JP2002019849A - 梱包方法及び梱包構造、光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 損傷や外部からの不純物の浸入を防ぐことが
できる光学装置の梱包方法及び梱包構造、並びに光学装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】 梱包構造は、光学ユニットＩＬの一部に
カバー部１を設け、光学ユニットＩＬ内に形成されてい
る空間部ＳＰ１及びカバー部１と光学ユニットＩＬとの
間の空間部ＳＰ２を所定のガスで満たし、このカバー部
１が設置された光学ユニットＩＬを覆うシート材４を備
えており、このシート材４の一部には、膨らみしろ４ａ
が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学装置の梱包方
法及び梱包構造、並びにこの方法または構造によって梱
包される光学装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や薄膜磁気ヘッドあるいは液
晶表示素子等をフォトリソグラフィ工程で製造する場合
に種々の露光装置が使用されているが、フォトマスクあ
るいはレチクル（以下、「マスク」と称する）に形成さ
れたパターンの像を、表面にフォトレジスト等の感光剤
を塗布された基板上に投影光学系を介して投影する露光
装置が一般的に使用されている。そして、近年、基板上
のショット領域に投影されるパターンの形状の微細化に
伴い、使用される露光用照明光（以下、「露光光」と称
する）は短波長化される傾向にある。すなわち、これま
で主流だった水銀ランプに代わって、ＫｒＦエキシマレ
ーザー（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（１９
３ｎｍ）を用いた露光装置が実用化されつつある。ま
た、さらなるパターンの形状の微細化を目指してＦ2 レ
ーザー（１５７ｎｍ）を用いた露光装置の開発も進めら
れている。

【０００３】このような、短い波長を有する真空紫外線
光を露光光として用いる場合、露光光の通過する空間で
ある光路空間内に酸素分子、水分子、二酸化炭素分子な
どといったかかる波長域の光に対し強い吸収特性を備え
る物質（吸光物質）や有機物質、あるいは塵（パーティ
クル）などの不純物が存在していると、露光光は減光さ
れ十分な強度で基板上に到達できず、精度良い露光処理
を行うことができない。したがって、露光装置では、露
光光の通過する光路空間を構成する、例えば鏡筒に支持
された投影光学系を有する投影系ユニットやマスクブラ
インドといった各光学装置に存在する不純物を低減する
必要がある。

【０００４】ところで、露光装置を使用するメーカーに
おいて、上述したような光学装置（投影系ユニットやマ
スクブラインド）に何らかのトラブルが発生した場合、
露光装置メーカーから新たな光学装置を輸送する場合が
ある。このような場合、従来において光学装置を輸送す
る際には、光学装置を紙製やポリエチレン製のシートで
梱包し、輸送していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような梱包構造では、光学装置と外部雰囲気との隔離
が十分ではないため、光学装置は輸送中において不純物
により汚染されてしまう。そして、この光学装置を露光
装置に設けた場合、上述したように露光処理において光
学装置に付着した不純物の影響が大きくなり、精度良い
露光処理を行うことができなくなる。この場合、輸送中
において、光学装置に対して清浄ガス（光学的に不活性
なガス等）を供給する供給装置を設置することが考えら
れる。しかしながら、光学装置とともに供給装置を設置
することにより、輸送用のスペースを広く確保しなけれ
ばならない。また、従来の梱包構造においては光学装置
に対する保護が十分でないため、輸送中において光学装
置自体が損傷してしまう危険性がある。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、輸送中における損傷や外部からの不純物の浸
入を防ぎ、光学装置の汚染を防ぎながら安全に輸送する
ことができる光学装置の梱包方法及び梱包構造、並びに
この梱包方法または梱包構造によって梱包される光学装
置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、実施の形態に示す図１〜図１４に対応付け
した以下の構成を採用している。請求項１に記載の梱包
方法は、空間部（ＳＰ１）を有する光学装置（ＩＬ）の
梱包方法において、光学装置（ＩＬ）の少なくとも一部
にこの光学装置（ＩＬ）を保護するためのカバー部
（１）を設置し、空間部（ＳＰ１）及びカバー部（１）
と光学装置（ＩＬ）との間の空間部（ＳＰ２）を所定の
ガスで満たした後、この光学装置（ＩＬ）を第１の梱包
材（４）によって梱包することを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、空間部（ＳＰ１）を有す
る光学装置（ＩＬ）の少なくとも一部にカバー部（１）
を設置し、そして、この光学装置（ＩＬ）を第１の梱包
材（４）によって梱包するに際し、光学装置（ＩＬ）内
の空間部（ＳＰ１）及びカバー部（１）と光学装置（Ｉ
Ｌ）との間に形成される空間部（ＳＰ２）を所定のガス
（不活性ガス）で満たした後に、この光学装置（ＩＬ）
を第１の梱包材（４）によって梱包することにより、光
学装置（ＩＬ）に対する不純物の付着を防止することが
できる。したがって、光学装置（ＩＬ）の汚染を防止し
ながら安全に輸送することができる。

【０００９】請求項５に記載の梱包方法は、駆動機構
（Ｄ）によって駆動される光学部材を備える光学装置
（ＢＬ）の梱包方法において、光学装置（ＢＬ）を第１
の梱包材（４）で梱包し、第１の梱包材（４）を第２の
梱包材（１６）で梱包し、第１の梱包材（４）によって
形成される空間を所定のガスで満たすとともに、第１の
梱包材（４）と第２の梱包材（１６）との間の空間を所
定のガスで満たすことを特徴とする。

【００１０】本発明によれば、駆動機構（Ｄ）を備えた
光学装置（ＢＬ）を第１の梱包材（４）及び第２の梱包
材（１６）によって２重に梱包することにより、いずれ
か一方の梱包材（４、１６）が破損しても、光学装置
（ＢＬ）は汚染を防止されたまま安全に輸送される。そ
して、第１の梱包材（４）によって形成される空間と、
第１の梱包材（４）と第２の梱包材（１６）との間の空
間とをそれぞれ所定のガスで満たすことにより、汚染を
確実に防止することができる。

【００１１】請求項８に記載の梱包構造は、空間部（Ｓ
Ｐ１）を有する光学装置（ＩＬ）の梱包構造において、
光学装置（ＩＬ）の少なくとも一部にカバー部（１）を
設け、空間部（ＳＰ１）及びカバー部（１）と光学装置
（ＩＬ）との間の空間部（ＳＰ２）を所定のガスで満た
し、カバー部（１）が設置された光学装置（ＩＬ）を覆
う第１の梱包材（４）を備えることを特徴とする。

