JP4496730B2

JP4496730B2 - 露光装置の梱包方法およびその方法で梱包される露光装置、並びにその露光装置の梱包構造

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Publication number: JP4496730B2
Application number: JP2003209151A
Authority: JP
Inventors: 識押川
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2003-08-27
Filing date: 2003-08-27
Publication date: 2010-07-07
Anticipated expiration: 2023-08-27
Also published as: JP2005067617A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体装置の製造工程等で用いられる露光装置の梱包方法およびその方法で梱包される露光装置、並びにその露光装置の梱包構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えば半導体デバイス等のさらなる高集積化の要求から、そのリソグラフィ工程で使用される露光装置に、より波長の短い光源（露光光）が用いられつつある。具体的には、水銀ランプの輝線であるｇ線（４３５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）からＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）へ、さらにはＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）へと露光光源の短波長化が進んでいる。そして、近い将来にはさらに短波長化が進み、上記露光光源としてＦ_２レーザ（１５７ｎｍ）やＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）等が採用されると考えられる。
【０００３】
しかしながら、このように上記露光装置に使用される光源の短波長化が進むにつれ、この露光装置を好適に維持する必要性が生じる。すなわち、一般に、露光光はその露光波長が短くなるほどその露光エネルギーが大きくなる。このため、ＫｒＦまたはＡｒＦエキシマレーザ等のように、その露光エネルギーが大きい露光光では、露光光光路の雰囲気に不純物ガスが存在すると、該不純物ガスに含まれる有機物質が上記光学部材に堆積するようになる。この結果、その堆積部分にて上記露光光の吸収、散乱などが発生し、ひいては上記光学部材の光学特性に影響を及ぼすこととなり、前記露光装置の露光性能が低下するようになる。
【０００４】
そこでＫｒＦまたはＡｒＦエキシマレーザ光源を使用する露光装置は、その稼働時において、光路の雰囲気を窒素などの不活性ガスで満たすことにより、該光路の雰囲気中に不純物ガスの侵入を抑制している。特にＦ_２レーザのようにその露光エネルギーが極めて高い光源を用いる場合には、ＡｒＦエキシマレーザ光に比べ、Ｆ_２レーザ光を吸収する物質（酸素分子、水分子、二酸化炭素分子等）の種類が増え、光路の雰囲気中に、上記物質を含む不純物ガスの浸入の抑制が必要不可欠となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記露光装置が稼働状態でない場合、すなわちこれを輸送運搬する際であっても、上記光路の雰囲気への不純物ガスの浸入を抑制する必要がある。この場合、輸送運搬中にも光路の雰囲気に不活性ガスを供給することも考えられる。しかしながら、輸送運搬中に不活性ガスを供給するためには、上記不活性ガスが充填されたガスボンベおよびガスボンベから不活性ガスを供給するための電源が必要となり、大がかりな輸送運搬装置が必要になる。
【０００６】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、露光装置を輸送運搬する際に、その光路の雰囲気に不純物ガスが侵入することを容易な構成で抑制することのできる露光装置の梱包方法およびその方法で梱包される露光装置、並びにその露光装置の梱包構造を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本願請求項１に記載の発明は、露光装置を輸送する際に、該露光装置を梱包するための露光装置の梱包方法であって、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を、断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第１シートを用いて、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に第１のガスを供給するためのガス注入管のガス注入口が前記第１シートの外側に位置するように梱包し、該第１シートで梱包された前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を、前記断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第２シートを用いて、前記ガス注入管の前記ガス注入口が前記第２シートの外側に位置するように梱包し、前記第１シートと前記第２シートとの間に第２のガスを充填し、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を前記第１シートと前記第２シートとで梱包した後、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に前記ガス注入口から前記ガス注入管を介して前記第１のガスを供給可能とすることを特徴とするものである。
【０００８】
この本願請求項１に記載の発明では、露光装置を、第１シートで該第１シート内が気密に保たれるように梱包するとともに、さらに第２シート内が気密に保たれるように、第１シートとの間に所定のガスを充填してともに高いガスバリア性を有するシートで２重に梱包する。このため、第２シートから外部への所定のガスの漏出が抑えられるとともに、外部から第２シート内への不純物ガスの侵入が抑制される。また、仮に、第２シートにピンホール等が生じ、第２シート内に不純物ガスが侵入したとしても、第１シートも高いガスバリア性を有することから、不純物ガスがそれ以上内部へ侵入することが、抑制される。これにより、光源としてたとえば前記Ｆ_２レーザ等が用いられる露光装置についても、その梱包態様をより信頼性の高いものとすることができる。
【０００９】
