KR101466587B1 - Forced air exhaust structure of cleanroom - Google Patents

Forced air exhaust structure of cleanroom Download PDF

Info

Publication number
KR101466587B1
KR101466587B1 KR1020070123164A KR20070123164A KR101466587B1 KR 101466587 B1 KR101466587 B1 KR 101466587B1 KR 1020070123164 A KR1020070123164 A KR 1020070123164A KR 20070123164 A KR20070123164 A KR 20070123164A KR 101466587 B1 KR101466587 B1 KR 101466587B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
zone
air
forced exhaust
partition wall
exhaust fan
Prior art date
Application number
KR1020070123164A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20090056137A (en
Inventor
정은미
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR1020070123164A priority Critical patent/KR101466587B1/en
Publication of KR20090056137A publication Critical patent/KR20090056137A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101466587B1 publication Critical patent/KR101466587B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/007—Ventilation with forced flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates

Abstract

본 발명은 클린룸의 강제배기구조에 관한 것으로, 제1구역; 구획격벽에 의해 상기 제1구역과 공간적으로 구획되어지는 제2구역; 상기 제1구역과 제2구역간에 가공대상물 및 공기의 이동이 가능하도록 상기 구획격벽상에 관통형성된 개방부; 청정공기를 상기 제1구역 및/또는 제2구역 내부로 송풍하도록 상기 제1구역 및/또는 제2구역의 상부에 설치되는 송풍팬; 상기 개방부를 통해 상기 제1구역의 공기를 강제배기시키도록 상기 제2구역에 설치되는 강제배기팬; 및 상기 제1구역 내지 제2구역의 대기중으로부터 상기 강제배기팬 측으로의 공기흐름을 특정한 형태와 세기로 형성가능하도록 상기 강제배기팬에 인접하게 설치되는 기류유도격벽;을 포함하여 구성됨을 기술적 요지로 하여, 제1구역 내부의 단위시간당 공기순환량을 제1구역의 바닥면적으로 형성가능한 공기순환량 이상으로 증가시킬 수 있으며, 제1구역 내부의 공기순환량을 증가시키기 위한 강제배기설비를 여분의 바닥면적을 가지는 제2구역내에 설치함으로써, 제1구역 및 제2구역의 공간을 추가로 확장시키지 않고도 제1구역과 제2구역의 청정도를 동시에 조정 및 유지가능한 클린룸의 강제배기구조에 관한 것이다.The present invention relates to a forced exhaust structure of a clean room, comprising: a first zone; A second zone spatially separated from the first zone by a partition wall; An opening formed on the partition wall so as to allow movement of the object and air between the first and second areas; A blowing fan installed at an upper portion of the first zone and / or the second zone to blow clean air into the first zone and / or the second zone; A forced exhaust fan installed in the second zone for forcibly exhausting the air in the first zone through the opening; And an airflow guiding partition wall adjacent to the forced exhaust fan so that the air flow from the atmospheric air in the first and second zones to the forced exhaust fan side can be formed in a specific shape and strength. It is possible to increase the air circulation amount per unit time in the first zone to more than the air circulation amount that can be formed in the floor area of the first zone and to increase the air circulation amount in the first zone to the extra floor area The present invention relates to a forced exhaust structure of a clean room capable of simultaneously adjusting and maintaining the cleanliness of the first zone and the second zone without further expanding the spaces of the first zone and the second zone.

클린룸 청정실 청정도 강제배기 팬 Clean room clean room clean exhaust forced air fan

Description

클린룸의 강제배기구조{Forced air exhaust structure of cleanroom}[0001] The present invention relates to a forced air exhaust structure of a clean room,

본 발명은 클린룸의 강제배기구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 분할구역을 가지는 클린룸에 있어서 분할된 다수의 구역의 청정도를 동시에 조정 및 유지하도록 외부로 강제배기시키는 클린룸의 강제배기구조에 관한 것이다.The present invention relates to a forced exhaust structure of a clean room, and more particularly, to a forced exhaust structure of a clean room in which, in a clean room having a plurality of divided areas, Structure.

일반적으로 반도체나 LCD와 같이 초정밀·미세처리를 요하는 가공대상물은 대기의 오염물질로 인해 표면이 오염되는 것이 방지되도록 클린룸(청정실)과 같은 청정 공간에서 작업이 수행되며, 이러한 클린룸은 정화된 청정공기를 클린룸의 공기유입구를 통해 내부로 공급하고 바닥패널(access floor)을 통해 지속적으로 배기가 이루어지도록 하는 공기순환구조를 가진다.In general, objects to be processed such as semiconductors and LCDs that require ultra-precision and fine processing are processed in a clean space such as a clean room (clean room) to prevent contamination of the surface due to pollutants in the air. The clean air is supplied to the interior through the air inlet of the clean room and the air circulation structure is maintained so that the air is continuously exhausted through the access floor.

