した清浄空気をクリーンユニットに排出するようにしている。
【特許文献１】
特開平２−１１４５１０号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のいずれの垂直気流型のクリーンベンチは、一般に作業領域の平面方向における大きさが、清浄空気の吹出し口とほぼ同じ程度の大きさとなっている。そして、ＨＥＰＡフィルタなどの浄化装置の利用効率、消費エネルギーの節減などを目的として、作業領域の水平方向の大きさを清浄空気の吹出し口より大きくすると、吹出し口の横方向の隅部などに滞留域を生じ、作業に伴って発生した塵埃などが作業領域にとどまり、清浄度を低下させてワークを汚染する。
【０００６】
すなわち、従来の垂直気流型のクリーンベンチにおいて、例えば図１４に示したように、クリーンベンチ１００の作業領域１０２の幅Ｂを、清浄装置であるＨＥＰＡフィルタ１０４の清浄空気の吹出し口１０６より２倍程度以上大きくしたとする。この場合、図１４に示されているように、吹出し口１０６から吹き出された清浄空気は、清浄作業領域１０２の上部両側隅部に直接届かないため、この部分に循環流が形成されて滞留域１０８を生ずる。また、吹出し口１０６の上部に設置した送風機（図示せず）は、回転中心が回転軸となっているために吹出し風速がその周囲に比較して小さい。このため、作業領域１０２は、中央部の気流が弱く、滞留域１１０が形成される。このような現象は、作業領域１０２の水平方向における広さが吹出し口１０６の大きさより２０％程度以上大きくなると生ずる。
【０００７】
そして、作業用開口部の対向面側から作業用開口部に向けて清浄空気を吹き出す従来のクリーンベンチは、作業台の上に大きな機器などを配置すると、清浄空気の機器の下流側、すなわちワークに対して作業を行なう作業領域に乱流が生じて渦が発生して滞留域が生じ、作業に伴ってワークや機器などから生じた微粒子などの塵埃が作業領域に滞留し、それらがワークに付着してワークを汚染する。
【０００８】
また、天井部から多孔床面に向けて清浄空気を吹き下ろす従来のクリーンベンチは、下方に向かう清浄空気の流れによるエジェクタ効果によって、作業用開口部から外部の空気が清浄な作業領域内に混入し、清浄作業領域の清浄度を低下させる。そして、特許文献１に記載されているような、天井部から床面に向けて清浄空気を吹き出す従来のクリーンベンチは、床面がいわゆるパンチングメタルなどの多孔板によって形成してあるため、圧電デバイスのような小さな製品、小さな部品や工具、脚のある機器などを直接作業台の上に配置することができず、一般に床面から離れた空中において作業をしなければならず、作業性が悪い。しかも、多孔床面に大きな機器や部品トレーなどを配置すると、排気用の孔が塞がれて清浄作業領域における清浄空気の流れが乱れ、滞留域などが生じて清浄度が低下する。さらに、清浄作業領域の床面を作業が可能なように孔のあいていない部材によって形成すると、壁面の近傍に清浄空気の滞留域が発生し、作業によって生じた微粒子などの塵埃が滞留域に蓄積され、これらがワークに付着してワークを汚染する。
【０００９】
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、清浄空気の吹出し口より大きい清浄な作業領域を得られるようにすることを目的としている。
また、本発明は、消費エネルギーを節減できるようにすることを目的としている。
さらに、本発明は、清浄作業領域の床面における作業が可能であって、作業に伴って生じた塵埃などが清浄な作業領域に滞留するのを防止することを目的としている。
また、本発明は、作業開口部から外部の空気が清浄作業領域に侵入するのを防止することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る清浄作業台は、作業面を形成するステージと、前記作業面の周縁部に設けられて一部に作業開口部を有し、前記作業面の上部に清浄作業領域を形成する壁部と、前記ステージの上方に形成された天井部に設けた清浄空気の吹出し口と、前記吹出し口の上に設けられてそれぞれが独立して傾き角が可変な複数の羽根板を備え、前記清浄空気の吹出し方向を制御するルーバユニットと、前記吹出し口の両側部から下方に向けて漸次拡開させて設けた整流板と、前記作業面と前記壁部との境界部に設けられ、前記吹出し口から吹き出された前記清浄空気の一部を前記清浄作業領域の外部に導く排気口と、を有し、前記ステージは、無孔板であって、前記吹出し口からの前記清浄空気の吹出し量をＱ、前記作業開口部から外部に吹き出す前記清浄空気の量をｑ _１としたときに、
【数１】
０．５Ｑ≦ｑ _１ ≦０．８Ｑ
とすることを特徴としている。
【００１１】
一般にクリーンベンチなどの清浄作業台内における作業、例えば圧電デバイスや半導体デバイスの組立て、手直しなどの作業は、ほとんどが作業領域の中央部付近であって、作業面の近傍において行なわれる。このため、清浄作業台の天井面に近い上部は、不要な領域となることが多い。すなわち、図１４に示した滞留域１０８を生ずる部分は、一般にデッドスペースであって、特に必要としない部分といってよい。そこで、本発明は、ルーバーユニットの羽根板の傾き角を調整して清浄空気の吹出し方向を制御するとともに、清浄空気の吹出し口の両側から下方に向けて漸次拡開するように整流板を配置した。これにより、本発明は、吹き出した清浄空気が直接届かない清浄作業領域の両側上部を清浄作業領域から区画し、清浄作業領域内における清浄空気の循環流の形成が阻止され、滞留域が生ずるのを防ぐことができる。また、本発明は、作業面と壁部との境界部に排気口を形成したことにより、壁部の近傍における空気の滞留域をなくすことができる。しかも、壁面に沿った清浄空気が排気口を介して清浄作業領域から外部に排出されるため、壁面に沿って流下した清浄空気が作業面にぶつかって清浄作業領域の中央部に流れ込むことがなく、清浄作業領域の中央部に気流が生じて滞留域となるのを防止することができる。このため、ワークに対する処理や加工などの作業によって清浄作業領域内に生じた微粒子などの塵埃を、確実に清浄作業領域から排出することができ、清浄度が向上して清浄作業領域内のワークを汚染することがない。しかも、清浄作業領域の床面となるステージを、多孔板などの孔を有する部材によって形成する必要がなく、小さな製品や部品、工具などを配置することができ、空中で作業をする必要がないために作業性が向上する。
【００１２】
ルーバユニットは、それぞれが独立して傾き角が可変な複数の第１羽根板を有する第１ルーバ部と、第１ルーバ部の第１羽根板と交差して配置され、それぞれが独立して傾き角が可変な複数の第２羽根板を有する第２ルーバ部とを有するように形成することが望ましい。これにより、清浄作業領域に吹き出された清浄空気を、二次元的に任意の方向に分散させて整流することができ、作業面の周縁部に沿って設けた排気口と作業開口部とから円滑に清浄空気を外部に排出でき、滞留域の発生を防止することができるとともに、作業開口部から外部の汚染空気が清浄作業領域内に巻き込まれて侵入するのを防ぐことができる。
【００１３】
清浄作業領域には、清浄空気を清浄作業領域外に排出し、清浄作業領域の中央部に気流を生じさせる排出口を設けることができる。前記したように、清浄作業領域の中央部は、気流の速度が小さいので、機器の配置などによって滞留域を生じやすい。そこで、清浄作業領域に排出口を設けて清浄空気を外部に強制的に排出し、清浄作業領域の中央部に積極的に気流を発生させることにより、滞留域の発生を確実に防止することができる。
【００１４】
そして、排出口は、吹出し口の上部に配設した送風機に清浄作業領域内の清浄空気を戻す循環路の吸入部を形成するようにしてよい。このように清浄空気の一部を循環させることにより、清浄作業領域内の清浄度をより高めることができるとともに、吹出し口の上部に配置したファン・フィルタ・ユニット（ＦＦＵ）などの清浄装置のフィルタの負荷を低減することができ、フィルタの寿命（交換間隔）を大幅に伸ばすことができる。また、循環路は、複数設けてもよい。この場合、少なくとも一部の循環路は、可撓性の部材によって形成するとよい。このように、循環路を可撓性の部材によって形成することにより、清浄作業領域内に機器などを配置したときに、循環路の吸入部（排出口）を適宜の位置に設定することにより、清浄作業領域内に滞留域が生ずるのを確実に防ぐことができる。
【００１５】
吹出し口からの清浄空気の一定時間あたりの吹出し量をＱ、前記作業開口部から一定時間あたりに外部に吹き出す前記清浄空気の量をｑ_１としたときに、
【数２】
０．５Ｑ≦ｑ_１≦０．８Ｑ
とすることが望ましい。作業開口部から外部に吹き出す清浄空気の量ｑ_１が吹出し口から吹き出す清浄空気の量Ｑの半分より少なくなると、外部の気流の影響、物や手の出し入れなどによって、汚れた外部の空気を清浄作業領域内に巻き込み、清浄度が低下するおそれがある。また、ｑ_１が０．８Ｑより大きいと、清浄作業領域内における気流の循環が充分に行なわれず、清浄作業領域および作業台の表面（作業面）に滞留域が発生し、作業に伴って発生した塵埃（パーティクル）を効率よく外部に排出できないおそれがある。
【００１６】
清浄作業領域の水平方向の広さが吹出し口の大きさの１．２倍以下である場合、整流板を省くことができる。清浄作業領域が狭い場合、吹出し口に設けたルーバユニットの羽根板による清浄空気の吹出し方向の制御と、作業面と壁部との境界部に設けた排気口からの清浄空気の排出により、整流板がなくとも清浄作業領域内に滞留域が発生するのを防止することができる。また、壁部と天井部と整流板とは、帯電防止加工をした部材によって形成するとよい。これにより、壁部や天井部、整流板が乾燥した清浄空気の流れに接触しても帯電することがなく、清浄作業領域内に発生した塵埃などが壁部や天井部、整流板に付着するのを防止することができ、壁部や天井部、整流板に付着した塵埃などが飛散してワークに付着するのを防止することができる。もちろん、ステージを樹脂板などによって形成した場合、ステージも帯電防止加工をした部材によって形成する。また、ステージは、上下方向位置を可変に形成できる。これにより、作業者の身長などに応じてステージの位置を作業のしやすい高さに調節することが可能で、作業能率を向上することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明に係る清浄作業台の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施の形態に係る清浄作業台の斜視図であり、図２は要部の中央従断面図である。これらの図において、清浄作業台１２０は、図１の手前側が前面側となっていて、この前面側の前に作業者１２２が位置して作業するようになっている。清浄作業台１２０は、本体フレーム１２４が４本の支柱１２６（１２６ａ〜１２６ｄ）によって直方体状に形成してある。そして、清浄作業台１２０は、本体フレーム１２４の上端に天井部を構成している天井板１２８が固定してある。天井板１２８は、中央部がくり抜かれていて、清浄空気１４０の吹出し口１３１となっている。そして、天井板１２８の上面には、吹出し口１３１に対応して詳細を後述するルーバユニット２４が取り付けてある。また、清浄作業台１２０は、ルーバユニット２４の上に空気を浄化する浄化装置であるＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）１３２が設置してある。このＦＦＵ１３２は、図２に示してあるように、送風機１３４と、送風機１３４の吸引側に配置した前置フィルタと、送風機１３４の吹出し側に設けたＨＥＰＡフィルタなどの高性能フィルタ（いずれも図示せず）とを備えていて、送風機１３４の吐出した空気がＨＥＰＡフィルタに供給され、清浄空気１４０として吹出し口１３１から下方に向けて吹き出される。