【００１２】本発明によれば、光学装置（ＩＬ）の少な
くとも一部にカバー部（１）を設置することにより、光
学装置（ＩＬ）を保護して損傷を防止することができ
る。そして、光学装置（ＩＬ）内の空間部（ＳＰ１）及
びカバー部（１）と光学装置（ＩＬ）との間に形成され
る空間部（ＳＰ２）を所定のガスで満たし、この光学装
置（ＩＬ）を覆う第１の梱包材（４）を備えることによ
り、光学装置（ＩＬ）に対する不純物の付着を防止する
ことができる。したがって、光学装置（ＩＬ）の汚染は
防止される。

【００１３】請求項１１に記載の梱包構造は、複数の光
学部材で構成される光学装置（ＩＬ、ＢＬ）の梱包構造
において、複数の光学部材のうち、少なくとも一つの光
学部材を梱包する第１の梱包材（４）と、第１の梱包材
（４）を梱包する第２の梱包材（１６）とを備え、第１
の梱包材（４）によって形成される空間を所定のガスで
満たすとともに、第１の梱包材（４）と第２の梱包材
（１６）との間の空間を所定のガスで満たすことを特徴
とする。

【００１４】本発明によれば、光学部材を第１の梱包材
（４）及び第２の梱包材（１６）によって２重に梱包す
ることにより、いずれか一方の梱包材（４、１６）が破
損しても、光学部材の汚染を防止することができる。そ
して、第１の梱包材（４）によって形成される空間と、
第１の梱包材（４）と第２の梱包材（１６）との間の空
間とをそれぞれ所定のガスで満たすことにより、汚染を
確実に防止することができる。

【００１５】請求項１４に記載の光学装置は、請求項１
〜７のいずれかに記載された梱包方法または請求項８〜
１３のいずれかに記載された梱包構造によって梱包され
ていることを特徴とする。

【００１６】本発明によれば、光学装置は不純物を付着
されることなく汚染を防止された状態で梱包される。し
たがって、この光学装置が、例えば露光装置に組み込ま
れた際、精度良い露光処理が可能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】《第１実施形態》以下、本発明の
第１実施形態に係る梱包方法及び梱包構造を図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の梱包方法及び梱包構
造によって梱包される光学装置を備える露光装置の概略
構成図である。また、図２は本実施形態の梱包対象であ
る照明系ユニットの一部を説明するための断面図であ
り、図３は図２のＡ−Ａ線矢視断面図である。さらに、
図４は本発明の梱包構造を説明するための図であり、図
５は本発明の梱包方法を説明するための図である。

【００１８】ここで、本実施形態における梱包方法及び
梱包構造においては、図１に示すような露光装置ＥＸの
うち、照明系用筐体（ケーシング）Ｋ１に収納された照
明光学系ＩＵを構成する一部の照明光学部材群（光学ユ
ニット）ＩＬを梱包するものとする。

【００１９】図１に示すように、露光装置ＥＸは、光源
１０１からの光束をマスクＭに照明する複数の照明光学
部材群ＩＬを備えた照明光学系ＩＵと、この照明光学系
ＩＵ内に配され露光光ＥＬを通過させる開口の面積を調
整してこの露光光ＥＬによるマスクＭの照明範囲を規定
するブラインド部（マスクブラインド）Ｂと、鏡筒Ｋ２
内に収納され、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパタ
ーンの像を感光基板Ｐ上に投影する投影光学系ＰＬを備
えた投影系ユニットＰＵとを備えている。

【００２０】光源１０１は、例えば、発振波長１９３ｎ
ｍのＡｒＦレーザーエキシマレーザー、発振波長１５７
ｎｍのフッ素レーザー（Ｆ2 レーザー）、発振波長１４
６ｎｍのクリプトンダイマーレーザー（Ｋｒ2 レーザ
ー）、発振波長１２６ｎｍのアルゴンダイマーレーザー
（Ａｒ2 レーザー）などによって構成される。

【００２１】光源１０１から出射された露光光ＥＬは、
窓部１０２ａを通過して照明系ユニットＩＵのミラー１
０３ａ、ミラー１０３ｂを反射して照明光学系を構成す
る一部の各光学ユニットＩＬに入射する。これら光学ユ
ニットＩＬは、リレーレンズ、露光光ＥＬを均一化する
ためのオプティカルインテグレータ、露光光ＥＬをオプ
ティカルインテグレータに入射させるインプットレン
ズ、オプティカルインテグレータから射出した露光光Ｅ
ＬをマスクＭ上に集光するためのリレーレンズ、コンデ
ンサレンズ等の複数のレンズ（光学素子）を有してい
る。これらレンズはケーシングＫ１内に配置され、それ
ぞれのレンズの間には空間部が形成されている。

【００２２】ブラインド部Ｂは、例えば、平面Ｌ字状に
屈曲し露光光ＥＬの光軸ＡＸと直交する面内で組み合わ
せられることによって矩形状の開口を形成する一対のブ
レードと、これらブレードを光軸ＡＸと直交する面内で
変位させる駆動機構Ｄとを備えている。このとき、ブラ
インド部Ｂの開口の大きさはブレードの変位に伴って変
化し、入射される露光光ＥＬのうち、通過させた露光光
ＥＬのみをマスクＭ側に送る。ブラインド部Ｂの開口に
より規定された露光光ＥＬは、マスクＭの特定領域をほ
ぼ均一な照度で照明する。

【００２３】光学ユニットＩＬから射出された露光光Ｅ
Ｌは、ミラー１０３ｃで反射し、窓部１０２ｂを通過
し、２次元移動可能なマスクステージＭＳＴ上のマスク
Ｍに入射する。さらに、マスクＭを透過した露光光ＥＬ
は、窓部１０２ｃを介して投影系ユニット（光学装置）
ＰＵ内の投影光学系ＰＬに入射され、この投影光学系Ｐ
Ｌを構成する複数のレンズ（光学部材）を透過して感光
基板Ｐに入射し、マスクＭのパターンの像を感光基板Ｐ
表面に形成する。