また、本願請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の発明において、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品は、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体を有し、前記光学素子収容体は開口端部をさらに備え、前記光学素子収容体を前記第１シートで梱包する前に、前記光学素子収容体の前記開口端部に、該開口端部を密閉する密閉部材を取着し、前記光学素子収容体内を、前記ガス注入口から前記ガス注入管を介して前記第１のガスで満たすことを特徴とするものである。
【００１０】
この本願請求項２に記載の発明では、露光装置の輸送運搬に際して、特に外部からの不純物ガスの侵入による影響の大きな光学素子収容体内への不純物ガスの侵入を好適に抑制することができる。
【００１１】
また、本願請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の露光装置の梱包方法において、前記第１シート内に前記第１のガスを充填することを特徴とするものである。
【００１２】
この本願請求項３に記載の発明では、前記第１シート内に第１のガスを充填することにより、露光装置の輸送運搬に際して、該露光装置が備える光学素子収容体を内部に第１のガスを充填した上で、さらに第１のガスの雰囲気内に置くことになる。このため、光学素子収容体内への不純物ガスの侵入をより好適に抑制することができる。
【００１３】
また、本願請求項４に記載の発明は、請求項２または請求項３に記載の露光装置の梱包方法において、前記第１のガスが、窒素であることを特徴とするものである。
【００１４】
一般に、窒素ガスそのものが比較的安価で、化学的な精製も容易なガスであることから、この本願請求項４に記載の発明では、前記請求項２または請求項３に記載の発明による作用をより安価にかつ効果的に実現することができる。
【００１５】
また、本願請求項５に記載の発明は、請求項２または請求項３に記載の露光装置の梱包方法において、前記第１のガスが、化学的に精製された空気あるいは化学的に精製された不活性ガスであることを特徴とするものである。
【００１６】
この化学的に精製された空気、すなわちケミカルクリーンエアも比較的安価なガスであり、この本願請求項５に記載の発明によっても、前記請求項２または請求項３に記載の発明による作用をより安価に実現することができる。
【００１７】
また、本願請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法において、前記第１シートと前記第２シートとの間に充填する前記第２のガスが、化学的に精製された空気であることを特徴とするものである。
【００１８】
上述のように、化学的に精製された空気は比較的安価なガスであり、この本願請求項６に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の発明による作用をより安価に実現することができる。また、開梱作業時に、その作業環境に与える影響がほとんどない。
【００１９】
また、本願請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法において、少なくとも前記第１シートを開梱する工程をクリーンルーム内で行うことを特徴とするものである。
【００２０】
この本願請求項７に記載の発明では、第１シートの開梱後の露光装置についてもこれを信頼性の高い状態に維持することができる。
また、本願請求項８に記載の発明は、請求項２〜請求項７のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法において、少なくとも前記第１シートを開梱する際に、前記光学素子収容体内に前記ガス注入口から前記ガス注入管を介して前記第１のガスを供給した状態で行うことを特徴とするものである。
【００２１】
この本願請求項８に記載の発明では、開梱作業中における光学素子収容体内への不純物ガスの侵入が効果的に抑制される。このため、第１シートの開梱後の露光装置について、これをさらに信頼性の高い状態に維持することができる。
【００２２】
また、本願請求項９に記載の発明は、請求項１〜請求項８のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法において、前記第１シートが、フッ素樹脂、エチレン−ポリビニルアルコール共重合樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリエステル樹脂、シリカ積層樹脂フィルム、アルミナ積層樹脂フィルム、アルミニウム積層樹脂フィルムのうち、少なくとも１つを含むことを特徴とするものである。
【００２３】
この本願請求項９に記載の発明では、各樹脂、各フィルムは特に優れたガスバリア性を有しており、前記第１シートのガスバリア性を的確に確保することができ、光学素子収容体内への不純物ガスの侵入をより効果的に抑制できる。
【００２４】
また、本願請求項１０に記載の発明は、請求項１〜請求項９のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法によって梱包された露光装置であることを特徴とすることを要旨とする。
【００２５】
この本願請求項１０に記載の発明では、露光装置が前記請求項１〜請求項９のうちいずれか一項に記載の方法で梱包されることにより、該露光装置自体を安定してその内部を清浄に保ったまま輸送運搬することができる。
【００２６】
また、本願請求項１１に記載の発明は、露光装置の梱包構造として、断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有し、露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に第１のガスを供給するためのガス供給管のガス注入口を除いて、露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を梱包する第１シートと、前記断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有し、前記ガス注入管の前記ガス注入口を除いて、前記第１シートで梱包された前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を梱包する第２シートと、前記第１シートおよび前記第２シートの間に充填された第２のガスとを備えることを特徴とするものである。
【００２７】
この本願請求項１１に記載の発明では、簡易な構造でありながら請求項１の発明と同様の信頼性の高い露光装置の梱包を行うことができる。すなわち、光源としてたとえ前記Ｆ_２レーザ等が用いられる露光装置についても、その輸送運搬時の信頼性を高く維持することができる。
【００２８】