도 1은 종래기술에 따른 클린룸의 제1실시예를 도시한 측면도로, 각종 생산 및 검사장비가 설치되어 가공작업이 이루어지는 Fab층(fabrication층, 가공층)과 상기 Fab층의 공기가 자유롭게 유동할 수 있는 공기통로를 구비한 Plenum층(보조설비 설치층)으로 구분되어지고, 상기 Fab층은 별도의 작업을 행하는 구획된 작업공간이 수평으로 연속배치된 구조를 가진다.FIG. 1 is a side view showing a first embodiment of a clean room according to the related art. FIG. 1 is a side view illustrating a clean room according to the prior art, in which a fab layer (fabrication layer) And a plenum layer (an auxiliary facility installation layer) having an air passage that can be installed in the floor. The Fab layer has a structure in which a divided work space for performing a separate operation is horizontally and continuously arranged.

상기 종래기술의 제1실시예에서 Fab층은 3개의 구역으로 분할된 상태로써, 중앙구역(20)에는 가공대상물의 표면에 도포액을 분사처리하는 도포장치(21)가 구비되고, 전, 후측구역(10, 30)에는 상기 중앙구역(20) 내, 외로 가공대상물을 자동이송시키는 이송로봇(11)이 구비되고, 분할된 구역 사이에는 가공대상물의 이송을 위해 개방부(41)가 구비된 구조를 가진다.In the first embodiment of the prior art, the Fab layer is divided into three zones, and the central zone 20 is provided with a coating device 21 for spraying the coating liquid onto the surface of the object to be processed, A transfer robot (11) for automatically transferring an object to be processed in and out of the central zone (20) is provided in the zone (10, 30), and an opening (41) is provided between the divided zones for transferring the object Structure.

상기 중앙구역(20)은 도포액의 분사처리가 이루어짐에 따라 공기오염이 급속하게 이루어지게 되는 공간으로, 일정한 도포품질을 유지하기 위해서는 청정공기의 공급 및 오염공기 배출에 의한 공기순환이 지정속도와 유량으로 지속적으로 이루어지도록 하여야 한다.The central zone 20 is a space in which air contamination is rapidly performed as the coating liquid is sprayed. In order to maintain a constant coating quality, the air circulation by the supply of clean air and the discharge of polluted air is performed at a designated speed The flow rate shall be maintained continuously.

상기 중앙구역(20) 내에서 공기순환은, 도포장치(21) 상측에 설치된 공기유입구(50)를 통해 청정공기가 하향도입되고, 청정공기가 상기 도포장치(21)의 상측에 해당되는 집중오염공간을 거쳐 오염물을 포함한 상태로 전환되며, 최종적으로 상기 도포장치(21)가 차지하는 바닥면적을 제외한 나머지 바닥면적에 해당되는 바닥패널(60)을 통해 배기되는 과정을 반복·지속하며 청정도를 유지하도록 한다.The air circulation in the central zone 20 is performed by introducing the clean air downward through the air inlet 50 provided on the upper side of the application device 21 and introducing clean air into the upper part of the application device 21, And then exhausted through the floor panel 60 corresponding to the remaining floor area excluding the floor area occupied by the application device 21, so as to maintain cleanliness do.

상기와 같은 공기순환구조에서는, 도포장치의 바닥면적을 제외한 나머지 부분을 통해서만 배기가 이루어지게 됨에 따라 배기량, 즉, 단위시간당 공기순환량이 바닥면적의 여분 크기에 따라 제한을 받게 되는데, 대형의 가공대상물을 처리할 경우에는, 공기의 오염속도가 보다 급속해지는 바, 단위시간당 공기순환량의 증가가 요구됨에도 여분의 바닥면적을 이용해 공기순환량을 증가시키는 데에는 한계가 있어 청정도를 동일한 정도로 유지할 수 없게 된다는 문제점이 있었다.In the above-described air circulation structure, the amount of exhaust, that is, the amount of circulation of air per unit time is limited by the extra size of the floor area, as the exhaust is performed only through the remaining portion excluding the floor area of the application device. The pollution rate of the air becomes more rapid and the air circulation amount per unit time is required to be increased. However, there is a limit to increase the air circulation amount by using the extra floor area, so that the cleanliness can not be maintained at the same level there was.