【００２４】感光基板Ｐは、３次元方向（ＸＹＺ方向）
に移動可能な基板ステージＰＳＴ上に設置され、この基
板ステージＰＳＴのＸＹ平面内での位置は、レーザ干渉
計１０５で計測されている。一方、基板ステージＰＳＴ
のＺ方向の位置は、投光系１０６ａと受光系１０６ｂと
を備えた焦点検出系１０６で計測される。これらレーザ
干渉計１０５及び焦点検出系１０６の計測結果は制御装
置ＣＯＮＴに出力され、基板ステージＰＳＴは、制御装
置ＣＯＮＴの指示に基づいて駆動機構ＰＳＴＤを介して
移動される。なお、本実施形態における露光装置ＥＸ
は、マスクＭと感光基板Ｐとを静止した状態でマスクＭ
のパターンを露光し、感光基板Ｐを順次ステップ移動さ
せるステップ・アンド・リピート型の露光装置である。

【００２５】図２、図３、図４に示すように、本実施形
態において梱包される対象である照明光学系ＩＵを構成
する光学ユニットの一つは、前述した照明光学系ＩＵに
おける複数のレンズエレメントの一部を構成するレンズ
（光学部材）Ｌ１〜Ｌ３と、これらレンズＬ１〜Ｌ３の
間にこれらの周囲を囲んで配された各レンズの間隔を規
制する間隔環２Ａ、２Ｂ、２Ｃと、これらを収納して保
持するレンズ鏡筒Ｈとを備えている。各間隔環２Ａ〜２
Ｃは各レンズＬ１〜Ｌ３の周縁部を保持するように円環
状に設けられており、各レンズＬ１〜Ｌ３のそれぞれの
間には密閉された空間部ＳＰ１が形成されている。な
お、本実施形態では、梱包対象として、照明光学系ＩＵ
を構成する複数のレンズ群Ｌ１〜Ｌ３を例に挙げて説明
する。

【００２６】図２に示すように、レンズ鏡筒Ｈには、露
光装置本体ＥＸの外に置かれたガス供給装置から露光光
が透過するガスを空間部ＳＰ１に流入させる導入孔１５
ａと、空間部ＳＰ１内部のガスを外部に排出する排出孔
１５ｂとがレンズ鏡筒Ｈの半径方向に貫通されてそれぞ
れ形成されている。導入孔１５ａの外側開口部には流入
用継手１７が設けられ、排出孔１５ｂの外側開口部には
排出用継手１８が設けられている。

【００２７】間隔環２Ａ、２Ｂには、導入孔１５ａの内
側開口部である導入口１５ｃ及び排出孔１５ｂの内側開
口部である排出口１５ｄと対向する面に周方向に沿って
形成された流通溝３ａと、この流通溝３ａに周方向に互
いに等間隔に離間して配置された複数（本実施形態では
６つ）の貫通孔３ｂとがそれぞれ形成されている。ま
た、これらの貫通孔３ｂは導入口１５ｃからずれた位置
に配されている。

【００２８】レンズ鏡筒Ｈの内周面には、間隔環２Ａの
流通溝３ａから間隔環２Ｂの流通溝３ａまで軸線方向に
延在してして、これらを接続する連絡溝１５ｅが形成さ
れている。間隔環２Ａには、レンズＬ１とレンズＬ２と
の間の空間部ＳＰ１と連絡溝１５ｅとを連通するための
開口部１５ｆが形成されている。

【００２９】次に、輸送される際の光学ユニットＩＬの
梱包構造について図４を参照しながら説明する。図４に
示すように、輸送される際の光学ユニットＩＬには、少
なくともその一部にカバー部１が設けられる。具体的に
は、カバー部１は、レンズ鏡筒Ｈからレンズが露出して
いる部分に設置される。このカバー部１は鏡筒Ｋから露
出しているレンズを保護するためのものであって、例え
ばアルミニウムやステンレス鋼などの各種金属によって
構成されており、ボルトなどの固定部材１ａによってレ
ンズ鏡筒Ｈの両端部に固定される。その際、カバー部１
とレンズ鏡筒Ｈの端部との間には空間部ＳＰ２が形成さ
れる。

【００３０】このカバー部１を備えた光学ユニットＩＬ
にはシート材（第１の梱包材）４が覆われる。このシー
ト材４は、例えば四フッ化エチレン（いわゆるテフロ
ン：登録商標）、テトラフルオロエチレン−テルフルオ
ロ（アルキルビニールエーテル）、テトラフルオロエチ
レン−ヘキサフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素
ポリマー製、あるいは片面シリカコートペット樹脂（Ｐ
ＥＴ１２）−ポリエチレン（ＰＥＦ６０）からなる二層
構造、またはナイロン（ＯＮＹ重合）−片面シリカコー
トペット樹脂（ＰＥＴ１２）−ポリエチレン（ＰＥＦ６
０）からなる三層構造のいわゆるハイバリアシート、等
の材料によって形成されている。このシート材４は、シ
ート材４自体からのアウトガス（レンズ等の表面に付着
して、光の透過率を低下させる有機物質）の発生が少な
く、また、外部環境からのレンズ等の表面に付着して光
の透過率を低下させる有機物質等の不純物の浸入を防ぐ
機能を有している。なお、カバー部１によって、レンズ
鏡筒Ｈから露出しているレンズの表面がシート材４に触
れるのを防止している。

【００３１】このとき、光学ユニットＩＬ内の空間部Ｓ
Ｐ１、及び光学ユニットＩＬとカバー部１との間に形成
されている空間部ＳＰ２には、所定のガスが満たされて
いる。さらに、シート材４によって形成されている空
間、すなわち、シート４の内面とレンズ鏡筒Ｈの外面と
の間の空間内にも所定のガスが満たされている。

【００３２】この所定のガスは、不純物を低減された光
学的に不活性なガスである。具体的には、窒素、ヘリウ
ム、アルゴン、ネオン、クリプトン等のガス、またはそ
れらの混合ガスであって、真空紫外域の光に対する吸収
性の少ない特性を有するガス（以下、「不活性ガス」と
称する）である。つまり、この光学ユニットＩＬを露光
装置ＥＸに用いた際、真空紫外域の波長の光を露光光Ｅ
Ｌとする場合には、その光路空間から酸素、水蒸気、炭
化水素系のガス等の、かかる波長帯域の光に対し強い吸
収特性を有するガス（以下、「吸光物質」という）の濃
度を低減する必要がある。このため、光学ユニットＩＬ
を輸送するに際し、空間部ＳＰ１、ＳＰ２に存在する吸
光物質の濃度を不活性ガスを満たすことによって低減す
る。

【００３３】シート材４は光学ユニットＩＬに対して密
着するように、且つ、その一部にたるみ（しわ）を形成
しながら光学ユニットＩＬを梱包している。なお、以下
の説明において、光学ユニットＩＬを梱包しているシー
ト材４に形成されているたるみあるいはしわを、膨らみ
しろ４ａと称する。