また、本願請求項１２に記載の発明は、前記請求項１１に記載の露光装置の梱包構造において、前記露光装置の少なくとも一部または前記露光装置を構成する部品は、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体を有することを特徴とするものである。
また、本願請求項１３に記載の発明は、前記請求項１２に記載の露光装置の梱包構造において、前記光学素子収容体に形成された開口端部を密閉する密閉部材をさらに備えることを特徴とするものである。
【００２９】
この本願請求項１３に記載の発明では、前記露光装置の輸送運搬時に、特に不純物ガスの影響を受けやすい光学素子を、その光学素子を収容体内に第１のガスを充填した状態で、クリーンな雰囲気内で保持することができる。このため、輸送運搬時の信頼性をより高く維持した状態で同露光装置の梱包を行うことができる。
【００３０】
次に、本発明にさらに含まれる技術的思想について、それらの作用とともに以下に記載する。
（１）露光装置を構成する部品のうち、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体の複数の開口端部のうち、少なくとも１つの該開口端部を気密に遮断する遮断部材を取着し、前記光学素子収容体内を所定のガスで置換した状態で、前記露光装置を断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第１シートで梱包する露光装置の梱包方法。
【００３１】
このようにすれば、露光装置の輸送運搬に際して、該露光装置が備える光学素子収容体内に不純物ガスが侵入することを好適に抑制することができる。
（２）少なくとも、露光装置を断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第１シートで梱包する工程をクリーンルーム内で行う露光装置の梱包方法。
【００３２】
このようにすれば、第１シートの梱包時に露光装置内、あるいは露光装置と第１シートとの間に不純物等が混入することもなく、より信頼性の高い梱包を行うことができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。図１には、本実施形態に係る方法により梱包される露光装置１０の全体構成が概略的に示されている。
【００３４】
同図１に示されるように、この露光装置１０は、レチクルとウエハとを一次元方向に同期移動しつつ、レチクルに形成された回路パターンを投影光学系を介してウエハ上の各ショット領域に転写する、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、いわゆるスキャニング・ステッパである。
【００３５】
露光装置１０は、光源１１、この光源１１からの照明光（パルス光）によりレチクルを照明する照明光学系ＩＯＰ、レチクルを保持するレチクルステージＲＳＴ、レチクルを通過した照明光をウエハ上に投射する投影光学系ＰＬ、及びこのウエハを保持するウエハステージＷＳＴを備えて構成されている。さらに、この露光装置１０は、これら照明光学系ＩＯＰの一部、レチクルステージＲＳＴ、投影光学系ＰＬ、及びウエハステージＷＳＴ等を保持する本体コラム１２、この本体コラム１２の振動を抑制あるいは除去する防振ユニット、及びこれらの制御系等をも備えている。
【００３６】
前記光源１１としては、狭帯化されたパルス光としてＦ_２レーザ光を出力するＦ_２レーザ光源（波長１５７ｎｍ）が用いられており、この光源１１の本体は、半導体製造工場のクリーンルーム内の床面ＦＤ上に設置されている。また、この光源１１には、光源制御装置が接続され、この光源制御装置によって、射出されるＦ_２レーザ光の発振中心波長、スペクトル半値幅、及びパルス発振のトリガ等が制御される。
【００３７】
なお、この光源１１として、波長２４８ｎｍのパルス光を出力するＫｒＦエキシマレーザ光源あるいは波長１９３ｎｍのパルス光を出力するＡｒＦエキシマレーザ光源の他、ＥＵＶ光源等を採用してもよい。また、光源１１をクリーンルームよりクリーン度が低い別の部屋（サービスルーム）、あるいはクリーンルームの床下に設けられるユーティリティスペースに設置しても構わない。
【００３８】
光源１１は、図１では作図の都合上その図示が省略されているが、実際には遮光性のベローズ及びパイプを介してビームマッチングユニットＢＭＵ（以下、ＢＭＵ１１ａという。）の一端（入射端）に接続されている。また、このＢＭＵ１１ａの他端（出射端）は、照明光学系ＩＯＰに接続されている。
【００３９】
この実施の形態では、前記照明光学系ＩＯＰは、露光動作中に可動する可動部を含む可動部分光学系としての第１部分照明光学系ＩＯＰ１と、露光動作中にほぼ静止状態にある静止部分光学系としての第２部分照明光学系ＩＯＰ２との２部分から分割可能に構成されている。このうち、第１部分照明光学系ＩＯＰ１は、床面ＦＤ上に設置された支持台１３によって支持されている。また、第２部分照明光学系ＩＯＰ２は、図１に示されるように、本体コラム１２によって下方から支持されている。
【００４０】
この本体コラム１２は、ベースプレートＢＰと、このベースプレートＢＰ上に設けられた複数本（ここでは４本）の支持部材１４Ａ〜１４Ｄと、これら支持部材１４Ａ〜１４Ｄの上部にそれぞれ固定された防振ユニット１５Ａ〜１５Ｄを介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤１６とを備えている。但し、この図１において、紙面奥側となる支持部材１４Ｃ、１４Ｄおよび防振ユニット１５Ｃ、１５Ｄの図示を省略する。また、この本体コラム１２は、鏡筒定盤１６上に設けられた第１及び第２の支持コラム１７、１８とをさらに備えている。
【００４１】
このうち、ベースプレートＢＰは、床面ＦＤに直接設けられ、その上面にはウエハべース定盤１９およびこのウエハべース定盤１９を介してウエハを保持するウエハステージＷＳＴが設けられている。
【００４２】
また、前記防振ユニット１５Ａ〜１５Ｄは、支持部材１４Ａ〜１４Ｄの上部にそれぞれ直列（または並列）に配置された内圧が調整可能なエアマウントとボイスコイルモータとを含んで構成されている。これらの防振ユニット１５Ａ〜１５Ｄによって、ベースプレートＢＰ及び支持部材１４Ａ〜１４Ｄを介して、鏡筒定盤１６に伝わる床面ＦＤからの微振動がマイクロＧレベルで絶縁されるようになっている。
【００４３】
前記鏡筒定盤１６の中央部には平面視円形の開口が形成されており、その内部に複数の分割鏡筒を積層して構成される投影光学系ＰＬがその光軸方向をＺ軸方向として上方から挿入されている。そして、この鏡筒定盤１６は、前記投影光学系ＰＬの鏡筒部の外周部に形成されたフランジＦＬＧと係止することにより、この投影光学系ＰＬを支持している。なお、図１に示されるように、この投影光学系ＰＬは複数の分割鏡筒を積層して構成されるものであり、その最上位の分割鏡筒にはこれら内部の光路に窒素などの不活性ガスを充填するためのガス注入管ＧＰ（説明上、ガス排出管は省略する。）が設けられている。