【００１８】
本体フレーム１２４には、ルーバユニット２４の下方にステージ板（ステージ）１３６が配設してある。ステージ板１３６は、例えばアルミニウムなどの帯電しない金属から形成してあって、上面が作業面１３８となっている。また、ステージ板１３６は、本体フレーム１２４の高さ方向中間部に位置し、上下方向移動可能に本体フレーム１２４に取り付けてある。
【００１９】
本体フレーム１２４を構成している４本の支柱１２６が形成する方形の４辺には、壁部が設けてある。すなわち、清浄作業台１２０は、両側部に壁部となる側壁１４２、１４４が設けてあり、背面に壁部である後壁１４６が設けてあり、前面に壁部である前壁１４８が設けてある。これらの側壁１４２、１４４、後壁１４６、前壁１４８は、各支柱１２６の外側面に取り付けた樹脂板によって形成してある。また、側壁１４２、１４４、後壁１４６は、上端が天井板１２８に密接していて、下端がステージ板１３６の下方に位置している。そして、前壁１４８は、上端が天井板１２８に密接し、下端がステージ板１３６の上方に位置し、本体フレーム１２４の前面側に作業開口部１５０を形成している。これらの側壁１４２、１４４、後壁１４６、前壁１４８は、ステージ板１３６が形成する作業面１３８の上部に清浄作業領域１５２を形成する。
【００２０】
清浄作業台１２０は、図１に示したように、側壁１４２、１４４、後壁１４６が各支柱１２６の外面に取り付けてあって、ステージ板１３６が各支柱１２６の内側に位置している。したがって、ステージ板１３６は、両側部が側壁１４２、１４４と離間しており、後端辺が後壁１４６と離間している。すなわち、清浄作業台１２０は、ステージ板１３６の形成する作業面１３８と壁部である側壁１４２、１４４、後壁１４６との境界部に、細長い排気口１５４、１５６、１５８が形成されている。これらの排気口１５４、１５６、１５８は、側壁１４２、１４４、後壁１４６の近傍に生ずる空気の滞留域をなくすためのもので、側壁１４２、１４４、後壁１４６の面に沿って流れる清浄空気１４０をステージ板１３６の下方に流下させる。
【００２１】
清浄作業領域１５２の上部には、一対の整流板１６０、１６２が設けてある。これらの整流板１６０、１６２は、「ハ」の字状に配置されていて、上端がルーバユニット２４を取り付けた吹出し口１３１の側部に位置し、下端が漸次拡開して側壁１４２、1４４に接触している。すなわち、整流板１６０、１６２は、本体フレーム１２４が形成する空間の、図１の左右方向上部に清浄空気１４０が循環しないようにし、この部分に滞留域が発生するのを防止している。
【００２２】
清浄作業台１２０は、清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０をＦＦＵ１３２に戻す循環路１６４が形成してある。この循環路１６４は、清浄作業領域１５２の中央部に滞留域が生じないようにするためのもので、清浄作業領域１５２の左右方向中央部の背面側に設けてある。そして、循環路１６４は、実施形態の場合、断面が細長い矩形状をなし、下端が清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０を取り入れる吸入部１６６となっている。吸入部１６６は、清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０を外部に排出する排出口の役割をなし、ステージ板１３６に比較的近い位置、例えばステージ板１３６から５〜２０ｃｍの高さに位置し、上端がＦＦＵ１３２の外気１６８を取り入れる外気取入れ口１７０に連通している。これにより、清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０は、吸入部１６６から矢印１７２のように循環路１６４に流入し、矢印１７４のように送風機１３４に吸引されて吹出し口１３１から清浄作業領域１５２に再度清浄空気１４０として吹き出される。
【００２３】
ルーバユニット２４は、図３に示したようになっていて、第１ルーバ部５２と第２ルーバ部５４とからなっている。第１ルーバ部５２は、清浄作業台１２０の前後方向に沿って配置した複数の第１羽根板５６を有する。また、第２ルーバ部５４は、第１ルーバ部５２の上側に位置しており、第１ルーバ部５２の第１羽根板５６と直交して配置した複数の第２羽根板５８を備えている。これらの羽根板５６、５８は、それぞれ独立して傾き角を調節できるようになっていて、ＨＥＰＡフィルタから吹き出された清浄空気１４０を２次元的に整流できるようにしてある。
【００２４】
第１ルーバ部５２は、実施形態の場合、図４（１）に示したように、中央部の第１羽根板５６が上下方向と平行にしてあって、中央部から左右方向に向かうに従って第１羽根板５６の傾き角が大きくしてある。これらの第１羽根板５６の傾斜角度は、中央部に対して左右対称にしてある。また、第２ルーバ部５４は、実施形態の場合、図４（２）に示したように、中央部の第２羽根板５８が上下方向と平行にしてあって、中央部から前後方向に向かうに従って傾き角が大きくなるようにしてある。そして、実施形態の場合、前側（前壁１４８側）の第２羽根板５８の傾き角が後方側の第２羽根板５８の傾き角より大きくしてあって、清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０を確実に作業開口部１５０から作業者１２２側に吹き出し、清浄作業領域１５２内に生じた塵埃などを外部に確実に排出できるようにするとともに、清浄作業領域１５２内に外部の汚れた空気を巻き込まないようにしている。
【００２５】
なお、清浄作業台１２０は、実施形態の場合、天井板１２８、側壁１４２、１４４、後壁１４６、前壁１４８が透明な塩化ビニル樹脂板などの帯電防止加工した部材によって形成してある。また、整流板１６０、１６２も帯電防止加工した樹脂板などによって形成してある。したがって、清浄作業台１２０は、乾燥した清浄空気１４０の流れが壁部や整流板１６０、１６２に接触しても帯電せず、周囲の塵埃や清浄作業領域４２内で発生した微粒子などが付着しないようになっている。
【００２６】
このようになっている清浄作業台１２０は、ルーバユニット２４を構成している第１ルーバ部５２と第２ルーバ部５４との羽根板５６、５８の傾き角を調整し、天井板１２８に設けた吹出し口１３１から吹き出された清浄空気１４０の流れの向きを制御する。これにより、清浄空気１４０は、図２に示したように、整流された気流となって清浄作業領域１５２を流下し、清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０の一部が、作業開口部１５０を介して清浄作業領域１５２の外部に吹き出される。このため、清浄作業台１２０の外部の汚れた空気が、作業開口部１５０を介して清浄空気１４０の流れに巻き込まれて清浄作業領域１５２に侵入するのを確実に防止することができる。また、清浄空気１４０は、壁部に沿った流れが、作業面１３８と側壁１４２、１４４、後壁１４６との境界部に形成した排気口１５４、１５６、１５８を介してステージ板１３６の下方に排出される。したがって、側壁１４２、１４４、後壁１４６の近傍に空気の滞留域が形成されることがない。
【００２７】
さらに、清浄作業台１２０は、清浄作業領域１５２の中央部の清浄空気１４０が、循環路１６４を介したＦＦＵ１３２の送風機１３４の吸引力により吸引され、強制的に排出される。これにより、送風機１３４の中心部に対応した清浄作業領域１５２の中央部に気流が生じ、滞留域の発生が防止される。また、清浄作業台１２０は、本体フレーム１２４に整流板１６０、１６２を設けて清浄空気１４０がフレーム本体１２４の上部の隅部に流れないようにし、吹出し口１３１の側方部を清浄作業領域１５２から区画したことにより、清浄作業領域１５２内に滞留域が発生することがない。
【００２８】
このため、第１実施形態の清浄作業台１２０は、清浄作業領域１５２の水平方向の面積が清浄空気１４０の吹出し口１３１の面積より３倍程度の広さであっても、清浄作業領域１５２を高い清浄度に保持することができる。そして、清浄作業台１２０は、クリーンルーム外の汚染された環境化において使用した場合であっても、清浄作業領域１５２の内部をクラス０〜クラス１００のレベルに保持することができる。したがって、ＦＦＵ１３２の利用効率を向上することができ、結果的に消費エネルギーの節減を図ることができる。また、清浄作業台１２０は、清浄作業領域１５２内において例えば圧電振動片のパッケージへの実装、圧電振動片の電極部とパッケージの電極部とのワイヤボンディングなど、ワークに対する作業をすることにより生じた塵埃などを清浄作業領域４２から確実に排出することができ、図示しないワークが塵埃などによって汚染されるのを防ぐことができる。また、清浄作業台１２０は、清浄空気１４０の一部を循環路１６４を介してＦＦＵ１３２に戻すようにしているため、ＨＥＰＡフィルタの負荷が軽減され、ＨＥＰＡフィルタの寿命（交換間隔）を大幅に伸ばすことができる。
【００２９】
なお、この実施形態の場合、ルーバユニット２４の羽根板の傾き角を調整することにより、作業面１３８における清浄空気１４０を作業開口部１５０から外部に吹き出す気流放出領域と、清浄空気１４０を循環させる気流循環領域との境界部を、作業開口部１５０から１５〜３０ｃｍ程度入った位置となるように調整している。また、ＦＦＵ１３２の外気取入れ口１７０は、実施形態の場合、全開のときの１／４となるように設定し、ＦＦＵ１３２に戻す清浄空気１４０の循環量ｑ₂を、吹出し口１３１からの清浄空気１４０の吹出し量Ｑの半分（ｑ₂＝Ｑ／２）となるようにしている。したがって、ＨＥＰＡフィルタの寿命は、外気取入れ口１７０を全開にした場合と比較して４倍にすることができる。しかも、清浄空気１４０を循環させているため、清浄作業領域１５２の清浄度をより高めることができる。
【００３０】
なお、作業開口部１５０から外部に吹き出す清浄空気１４０の量をｑ₁とした場合、
【数３】