【００３４】以上説明したような構成を備える光学ユニ
ットＩＬをシート材４によって梱包する方法について説
明する。まず、レンズ鏡筒Ｈ内にレンズＬ１〜Ｌ３を支
持させて光学ユニットＩＬを組み立てる。次いで、この
光学ユニットＩＬを露光装置メーカーから輸送するに際
し、レンズ鏡筒Ｈのレンズのうち外部に露出しているレ
ンズ表面をカバー部１で覆うために、レンズ鏡筒Ｈの端
部に対してボルト１ａで固定する。

【００３５】そして、図２、図３に示すように、光学ユ
ニットＩＬのうち、流入用継手１７に、所定のガスを供
給可能なガス供給装置２０を接続し、このガス供給装置
２０を駆動することにより、光学ユニットＩＬ内に形成
された空間部ＳＰ１に対して所定のガスを供給する。こ
の場合、ガス供給装置２０によって供給される所定のガ
スは、前述したような、不純物を低減された光学的に不
活性なガスである。

【００３６】空間部ＳＰ１に不活性ガスを供給する際に
は、図２、図３に示すように、流入用継手１７にガス供
給装置２０を接続し、流入用継手１７から導入孔１５ａ
を通して空間部ＳＰ１に不活性ガスを導入する。不活性
ガスは、導入孔１５ａの導入口１５ｃに対向した間隔環
２Ａの流通溝３ａに当たってこの流通溝３ａを流路とし
て円周方向に流れていく。

【００３７】流通溝３ａ内を流れる不活性ガスは、複数
の貫通孔３ｂからレンズＬ１とレンズＬ２との間の空間
部ＳＰ１に流れ込んでいく。レンズＬ１とレンズＬ２と
の間の空間部ＳＰ１を流通した不活性ガスは、間隔環２
Ａの開口部１５ｆ及び連絡溝１５ｅを介して間隔環２Ｂ
の流通溝３ａに導入され、間隔環２Ａの流通溝３ａを流
通した不活性ガスも連絡溝１５ｅを介して間隔環２Ｂの
流通溝３ａに導入され、間隔環２Ｂの流通溝３ａに沿っ
て円周方向に流れていく。さらに、不活性ガスは、間隔
環２Ｂに設けられた複数の貫通孔３ｂからレンズＬ２と
レンズＬ３との間の空間部ＳＰ１に流れ込んでいく。レ
ンズＬ２とレンズＬ３との間を流通した不活性ガスは、
再び貫通孔３ｂ又は間隔環２Ｂに設けられた不図示の排
出用開口部、流通溝３ａ及び排出孔１５ｂを介して排出
用継手１８から外部（回収装置等）に排出される。こう
して、空間部ＳＰ１は不活性ガスで満たされる。

【００３８】なお、この場合、排出用継手１８に真空ポ
ンプを備えたガス排気装置を接続し、空間部ＳＰ１内部
のガスを引きながらガス供給装置２０によって不活性ガ
スを供給する構成とすることも可能である。

【００３９】同様に、空間部ＳＰ２と外部とを連通する
カバー部１に形成されている導入孔（不図示）にガス供
給装置２０を接続し、空間部ＳＰ２に対して不活性ガス
を供給するとともに、カバー部１の他の位置に設けられ
た排出孔（不図示）から空間部ＳＰ２内部のガスを排気
することにより、空間部ＳＰ２を不活性ガスによって満
たす。

【００４０】なお、ガス供給装置２０によって供給され
る不活性ガスは、不純物（パーティクルや、有機物質、
吸光物質等）を所定濃度以上含まないように管理されて
いる。この所定濃度とは、露光光ＥＬを照明した際、感
光基板Ｐに形成されるパターンの像が所定精度を得られ
るのに十分な濃度であって、不純物が所定濃度以下であ
れば所望の精度を有するパターンが得られる。そして、
この不活性ガスは、予め不純物の濃度を低減された状態
でボンベ等に収容され、空間部ＳＰ１、ＳＰ２内に供給
される。あるいは、不純物の濃度を低減させるために、
ガス供給装置２０と流入用継手１７とを接続する管路
や、導入口１５ｃ、または貫通孔２ｂに、ＨＥＰＡフィ
ルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）ある
いはＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Fi
lter）等のパーティクルを除去するフィルタと、前述し
た吸光物質を除去するケミカルフィルタとを設け、この
フィルタを通過させることによって、空間部ＳＰ１、Ｓ
Ｐ２に供給される不活性ガス内の不純物が所定の濃度以
下になるように管理することも可能である。

【００４１】光学ユニットＩＬの空間部ＳＰ１及び空間
部ＳＰ２を不活性ガスで満たしたら、クリーンルーム内
において、袋状に形成されているシート材４の内部に光
学ユニットＩＬを収容する。このとき、レンズ鏡筒Ｈの
導入孔１５ａ及び排出孔１５ｂにステンレス製等の栓を
設けることによって、空間部ＳＰ１、ＳＰ２に外部のガ
スが流入するのを防止することができる。なお、図４で
は、流入用継手１７、排出用継手１８を取り外している
が、各継手１７，１８を取り付けたままシート材４の内
部に収容してもよい。また、レンズ鏡筒Ｈの外周面は、
超音波洗浄などを行って、加工油などが付着していない
状態にしてある。

【００４２】そして、図５に示すように、袋状に形成さ
れているシート材４に収容した光学ユニットＩＬを梱包
装置Ｓにセットする。梱包装置Ｓは、シート材４によっ
て形成された空間内に所定のガスを給気するガス給気装
置５と、このシート材４によって形成された空間内のガ
スを排気するガス排気装置６と、シート材４の開口部４
ｂを熱融着によってシール可能なヒートシール装置７と
を備えている。

【００４３】ガス給気装置５は、シート材４によって形
成された空間内に挿入される給気ノズル８と、所定のガ
スを収容するボンベ９と、給気ノズル８とボンベ９と接
続する管路１０とを備えており、ボンベ９に設けられた
駆動部（ポンプ）９ａを駆動することにより、ボンベ９
内の所定のガスは管路１０を介して給気ノズル８よりシ
ート材４の空間内に供給されるようになっている。

【００４４】ここで、ボンベ９内に収容されシート材４
によって形成された空間に給気される所定のガスは、不
純物が低減された光学的に不活性なガスであって、窒
素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプトン等のガ
ス、またはそれらの混合ガスである。このとき、ガス供
給装置２０によって光学ユニットＩＬの空間部ＳＰ１、
ＳＰ２に満たされたガスと、ガス給気装置５によってシ
ート材４の空間内に給気されるガスとは、同一の組成が
好ましい。