【００４４】
第１の支持コラム１７は、鏡筒定盤１６の上面に投影光学系ＰＬを取り囲んで植設された４本の脚１７ａ（紙面奥側の脚は図示省略）と、これら４本の脚１７ａによってほぼ水平に支持されたレチクルベース定盤１７ｂとを備えている。同様に、第２の支持コラム１８は、鏡筒定盤１６の上面に、第１の支持コラム１７を取り囲む状態で植設された４本の支柱１８ａ（紙面奥側の支柱は図示省略）と、これら４本の支柱１８ａによってほぼ水平に支持された天板１８ｂとによって構成されている。なお、この第２の支持コラム１８の天板１８ｂにより、前述のように第２部分照明光学系ＩＯＰ２が支持されている。
【００４５】
この露光装置１０は、その稼働時では、その光路内に窒素や希ガスなどの不活性ガス（所定のガス）の供給および排気を制御する給排気制御装置を備える。そしてこれにより、露光装置１０として、露光光の波長が極めて短い前記Ｆ_２レーザ光源を用いるような場合であれ、その光路内に不純物ガスが侵入することを抑制する。ところが、このような露光装置１０を輸送運搬する場合、該装置１０を前記稼働状態と同様にその光路内に不純物ガスの浸入を抑制することは困難である。
【００４６】
そこで、上記露光装置１０についてはこれを、以下のように梱包して輸送運搬することとしている。
すなわち、この露光装置１０を輸送運搬する場合にはまず、図２〜図４に示されるように、クリーンルーム内にて露光装置１０をチャンバから外すとともに分割可能な各部分ごとに分解する。なお、この分解に際しては、ＢＭＵ１１ａ、照明光学系ＩＯＰ、及び投影光学系ＰＬ等の光学素子収容体については、その開口部を例えば封止蓋等でカバーすることによりその気密を確保するとともに、かつ、窒素の供給および排気をも継続した状態で行うことが望ましい。
【００４７】
そして、ＢＭＵ１１ａについては例えばポリ塩化ビニリデン等を含むガスバリア性の高い第１シート２１で覆う前に、このＢＭＵ１１ａの光路内を窒素などの不活性ガスで満たし、その入射端および出力端の両開口端部を気密に密閉する密閉部材としてのカバー２０を取着する。そしてその後、第１シート２１によりＢＭＵ１１ａ全体を覆う。これにより、ＢＭＵ１１ａにおける内部の光路内への不純物ガスの侵入が抑制されるようになる。
【００４８】
次にこの状態で、前記第１シート２１の内部の空気を吸い出すとともに、窒素などの不活性ガスを充填する作業を行う。この結果、前記第１シート２１の内部の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第１シート２１については、その開口部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封する。これにより、内部に光学素子等を収容する前記ＢＭＵ１１ａについて、前記不活性ガスを充填した状態で気密に梱包することができるようになる。このため、その内部の光路内に不純物ガスが侵入することがさらに好適に抑制されるようになる。
【００４９】
その後、この第１シート２１を保護すべく前記第２シート２２によりさらに第１シート２１を覆い、その内部の空気を吸い出すとともに、化学的に精製され、ガス状の有機物、アンモニウム塩等の取り除かれた空気、いわゆるケミカルクリーンエア（所定のガス）を充填する作業を行う。この結果、前記第２シート２２の内部（すなわち、第１シート２１と第２シート２２との間の空間）の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第２シート２２についても、その開口部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封する。これにより、前記ＢＭＵ１１ａの光路内に不純物ガスが侵入することが好適に抑制されるばかりか、ＢＭＵ１１ａの梱包構造としての信頼性も高いものとすることができるようになる。
【００５０】
一方、第１部分照明光学系ＩＯＰ１についても、前記第１シート２１で覆う前に、この第１部分照明光学系ＩＯＰ１の光路内を窒素などの不活性ガス（所定のガス）で満たし、その入射端および出力端の両開口端部を気密に密閉する密閉部材としてのカバー２３を取着する。そしてその後、第１シート２１により第１部分照明光学系ＩＯＰ１全体を覆う。これにより、第１部分照明光学系ＩＯＰ１の内部の光路内に不純物ガスが侵入することが抑制されるようになる。
【００５１】
次にこの状態で、前記第１シート２１の内部の空気を吸い出すとともに、窒素などの不活性ガス（所定のガス）を充填する作業を行う。この結果、前記第１シート２１の内部の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第１シート２１については、その開口部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封する。これにより、内部に光学素子等を収容する前記第１部分照明光学系ＩＯＰ１についてもこれを、前記不活性ガスを充填した状態で気密に梱包することができるようになるため、その光路内に不純物ガスが侵入することがさらに好適に抑制されるようになる。
【００５２】
その後、この第１シート２１を保護すべく前記第２シート２２によりさらに第１シート２１を覆い、その内部の空気を吸い出すとともに、前記ケミカルクリーンエアを充填する作業を行う。ただし、この際、同じく図３に示されるように、この第２シート２２によって光学素子等を備えない前記支持台１３をもさらに覆うこととしている。この結果、前記第２シート２２の内部（すなわち、第１シート２１と第２シート２２との間の空間）の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第２シート２２についても、その開口部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封する。これにより、前記第１部分照明光学系ＩＯＰ１の光路内に不純物ガスが侵入することが好適に抑制されるばかりか、第１部分照明光学系ＩＯＰ１の梱包構造としての信頼性も高いものとすることができるようになる。
【００５３】
他方、露光装置１０として前記ＢＭＵ１１ａおよび第１部分照明光学系ＩＯＰ１等以外を構成する部分についても同様、図４に示されるように、前記第１シート２１および第２シート２２で梱包する。ただし、このとき、前記ガス注入管ＧＰについては、その末端部（ガス注入口）およびコック部分が第１シート２１よりも外側、すなわち第２シート２２内の空間に位置するように覆う。そしてこの状態で、光学素子等を備える前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２および投影光学系ＰＬについては、それら各内部の光路を窒素などの不活性ガス（所定のガス）で満たし、それら入射端および出射端の両開口端部を気密に遮断する遮断部材（密閉部材）としてのカバー２３および２４をそれぞれ取着する。これにより、前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２および投影光学系ＰＬの光路内に不純物ガスが侵入することが抑制されるようになる。なお、前記ガス注入管ＧＰの末端部（ガス注入口）についてはこれを気密に遮断する所定のカバーを取着しておくことが望ましい。