とすることが望ましい。作業開口部１５０から外部に吹き出す清浄空気の量ｑ₁が吹出し口１３１から吹き出す清浄空気１４０の吹出し量Ｑの１／２より少なくなると、外部の気流の影響、物や手の出し入れなどによって、汚れた外部の空気を清浄作業領域１５２内に巻き込み、清浄度が低下するおそれがある。また、ｑ₁が０．８Ｑより大きいと、清浄作業領域１５２内における気流の循環が充分に行なわれず、清浄作業領域１５２および作業面１３８に滞留域が発生し、作業に伴って発生した塵埃（パーティクル）を効率よく外部に排出できないおそれがある。
【００３１】
なお、図５は、清浄空気１４０をＦＦＵ１３２に戻す循環路の他の例を示したものである。循環路は、同図（１）に示した断面が矩形状の循環路１６４に限定されず、例えば同図（２）に示した循環路１９０のように断面が円形または楕円形、長円形などであってもよいし、同図（３）に示した循環路１９２のように断面が三角形であってもよい。さらに、図５（４）〜（６）に示した循環路ユニット１９４、１９６、１９８のように、複数の循環路を有するように形成してもよい。そして、この場合、複数の循環路の少なくとも一部は、可撓性の部材によって形成するとよい。これにより、清浄作業領域１５２に機器を配置したときに滞留域を生ずるような場合、または機器が排気ファンを有するような場合、その近傍に循環路の吸入部を配置して滞留域の発生を防止し、機器からの排気をＦＦＵ１３２に循環させる。また、図６に示した循環路２００のように、下部の吸入部側を上部より広くなるように形成してもよい。
【００３２】
図７は、第２実施形態を模式的に示した説明図である。この清浄作業台２１０は、循環路を有しておらず、後壁１４６に排出口２１２が設けてある。この排出口２１２には、排気ファン２１４が取り付けてあって、清浄作業領域１５２内の清浄空気１４０を強制的に外部に排出するようにしている。これにより、清浄作業領域１５２の中央部に気流を発生させることができ、滞留域の発生を確実に防ぐことができる。
【００３３】
図８は、第３実施形態に係る清浄作業台の説明図であって、（１）は正面図、（２）は（１）のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、図９は側面図である。この第３実施形態の清浄作業台１０は、清浄作業領域の水平方向における面積が、清浄空気の吹出し口の大きさ程度か、それよりやや大きい程度、すなわち吹出し口面積の１．２倍程度以下の例である。
【００３４】
図８および図９において、清浄作業台１０は、前記実施形態に示した整流板１６０、１６２と循環路１６４とが省かれていて、本体フレーム１２が４本の支柱１４（１４ａ〜１４ｄ）を有している（図８（２）参照）。これらの支柱１４は、方形（正方形または矩形）をなす頂点位置に配置してある。そして、清浄作業台１０は、支柱１４ａ、１４ｂの間が作業開口部１６となっていて、作業開口部１６から作業者（図示せず）が後述する清浄作業領域内に手を入れて作業することができるようになっている。
【００３５】
清浄作業台１０は、上端部における各支柱１４間にビーム１８が取り付けてあって、その上に天井部となる天井板２０が固定してある。天井板２０は、中央部がくり抜かれていて、清浄空気２２の吹出し口（図示せず）となっている。そして、天井板２０の上面には、吹出し口に対応して詳細を後述するルーバユニット２４が取り付けてある。また、清浄作業台１０は、ルーバユニット２４の上に設置したＨＥＰＡフィルタ２６と図示しない送風機、この送風機の吸引側に設けた図示しない前置フィルタとを有する空気清浄ユニットを備えていて、送風機の吐出した空気がＨＥＰＡフィルタに供給され、清浄空気２２として吹出し口から下方に向けて吹き出される。
【００３６】
本体フレーム１２の高さ方向中間部には、作業面２８を形成するステージ板（ステージ）３０が配設してある。このステージ板３０は、ステージフレーム３２の上部に取り付けてあって、ステージフレーム３２が固定金具３３を介して本体フレーム１２の各支柱１４に固定してある。そして、ステージフレーム３２は、後述するように、支柱１４に沿って上下方向に移動可能となっていて、作業者の身長などに応じて高さを変えられるようになっている。
【００３７】
ステージフレーム３２は、ほぼ額縁状に形成してあって、図８（２）に示してあるように、支柱１４ａ、１４ｂ間に配置した前側枠材３４ａと、この前側枠材３４ａの両端部に結合され、清浄作業台１０の前後方向に延在している一対の側部枠材３４ｂ、３４ｃ、さらに側部枠材３４ｂ、３４ｃの後端部を連結した後側枠材３４ｄとからなっている。ただし、後側枠材３４ｄは、実施形態の場合、側部枠材３４ｂ、３４ｃの後端よりやや手前側に配置してある。そして、ステージ板３０は、実施形態の場合、塵付着防止を目的とした金属板からなっていて、外縁がステージフレーム３２の外側輪郭線に沿って形成してある。
【００３８】
４本の支柱１４が形成する方形の３辺には、壁部が設けてある。すなわち、清浄作業台１０は、両側部に壁部となる側壁３６、３８が設けてあり、背面に壁部である後壁４０が設けてある。これらの側壁３６、３８、後壁４０は、各支柱１４の外側面に取り付けた樹脂板によって形成してある。また、側壁３６、３８、後壁４０は、上端が天井板２０に密接していて、下端がステージ板３０の下方に位置している。そして、これらの側壁３６、３８、後壁４０は、ステージ板３０が形成する作業面２８の上部に、前面側（作業開口部１６側）が解放された清浄作業領域４２を形成する。
【００３９】
ステージフレーム３２は、図８（２）に示したように、側部枠材３４ｂが支柱１４ａ、１４ｃに対して清浄作業台１０の中央側に位置し、側部枠材３４ｃが支柱１４ｂ、１４ｄに対して清浄作業台１０の中央側に位置し、後側枠材３４ｄが側部枠部材３４ｂ、３４ｃの後端より前側（実施形態の場合、支柱１４ｃ、１４ｄより前側）に位置している。そして、前記したように、ステージ板３０は、ステージフレーム３２の外側輪郭線に沿って設けてある。したがって、ステージ板３０は、両側部が側壁３６、３８と離間しており、後端辺に凹部４４が形成されて、この凹部４４の部分が後壁４０と離間している。すなわち、ステージ板３０の形成する作業面２８と壁部材である側壁３６、３８、後壁４０との境界部には、細長い排気口４６、４８、５０が形成されている。これらの排気口４６、４８、５０は、側壁３６、３８、後壁４０の近傍に生ずる空気の滞留域をなくすためのもので、側壁３６、３８、後壁４０の面に沿って流れる清浄空気２２をステージ板３０の下方に流下させる。
【００４０】
ステージ板３０を取り付けたステージフレーム３２は、図１０に示したようにＬ字状の固定金具３３を介してねじ６０によって支柱１４に着脱自在に固定してある。そして、支柱１４には、支柱１４ａを例にして示したように、高さ方向に複数の高さ調節用のねじ孔６２が設けてある。したがって、ねじ６０を螺合させるねじ孔６２の位置を変えることにより、ステージ板３０の上下方向の位置を任意に変えることができ、各作業者の作業に適した高さ位置とすることができるようにしてある。
【００４１】
なお、ステージ板３０の上下位置を調節する機構は、図１１のように構成してもよい。すなわち、支柱１４の上下方向にＣ字状のガイド溝６４を形成し、そのガイド溝６４内に、ボルト６６に螺合させたナット６８を配置する。これにより、ボルト６６を回転させてナット６８を緩めることにより、ステージ板３０を取り付けたステージフレーム３２を支柱１４の上下方向に沿って容易に移動させることができる。ただし、ステージ板３０の移動機構は、これらに限定されるものでない。
【００４２】
清浄作業台１０は、実施形態の場合、天井板２０および側壁３６、３８、後壁４０が透明な塩化ビニル樹脂板などの帯電防止加工した部材によって形成してあり、乾燥した清浄空気２２の流れが接触しても帯電しないようにしてあって、周囲の塵埃や清浄作業領域４２内で発生した微粒子などが付着しないようになっている。そして、天井板２０の上面の前端側には、蛍光灯などからなる照明器具７０が設けてあって、清浄作業領域４２内を照らし、作業に支障がないようにしてある。また、清浄作業台１０は、各支柱１４の下端に高さ調節ねじ７２が設けてあり、清浄作業台１０を設置する床面に凹凸があってもがたつくことなく設置できるとともに、ステージ板３０を水平に保持することができるようにしてある。
【００４３】
このようになっている清浄作業台１０は、ルーバユニット２４を構成している第１ルーバ部５２と第２ルーバ部５４との羽根板５６、５８の傾き角を調整し、ＨＥＰＡフィルタ２６から吹き出された清浄空気２２の流れの向きを制御することにより、図８（１）および図９に示したように、清浄作業領域４２内の清浄空気２２を、作業開口部１６を介して清浄作業領域４２の外部に吹き出させることができるとともに、作業面２８と側壁３６、３８、後壁４０との境界部に形成した排気口４６、４８、５０を介してステージ板３０の下方に排出することができる。このため、清浄作業台１０の外部の汚れた空気が、作業開口部１６を介して清浄空気２２の流れに巻き込まれて清浄作業領域４２に侵入するのを確実に防止することができる。また、側壁３６、３８、後壁４０の近傍を流れる清浄空気２２は、排気口４６、４８、５０を介して清浄作業領域４２から排出されるため、側壁３６、３８、後壁４０の近傍に空気の滞留域が形成されることがない。したがって、清浄作業領域４２内において例えば圧電振動片のパッケージへの実装、圧電振動片の電極部とパッケージの電極部とのワイヤボンディングなどのワークに対する作業をすることにより生じた塵埃などを、清浄作業領域４２から確実に排出することができ、図示しないワークが塵埃などによって汚染されるのを防ぐことができる。しかも、清浄作業台１０は、照明器具７０が清浄作業領域４２の外部に配設してあるため、清浄作業領域４２の清浄空気２２の流れが照明器具７０の熱によって乱されることがなく、清浄作業領域４２内に清浄空気２２の滞留域が形成されるのを防ぐことができる。このため、清浄作業台１０をクリーンルーム外の汚染された環境化において使用した場合であっても、清浄作業領域４２を非常に高い清浄度に保持することができ、従来に比較してパーティクルの量を１／５以下にすることができる。
【００４４】
なお、排気口４６、４８、５０の大きさは、作業面２８の広さ、清浄作業領域４２の大きさ、ＨＥＰＡフィルタ２６から吹き出す清浄空気２２の風量などによって異なる。また、ルーバユニット２４の羽根板５６、５８の傾き角は、作業面２８に配置するワークや機器の大きさなどによって適宜に調整し、清浄作業領域４２内に空気の滞留域が生じないようにする。また、ステージ板３０の上に重量のある機器を配置する場合には、ステージフレーム３２に補強リブなどを設ける。
【００４５】
そして、実施形態に係る清浄作業台１０は、側壁３６、３８、後壁４０、天井板２０を樹脂板によって形成してあるため、極めて軽量にすることができ、容易に移動することができる。また、実施形態の清浄作業台１０は、側壁３６、３８、後壁４０が樹脂板によって形成してあるため、清浄作業領域４２に収納が困難な大きさの機器であっても、機器を容易に清浄作業領域４２から突出させて配置することができる。図１２は、このような使用状態を示したものである。
【００４６】
すなわち、清浄作業台１０は、後壁４０に機器７４を挿入可能な切欠き７６が形成してあり、機器７４の後端部が切欠き７６から清浄作業領域４２の外部に突出していて、機器７４の前側の清浄作業領域４２に充分な作業スペースを確保している。切欠き７６は、機器７４の形状に合わせて、できるだけ機器７４と後壁４０との間に隙間が生じないように形成してある。そして、作業面２８を形成するステージ板３０は、機器７４の大きさに合わせて形成してあり、一部が後壁４０の後方に突出している。また、ステージ板３０には、後壁４０の内側に排気口５０が形成してある。さらに、ステージ板３０を支持するステージフレーム３２の後端部を後壁４０から突出させる場合には、側部枠材３４ｂ、３４ｃの後端に補強用の後端枠材３４ｅを連結する。
【００４７】
清浄作業台１０は、このような使用状態においても、清浄作業領域４２の内部で発生した塵埃などを確実に清浄作業領域から排出することができるとともに、作業開口部１６から外部の空気が清浄作業領域４２に巻き込まれるのを防ぐことができる。なお、切欠き７６は、必要に応じて側壁３６、３８に形成することができる。
【００４８】
図１３は、他の使用例を示したものである。この使用例は、２台の清浄作業台１０ａ、１０ｂを密接させて配置している。そして、清浄作業台１０ａは、清浄作業台１０ｂに接する側壁３８ａにワーク搬送開口８０ａが形成してある。また、清浄作業台１０ｂは、清浄作業台１０ａに接する側壁３６ｂに、ワーク搬送開口８０ａと対応させてワーク搬送開口８０ｂが設けてある。
【００４９】
このようにワーク搬送口８０ａ、８０ｂを形成した２つの清浄作業台１０ａ、１０ｂを相互に密接させて配置することにより、例えば清浄作業台１０ａの清浄作業領域４２ａにおいて加工や処理などをした図示しないワークを、ワーク搬送開口８０ａ、８０ｂを介して清浄作業台１０ｂの清浄作業領域４２ｂに搬入することができる。したがって、清浄な雰囲気下で加工、処理したワークを汚染した空気に触れることなく次の加工や処理を行なうことができる。
【００５０】
なお、清浄作業台１０ａ、１０ｂの間に必要に応じてシール材を配置してもよい。また、３つ以上の清浄作業台１０を連接してもよいことはもちろんである。また、清浄作業台１０ａ、１０ｂを背中合わせに配置してもよい。また、第１実施形態に係る清浄作業台１２０も、同様に連接して使用することができる。
【００５１】
以上に説明した実施形態は、本発明の一態様を説明したものであって、これに限定されるものではない。例えば、本体フレーム１２の支柱１４にキャスタを取り付けて移動を容易にしてもよいし、ＨＥＰＡフィルタ２６を移動可能に取付け、作業面２８に設置する機器の大きさ、場所によってＨＥＰＡフィルタ２６の取付け位置を変えるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る清浄作業台の斜視図である。
【図２】第１実施形態の要部の従断面図である。
【図３】実施形態の係るルーバユニットの詳細説明図である。
【図４】実施の形態に係るルーバユニットの羽根板の傾き角の設定例を説明する図である。
【図５】循環路の他の実施形態の説明図である。
【図６】循環路のさらに他の例を示す斜視図である。
【図７】第２実施形態を模式的に示した説明図である。
【図８】第３実施形態に係る清浄作業台の説明図である。
【図９】第３実施形態に係る清浄作業台の側面図である。
【図１０】実施の形態に係るステージ板の上下方向位置を変える機構の説明図である。
【図１１】実施の形態に係るステージ板の上下方向位置を変える他の機構の説明図である。
【図１２】実施の形態に係る清浄作業台の使用例を説明する図である。
【図１３】実施の形態に係る清浄作業台の他の使用例を説明する図である。
【図１４】従来の清浄作業台の気流の状態の説明図である。
【符号の説明】
１０、１２０、２１０………清浄作業台、１６、１５０………作業開口部、２０、１２８………天井部（天井板）、２２、１４０………清浄空気、２４………ルーバユニット、２６………ＨＥＰＡフィルタ、２８、１３８………作業面、３０、１３６………ステージ（ステージ板）、３６、３８、４０………壁部（側壁、後壁）、４２、１５２………清浄作業領域、４６、４８、５０………排気口、５２………第１ルーバ部、５４………第２ルーバ部、５６………第１羽根板、５８………第２羽根板、７０………照明器具、１３１………吹出し口、１３２………ＦＦＵ、１４２、１４４、１４６、１４８………壁部（側壁、後壁、前壁）、１６４、１９０、１９２、２００………循環路、１６６………排出口（吸入部）１９４、１９６、１９８………循環路ユニット、２１２………排出口、２１２………排出口、２１４………排気ファン。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cleaning worktable, and more particularly, to a cleaning worktable for forming a work space having a locally high cleanliness.
[0002]
[Prior art]
Electronic components such as piezoelectric devices and semiconductor devices are remarkably miniaturized and miniaturized as electronic devices become more sophisticated and smaller, and the performance and yield are greatly affected by contamination with dust in the air during the manufacturing process. For this reason, high cleanliness is required in manufacturing factories of piezoelectric devices and semiconductor devices, and generally a clean room is provided and manufacturing is performed in the clean room.
[0003]
However, if the entire large work room is made into a clean room with high cleanliness, a large amount of equipment costs are required, and the running cost is also large. In addition, for example, when a prototype or a research and development product is manufactured or a defective product is slightly repaired, a large work area is often not required. Therefore, even if the cleanliness of the surroundings is not so high, if a work area having a high cleanliness can be secured locally, the object can be achieved economically and the equipment cost of the manufacturing plant can be reduced. Therefore, a work table called a clean bench has been developed.