상기 중앙구역 내부에 강제배기를 위한 배기장치를 추가로 구비하려면 상기 중앙구역의 사이즈를 확장시켜야 하는 바, 한정된 작업공간 내에 클린룸을 구비함에 있어서 공간활용도를 저감시키게 된다는 다른 문제점이 있었다.In order to further provide an exhaust device for forced exhaust in the central area, the size of the central area must be enlarged. In addition, there is another problem that space utilization is reduced in the provision of a clean room in a limited working space.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 한정된 처리공간 내에서 단위시간당 공기순환량을 여분의 바닥면적으로 형성가능한 공기순환량 이상으로 증가시킬 수 있으면서도, 추가의 작업공간 없이 공간효율적으로 구현가능한 클린룸의 강제배기구조를 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to increase the air circulation amount per unit time within a limited processing space to more than the air circulation amount that can be formed with an extra floor area, It is an object of the present invention to provide a forced exhaust structure of a clean room as much as possible.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, 제1구역; 구획격벽에 의해 상기 제1구역과 공간적으로 구획되어지는 제2구역; 상기 제1구역과 제2구역간에 가공대상물 및 공기의 이동이 가능하도록 상기 구획격벽상에 관통형성된 개방부; 청정공기를 상기 제1구역 및/또는 제2구역 내부로 송풍하도록 상기 제1구역 및/또는 제2구역의 상부에 설치되는 송풍팬; 상기 개방부를 통해 상기 제1구역의 공기를 강제배기시키도록 상기 제2구역에 설치되는 강제배기팬; 및 상기 제1구역 내지 제2구역의 대기중으로부터 상기 강제배기팬 측으로의 공기흐름을 특정한 형태와 세기로 형성가능하도록 상기 강제배기팬에 인접하게 설치되는 기류유도격벽;을 포함하여 구성되는 클린룸의 강제배기구조를 기술적 요지로 한다.According to an aspect of the present invention, A second zone spatially separated from the first zone by a partition wall; An opening formed on the partition wall so as to allow movement of the object and air between the first and second areas; A blowing fan installed at an upper portion of the first zone and / or the second zone to blow clean air into the first zone and / or the second zone; A forced exhaust fan installed in the second zone for forcibly exhausting the air in the first zone through the opening; And an air flow induction partition wall provided adjacent to the forced exhaust fan so that the air flow from the atmospheric air in the first and second zones to the forced exhaust fan can be formed in a specific shape and strength, The forced exhaust structure of the engine is regarded as a technical point.

여기서, 상기 개방부는, 상기 제1구역과 제2구역간에 가공대상물의 이동이 가능하도록 관통형성된 메인개방부와, 상기 제1구역으로부터 상기 강제배기팬 측으로의 공기흐름을 원활히 유도하도록 관통형성된 보조개방부를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.Here, the opening portion may include a main opening portion formed so as to allow movement of the object to be processed between the first and second regions, and a dehumidifying portion formed to penetrate through the first portion to the forced exhaust fan side smoothly, As shown in FIG.

또한, 상기 강제배기팬은, 상기 제1구역 및 구획격벽에 인접한 위치에 설치되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the forced exhaust fan is installed at a position adjacent to the first zone and the partition wall.

그리고, 상기 기류유도격벽은, 상기 구획격벽과 함께 상기 강제배기팬 측으로의 특정한 공기흐름을 유도하도록 상기 강제배기팬을 사이에 두고 상기 구획격벽과 이격되게 설치되는 것이 바람직하다.Preferably, the airflow guiding partition wall is provided so as to be spaced apart from the partitioning partition wall with the forced exhaust fan therebetween so as to induce a specific air flow to the forced exhaust fan side together with the partition wall.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명은, 한정된 공간내에 다수로 구획된 분할구역을 가지는 클린룸에 있어서, 청정도를 유지하기에 충분한 배기용량 및 공기순환량을 가지지 못하는 제1구역 내부의 오염공기를 제2구역 측으로 유도하여 강제배출시킴으로써, 제1구역 내부의 단위시간당 공기순환량을 제1구역의 바닥면적으로 형성가능한 공기순환량 이상으로 증가시킬 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, there is provided a clean room having a plurality of divided compartments in a limited space, wherein the polluted air in the first compartment, which does not have an exhaust capacity and air circulation amount sufficient to maintain cleanliness, It is possible to increase the air circulation amount per unit time in the first zone to more than the air circulation amount that can be formed in the bottom area of the first zone.