【００５４】
次にこの状態で、前記第１シート２１の内部の空気を吸い出すとともに、窒素などの不活性ガス（所定のガス）を充填する作業を行う。この結果、前記第１シート２１の内部の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第１シート２１については、その開口部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封する。これにより、内部に光学素子等を収容する前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２および投影光学系ＰＬについても、前記不活性ガスを充填した状態で気密に梱包することができるようになるため、それら各内部の光路内に不純物ガスが侵入することがさらに好適に抑制されるようになる。
【００５５】
その後、この第１シート２１を保護すべく前記第２シート２２によりさらに第１シート２１を覆い、その内部の空気を吸い出すとともに、前記ケミカルクリーンエアを充填する作業を行う。この結果、前記第２シート２２の内部（すなわち、第１シート２１と第２シート２２との間の空間）の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第２シート２２についても、その開口部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封する。これにより、前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２および投影光学系ＰＬの各内部の光路内に不純物ガスが侵入することが好適に抑制されるばかりか、第２部分照明光学系ＩＯＰ２及び投影光学系ＰＬの梱包構造としての信頼性も高いものとすることができるようになる。
【００５６】
このように、前記露光装置１０は、その梱包構造として、前記第１シート２１、該第１シート２１内に充填される窒素などの不活性ガス、第２シート２２、該第２シート２２内に充填されるケミカルクリーンエア、及び前記各光学素子収容体の両開口端部を密閉するカバー２０、２３、２４を採用している。このため、露光装置１０の梱包構造として、簡易な構造でありながら、上述のように、その梱包を信頼性の高いものとすることができる。これとともに、該装置１０の輸送運搬時に、特に不純物ガスの影響を受けやすい光学素子を、その光学素子収容体内に所定のガスを充填した状態で、クリーンな雰囲気内で保持することができる。このため、輸送運搬時においても、不純物ガスの影響を受けることなく、光学素子の表面がさらされる雰囲気を好適に維持することができるようになる。なお、このような梱包の後、対衝撃、対熱変動、対気圧変化等を考慮した通常の梱包が施される。
【００５７】
次に、この露光装置１０の輸送運搬後において、前記第１シート２１及び第２シート２２を開梱する方法の一例を、同図４に基づいて簡単に説明する。
この第１シート２１及び第２シート２２の開梱は、例えばクリーンルームにて、まず前記ガス注入管ＧＰの近傍の第２シート２２を破ることにより行われる。そして、第１シート２１の外側に位置するガス注入管ＧＰから、未だ第１シート２１により梱包される投影光学系ＰＬの内部の光路に、例えば窒素などの不活性ガスを供給し、この状態で第１シート２１を破る。これにより、第１シート２１の開梱後の露光装置についてもこれを信頼性の高い状態に維持することが可能となる。なお、これら第１シート２１および第２シート２２の内部の雰囲気は、窒素などの不活性ガス、ケミカルクリーンエアなどから構成されているため、これらシート２１、２２が開梱されることによりクリーンルームが汚染されることもない。
【００５８】
ここで、前記ＢＭＵ１１ａ、照明光学系ＩＯＰ、及び投影光学系ＰＬ等の光学素子収容体の両開口端部に取着する前記各カバー２０、２３、及び２４としては具体的には、図５に示されるように、例えば、蓋体２５ａ及びＯ（オー）リング２５ｂを備えて構成されるもの等々が考えられる。
【００５９】
また、前記第１シート２１および第２シート２２の内部の空気を吸い出すとともに、窒素などの不活性ガスまたはケミカルクリーンエア（所定のガス）を充填する上記作業の後、前記第１シート２１および第２シート２２の内部の不活性ガスまたはケミカルクリーンエアを吸い出すとともに新たな不活性ガスまたはケミカルクリーンエアを充填する作業を１回以上繰り返すことによって、露光装置をさらにクリーンな状態に保つことができる。
【００６０】
以上詳述した本実施形態によれば、以下の効果が得られるようになる。
（１）露光装置１０（露光装置１０を構成する各部分）を第１シート２１で該第１シート２１内が気密に保たれるように梱包するとともに、さらに第２シートで該第２シート２２内が気密に保たれるように、所定のガスを充填して２重に梱包した。このため、第２シート２２から外部への前記ケミカルクリーンエアの漏出が抑えられるとともに、外部から第２シート２２内への不純物ガスの侵入が抑制される。また、仮に、第２シート２２にピンホール等が生じ、第２シート２２内に不純物ガスが侵入したとしても、第１シート２１も高いガスバリア性を有することから、不純物ガスがそれ以上内部へ侵入することが、抑制される。これにより、露光装置１０の梱包構造についてこれを信頼性の高いものとすることができる。
【００６１】
（２）前記露光装置１０を構成する部品のうち、ＢＭＵ１１ａ等、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体に、その内部の光路を所定のガスで置換した状態で、それら両開口端部を気密に遮断するカバー２０、２３、２４を取着した。このため、窒素の充填、及び循環等の上記制御を行わずとも、ＢＭＵ１１ａ等の光学素子収容体の光路内に不純物ガスが侵入することが抑制されるようになる。
【００６２】
（３）前記第１シート２１の内部の空気を吸い出すとともに、窒素などの不活性ガス（所定のガス）を充填する作業を行い、この結果、前記第１シート２１の内部の雰囲気が上記ガスにより置換されると、同第１シート２１については、その開口端部を例えばヒートシール等の公知の手段により密封することとした。これにより、ＢＭＵ１１ａ等の光学素子収容体について、前記不活性ガスの雰囲気にて気密に梱包することができるようになるため、その内部にも不純物ガスが侵入することがさらに好適に抑制されるようになる。
【００６３】