[0004]
This clean bench is generally provided with walls on three sides of a square or rectangular work table, and the other side is used as a work opening, and the work opening is opposed to the work opening. It is designed to blow highly clean air. In addition, as another clean bench, the floor surface of the clean work area is formed by a perforated plate, high-purity air is blown out from the blowout port provided in the upper ceiling part toward the porous floor surface, and the clean air is discharged. Some are configured to discharge to the outside from the porous floor surface. And in patent document 1, while comprising the floor surface of a work area with a perforated plate, a part of clean air blown out from the ceiling surface was blown out from the front work opening, and below the porous floor surface. The clean air that has flowed down is discharged to the clean unit.
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2-114510
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in any conventional vertical airflow type clean bench, the size of the work area in the plane direction is generally about the same as the size of the clean air outlet. If the horizontal size of the work area is made larger than the clean air outlet for the purpose of reducing the efficiency of use of purification devices such as HEPA filters and energy consumption, it will stay in the corners in the horizontal direction of the outlet. The dust generated during the work stays in the work area, degrading the cleanliness and contaminating the work.
[0006]
That is, in the conventional vertical airflow type clean bench, for example, as shown in FIG. 14, the width B of the work area 102 of the clean bench 100 is doubled from the clean air outlet 106 of the HEPA filter 104 as a cleaning device. Suppose that it is larger than about. In this case, as shown in FIG. 14, the clean air blown out from the blow-out port 106 does not reach the corners on both sides of the upper part of the cleaning work area 102 directly. 108 is produced. In addition, the blower (not shown) installed at the upper part of the outlet 106 has a lower rotation speed than the surrounding area because the rotation center is the rotation axis. For this reason, the working area 102 has a weak central airflow, and a staying area 110 is formed. Such a phenomenon occurs when the horizontal size of the work area 102 is larger than the size of the outlet 106 by about 20% or more.
[0007]
A conventional clean bench that blows clean air from the facing surface side of the work opening toward the work opening is arranged downstream of the clean air device, that is, a work piece when a large device is placed on the workbench. A turbulent flow is generated in the work area where the work is carried out, and a vortex is generated to create a staying area, and dust such as fine particles generated from the work or equipment accompanies the work area, and they are retained in the work area. Adheres and contaminates the workpiece.
[0008]
In addition, the conventional clean bench that blows clean air down from the ceiling toward the porous floor has an ejector effect due to the downward flow of clean air, and external air enters the clean work area from the work opening. And reducing the cleanliness of the cleaning work area. And since the conventional clean bench which blows clean air toward the floor surface from a ceiling part as described in patent document 1 is because the floor surface is formed with perforated plates, such as what is called punching metal, it is a piezoelectric device. Such as small products, small parts and tools, equipment with legs etc. can not be placed directly on the workbench, generally work in the air away from the floor surface, and workability is poor . In addition, when a large device or a component tray is arranged on the porous floor surface, the exhaust hole is blocked, the flow of clean air in the clean work area is disturbed, and a stay area or the like is generated to reduce the cleanliness. In addition, if the floor surface of the clean work area is formed by a member that does not have holes so that work can be performed, a stay area of clean air is generated near the wall surface, and dust such as fine particles generated by the work is retained in the stay area. Accumulated, these adhere to the workpiece and contaminate the workpiece.
[0009]
The present invention has been made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art, and has an object to obtain a clean work area larger than a clean air outlet.
Another object of the present invention is to reduce energy consumption.
Another object of the present invention is to prevent the dust generated by the work from staying in the clean work area because the work on the floor surface of the clean work area is possible.
Another object of the present invention is to prevent external air from entering the clean work area from the work opening.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
  A cleaning worktable according to the present invention includes a stage that forms a work surface, a wall that is provided at a peripheral portion of the work surface, has a work opening in a part thereof, and forms a clean work region above the work surface. A clean air outlet provided in a ceiling portion formed above the stage, and a plurality of blades provided on the outlet and each independently having a variable inclination angle, A louver unit that controls the blowing direction of clean air, a rectifying plate that is gradually expanded downward from both sides of the blowing port, and provided at a boundary between the working surface and the wall, An exhaust port for guiding a part of the clean air blown out from the blowout port to the outside of the cleaning work area;The stage is a non-perforated plate, and the amount of the clean air blown from the blowout port is Q, and the amount of the clean air blown out from the work opening is q ₁ And when
[Expression 1]
      0.5Q ≦ q ₁ ≦ 0.8Q
ToIt is characterized by that.
[0011]
In general, work in a clean work table such as a clean bench, for example, work of assembling or reworking a piezoelectric device or a semiconductor device is mostly performed near the center of the work area and in the vicinity of the work surface. For this reason, the upper part near the ceiling surface of the cleaning work table is often an unnecessary area. That is, the portion where the stay area 108 shown in FIG. 14 is generated is generally a dead space, and can be said to be a portion that is not particularly required. Therefore, the present invention controls the direction of the clean air blowing by adjusting the inclination angle of the louver plate of the louver unit, and arranges the rectifying plate so as to gradually expand downward from both sides of the clean air blowing port. did. As a result, the present invention partitions the upper part of both sides of the clean work area where the blown clean air does not reach directly from the clean work area, prevents the formation of a circulating flow of clean air in the clean work area, and creates a stay area. Can be prevented. Further, according to the present invention, the exhaust port is formed at the boundary portion between the work surface and the wall portion, so that the air retention area in the vicinity of the wall portion can be eliminated. Moreover, since the clean air along the wall surface is exhausted from the clean work area through the exhaust port, the clean air flowing down along the wall surface does not hit the work surface and flow into the center of the clean work area. Thus, it is possible to prevent an airflow from being generated in the central portion of the cleaning work area and becoming a staying area. For this reason, dust such as fine particles generated in the clean work area due to work or processing on the work can be surely discharged from the clean work area, and the cleanliness is improved and the work in the clean work area is removed. There is no contamination. Moreover, it is not necessary to form a stage that becomes the floor surface of the cleaning work area with a member having a hole such as a perforated plate, and small products, parts, tools, etc. can be arranged, and it is not necessary to work in the air. Therefore, workability is improved.