그리고, 제1구역 내부의 공기순환량을 증가시키기 위한 강제배기설비를 여분의 바닥면적을 가지는 제2구역내에 설치함으로써, 제1구역 및 제2구역의 공간을 추가로 확장시키지 않고도 제1구역과 제2구역의 청정도를 동시에 조정 및 유지가능하다는 다른 효과가 있다.By providing the forced exhaust system for increasing the air circulation amount in the first zone in the second zone having the extra floor area, the first zone and the second zone can be expanded without further expanding the space of the first zone and the second zone. There is another effect that the cleanliness of the second zone can be adjusted and maintained at the same time.

또한, 보조개방부의 위치·형태 및 개방면적과, 기류유도격벽의 형상 및 설치형태, 강제배기팬의 작동여부 및 회전속도를 조정함으로써, 제1구역 및 제2구역 내부에 설치되는 처리장치와 가공대상물, 처리조건에 맞추어 제1구역 및 제2구역 내부에 특정한 형태와 세기로 공기흐름을 적정하게 형성함으로써 청정도를 효율적으로 조정 및 유지할 수 있다는 다른 효과가 있다.Further, by adjusting the position and shape and opening area of the dimple storage portion, the shape and the installation form of the airflow guiding partition, the operation and rotation speed of the forced air discharge fan, and the processing device installed inside the first and second areas, It is possible to efficiently adjust and maintain the cleanliness by appropriately forming the air flow with a specific shape and intensity within the first and second zones according to the objects and the processing conditions.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명을 다음의 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명에 따른 클린룸의 강제배기구조의 제1실시예를 도시한 측면도이고, 도 3은 도 2의 사시도이다.The present invention having the above-described structure will be described in detail with reference to the following drawings. FIG. 2 is a side view showing a first embodiment of a forced exhaust structure of a clean room according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view of FIG.

본 발명에 따른 클린룸의 강제배기구조는 크게 제1구역(100), 제2구역(200), 개방부(310), 송풍팬(400), 강제배기팬(500), 기류유도격벽(600)으로 이루어지며, 상기 송풍팬(400)에 의해 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)으로 청정공기를 제공하면서 상기 제1구역(100)의 오염공기를 상기 개방부(310)와 기류유도격벽(600)에 의해 특정한 형태로 상기 제2구역(200)에 설치된 상기 강제배기팬(500)측으로 유도하여 강제배출시키는 배기구조를 가진다.The forced exhaust structure of the clean room according to the present invention includes a first zone 100, a second zone 200, an opening 310, a blowing fan 400, a forced exhaust fan 500, And the clean air is supplied to the first zone 100 and the second zone 200 by the blowing fan 400 so that the contaminated air in the first zone 100 flows into the opening 310, And the airflow guiding partition wall 600 to the forced exhaust fan 500 installed in the second zone 200 in a specific form.

상기 제1구역(100)과 제2구역(200)은 구획격벽(300)에 의해 상기 제1구역(100)과 공간적으로 구획되어지는 구역으로, 이하 본 발명의 설명내용에서는 상대적으로 공기오염속도가 빠르고 공기순환량 또한 많이 요구되는 구역을 제1구역(100), 상기 제1구역(100)과 비교하여 내부에 설치되는 장비의 설치면적에 대해 충분한 바닥면적을 가지는 구역을 제2구역(200)으로 칭하기로 한다.The first zone 100 and the second zone 200 are spaces spatially separated from the first zone 100 by the partitioning wall 300. In the following description of the present invention, (100) and the first zone (100), a zone having a sufficient floor area with respect to the installation area of the equipment installed therein is referred to as a second zone (200) Quot;

상기 개방부(310)는 상기 제1구역(100)으로부터 상기 제2구역(200)으로 가공대상물 및 공기의 이동이 가능하도록 상기 구획격벽(300)상에 관통형성되며, 상기 제1구역(100)으로부터 상기 제2구역(200)으로 가공대상물의 이송이 가능하도록 하는 주요기능을 가지는 메인개방부(311)와, 상기 제1구역(100)으로부터 상기 제2구역(200)으로 공기의 유동이 원활하도록 하는 주요기능을 가지는 보조개방부(312)로 이루어진다.The opening 310 is formed on the partition wall 300 so as to enable movement of the object and air from the first zone 100 to the second zone 200, A main opening 311 having a main function to allow the object to be transferred from the first section 100 to the second section 200 to be transferred, And a dimple storage 312 having a main function to make it smooth.