（４）前記第１シート２１内に充填する所定のガスとして、比較的安価で、化学的な精製も容易なガスである窒素を採用したことにより、前記（３）の効果を安価に得ることができるようになる。
【００６４】
（５）前記第２シート２２内に充填する所定のガスとして、これも比較的安価なガスである前記ケミカルクリーンエアを採用したことにより、前記（１）〜（３）の効果を安価に得ることができるようになる。
【００６５】
（６）第１シート２１及び第２シート２２の開梱を、例えばクリーンルーム内にて、まず前記ガス注入管ＧＰの近傍の第２シート２２を破ることにより行うこととしている。そして、第１シート２１の外側に位置するガス注入管ＧＰから、未だ第１シート２１により梱包される投影光学系ＰＬの内部の光路に、例えば窒素などの不活性ガスを充填、循環させ、この状態で第１シート２１を破ることとした。このため、第１シート２１の開梱後の露光装置１０についてもこれを信頼性の高い状態に維持することが可能となる。
【００６６】
（７）露光装置１０の梱包構造として、前記第１シート２１、第２シート２２、これら第１シート２１および第２シート２２の間に充填するケミカルクリーンエア、及び前記各光学素子収容体の両開口端部を密閉するカバー２０、２３、２４を採用した。このため、露光装置１０の梱包構造として、簡易な構造でありながら、その梱包を信頼性の高いものとすることができるとともに、該装置１０の輸送運搬時においても、該露光装置１０としての性能を好適に維持することができるようになる。
【００６７】
（変更例）
なお、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・前記実施形態において、第１シート２１および第２シート２２として、ポリ塩化ビニリデン等を含むガスバリア性の高いシートを採用したが、他にもフッ素樹脂や、エチレン−ポリビニルアルコール共重合樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリエステル樹脂、シリカ積層樹脂フィルム、アルミナ積層樹脂フィルム、アルミニウム積層樹脂フィルム等々を含むものを採用することもできる。これら第１シート２１および第２シート２２を構成する材質として要は、断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高いシートから構成されるものであればよく、またこれら第１シート２１および第２シート２２が共に同じ材質である必要もない。さらにこれら第１シート２１および第２シート２２を単層または積層体のシートとするか否かも任意である。従って、これら第１シート２１や第２シート２２を、四フッ化エチレン、テトラフルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビニールエーテル）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー製、あるいはナイロン−片面シリカコートペット樹脂−ポリエチレンからなる三層構造のシート材等々から形成することも可能である。
【００６８】
・前記実施形態において、露光装置１０（露光装置１０を構成する各部分）を梱包した際、ガス注入管ＧＰの末端部（ガス注入口）およびコック部分が第１シート２１よりも外側で、かつ、第２シート２２よりも内側に位置するようにしたが、これも特に限定されない。すなわち、前記ガス注入管ＧＰの末端部（ガス注入口）およびコック部分が第１シート２１よりも内側に位置してもよいし、第２シート２２よりも外側に位置してもよい。特に、ガス注入管ＧＰの末端部（ガス注入口）およびコック部分が第２シート２２よりも外側に位置する場合には、その開梱時において、該第２シート２２を破る以前に、その外側に位置するガス注入管ＧＰから投影光学系ＰＬの内部に、例えば窒素などの不活性ガスを充填することとなる。
【００６９】
・前記実施形態において、第１シート２１を開梱する際、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体として、例えば投影光学系ＰＬの内部の光路に窒素などの不活性ガス（所定のガス）を供給することとした。しかし、上記開梱後の露光装置１０の信頼性を考慮すれば、それらシート２１及び２２を開梱する際には、ＢＭＵ１１ａ、第１部分照明光学系ＩＯＰ１、第２部分照明光学系ＩＯＰ２等、他の光学素子収容体に対しても前記投影光学系ＰＬと同様の処理を行うことが望ましい。
【００７０】
・前記実施形態において、第１シート２１内に充填する所定のガスとして窒素を用いたが他にも、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、又はラドン等々、ガスとして不活性なものであれば採用することはできる。この場合、第１シート２１に充填する所定のガスとしてのコストは高くなるものの、前記露光装置１０の輸送時においてその光路の雰囲気を好適に維持し得るという作用効果についてはこれを同等以上に得ることはできる。また、露光装置１０を構成する光源として、Ｆ_２レーザのような波長が極めて短いものでなければ、前記ケミカルクリーンエアを採用することも可能である。
【００７１】
・前記実施形態において、第２シート２２内に充填する所定のガスとしてケミカルクリーンエアを用いたが、他にも、窒素などの不活性なガスであれば採用することは可能である。この場合、前記第２シート２２内に充填する所定のガスとしてのコストは高くなるものの、露光装置１０の梱包方法としてより望ましい方法といえる。
【００７２】
・前記実施形態において、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体の両開口端部に、該両開口端部を気密に密閉する密閉部材としてのカバーを取着することとした。しかし、前記光学素子収容体として、例えば投影光学系ＰＬ等の場合、レチクルステージＲＳＴとの位置関係から片側の開口端部にカバー２４を取着することが困難であれば、残りの片側の開口端部のみにカバー２４を取着してもよい。
【００７３】
・前記実施形態において、露光装置１０を分解する各部分については、さらに細かく分解して梱包してもよい。
・また、反射屈折型の投影光学系としては、例えば円形イメージフィールドを有し、かつ物体面側、及び像面側が共にテレセントリックであるとともに、その投影倍率が１／４倍又は１／５倍となる縮小系を用いてもよい。また、この反射屈折型の投影光学系を備えた走査型露光装置の場合、照明光の照射領域が投影光学系の視野内でその光軸をほぼ中心とし、かつレチクル又はウエハの走査方向とほぼ直交する方向に沿つて延びる矩形スリット状に規定されるタイプであってもよい。かかる反射屈折型の投影光学系を備えた走杏型露光装置によれば、例えば波長１５７ｎｍのＦ_２レーザ光を露光用照明光として用いても１００ｎｍＬ／Ｓパターン程度の微細パターンをウエハ上に高精度に転写することが可能である。
【００７４】