【００４５】管路１０の途中には、ボンベ９から供給さ
れるガスに含まれている不純物の濃度を所定値以下にす
るためのフィルタ部１１が設けられている。このフィル
タ部１１は、ボンベ９からシート材４内部へ供給される
所定のガス中の不純物（パーティクルや、有機物質、吸
光物質等）を所定濃度以上含まないように管理するため
のものである。この所定濃度とは、前述したように、露
光光ＥＬを照明した際、感光基板Ｐに形成されるパター
ンの像が所定精度を得られるのに十分な濃度であって、
不純物が所定濃度以下であれば所望の精度を有するパタ
ーンが得られる。フィルタ部１１は、ＨＥＰＡフィルタ
（High Efficiency Particulate Air Filter）あるいは
ＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Filte
r）等のパーティクルを除去するフィルタと、前述した
酸素等の吸光物質を除去するケミカルフィルタとを備え
ており、これらのフィルタを通過させることによって、
シート材４によって形成される空間に供給される不活性
ガス内の不純物が所定の濃度以下になるように管理され
ている。あるいは、予め不純物の濃度を低減した状態の
不活性ガスをボンベ９に収容し、シート材４内部に給気
することも可能である。

【００４６】ガス排気装置６は、シート材４によって形
成された空間内に挿入される排気ノズル１２と、この排
気ノズル１２に接続する管路１３と、管路１３の途中に
設けられたポンプ１４とを備えており、このポンプ１４
を駆動することにより、シート材４によって形成された
空間内のガスは排気ノズル１２及び管路１３を介して外
部に排気されるようになっている。

【００４７】なお、梱包装置Ｓのうち、シート材４内に
挿入される給気ノズル８及び排気ノズル１２や管路１
０、１３は、テフロン製やステンレス鋼製となっている
ことが好ましい。これらは、不純物ガス等のアウトガス
の発生が少ない材質である。

【００４８】ヒートシール装置７は、図５（ｂ）に示す
ように、ヒータ部７ａと、このヒータ部７ａと対向する
位置にあるゴムなどの弾性部材からなる押圧部７ｂとを
備えている。これらヒータ部７ａ及び押圧部７ｂの間に
シート材４を配置し、加熱しながら挟みつけることによ
り、シート材４の開口部４ｂは熱融着されるようになっ
ている。

【００４９】そして、このような梱包装置Ｓのヒートシ
ール装置７に対してシート材４の開口部４ｂを挟み込む
ように配置し、この開口部４ｂから給気ノズル８及び排
気ノズル１２をシート材４の空間内に挿入する。このと
き、ヒータ部７ａは加熱されていない。そして、ヒート
シール装置７の押圧部７ｂをヒータ部７ａに対して押圧
する。このとき、給気ノズル８及び排気ノズル１２の断
面形状は、図５（ｂ）に示すように長円形状（長方形
状）であるので、ヒートシール装置７のヒータ部７ａ及
び押圧部７ｂによってシート材４を介して給気ノズル８
及び排気ノズル１２を挟みつけたとき、弾性部材からな
る押圧部７ｂが弾性変形し、給気ノズル８及び排気ノズ
ル１２が存在する部分以外のヒータ部７ａと押圧部７ｂ
とが密着する。したがって、不活性ガスの給気及びシー
ト材４内部のガスの排気を行っている際、シート材４内
部への外部ガス（雰囲気ガス）の流入が防止されてい
る。

【００５０】そして、シート材４によって形成された空
間にガス給気装置５によって不活性ガスを給気するとと
もに、ガス排気装置６によって空間内のガスを排気する
ことにより、シート材４によって形成された空間内は不
活性ガスで満たされる。このとき、はじめにガス排気装
置６によって所定時間だけシート材４の空間内のガスを
排気した後、ガス給気装置５によって空間内に不活性ガ
スを所定時間だけ給気し、この動作を交互に繰り返すこ
とによって、シート材４の空間に対して不活性ガスを効
果的に満たすことができる。このとき、ガス排気装置６
でシート材４の空間内のガスを排気（真空引き）してい
るので、シート材４は投影系ユニットＰＵに対して密着
する。

【００５１】このとき、シート材４の大きさは、ガス排
気装置６の排気動作によって光学ユニットＩＬに対して
密着した際、その一部に膨らみしろ（たるみ、しわ）４
ａが形成されるように予め設定されている。つまり、シ
ート材４は、このシート材４によって形成可能な最大空
間より小さい空間で光学ユニットＩＬを梱包している。

【００５２】そして、シート材４の空間内を不活性ガス
で満たしたら、給気ノズル８及び排気ノズル１２をシー
ト材４から引き抜く。これと同時に、ヒートシール装置
７によってシート材４の開口部４ｂを塞ぎ、ヒータ部７
ａを加熱することによって熱融着する。

【００５３】こうして、光学ユニット（光学装置）ＩＬ
のシート材４による梱包が終了したら、さらにその周囲
をタップシート（断湿用ビニールシート）、エアパッキ
ン、保温材、段ボール材、木箱などによって梱包し、所
定の輸送手段によって目的地に輸送する。

【００５４】以上説明したように、光学ユニットＩＬに
カバー部１を設けるとともに、光学ユニットＩＬ内に形
成されている空間部ＳＰ１及びカバー部１と光学ユニッ
トＩＬとの間に形成された空間部ＳＰ２を不純物が低減
された不活性ガスで満たし、テフロン製のシート材４で
梱包することにより、光学ユニットＩＬの汚染を防ぎつ
つこの光学ユニットＩＬを安全に輸送することができ
る。

【００５５】このとき、シート材４によって形成された
空間も不活性ガスで満たすことにより、より確実に光学
ユニットＩＬの汚染を防ぐことができる。このとき、ガ
ス供給装置２０によって空間部ＳＰ１及び空間部ＳＰ２
に供給する不活性ガスと、梱包装置Ｓによってシート材
４の空間に供給する不活性ガスとの組成を同一にするこ
とにより、この光学ユニットＩＬを露光装置ＥＸに組み
込んだ際、ガスの組成が異なることに起因するゆらぎが
無くなるので、精度良い露光処理を行える。