상기 개방부(310)는 상기 메인개방부(311)에 의해 공기의 유동 또한 충분히 이루어질 수 있다면 상기 메인개방부(311)만이 구비될 수도 있으며, 상기 메인개방부(311)만으로는 상기 제1구역(100)으로부터 상기 강제배기팬(500)(이하 설명) 측으로의 공기흐름을 원활히 유도하기 어려운 경우에는 상기 보조개방부(312)를 추가로 구비할 수도 있다.The opening 310 may be provided only with the main opening 311 as long as the air can be sufficiently flowed by the main opening 311, 100) to the side of the forced exhaust fan 500 (described below), it is also possible to further include the deodorizing unit 312.

상기 송풍팬(400)은 청정공기를 상기 제1구역(100) 및/또는 제2구역(200) 내부로 공급하는 구성요소로, 내부로 도입된 청정공기가 상기 강제배기팬(500)측으로 유동되는 동안 상기 제1구역(100)과 제2구역(200) 내부에서 공기오염이 주요하게 발생되는 오염집중공간을 자연히 통과하거나, 오염집중공간을 통과하며 오염된 공기를 상기 강제배기팬(500)측으로 밀어내도록 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)의 상부에 설치된다.The blowing fan 400 is a component for supplying clean air into the first zone 100 and / or the second zone 200. The clean air introduced into the inside of the second zone 200 flows toward the forced exhaust fan 500 The polluted air passes naturally through the pollution concentration space where air pollution mainly occurs in the first zone 100 and the second zone 200 while passing through the pollution concentration space, (100) and the second section (200) so as to push the first section (100) and the second section (200).

상기 송풍팬(400)은 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)으로 청정공기를 지속적으로 공급할 수 있다면 특정한 구조와 설치형태로 제한되지 아니하나, 하나의 일예를 들어 설명하면 인조 섬유 (syntheric fiber)로 이루어지며 0.3 미크론(micron)이상의 입자를 제거하는 효능범위를 가지는 HEPA(High Efficiency Particulate Arrestor)필터를 내장하여 날개의 회전에 의해 공기흐름을 일측으로 유도함으로써 공기의 유동과 정화가 동시에 이루어지도록 하는 팬필터 유닛으로 이루어질 수 있다.The air blowing fan 400 is not limited to a specific structure and installation type as long as it can continuously supply clean air to the first zone 100 and the second zone 200. For example, HEPA (High Efficiency Particulate Arrestor) filter which is composed of syntheric fiber and has efficacy range of removing 0.3 micron or more particles, induces air flow to one side by rotation of wings, And a fan filter unit to be operated at the same time.

상기 강제배기팬(500)은 상기 개방부(310)를 통해 상기 제1구역(100)의 공기 를 강제배기시키도록 상기 제2구역(200)에 설치되는 구성요소로, 상기 제2구역(200)에 위치되어 상기 제2구역(200)의 오염공기를 강제배출시키기는 하나 주요하게는 상기 제1구역(100)의 오염공기를 강제배기시키는 기능을 할 수 있도록 상기 제1구역(100) 및 구획격벽(300)에 인접한 위치에 설치된다.The forced exhaust fan 500 is a component installed in the second zone 200 to forcibly exhaust air in the first zone 100 through the opening 310, To force the polluted air in the second zone 200 to be forcibly discharged, or to substantially remove the polluted air in the first zone 100, And is disposed at a position adjacent to the partitioning wall 300.

상기 강제배기팬(500) 자체로는 상기 제1구역(100), 제2구역(200)의 청정상태를 구분하지 않고 단순히 근접한 공기만을 강제배출시키게 되어, 상기 기류유도격벽(600)(이하 설명)없이 상기 강제배기팬(500)만을 구비하게 되면 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)의 공기순환량을 차별적으로 조정시키기 어렵다.The compulsory exhaust fan 500 itself merely forcibly discharges the adjacent air without distinguishing the clean state of the first zone 100 and the second zone 200, It is difficult to differentially adjust the amount of circulation of air between the first zone 100 and the second zone 200. In this case,

상기 기류유도격벽(600)은 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)의 대기중으로부터 상기 강제배기팬(500) 측으로의 공기흐름을 특정한 형태와 세기로 형성가능하도록 상기 강제배기팬(500)에 인접하게 설치되며, 그 형상 및 설치형태에 따라 상기 기류유도격벽(600)의 말단부에 근접한 공기를 상기 강제배기팬(500)측으로 공급하도록 유도하게 되며, 공기가 통과되는 경로의 폭·너비를 좁게 형성할수록 소폭지점에 근접한 공기의 유동을 세게 형성할 수 있다.The airflow guiding partition wall 600 may be formed in the first zone 100 and the second zone 200 so that the air flow from the atmosphere of the first zone 100 to the forced exhaust fan 500 can be formed in a specific shape and strength. (500), and the air in the vicinity of the distal end of the airflow guiding partition wall (600) is guided to be supplied to the forced air exhaust fan (500) side in accordance with its shape and installation form. The closer the width is formed, the stronger the air flow close to the small point can be formed.