[0012]
The louver unit is arranged so as to intersect with the first louver part having a plurality of first blades each independently having a variable inclination angle, and the first blades of the first louver part. It is desirable to form so that it may have the 2nd louver part which has a plurality of 2nd slats where a corner is variable. As a result, the clean air blown to the clean work area can be two-dimensionally distributed and rectified in any direction, and smoothed from the exhaust opening and work opening provided along the peripheral edge of the work surface. Further, the clean air can be discharged to the outside, and the generation of the staying area can be prevented, and the outside contaminated air can be prevented from entering the clean working area through the work opening.
[0013]
The cleaning work area can be provided with a discharge port that discharges clean air to the outside of the cleaning work area and generates an airflow at the center of the cleaning work area. As described above, the central portion of the cleaning work area has a low velocity of airflow, so that a staying area is likely to occur due to the arrangement of equipment. Therefore, by providing a discharge port in the clean work area and forcibly discharging clean air to the outside, positively generating an air flow in the center of the clean work area can reliably prevent the occurrence of a stay area. it can.
[0014]
The discharge port may form a suction portion of a circulation path for returning the clean air in the cleaning work area to the blower disposed above the blow-out port. By circulating a part of the clean air in this way, the cleanliness in the cleaning work area can be further increased, and a filter of a cleaning device such as a fan filter unit (FFU) disposed at the upper part of the outlet. Can be reduced, and the filter life (replacement interval) can be greatly extended. A plurality of circulation paths may be provided. In this case, at least a part of the circulation path may be formed by a flexible member. In this way, by forming the circulation path with a flexible member, when an apparatus or the like is arranged in the cleaning work area, by setting the suction portion (discharge port) of the circulation path to an appropriate position, It is possible to reliably prevent the staying area from occurring in the cleaning work area.
[0015]
  Q is the amount of clean air blown out from the blowout port per fixed time, and the clean air is blown out from the work opening to the outside per fixed time.ofQ₁And when
[Expression 2]
      0.5Q ≦ q₁≦ 0.8Q
Is desirable. Amount q of clean air blown out from work opening₁If the amount of air is less than half of the amount Q of clean air that blows out from the outlet, dirty external air may be trapped in the cleaning work area due to the effects of external air currents, or by taking in and out of objects, and the cleanliness may be reduced. is there. Q₁Is larger than 0.8Q, the airflow is not sufficiently circulated in the cleaning work area, and a staying area is generated on the surface of the cleaning work area and the work table (work surface). ) May not be efficiently discharged to the outside.
[0016]
When the horizontal area of the cleaning work area is 1.2 times or less the size of the outlet, the current plate can be omitted. When the clean work area is narrow, rectification is achieved by controlling the direction of the clean air blown by the louver plate of the louver unit provided at the air outlet and discharging the clean air from the air outlet provided at the boundary between the work surface and the wall. Even if there is no plate, it is possible to prevent the staying area from occurring in the cleaning work area. The wall portion, the ceiling portion, and the rectifying plate may be formed of a member subjected to antistatic processing. As a result, the wall, ceiling, and rectifying plate are not charged even when they come into contact with the flow of dry clean air, and dust generated in the cleaning work area adheres to the wall, ceiling, and rectifying plate. It is possible to prevent the dust and the like adhering to the wall, ceiling, and current plate from being scattered and adhering to the workpiece. Of course, when the stage is formed of a resin plate or the like, the stage is also formed of a member subjected to antistatic processing. Further, the stage can be formed with a variable vertical position. Thereby, it is possible to adjust the position of the stage to a height at which it is easy to work according to the height of the worker, etc., and work efficiency can be improved.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of a cleaning worktable according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a perspective view of a cleaning worktable according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a central secondary sectional view of the main part. In these drawings, the cleaning work table 120 has a front side in FIG. 1 as a front side, and an operator 122 is positioned in front of the front side to work. In the cleaning work table 120, the main body frame 124 is formed in a rectangular parallelepiped shape by four columns 126 (126a to 126d). In the cleaning work table 120, a ceiling plate 128 constituting a ceiling portion is fixed to the upper end of the main body frame 124. The ceiling panel 128 is hollowed out at the center, and serves as an outlet 131 for the clean air 140. A louver unit 24, which will be described in detail later, is attached to the upper surface of the ceiling board 128 corresponding to the outlet 131. Further, the cleaning work table 120 is provided with an FFU (fan filter unit) 132 that is a purifying device for purifying air on the louver unit 24. As shown in FIG. 2, the FFU 132 includes a blower 134, a pre-filter disposed on the suction side of the blower 134, and a high performance filter such as a HEPA filter provided on the blowout side of the blower 134 (all illustrated. The air discharged from the blower 134 is supplied to the HEPA filter, and is blown out downward as the clean air 140 from the outlet 131.
[0018]
On the main body frame 124, a stage plate (stage) 136 is disposed below the louver unit 24. The stage plate 136 is made of an uncharged metal such as aluminum, and the upper surface is a work surface 138. Further, the stage plate 136 is located in the middle in the height direction of the main body frame 124 and is attached to the main body frame 124 so as to be movable in the vertical direction.
[0019]
Walls are provided on the four sides of the square formed by the four support columns 126 constituting the main body frame 124. That is, the cleaning work table 120 is provided with side walls 142 and 144 that are wall portions on both sides, a rear wall 146 that is a wall portion on the back surface, and a front wall 148 that is a wall portion on the front surface. is there. These side walls 142, 144, the rear wall 146, and the front wall 148 are formed by a resin plate attached to the outer surface of each column 126. Further, the side walls 142 and 144 and the rear wall 146 have upper ends in close contact with the ceiling plate 128 and lower ends located below the stage plate 136. The front wall 148 has an upper end that is in close contact with the ceiling plate 128 and a lower end that is positioned above the stage plate 136, and forms a work opening 150 on the front side of the main body frame 124. These side walls 142, 144, the rear wall 146, and the front wall 148 form a cleaning work area 152 on the upper part of the work surface 138 formed by the stage plate 136.
[0020]
As shown in FIG. 1, the cleaning work table 120 has side walls 142, 144 and a rear wall 146 attached to the outer surface of each column 126, and the stage plate 136 is positioned inside each column 126. Therefore, the stage plate 136 is separated from the side walls 142 and 144 on both sides, and the rear end side is separated from the rear wall 146. That is, in the cleaning work table 120,