【００５６】シート材４によって形成可能な最大空間よ
り小さい空間により光学ユニットＩＬを梱包し、膨らみ
しろ４ａを設けることによって、外部雰囲気の圧力が変
化しても、シート材４の破損を防止することができる。
すなわち、例えば、このシート材４に梱包された光学ユ
ニットＩＬを輸送する輸送手段が航空機である場合、気
圧低下によりシート材４の空間内のガスが膨張しても、
膨らみしろ４ａによってこの膨張分を吸収することがで
きるので、シート材４の破裂を防止することができる。
したがって、光学ユニットＩＬを安全に保管・輸送する
ことができる。

【００５７】なお、この膨らみしろ４ａは、外部の気圧
低下（例えば、航空機によって輸送した場合の気圧低
下）によりシート材４の空間内のガスが膨張した際、シ
ート材４が破裂しない程度に予め設定されたものであ
り、実験等によって求めることができる。

【００５８】なお、本実施形態においては、光学ユニッ
トＩＬ内の空間部ＳＰ１、ＳＰ２をガス供給装置２０に
よって不活性ガスで満たしてからこの光学ユニットＩＬ
をシート材４に収容し、シート材４によって形成された
空間を梱包装置Ｓにより不活性ガスで満たす構成である
が、ガス供給装置２０による空間部ＳＰ１、ＳＰ２のガ
ス置換を行わずに、光学ユニットＩＬをシート材４に収
容し、梱包装置Ｓによって、空間部ＳＰ１、ＳＰ２を含
むシート材４によって形成された空間全体のガス置換を
行う構成とすることも可能である。この場合、図６に示
すように、梱包装置Ｓのガス給気装置５の給気ノズル８
を光学ユニットＩＬの導入孔１５ａに接続あるいは導入
孔１５ａ近傍に配置し、ガス排気装置６の排気ノズル１
２を光学ユニットＩＬの排出孔１５ｂから離れた位置に
配置し、ガス給気装置５及びガス排気装置６を駆動する
ことによって、空間部ＳＰ１、ＳＰ２を含むシート材４
によって形成された空間全体のガス置換を安定して行う
ことができる。つまり、排気ノズル１２を排出孔１５ｂ
から離れた位置に配置することにより、光学ユニットＩ
Ｌのガス置換された空間部ＳＰ１のガスは直接には排気
されない構成なので、シート材４によって形成された空
間のガスを均一に引くことができる。

【００５９】また、本実施形態においては、シート材４
の空間に対するガス給気装置５による不活性ガスの給気
と、ガス排気装置６によるシート材４の空間内のガスの
排気とを所定時間毎に交互に行う構成であるが、ガス給
気装置５による不活性ガスの給気を所定時間行った後
に、ガス排気装置６によってシート材４内部のガスの排
気を行う構成とすることも可能である。逆に、ガス排気
装置６によってシート材４内部のガスの排気を行った後
に、ガス給気装置５による不活性ガスの給気を行う構成
とすることも可能である。また、ガス給気装置５による
不活性ガスの給気とガス排気装置６によるシート材４内
部のガスの排気とを同時に行う構成とすることも可能で
ある。さらには、ガス排気装置６を設けずに、ガス給気
装置５によるシート材４内部に対する不活性ガスの給気
のみを行う構成とすることも可能である。この場合、シ
ート材４の開口部４ｂの一部を呼吸口とし、シート材４
内部のガスが自然に外部に流出するようにするとよい。

【００６０】また、本実施形態においては、ガス排気装
置６によりシート材４の空間内のガスを排気（真空引
き）することによってシート材４と光学ユニットＩＬと
を密着させる構成としているが、シート材４によって形
成される空間内の不純物濃度が所定値以下であれば、シ
ート材４と光学ユニットＩＬとが密着していなくてもよ
い。なお、この場合においても、シート材４に膨らみし
ろ（たるみ、しわ）４ａを設けておくことにより、気圧
変化によってシート材４の空間内のガスが膨張した際に
も、シート材４の破裂を防止することができる。

【００６１】梱包装置Ｓによってガス置換を行う所定時
間は、シート材４内部のガスの不純物濃度（吸光物質濃
度）が所定値以下になるまでに予め設定された時間であ
って、実験やシミュレーションによって求めることがで
きる。一方、ガス置換を行う際に、シート材４によって
形成された空間の不純物濃度を、不純物濃度を検出可能
なセンサによって検出しつつ、ガス置換を行うことも可
能である。例えば、図７に示すように、不純物濃度（吸
光物質濃度）を検出可能なセンサ４０を梱包装置Ｓの給
気ノズル８及び排気ノズル１２に対して同期移動可能に
設けておき、シート材４内に給気ノズル８と排気ノズル
１２とを挿入する際、センサ４０を同時に挿入し、シー
ト材４によって形成された空間内の不純物濃度を検出す
る構成とすることができる。そして、センサ４０の検出
結果が所定値以下になったら、ガス置換動作を終了し、
このセンサ４０をノズル８、１２と同時にシート材４か
ら抜き出すような構成とすることができる。あるいは、
ガス排気装置６の排気ノズル１２または管路１３の途中
に前記センサを設け、排気されるガス中の不純物濃度を
検出する構成とすることも可能である。

【００６２】本実施形態においては、光学ユニットＩＬ
とカバー部１とはボルト１ａによって固定される構成で
あるが、光学ユニットＩＬとシート材４とを密着させる
ことにより、この密着するシート材４の力によってカバ
ー部１をレンズ鏡筒Ｈに対して固定させることもでき
る。

【００６３】《第２実施形態》次に、本発明の梱包方法
及び梱包構造の第２実施形態について図８を参照しなが
ら説明する。ここで、前述した第１実施形態と同一もし
くは同等の構成部分については、同一の符号を用いると
ともに、その説明を簡略もしくは省略するものとする。

【００６４】図８は、第１実施形態で説明した、光学ユ
ニットＩＬの少なくとも一部にカバー部１を設け、空間
部ＳＰ１及び空間部ＳＰ２を不活性ガスで満たし、この
光学ユニットＩＬをシート材（第１の梱包材）４で梱包
したものを、さらに第２シート材（第２の梱包材）１６
によって梱包したものである。

【００６５】第２シート材１６は、シート材４と同じ材
質によって形成されている。すなわち、この第２シート
材１６も、前述したようなテフロン製シートである。

【００６６】そして、シート材４と第２シート材１６と
の間に形成される空間には所定のガスが満たされてい
る。このとき、第２シート材１６は、この第２シート材
１６によって形成可能な最大空間より小さい空間で投影
系ユニットＰＵを収容したシート材４を梱包している。
すなわち、第２シート材１６も、内部のガスが膨張した
際に、この膨張分を吸収するための膨らみしろ（たる
み、しわ）１６ａが設けられている。