상기 기류유도격벽(600)을 구성함에 있어서는, 상기 제1구역(100)과 제2구역(200) 각각의 청정도를 유지하기에 적정한 공기흐름 형태를 형성가능하다면, 하나의 연통된 공기유동경로를 구비하거나 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)측으로 말단부가 갈래지는 형태의 공기유동경로를 구비하는 실시예들을 포함하여 특정한 구조와 설치형태로 한정되지 않는다.In the construction of the airflow induction partition 600, if it is possible to form an appropriate airflow pattern to maintain the cleanliness of the first area 100 and the second area 200, And an air flow path having a shape in which the distal end portion is bent toward the first section 100 and the second section 200 side.

이하에서는 도 2, 3에 도시된 본 발명의 제1실시예를 들어 보다 상세히 설명 하기로 한다.Hereinafter, the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 2 and 3 will be described in detail.

상기 제1구역(100) 내에는 가공대상물의 표면에 도포액을 분사하는 도포장치(110)가 설치되며, 가공대상물의 가공처리면적이 넓을수록 도포액의 분사량 및 휘발량의 증가함에 따라 공기순환 요구량이 증가하게 되는데, 상기 제1구역(100) 내에서는 상기 도포장치(110)가 차지하는 바닥면적의 여분에 해당되는 바닥면적이 충분한 공기순환이 이루어지기 어려울 정도로 협소한 배기통로를 제공하게 된다.In the first zone 100, a coating device 110 for spraying a coating liquid onto the surface of the object to be processed is provided. As the processing area of the object to be processed becomes larger, as the spray amount and the volatilization amount of the coating liquid increase, The floor space corresponding to the excess of the floor area occupied by the coating device 110 is provided in the first area 100 so that the air circulation is not sufficiently performed.

상기 제2구역(200) 내에는 가공대상물을 이송하기 위한 이송로봇(210)이 설치되며, 상기 제2구역(200)은 상기 이송로봇(210)의 설치공간뿐만 아니라, 상기 이송로봇(210)이 가공대상물을 상기 제1구역(100)으로부터 상기 제2구역(200) 내부로 이송하고 다른 제3구역(미도시)으로 전달할 수 있는 동선을 확보할 수 있는 설치공간을 구비하여야 하므로, 상기 제1구역(100)과 비교하여 상대적으로 넓은 바닥면적의 여유분을 가지게 된다.A transfer robot 210 for transferring an object to be processed is installed in the second area 200. The second area 200 is not limited to the installation space of the transfer robot 210, Since it is required to provide an installation space capable of transferring the object to be processed from the first zone 100 into the second zone 200 and securing a copper line capable of transferring the object to the other third zone (not shown) And has a relatively large floor area margin as compared with the first zone 100. [

상기 개방부(310)는 메인개방부(311) 하측에 다수의 보조개방부(312)를 구비한 구조를 가지며, 상기 강제배기팬(500)은 상기 보조개방부(312)에 인접한 위치에 상기 구획격벽(300)을 따라 다수가 배치되고, 상기 기류유도격벽(600)은 하나의 판부재로 이루어진 구조로써 상기 강제배기팬(500)을 사이에 두고 상기 구획격벽(300)과 이격되게 설치된다.The opening 310 has a structure in which a plurality of dimples 312 are disposed below the main opening 311. The forced exhaust fan 500 is disposed at a position adjacent to the dimple 312, And the airflow guiding partition 600 is formed of a single plate member and is installed to be spaced apart from the partition partition 300 with the forced air exhaust fan 500 interposed therebetween.

상기와 같이 상기 기류유도격벽(600)을 상기 구획격벽(300)의 가로폭 따라 연장되는 하나의 판부재로 형성시키고 상기 강제배기팬(500)을 사이에 두고 상기 구획격벽(300)과 이격되게 설치시키면, 상기 구획격벽(300)이 상기 기류유도격 벽(600)과 함께 상기 강제배기팬(500) 측으로의 공기흐름을 유도하는 기능을 하게 된다.As described above, the airflow induction partition 600 is formed as a plate member extending along the lateral width of the partition wall 300, and is separated from the partition wall 300 with the forced air exhaust fan 500 therebetween The partition wall 300 functions to guide the airflow toward the forced exhaust fan 500 together with the airflow induction partition wall 600.