elongated exhaust ports

154, 156, 158 are formed at boundaries between the work surface 138 formed by the stage plate 136 and the side walls 142, 144 and the rear wall 146 that are walls. These

exhaust ports

154, 156, 158 are for eliminating a staying area of air generated in the vicinity of the side walls 142, 144 and the rear wall 146, and clean air flowing along the surfaces of the side walls 142, 144 and the rear wall 146. 140 is caused to flow down below the stage plate 136.
[0021]
A pair of rectifying

plates

160 and 162 are provided above the cleaning work area 152. These rectifying

plates

160 and 162 are arranged in a “C” shape, the upper end is located at the side of the outlet 131 to which the louver unit 24 is attached, and the lower end is gradually expanded to form the side walls 142 and 144. Touching. That is, the rectifying

plates

160 and 162 prevent the clean air 140 from circulating in the upper part in the left-right direction of FIG. 1 in the space formed by the main body frame 124, and prevents the staying area from being generated in this portion.
[0022]
The cleaning work table 120 has a circulation path 164 that returns the clean air 140 in the cleaning work area 152 to the FFU 132. The circulation path 164 is provided to prevent a staying area from being generated in the central portion of the cleaning work area 152, and is provided on the back side of the central part in the left-right direction of the cleaning work area 152. In the embodiment, the circulation path 164 has a rectangular shape with a long cross section, and the lower end is a suction portion 166 that takes in the clean air 140 in the clean work area 152. The suction portion 166 serves as a discharge port for discharging the clean air 140 in the cleaning work area 152 to the outside, and is positioned relatively close to the stage plate 136, for example, at a height of 5 to 20 cm from the stage plate 136. The upper end communicates with an outside air inlet 170 for taking in outside air 168 of the FFU 132. As a result, the clean air 140 in the clean work area 152 flows into the circulation path 164 as indicated by the arrow 172 from the suction portion 166, is sucked into the blower 134 as indicated by the arrow 174, and enters the clean work area 152 from the outlet 131. It is blown out as clean air 140 again.
[0023]
The louver unit 24 is configured as shown in FIG. 3 and includes a first louver portion 52 and a second louver portion 54. The first louver part 52 has a plurality of first blades 56 arranged along the front-rear direction of the cleaning work table 120. Further, the second louver portion 54 is provided on the upper side of the first louver portion 52, and includes a plurality of second blade plates 58 arranged orthogonal to the first blade plate 56 of the first louver portion 52. . These

blades

56 and 58 can adjust the inclination angle independently, respectively, so that the clean air 140 blown from the HEPA filter can be two-dimensionally rectified.
[0024]
In the case of the embodiment, as shown in FIG. 4A, the first louver portion 52 has a first slat 56 in the central portion that is parallel to the vertical direction, and the first louver portion 52 is moved from the central portion toward the left and right direction. The inclination angle of one blade 56 is increased. The inclination angles of the first blades 56 are symmetric with respect to the central portion. In the embodiment, as shown in FIG. 4B, the second louver portion 54 has a second slat 58 in the central portion parallel to the vertical direction and is directed from the central portion in the front-rear direction. The inclination angle increases according to In the case of the embodiment, the inclination angle of the second blade plate 58 on the front side (front wall 148 side) is larger than the inclination angle of the second blade plate 58 on the rear side, and the clean air in the cleaning work area 152 is obtained. 140 is reliably blown out from the work opening 150 to the worker 122 side so that dust generated in the clean work area 152 can be surely discharged to the outside, and outside dirty air is discharged into the clean work area 152. I try not to get them involved.
[0025]
In the embodiment, the cleaning work table 120 is formed of an antistatic material such as a transparent vinyl chloride resin plate in which the ceiling plate 128, the side walls 142 and 144, the rear wall 146, and the front wall 148 are transparent. The rectifying

plates

160 and 162 are also formed of an antistatic processed resin plate or the like. Therefore, the cleaning work table 120 is not charged even when the flow of the dry clean air 140 comes into contact with the wall portion or the rectifying

plates

160 and 162, and surrounding dust or fine particles generated in the cleaning work area 42 do not adhere. It is like that.
[0026]
The cleaning work table 120 thus configured is provided on the ceiling panel 128 by adjusting the inclination angles of the

blades

56 and 58 between the first louver part 52 and the second louver part 54 constituting the louver unit 24. The direction of the flow of the clean air 140 blown out from the blowout port 131 is controlled. As a result, as shown in FIG. 2, the clean air 140 becomes a rectified airflow and flows down the clean work area 152, and a part of the clean air 140 in the clean work area 152 passes through the work opening 150. Through the cleaning work area 152. For this reason, it is possible to reliably prevent dirty air outside the cleaning work table 120 from getting into the flow of the clean air 140 via the work opening 150 and entering the cleaning work area 152. The clean air 140 flows along the wall portion below the stage plate 136 via

exhaust ports

154, 156, 158 formed at the boundary between the work surface 138 and the side walls 142, 144 and the rear wall 146. Discharged. Accordingly, no air retention area is formed in the vicinity of the side walls 142, 144 and the rear wall 146.
[0027]
Further, in the cleaning work table 120, the clean air 140 at the center of the cleaning work area 152 is sucked by the suction force of the blower 134 of the FFU 132 via the circulation path 164 and is forcibly discharged. Thereby, an air flow is generated in the central portion of the cleaning work area 152 corresponding to the central portion of the blower 134, and the generation of the staying area is prevented. Further, the cleaning work table 120 is provided with

current plates

160 and 162 on the main body frame 124 so that the clean air 140 does not flow to the upper corner of the frame main body 124, and the side portion of the outlet 131 is disposed in the cleaning work area 152. Therefore, a staying area does not occur in the cleaning work area 152.
[0028]
For this reason, the cleaning work table 120 according to the first embodiment has the cleaning work area 152 even if the horizontal area of the cleaning work area 152 is about three times as large as the area of the outlet 131 of the clean air 140. High cleanliness can be maintained. The cleaning work table 120 can maintain the inside of the cleaning work area 152 at a class 0 to class 100 level even when used in a contaminated environment outside the clean room. Therefore, the utilization efficiency of the FFU 132 can be improved, and as a result, energy consumption can be reduced. Further, the cleaning work table 120 is generated by performing work on the workpiece in the cleaning work area 152, for example, mounting the piezoelectric vibrating piece on a package, wire bonding between the electrode part of the piezoelectric vibrating piece and the electrode part of the package, etc. Dust and the like can be reliably discharged from the cleaning work area 42, and a workpiece (not shown) can be prevented from being contaminated by dust and the like. In addition, since the cleaning work table 120 returns a part of the clean air 140 to the FFU 132 via the circulation path 164, the load on the HEPA filter is reduced and the life of the HEPA filter (replacement interval) is greatly extended. be able to.
[0029]
In the case of this embodiment, by adjusting the inclination angle of the slats of the louver unit 24, the clean air 140 on the work surface 138 is blown out from the work opening 150 and the clean air 140 is circulated. The boundary with the airflow circulation region is adjusted so as to be located at about 15 to 30 cm from the work opening 150. Further, in the case of the embodiment, the outside air intake port 170 of the FFU 132 is set to be 1/4 of the fully opened state, and the circulation amount q of the clean air 140 returned to the FFU 132 is q.₂Is half of the amount Q of clean air 140 blown out from the outlet 131 (q₂= Q / 2). Therefore, the lifetime of the HEPA filter can be quadrupled compared to the case where the outside air intake port 170 is fully opened. Moreover, since the clean air 140 is circulated, the cleanliness of the clean work area 152 can be further increased.
[0030]
The amount of clean air 140 blown out from the work opening 150 is q₁If
[Equation 3]