【００６７】そして、光学ユニットＩＬを収容したシー
ト材４を第２シート材１６によって梱包するに際し、袋
状の第２シート材１６に光学ユニットＩＬを収容したシ
ート材４を収容し、梱包装置Ｓにセットする。そして、
ガス供給装置５によって所定のガスを第２シート材１６
によって形成された空間（シート材４と第２シート材１
６との間の空間）に給気するとともに、この空間のガス
をガス排気装置６によって排気する。この場合、第１実
施形態と同様、排気動作と給気動作とは交互に行われ
る。ガス排気装置６による排気動作（真空引き動作）に
よって、第２シート１６材もシート材４に密着する。そ
して、所定時間だけガス置換動作を行ったら、梱包装置
Ｓの給気ノズル８及び排気ノズル１２を第２シート材１
６によって形成された空間から抜き出すとともに、ヒー
トシール装置７によって第２シート材１６の開口部を熱
融着する。

【００６８】ここで、シート材４と第２シート材１６と
の間の空間に供給する所定のガスは、シート材４に満た
された所定のガス（不活性ガス）と同じ組成のガスでも
よいし、異なる組成のガスでもよい。例えば、シート材
４によって形成された空間内のガスは、光学ユニットＩ
Ｌの空間部ＳＰ１、ＳＰ２に満たされたガス（不活性ガ
ス）と同じ組成を有するガスとし、シート材４と第２シ
ート材１６との間の空間を満たすガスは、乾燥空気とし
てもよい。この場合、乾燥空気は、有機物質や水分など
のレンズの曇りや汚れの原因となる物質が除去された空
気である。

【００６９】以上説明したように、第２シート材１６を
設けたことにより、シート材４または第２シート材１６
のいずれかが破損した際にも、光学ユニットＩＬの外部
への露出を防ぐことができる。したがって、この光学ユ
ニットＩＬを安全に保管・輸送することができる。

【００７０】シート材４をクリーンルーム内において第
２シート材１６で梱包し、シート材４と第２シート材１
６との間の空間を不純物の低減されたガスで満たした構
成となっているので、シート材４の表面をクリーンな状
態に保つことができる。そして、開梱時には、第２シー
ト材１６を開梱した後に、シート材４で覆われた投影系
ユニットＰＵを露光装置ＥＸが設置されているクリーン
ルーム内に搬入し、このクリーンルーム内でシート材４
を開梱することにより、汚染物質のクリーンルーム内へ
の持ち込みを防止することができる。したがって、クリ
ーンルーム内の環境を汚染することなく、輸送及び投影
系ユニット（光学装置）ＰＵの設置作業を、品質を確保
しつつ行うことができる。

【００７１】なお、第２シート材１６をシート材４より
大きいものを用い、図８に示すようにそれぞれのシート
材が密着した際、膨らみしろ４ａ及び１６ａが重ならな
いように設定することにより、これらシート材の開梱を
容易に行うことができる。すなわち、これらシート材の
開梱を行うに際し、第２シート材１６の膨らみしろ１６
ａのうち、シート材４の膨らみしろ４ａに対して重なっ
ていない部分１６ｂから切るようにして第２シート材１
６の開梱を行い、次いでシート材４の開梱を行うことに
より、２枚のシート材を同時に切るといった過剰な力を
必要としないので、開梱作業を効率良く行うことができ
る。

【００７２】なお、本実施形態における、シート材４と
第２シート材１６との間の空間に対するガス置換動作
も、ガスの給気と排気とを交互に行う構成とする他に、
所定時間だけ給気動作を行った後に排気動作を行う構成
とすることも可能である。あるいは、給気動作と排気動
作とを同時に行う構成とすることも可能である。さら
に、第１実施形態で示したように、例えば排気ノズル１
２や管路１３に不純物濃度を検出可能なセンサを設け、
このセンサの検出結果が所定値以下になった時点でガス
置換動作を終了させる構成とすることができる。

【００７３】《第３実施形態》次に、本発明の梱包方法
及び梱包構造の第３実施形態について図９を参照しなが
ら説明する。ここで、前述した第１、第２実施形態と同
一もしくは同等の構成部分については、同一の符号を用
いるとともに、その説明を簡略もしくは省略するものと
する。

【００７４】ここで、本実施形態における梱包方法及び
梱包構造においては、図１に示すような露光装置ＥＸの
うち、駆動機構Ｄによって駆動されるブラインド部（光
学部材）ＢＬを梱包するものとする。

【００７５】図９に示すように、ブラインド部ＢＬは、
シート材４によって梱包されており、さらにブラインド
部ＢＬを梱包しているシート材４は第２シート材１６に
よって梱包されている。これらシート材４及び第２シー
ト材１６は同じ材質によって形成されている。このと
き、ブラインド部ＢＬを駆動するための駆動機構Ｄは、
シート材４によって形成される空間とは異なる空間に配
置されている。この場合、駆動機構Ｄは、シート材４及
び第２シート材１６の外方に配置されている。

【００７６】そして、シート材４内部は不活性ガスによ
って満たされており、シート材４と第２シート材１６と
の間の空間は所定のガスで満たされている。この場合、
シート材４と第２シート材１６との間の空間の所定のガ
スは、シート材４内部に満たされたガス（不活性ガス）
と同じ組成を有するガスでもよいし、異なる組成を有す
るガス（例えば、乾燥空気）でもよい。

【００７７】このとき、駆動機構Ｄとブラインド部ＢＬ
とを連結する軸部３０を貫通させるために、シート材４
及び第２シート材１６には孔３１が形成されるが、この
孔３１には孔３１の形状に応じたゴムなどの弾性部材３
１ａが設けられている。この弾性部材３１ａの弾性力に
よって、弾性部材３１ａと軸部３０とが密着することに
より、孔３１からのガスの出入りが規制されている。

【００７８】本実施形態においても、ブラインド部ＢＬ
を梱包した際、シート材４及び第２シート材１６にはそ
れぞれ膨らみしろ４ａ及び１６ａが形成される。

【００７９】このように、駆動機構Ｄを、少なくとも、
ブラインド部（光学装置）ＢＬが配置されるシート材４
によって形成される空間とは異なる空間に配置したこと
により、駆動機構Ｄから出されるアウトガス（この場
合、例えばモータ等に用いられている潤滑油などから発
生するガス）はブラインド部ＢＬ側には流れ込まない。
したがって、ブラインド部ＢＬの汚染を防止しつつ安定
して梱包することができる。