본 발명에 따른 클린룸의 강제배기구조에 의하면, 상기 제1구역(100), 제2구역(200), 그 외 다수로 구획되어지는 클린룸에 있어서, 상기 제1구역(100) 내부의 오염공기를 강제배출시킬 수 있는 부속장비를 여유설치면적을 가지는 상기 제2구역(100)에 설치함으로써, 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)의 공간을 추가로 확장시키지 않고도 한정된 공간내에서 상기 제1구역(100) 내부의 단위시간당 공기순환량을 상기 제1구역(100)의 바닥면적으로 형성가능한 공기순환량 이상으로 증가시킬 수 있다.According to the forced exhaust structure of the clean room according to the present invention, in the clean room divided into the first zone 100, the second zone 200, and the like, the contamination of the inside of the first zone 100 By providing an accessory device capable of forcibly discharging the air in the second zone 100 having an allowable installation area, the space of the first zone 100 and the second zone 200 can be expanded to a limited space The amount of air circulation per unit time in the first zone 100 can be increased to be greater than the amount of air circulation that can be formed in the bottom zone of the first zone 100. [

그리고, 상기 보조개방부(311)의 위치·형태 및 개방면적과, 상기 강제배기팬(500)의 작동여부 및 회전속도, 상기 기류유도격벽(600)의 형상 및 설치형태를 상기 제1구역(100)과 제2구역(200) 내부에 설치되는 처리장치와 가공대상물, 처리조건에 맞추어 제작하거나 조정함으로써, 상기 제1구역(100)과 제2구역(200)으로 구획되는 다수의 공간부에 각각 특정한 형태와 세기로 공기흐름을 적정하게 형성함으로써의 청정도를 동시에 조정 및 유지할 수 있다.The position, shape and open area of the dimple reservoir 311, the operation and rotation speed of the forced exhaust fan 500, the shape and the installation form of the airflow induction partition 600 are shown in the first section 100 And the second space 200 are formed or adjusted in accordance with the processing apparatus, the object to be processed, and the processing conditions installed in the first space 100 and the second space 200, It is possible to simultaneously adjust and maintain the degree of cleanliness by properly forming the air flow with a specific shape and strength.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명한 것으로, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니고 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 균등한 기술범위를 당연히 포함한다고 보아야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It should be understood that equivalents of the technical scope of the present invention can be modified and utilized by those skilled in the art.

도 1 - 종래기술에 따른 클린룸의 제1실시예를 도시한 측면도1 is a side view showing a first embodiment of a clean room according to the prior art;

도 2 - 본 발명에 따른 클린룸의 강제배기구조의 제1실시예를 도시한 측면도2 is a side view showing a first embodiment of a forced exhaust structure of a clean room according to the present invention

도 3 - 도 2의 사시도3 - Fig. 2

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE SYMBOLS USED IN THE DRAWINGS

100 : 제1구역 110 : 도포장치 100: first zone 110: dispensing device

200 : 제2구역 210 : 이송로봇200: second zone 210: transfer robot

300 : 구획격벽 310 : 개방부 300: partitioning barrier rib 310:

311 : 메인개방부 312 : 보조개방부 311: main opening part 312: dimple preservation part

400 : 송풍팬 500 : 강제배기팬 400: blower fan 500: forced exhaust fan

600 : 기류유도격벽 700 : 바닥패널600: Airflow Induction Barrier 700: Floor Panel

Claims (4)