・また、真空紫外光としてＡｒＦエキシマレーザ光やＦ_２レーザ光、Ａｒ_２レーザ光などが用いられるが、ＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（又はエルビウムとイットリビウムの両方）がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いてもよい。例えば、単一波長レーザの発振波長を１．５１〜１．５９μｍの範囲内とすると、発生波長が１８９〜１９９ｎｍの範囲内である８倍高調波、又は発生波長が１５１〜１５９ｎｍの範囲内である１０倍高調波が出力される。特に発振波長を１．５４４〜１．５５３μｍの範囲内とすると、発生波長が１９３〜１９４ｎｍの範囲内の８倍高調波、即ちＡｒＦエキシマレーザ光とほぼ同一波長となる紫外光が得られ、発振波長を１．５７〜１．５８μｍの範囲内とすると、発生波長が１５７〜１５８ｎｍの範囲内の１０倍高調波、即ちＦ_２レーザ光とほぼ同一波長となる紫外光が得られる。また、発振波長を１．０３〜１．１２μｍの範囲内とすると、発生波長が１４７〜１６０ｎｍの範囲内である７倍高調波が出力され、特に発振波長を１．０９９〜１．１０６μｍの範囲内とすると、発生波長が１５７〜１５８μｍの範囲内の７倍高調波、即ちＦ_２レーザ光とほぼ同一波長となる紫外光が得られる。この場合、単一波長発振レーザとしては例えばイットリビウム・ドープ・ファイバーレーザを用いることができる。
【００７５】
・また、半導体装置などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるレチクルまたはマスクを製造するために、ガラス基板またはシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。ここで、ＤＵＶ（遠紫外）光やＶＵＶ（真空紫外）光などを用いる露光装置では一般的に透過型レチクルが用いられ、レチクル基板としては石英ガラス、フッ素がドープされた石英ガラス、蛍石、フッ化マグネシウム、または水晶などが用いられる。また、プロキシミティ方式のＸ線露光装置、または電子線露光装置などでは透過型マスク（ステンシルマスク、メンブレンマスク）が用いられ、マスク基板としてはシリコンウエハなどが用いられる。
【００７６】
・また、半導体装置の製造に用いられる露光装置だけでなく、液晶表示素子などを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスブレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられる、デバイスパターンをセラミックウエハ上に転写する露光装置、及び撮像素子（ＣＣＤなど）の製造に用いられる露光装置などにも本発明を適用することができる。
【００７７】
・なお、前記実施形態では、本発明が、スキャニング・ステッパに適用された場合について説明したが、マスクと基板とを静止した状態でマスクのパターンを基板に転写するとともに、基板を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピ―ト方式の縮小投影露光装置や、投影光学系を用いることなくマスクと基板とを近接配置あるいは密着させてマスクのパターンを基板に転写するプロキシミティ露光装置あるいはコンタクト露光装置にも、本発明は好適に適用できるものである。
【００７８】
ちなみに、半導体装置は、デバイスとしての機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウエハを製作するステップ、前述した実施形態の露光装置によりレチクルのパターンをウエハに転写するステップ、デバイス組み立てステップ（ダイシングエ程、ボンディングエ程、パッケージエ程を含む）、検査ステップ等を経て製造される。
【００７９】
以上詳述したように、本願請求項１に記載の発明によれば、開梱時において、第２シートを破る以前に、その外側に位置するガス注入管から露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に不活性ガスを充填することができる。これにより、その梱包態様をより信頼性の高いものとすることができる。
【００８０】
また、本願請求項２に記載の発明によれば、前記請求項１に記載の発明の効果に加えて、露光装置の輸送運搬に際して、特に外部からの不純物ガスの侵入による影響の大きな光学素子収容体内への不純物ガスの侵入を好適に抑制することができる。
【００８１】
また、本願請求項３に記載の発明によれば、前記請求項２に記載の発明の効果に加えて、露光装置の輸送運搬に際して、光学素子収容体内への不純物ガスの侵入をより好適に抑制することができる。
【００８２】
また、本願請求項４に記載の発明によれば、前記請求項２または請求項３に記載の発明による作用をより安価にかつ効果的に実現することができる。
また、本願請求項５に記載の発明によっても、前記請求項２または請求項３に記載の発明による作用をより安価に実現することができる。
【００８３】
また、本願請求項６に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の発明による作用をより安価に実現することができる。また、開梱作業時に、その作業環境に与える影響がほとんどない。
【００８４】
また、本願請求項７に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、第１シートの開梱後の露光装置についてもこれを信頼性の高い状態に維持することができる。
【００８５】
また、本願請求項８に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項７のうちいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、第１シートの開梱後の露光装置について、これをさらに信頼性の高い状態に維持することができる。
【００８６】
また、本願請求項９に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項８のうちいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、前記第１シートのガスバリア性を的確に確保することができ、光学素子収容体内への不純物ガスの侵入をより効果的に抑制できる。
【００８７】
また、本願請求項１０に記載の発明によれば、該露光装置自体を安定してその内部を清浄に保ったまま輸送運搬することができる。
また、本願請求項１１に記載の発明によれば、開梱時において、第２シートを破る以前に、その外側に位置するガス注入管から露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に不活性ガスを充填することができる。これにより、その梱包態様をより信頼性の高いものとすることができる。
【００８８】