Is desirable. Amount q of clean air blown out from work opening 150₁Becomes less than ½ of the blowing amount Q of the clean air 140 blown out from the blow-out port 131, dirty external air is caught in the cleaning work area 152 due to the influence of the external air flow, and the taking in and out of objects and hands, etc. The degree may decrease. Q₁Is larger than 0.8Q, the air flow in the cleaning work area 152 is not sufficiently circulated, and a staying area is generated in the cleaning work area 152 and the work surface 138, and dust (particles) generated by the work is efficiently used. There is a risk that it cannot be discharged to the outside.
[0031]
FIG. 5 shows another example of the circulation path for returning the clean air 140 to the FFU 132. The circulation path is not limited to the circulation path 164 having a rectangular cross section shown in FIG. 1A. For example, the circulation path is circular, elliptical, or oval like the circulation path 190 shown in FIG. Alternatively, the cross section may be a triangle like the circulation path 192 shown in FIG. Furthermore, you may form so that it may have a some circulation path like the

circulation path units

194, 196, and 198 shown to FIG. 5 (4)-(6). In this case, at least a part of the plurality of circulation paths may be formed by a flexible member. As a result, in the case where a stagnant region is generated when the device is arranged in the cleaning work area 152, or when the device has an exhaust fan, the suction part of the circulation path is arranged in the vicinity thereof to generate the stagnant region. Prevent and circulate the exhaust from the equipment to the FFU 132. Further, like the circulation path 200 shown in FIG. 6, the lower suction part side may be formed wider than the upper part.
[0032]
FIG. 7 is an explanatory diagram schematically showing the second embodiment. The cleaning work table 210 does not have a circulation path, and a discharge port 212 is provided in the rear wall 146. An exhaust fan 214 is attached to the discharge port 212 so that the clean air 140 in the clean work area 152 is forcibly discharged to the outside. Thereby, an air current can be generated in the central portion of the cleaning work area 152, and the generation of a staying area can be reliably prevented.
[0033]
FIG. 8 is an explanatory diagram of a cleaning worktable according to the third embodiment, where (1) is a front view, (2) is a cross-sectional view taken along line AA in (1), and FIG. It is a side view. In the cleaning work table 10 of the third embodiment, the area in the horizontal direction of the cleaning work area is about the size of the blowout port of clean air or slightly larger than that, that is, about 1.2 times the blowout port area or less. It is an example.
[0034]
8 and 9, the cleaning work table 10 is configured such that the rectifying

plates

160 and 162 and the circulation path 164 shown in the above embodiment are omitted, and the main body frame 12 includes four support columns 14 (14 a to 14 d). (See FIG. 8 (2)). These support | pillars 14 are arrange | positioned in the vertex position which makes | forms a square (square or a rectangle). The cleaning work table 10 has a work opening 16 between the

columns

14a and 14b, and an operator (not shown) puts his / her hand in a clean work area described later from the work opening 16 to work. Be able to.
[0035]
In the cleaning work table 10, a beam 18 is attached between the columns 14 at the upper end, and a ceiling plate 20 serving as a ceiling is fixed thereon. The ceiling plate 20 is hollowed out at the center, and serves as an outlet (not shown) for the clean air 22. A louver unit 24, which will be described in detail later, is attached to the upper surface of the ceiling plate 20 corresponding to the outlet. Further, the cleaning worktable 10 includes an air cleaning unit having a HEPA filter 26 installed on the louver unit 24, a blower (not shown), and a front filter (not shown) provided on the suction side of the blower. The discharged air is supplied to the HEPA filter, and is blown out downward as a clean air 22 from the outlet.
[0036]
A stage plate (stage) 30 that forms a work surface 28 is disposed in the intermediate portion in the height direction of the main body frame 12. The stage plate 30 is attached to the upper part of the stage frame 32, and the stage frame 32 is fixed to each column 14 of the main body frame 12 via a fixing bracket 33. As will be described later, the stage frame 32 can be moved in the vertical direction along the support column 14, and the height can be changed according to the height of the operator.
[0037]
The stage frame 32 is formed in a substantially frame shape, and as shown in FIG. 8 (2), the front frame member 34a disposed between the

support columns

14a and 14b, and both ends of the front frame member 34a. It is composed of a pair of

side frame members

34b and 34c that are coupled and extend in the front-rear direction of the cleaning work table 10, and a rear frame member 34d that connects the rear ends of the

side frame members

34b and 34c. Yes. However, in the case of the embodiment, the rear frame member 34d is arranged slightly on the near side from the rear ends of the

side frame members

34b and 34c. In the embodiment, the stage plate 30 is made of a metal plate for preventing dust adhesion, and the outer edge is formed along the outer contour line of the stage frame 32.
[0038]
Walls are provided on three sides of the square formed by the four columns 14. That is, the cleaning work table 10 is provided with

side walls

36 and 38 as wall portions on both sides and a rear wall 40 as a wall portion on the back surface. The

side walls

36 and 38 and the rear wall 40 are formed by a resin plate attached to the outer surface of each column 14. Further, the

side walls

36, 38 and the rear wall 40 have upper ends that are in close contact with the ceiling plate 20 and lower ends that are located below the stage plate 30. The

side walls

36 and 38 and the rear wall 40 form a cleaning work area 42 in which the front side (working opening 16 side) is released above the work surface 28 formed by the stage plate 30.
[0039]
As shown in FIG. 8B, in the stage frame 32, the side frame member 34b is positioned on the center side of the cleaning work table 10 with respect to the

columns

14a and 14c, and the side frame member 34c is arranged on the

columns

14b and 14d. The rear frame member 34d is positioned in front of the rear ends of the

side frame members

34b and 34c (in the embodiment, in front of the

columns

14c and 14d). . As described above, the stage plate 30 is provided along the outer contour line of the stage frame 32. Therefore, both sides of the stage plate 30 are separated from the

side walls

36, 38, a recess 44 is formed on the rear end side, and the portion of the recess 44 is separated from the rear wall 40. That is,

elongated exhaust ports

46, 48, and 50 are formed at boundaries between the work surface 28 formed by the stage plate 30 and the

side walls

36 and 38 and the rear wall 40 that are wall members. These

exhaust ports

46, 48, and 50 are for eliminating the air retention area generated in the vicinity of the

side walls

36 and 38 and the rear wall 40, and clean air that flows along the surfaces of the

side walls

36, 38 and the rear wall 40. 22 is caused to flow down below the stage plate 30.
[0040]
As shown in FIG. 10, the stage frame 32 to which the stage plate 30 is attached is detachably fixed to the support column 14 with screws 60 via an L-shaped fixing bracket 33. Further, as shown in the column 14a as an example, the column 14 is provided with a plurality of height adjusting screw holes 62 in the height direction. Therefore, by changing the position of the screw hole 62 into which the screw 60 is screwed, the vertical position of the stage plate 30 can be arbitrarily changed, and the height position suitable for the work of each worker can be obtained. It is like that.
[0041]
The mechanism for adjusting the vertical position of the stage plate 30 may be configured as shown in FIG. That is, a C-shaped guide groove 64 is formed in the vertical direction of the support column 14, and a nut 68 screwed into the bolt 66 is disposed in the guide groove 64. Accordingly, the stage frame 32 to which the stage plate 30 is attached can be easily moved along the vertical direction of the column 14 by rotating the bolt 66 and loosening the nut 68. However, the moving mechanism of the stage plate 30 is not limited to these.
[0042]
In the embodiment, the cleaning work table 10 is formed of an antistatically processed member such as a transparent vinyl chloride resin plate on the ceiling plate 20, the

side walls

36 and 38, and the rear wall 40, and the flow of the dry clean air 22 Is prevented from being charged even if it touches, so that surrounding dust and fine particles generated in the cleaning work area 42 do not adhere. And the lighting fixture 70 which consists of a fluorescent lamp etc. is provided in the front-end side of the upper surface of the ceiling board 20, and the inside of the cleaning work area | region 42 is illuminated, and it does not have a trouble in an operation | work. In addition, the cleaning work table 10 is provided with a height adjusting screw 72 at the lower end of each support column 14 so that the floor plate on which the cleaning work table 10 is installed can be installed without rattling, and the stage plate 30 can be mounted. It can be held horizontally.
[0043]
The cleaning worktable 10 thus configured adjusts the inclination angle of the

blades

56 and 58 between the first louver part 52 and the second louver part 54 constituting the louver unit 24, and blows out from the HEPA filter 26. By controlling the direction of the flow of the purified air 22, the clean air 22 in the clean work area 42 is passed through the work opening 16 as shown in FIG. 8 (1) and FIG. 9. 42, and can be discharged to the lower side of the stage plate 30 through