제1구역;A first zone; 구획격벽에 의해 상기 제1구역과 공간적으로 구획되어지는 제2구역;A second zone spatially separated from the first zone by a partition wall; 상기 제1구역과 제2구역간에 가공대상물 및 공기의 이동이 가능하도록 상기 구획격벽상에 관통형성된 개방부;An opening formed on the partition wall so as to allow movement of the object and air between the first and second areas; 청정공기를 상기 제1구역 및/또는 제2구역 내부로 송풍하도록 상기 제1구역 및/또는 제2구역의 상부에 설치되는 송풍팬;A blowing fan installed at an upper portion of the first zone and / or the second zone to blow clean air into the first zone and / or the second zone; 상기 개방부를 통해 상기 제1구역의 공기를 강제배기시키도록 상기 제2구역에 설치되는 강제배기팬; 및A forced exhaust fan installed in the second zone for forcibly exhausting the air in the first zone through the opening; And 상기 제1구역 내지 제2구역의 대기중으로부터 상기 강제배기팬 측으로의 공기흐름을 특정한 형태와 세기로 형성가능하도록 상기 강제배기팬에 인접하게 설치되는 기류유도격벽;An airflow guiding partition wall adjacent to the forced exhaust fan so that the air flow from the atmospheric air in the first and second zones to the forced exhaust fan can be formed in a specific shape and strength; 을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 클린룸의 강제배기구조Wherein the clean room comprises a plurality of compartments 제 1항에 있어서, 상기 개방부는,The apparatus according to claim 1, 상기 제1구역과 제2구역간에 가공대상물의 이동이 가능하도록 관통형성된 메인개방부와, 상기 제1구역으로부터 상기 강제배기팬 측으로의 공기흐름을 원활히 유도하도록 관통형성된 보조개방부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 클린룸의 강제배기구조A main opening formed to penetrate the object to be processed between the first and second areas and a dehumidifier protruding from the first area to smoothly guide the air flow from the first area to the forced exhaust fan. Forced exhaust structure of clean room 제 1항에 있어서, 상기 강제배기팬은,The apparatus according to claim 1, wherein the forced exhaust fan 상기 제1구역 및 구획격벽에 인접한 위치에 설치됨을 특징으로 하는 클린룸의 강제배기구조Wherein the first compartment and the second compartment are located adjacent to the first compartment and the partition wall. 제 1항에 있어서, 상기 기류유도격벽은,The air conditioner of claim 1, 상기 구획격벽과 함께 상기 강제배기팬 측으로의 특정한 공기흐름을 유도하도록 상기 강제배기팬을 사이에 두고 상기 구획격벽과 이격되게 설치됨을 특징으로 하는 클린룸의 강제배기구조Wherein the partition wall is spaced apart from the compartment partition wall with the forced exhaust fan therebetween so as to induce a specific air flow to the compulsory exhaust fan side together with the partition wall.
KR1020070123164A 2007-11-30 2007-11-30 Forced air exhaust structure of cleanroom KR101466587B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070123164A KR101466587B1 (en) 2007-11-30 2007-11-30 Forced air exhaust structure of cleanroom

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070123164A KR101466587B1 (en) 2007-11-30 2007-11-30 Forced air exhaust structure of cleanroom

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090056137A KR20090056137A (en) 2009-06-03
KR101466587B1 true KR101466587B1 (en) 2014-11-28

Family

ID=40987572

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070123164A KR101466587B1 (en) 2007-11-30 2007-11-30 Forced air exhaust structure of cleanroom

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101466587B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170033567A (en) * 2015-09-17 2017-03-27 주식회사 케이씨텍 Apparatus for processing substrate

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200184598Y1 (en) 2000-01-04 2000-07-01 한국에이취알산업주식회사 Air current guidance device
JP2000357641A (en) 1999-06-14 2000-12-26 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd Clean room facilities
JP2003090572A (en) 2001-07-09 2003-03-28 Matsushita Ecology Systems Co Ltd Outdoor hood

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000357641A (en) 1999-06-14 2000-12-26 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd Clean room facilities
KR200184598Y1 (en) 2000-01-04 2000-07-01 한국에이취알산업주식회사 Air current guidance device
JP2003090572A (en) 2001-07-09 2003-03-28 Matsushita Ecology Systems Co Ltd Outdoor hood

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170033567A (en) * 2015-09-17 2017-03-27 주식회사 케이씨텍 Apparatus for processing substrate
KR102351614B1 (en) 2015-09-17 2022-01-18 주식회사 케이씨텍 Apparatus for processing substrate

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090056137A (en) 2009-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5752985A (en) Clean room having an air conditioning system
KR100449975B1 (en) Clean room for semiconductor device
KR960004224B1 (en) Coupling type clean space apparatus
KR100524359B1 (en) Storage facility for use in a clean-room
JPH1096332A (en) Clean room
TWI627692B (en) Purification device and method for diffusing gas containing purification gas
US4885010A (en) Spray booth
KR101466587B1 (en) Forced air exhaust structure of cleanroom
JP2009186127A (en) Clean air circulation system and clean air circulation method
JP2009189916A (en) Booth mechanism
JP3720421B2 (en) Static elimination method
KR101017910B1 (en) Clean room system
JP2004269214A (en) Purified air circulating type storage equipment
JP4863850B2 (en) Clean room equipment
KR200407992Y1 (en) air shower unit
JP4656296B2 (en) Local cleaning device and clean room
JPH11166757A (en) Clean room
KR20200102181A (en) Air circulation system for vehicle painting booth
KR100706795B1 (en) System and method for controlling contamination and facility for manufacturing semiconductor with the system
JPH08114342A (en) Clean room device
JPS61282742A (en) Clean room
JPH0461700B2 (en)
JPH10259938A (en) Clean room for producing semiconductor device
JPS62182541A (en) Clean room
JP2612198B2 (en) Air conditioner

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171116

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191007

Year of fee payment: 6