また、本願請求項１２に記載の発明によれば、前記請求項１１に記載の発明の効果に加えて、前記露光装置の輸送運搬時の信頼性をより高く維持した状態で同露光装置の梱包を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明にかかる梱包方法で梱包される露光装置の全体構成を概略的に示す側面図。
【図２】本願発明にかかる梱包方法及びその梱包構造を示す側面図。
【図３】本願発明にかかる梱包方法及びその梱包構造を示す側面図。
【図４】本願発明にかかる梱包方法及びその梱包構造を示す側面図。
【図５】本願発明にかかる梱包構造の一部を示す断面図。
【符号の説明】
１０…露光装置、１１…光源、１１ａ…ビームマッチングユニットＢＭＵ、１２…本体コラム、１３…支持台、１４Ａ〜１４Ｄ…支持部材、１５Ａ〜１５Ｄ…防振ユニット、１６…鏡筒定盤、１７…第１の支持コラム、１７ａ…脚、１７ｂ…レチクルベース定盤、１８…第２の支持コラム、１８ａ…支柱、１８ｂ…天板、１９…ウエハべース定盤、２０…カバー、２１…第１シート、２２…第２シート、２３…カバー、２４…カバー、ＢＰ…ベースプレート、ＦＤ…床面、ＧＰ…ガス注入管、ＰＬ…投影光学系、ＦＬＧ…フランジ、ＩＯＰ…照明光学系、ＩＯＰ１…第１部分照明光学系、ＩＯＰ２…第２部分照明光学系、ＲＳＴ…レチクルステージ、ＷＳＴ…ウエハステージ。

Claims

露光装置を輸送する際に、該露光装置を梱包するための露光装置の梱包方法であって、
前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を、断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第１シートを用いて、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に第１のガスを供給するためのガス注入管のガス注入口が前記第１シートの外側に位置するように梱包し、
該第１シートで梱包された前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を、前記断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第２シートを用いて、前記ガス注入管の前記ガス注入口が前記第２シートの外側に位置するように梱包し、
前記第１シートと前記第２シートとの間に第２のガスを充填し、
前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を前記第１シートと前記第２シートとで梱包した後、前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に前記ガス注入口から前記ガス注入管を介して前記第１のガスを供給可能とすることを特徴とする露光装置の梱包方法。
前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品は、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体を有し、前記光学素子収容体は開口端部をさらに備え、
前記光学素子収容体を前記第１シートで梱包する前に、前記光学素子収容体の前記開口端部に、該開口端部を密閉する密閉部材を取着し、前記光学素子収容体内を、前記ガス注入口から前記ガス注入管を介して前記第１のガスで満たすことを特徴とする請求項１に記載の露光装置の梱包方法。
前記第１シート内に前記第１のガスを充填することを特徴とする請求項２に記載の露光装置の梱包方法。
前記第１のガスが、窒素であることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の露光装置の梱包方法。
前記第１のガスが、化学的に精製された空気あるいは化学的に精製された不活性ガスであることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の露光装置の梱包方法。
前記第１シートと前記第２シートとの間に充填する前記第２のガスが、化学的に精製された空気であることを特徴とする請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法。
少なくとも前記第１シートを開梱する工程をクリーンルーム内で行うことを特徴とする請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法。
少なくとも前記第１シートを開梱する際に、前記光学素子収容体内に前記ガス注入口から前記ガス注入管を介して前記第１のガスを供給した状態で行うことを特徴とする請求項２〜請求項７のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法。
前記第１シートが、フッ素樹脂、エチレン−ポリビニルアルコール共重合樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリエステル樹脂、シリカ積層樹脂フィルム、アルミナ積層樹脂フィルム、アルミニウム積層樹脂フィルムのうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１〜請求項８のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法。
請求項１〜請求項９のうちいずれか一項に記載の露光装置の梱包方法によって梱包されたことを特徴とする露光装置。
断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有し、露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品に第１のガスを供給するためのガス供給管のガス注入口を除いて、露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を梱包する第１シートと、
前記断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有し、前記ガス注入管の前記ガス注入口を除いて、前記第１シートで梱包された前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を梱包する第２シートと、
前記第１シートおよび前記第２シートの間に充填された第２のガスとを備えることを特徴とする露光装置の梱包構造。
前記露光装置の少なくとも一部または前記露光装置を構成する部品は、少なくとも１つの光学素子を収容する光学素子収容体を有することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置の梱包構造。
前記光学素子収容体に形成された開口端部を密閉する密閉部材をさらに備えることを特徴とする請求項１２に記載の露光装置の梱包構造。