exhaust ports

46, 48, 50 formed at the boundary between the work surface 28, the

side walls

36, 38 and the rear wall 40. it can. For this reason, it is possible to reliably prevent dirty air outside the cleaning worktable 10 from getting into the flow of the clean air 22 through the work opening 16 and entering the cleaning work area 42. Further, the clean air 22 flowing in the vicinity of the

side walls

36 and 38 and the rear wall 40 is discharged from the cleaning work area 42 through the

exhaust ports

46, 48 and 50. An air retention area is not formed. Accordingly, in the cleaning work area 42, for example, dust generated by working on the workpiece such as mounting of the piezoelectric vibrating piece on the package, wire bonding between the electrode part of the piezoelectric vibrating piece and the electrode part of the package, etc. is cleaned. It is possible to reliably discharge from the region 42, and it is possible to prevent a workpiece (not shown) from being contaminated by dust or the like. Moreover, since the lighting fixture 70 is arranged outside the cleaning work area 42 in the cleaning work table 10, the flow of the clean air 22 in the cleaning work area 42 is not disturbed by the heat of the lighting equipment 70. It is possible to prevent the stay area of the clean air 22 from being formed in the clean work area 42. For this reason, even when the cleaning work table 10 is used in a contaminated environment outside the clean room, the cleaning work area 42 can be kept at a very high cleanliness, and the amount of particles compared to the prior art. Can be reduced to 1/5 or less.
[0044]
The sizes of the

exhaust ports

46, 48, and 50 vary depending on the width of the work surface 28, the size of the clean work area 42, the air volume of the clean air 22 blown from the HEPA filter 26, and the like. In addition, the inclination angles of the

blades

56 and 58 of the louver unit 24 are adjusted as appropriate according to the size of the work and equipment arranged on the work surface 28 so that an air retention area does not occur in the clean work area 42. To do. Further, when a heavy device is disposed on the stage plate 30, a reinforcing rib or the like is provided on the stage frame 32.
[0045]
And since the cleaning worktable 10 which concerns on embodiment forms the

side walls

36 and 38, the rear wall 40, and the ceiling board 20 with the resin board, it can be made very lightweight and can move easily. Moreover, since the

side walls

36 and 38 and the rear wall 40 are formed of a resin plate, the cleaning work table 10 of the embodiment makes it easy to use the equipment even if the equipment is difficult to store in the cleaning work area 42. It can be arranged so as to protrude from the cleaning work area 42. FIG. 12 shows such a use state.
[0046]
That is, the cleaning work table 10 is formed with a notch 76 into which the device 74 can be inserted in the rear wall 40, and the rear end portion of the device 74 protrudes from the notch 76 to the outside of the cleaning work area 42. A sufficient work space is secured in the clean work area 42 on the front side of 74. The notch 76 is formed in accordance with the shape of the device 74 so that a gap is not generated between the device 74 and the rear wall 40 as much as possible. The stage plate 30 forming the work surface 28 is formed in accordance with the size of the device 74, and a part of the stage plate 30 protrudes behind the rear wall 40. Further, the stage plate 30 has an exhaust port 50 formed inside the rear wall 40. Further, when the rear end portion of the stage frame 32 supporting the stage plate 30 is projected from the rear wall 40, a reinforcing rear end frame member 34e is connected to the rear ends of the

side frame members

34b and 34c.
[0047]
Even in such a use state, the cleaning work table 10 can reliably discharge dust and the like generated inside the cleaning work area 42 from the cleaning work area, and external air can be cleaned from the work opening 16. It is possible to prevent the region 42 from being caught. The notch 76 can be formed in the

side walls

36 and 38 as necessary.
[0048]
FIG. 13 shows another usage example. In this use example, two cleaning work tables 10a and 10b are arranged in close contact with each other. In the cleaning work table 10a, a work transfer opening 80a is formed in a side wall 38a in contact with the cleaning work table 10b. The cleaning work table 10b is provided with a work transfer opening 80b on the side wall 36b in contact with the cleaning work table 10a so as to correspond to the work transfer opening 80a.
[0049]
By arranging the two

cleaning worktables

10a and 10b formed with the

work transfer ports

80a and 80b in close contact with each other, for example, processing or processing is performed in the cleaning work area 42a of the cleaning worktable 10a (not shown). The work can be carried into the cleaning work area 42b of the cleaning work table 10b through the

work transfer openings

80a and 80b. Therefore, the next processing or processing can be performed without touching the contaminated air on the workpiece processed and processed in a clean atmosphere.
[0050]
In addition, you may arrange | position a sealing material between the cleaning work tables 10a and 10b as needed. Of course, three or more cleaning worktables 10 may be connected. Moreover, you may arrange | position the

cleaning worktables

10a and 10b back to back. Further, the cleaning work table 120 according to the first embodiment can be used in a similar manner.
[0051]
The embodiment described above describes one aspect of the present invention, and the present invention is not limited to this. For example, a caster may be attached to the column 14 of the main body frame 12 to facilitate movement, or the HEPA filter 26 is movably attached, and the attachment position of the HEPA filter 26 depends on the size and location of equipment installed on the work surface 28. May be changed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a cleaning worktable according to a first embodiment.
FIG. 2 is a secondary sectional view of a main part of the first embodiment.
FIG. 3 is a detailed explanatory diagram of a louver unit according to the embodiment.
FIG. 4 is a diagram for explaining an example of setting the inclination angle of the slats of the louver unit according to the embodiment.
FIG. 5 is an explanatory diagram of another embodiment of the circulation path.
FIG. 6 is a perspective view showing still another example of the circulation path.
FIG. 7 is an explanatory diagram schematically showing a second embodiment.
FIG. 8 is an explanatory diagram of a cleaning worktable according to the third embodiment.
FIG. 9 is a side view of a cleaning worktable according to the third embodiment.
FIG. 10 is an explanatory diagram of a mechanism for changing the vertical position of the stage plate according to the embodiment.
FIG. 11 is an explanatory diagram of another mechanism for changing the vertical position of the stage plate according to the embodiment.
FIG. 12 is a diagram for explaining an example of use of the cleaning worktable according to the embodiment.
FIG. 13 is a diagram illustrating another example of use of the cleaning worktable according to the embodiment.
FIG. 14 is an explanatory diagram of the airflow state of a conventional cleaning worktable.
[Explanation of symbols]
10, 120, 210 ......... Cleaning table, 16, 150 ......... Working opening, 20, 128 ......... Ceiling (ceiling board), 22, 140 ......... Clean air, 24 ......... Louvre unit , 26... HEPA filter, 28, 138... Work surface, 30, 136 ...... Stage (stage plate), 36, 38, 40 ...... Wall part (side wall, rear wall), 42, 152. ...... Cleaning work area, 46, 48, 50 ......... Exhaust port, 52 ......... First louver part, 54 ......... Second louver part, 56 ......... First blade, 58 ......... Second Wings, 70 ......... Lighting fixtures, 131 ......... Blowout ports, 132 ......... FFU, 142, 144, 146, 148 ......... Walls (side walls, rear walls, front walls), 164, 190, 192 , 200 ......... circulation path, 166 ......... discharge port (suction part) 194, 196, 19 ......... circulation unit, 212 ......... outlet, 212 ......... outlet, 214 ......... exhaust fan.

Claims

A stage forming a work surface;
A wall portion provided at a peripheral portion of the work surface and having a work opening in a part thereof, and forming a clean work area on an upper portion of the work surface;
A clean air outlet provided in a ceiling formed above the stage;
A louver unit that is provided on the outlet and includes a plurality of blades each independently having a variable inclination angle, and controls the direction of the clean air.
A rectifying plate provided by gradually expanding downward from both sides of the outlet;
An exhaust port that is provided at a boundary between the work surface and the wall and guides a part of the clean air blown from the blow-out port to the outside of the clean work region ;
The stage is a non-perforated plate,
The blowing amount of the clean air from the air outlet Q, the amount of the clean air blown out to the outside from the working opening when the q _1,
[Expression 1]
0.5Q ≦ q ₁ ≦ 0.8Q
Clean work bench, characterized in that the.

The cleaning workbench according to claim 1,
The louver unit is disposed so as to intersect with the first louver part having a plurality of first slats each having an independently variable inclination angle, and the first slats of the first louver part. And a second louver section having a plurality of second blades with variable inclination angles.

In the cleaning worktable of Claim 1 or Claim 2,
The cleaning work table, wherein the cleaning work area is provided with a discharge port for discharging the clean air to the outside of the cleaning work area and generating an air flow at a central portion of the cleaning work area.

In the cleaning worktable of Claim 3,
The said discharge port forms the suction | inhalation part of the circulation path which returns the said clean air in the said clean work area | region to the air blower arrange | positioned above the said blower outlet, The cleaning worktable characterized by the above-mentioned.

In the cleaning worktable of Claim 4,
2. A cleaning worktable comprising a plurality of circulation paths, wherein at least a part of the circulation paths is formed by a flexible member.

In the cleaning worktable in any one of Claims 1 thru | or 5 ,
The cleaning work table is characterized in that the horizontal area of the cleaning work area is not more than 1.2 times the size of the outlet and the rectifying plate is omitted.

In the cleaning worktable in any one of Claims 1 thru | or 6 ,
The cleaning work table, wherein the wall portion, the ceiling portion, and the rectifying plate are formed of an antistatic processed member.

The cleaning worktable according to any one of claims 1 to 7 , wherein the stage is variably formed in a vertical position.