JP4502255B2 - 電極体の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る電極体の製造方法の第1実施形態を説明する。ここでは、当該電極体を感圧式指紋センサの検出部を構成する電極体に適用した例について説明する。この電極体1は、図3および図2(c)に示すように、複数本の走査電極2とレジスト体12とが交互に並設された縞状を呈しており、図3に示すように、上下二枚の電極体1・1を、両電極体1・1の走査電極2が交差するように重ね合わせた状態で、他の部品とともにセンサ筐体内に組み付けられて使用に供される。
図4は本発明の第2実施形態を示しており、そこでは、支持体21を、支持レジスト体19と、接着層22と、ポリイミド製のカバーコート23の三層構造体としてある点が、先の第1実施形態と相違する。本実施形態においては、各層(支持レジスト体19、接着層22、カバーコート23)のそれぞれの厚み寸法は25μmとした。このように接着層22を介して支持レジスト体19にカバーコート23を貼着してあると、第1実施形態の電極体1に比べて、柔軟性の向上を図ることができる。
図5は本発明の第3実施形態を示しており、そこでは、支持体21を、接着層22と、ポリイミド製のカバーコート23の二層構造体としてある。本実施形態では、各層(接着層22、カバーコート23)のそれぞれの厚み寸法は25μmとした。当該形態によっても、先の第2実施形態と同様に、電極体1の柔軟性を良好に確保できる。
5 母型
6 零次電着層
12 レジスト体
13 パターンレジスト
15 一次電着層
16 バリア層
17 二次電着層
20 積層体
21 支持体
Claims (2)
- 電極体(1)の製造方法であって、
母型(5)の表面に、零次電着層(6)を形成する零次電鋳工程と、
零次電着層(6)上に、所定の等間隔を置いて並設された複数本のレジスト体(12)からなる縞状のパターンレジスト(13)を設けるパターニング工程と、
零次電着層(6)のレジスト体(12)で覆われていない表面に、一次電着層(15)を形成する一次電鋳工程と、
一次電着層(15)上にバリア層(16)を形成する工程と、
バリア層(16)上に、二次電着層(17)を形成する二次電鋳工程と、
二次電着層(17)およびレジスト体(12)を覆うように、支持体(21)を形成する工程と、
これら電着層(6・15)、およびバリア層(16)等で構成される積層体(20)を母型(5)から剥離する工程と、
零次および一次の電着層(6・15)をエッチングにより除去するエッチング工程とを含み、
前記エッチング工程によって、支持体(21)上に、バリア層(16)を備える二次電着層(17)とレジスト体(12)とが交互に並設された電極体(1)が形成されるようにしてあることを特徴とする電極体の製造方法。 - 二次電鋳工程においては、レジスト体(12)の高さ位置を越えないように、二次電着層(17)を形成するようにしてあり、
支持体(21)の形成に先立って、レジスト体(12)と二次電着層(17)との高さ寸法を揃えるための研磨処理を施すようにしてある請求項1記載の電極体の製造方法。
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