【００８０】なお、本実施形態においては、ブラインド
部ＢＬをシート材４及び第２シート材１６を用いて２重
に梱包する構成であるが、シート材４のみを用いた１重
梱包としてもよい。

【００８１】本実施形態においては、駆動機構Ｄは、シ
ート材４及び第２シート材１６の外方に配置されている
構成であるが、図１０に示すように、駆動機構Ｄをシー
ト材４と第２シート材１６との間の空間に配置させる構
成としてもよい。

【００８２】また、駆動機構Ｄによって駆動される光学
部材を備える光学装置において、この駆動機構Ｄを光学
装置（ブラインド部ＢＬ）から分離し、この光学装置の
みをシート材４及び第２シート材１６によって梱包する
構成としてもよい。

【００８３】なお、駆動機構Ｄからアウトガスが発生し
ないように設けられていれば、駆動機構Ｄをブラインド
部ＢＬとともにシート材４の内部に収容し、このシート
材４を第２シート材１６によって梱包する構成とするこ
とも可能である。

【００８４】本実施形態においては、駆動機構Ｄを備え
たブラインド部ＢＬを梱包対象としているが、例えば、
光学系のうちレンズを移動させるズーム系用駆動機構を
備えた光学装置や、駆動機構を備えたＮＤフィルタ、あ
るいは図１に示したような駆動機構ＰＳＴＤによって駆
動される基板ステージＰＳＴなど、露光装置に用いられ
る駆動機構を備えた光学装置であればいずれでもよい。

【００８５】上記第２、第３実施形態においては、シー
ト材４の空間内のガス置換を行いながら光学装置（光学
ユニット、ブラインド部）を梱包した後、このシート材
４に第２シート材１６をかぶせ、シート材４と第２シー
ト材１６との間の空間のガス置換を行いながらこの第２
シート材１６によってシート材４を梱包する構成である
が、図１１に示すように、予め、２重に形成されたシー
ト材２５に光学装置を収容して、このシート材２５によ
って形成された空間内のガス置換を行いつつ梱包をする
といった構成とすることも可能である。なお、この場
合、２重のシート材の間の空間のガス置換は予め行われ
ておりこの空間はシールされているものとする。このよ
うな構成とすることにより、梱包装置Ｓによる熱融着動
作は１回ですむので、梱包装置Ｓにおける作業性は向上
する。

【００８６】また、上記第２、第３実施形態において
は、シート材を２重にして梱包する構成であるが、もち
ろん３重以上の任意の枚数のシート材を用いて梱包する
ことも可能である。

【００８７】上記第１〜第３実施形態においては、梱包
する対象は、光学ユニットＩＬやブラインド部ＢＬであ
るが、露光装置ＥＸに用いられる部品（部材、装置）で
あればいずれでもよい。例えば、投影系ユニットＰＵ
や、図１２に示すような、露光光の光路を折り返すため
の反射ミラー１０３を支持部材５１に支持させたものを
梱包する構成とすることも可能である。あるいは、各種
レンズ系でもよい。この場合、レンズ系に、このレンズ
系を保護するためのカバーガラスを設けた状態で梱包す
ることによって、安全に梱包・輸送することができる。

【００８８】《実施例》次に、本発明の梱包構造の性能
評価の実験結果について説明する。実験手順は、まず、
径３０ｍｍのレンズのテストピース（光学装置）を以下
に説明する条件１〜条件３で梱包し、所定時間放置す
る。そして、開梱した後このレンズに、光源として発振
波長１９３ｎｍのＡｒＦレーザーエキシマレーザーから
の光（露光光）を照射し、このレンズを透過した光を分
光光度計で計測する。そして、この放置後の計測値と、
予め計測しておいた放置前の計測値との差を求め、この
差、つまり透過率低下量によって、レンズが汚染された
度合いを評価する。

【００８９】実験条件は、以下の３つである。 ・条件１：光学装置をポリエチレン袋によって密封状態
に梱包した場合（従来の梱包構造）。 ・条件２：光学装置をテフロン製シート材によって梱包
し、このシート材によって形成された空間を不活性ガス
で満たした場合（本発明の梱包構造）。 ・条件３：アクリルデジケータで保管した場合（比較
例）。 ここで、アクリルデジケータとは、大気雰囲気で六方が
アクリル板で囲まれたデジケータで、湿度が制御される
ようになっている。

【００９０】図１３に実験結果を示す。図１３に示すグ
ラフにおいて、横軸は放置時間（単位：週間）、縦軸は
透過率低下量（単位：％）である。そして、●が条件
１、■が条件２、▲が条件３の結果を示している。この
図より、従来の梱包構造（条件１）では、放置時間が２
週間の場合には透過率低下量は０．９５％であり、８週
間の場合には透過率低下量は１．９％である。一方、本
発明の梱包構造（条件２）では、放置時間が５週間の場
合には透過率低下量は０．１％であり、８週間の場合に
は透過率低下量は０．２％である。なお、アクリルデジ
ケータ保管（条件３）では、放置時間が２週間の場合に
は透過率低下量は１．８％であり、５週間の場合には透
過率低下量は２．９％であり、８週間の場合には透過率
低下量は３．５％である。これより、本発明の梱包構造
によれば、レンズの表面に対する不純物の付着量は抑え
られており、レンズは汚染されずに梱包されていること
が分かる。

【００９１】なお、上述した実施形態の露光装置ＥＸと
して、マスクＭと基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパ
ターンを露光する走査型の露光装置にも適用することが
できる。

【００９２】露光装置の用途としては半導体製造用の露
光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプ
レートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光
装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置を構
成する光学部品にも広く適当できる。

【００９３】本実施形態の露光装置の光源は、ｇ線（４
３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレー
ザ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎ
ｍ）、Ｆ２レーザ（１５７ｎｍ）のみならず、Ｘ線や電
子線などの荷電粒子線を用いることができる。例えば、
電子線を用いる場合には電子銃として、熱電子放射型の
ランタンヘキサボライト（LaB6）、タンタル（Ta）を用
いることができる。さらに、電子線を用いる場合は、マ
スクを用いる構成としてもよいし、マスクを用いずに直
接基板上にパターンを形成する構成としてもよい。

【００９４】投影光学系ＰＬの倍率は縮小系のみならず
等倍および拡大系のいずれでもよい。

【００９５】投影光学系ＰＬとしては、エキシマレーザ
などの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石な
どの遠紫外線を透過する材料を用い、Ｆ２レーザやＸ線
を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし
（レチクルも反射型タイプのものを用いる）、また、電
子線を用いる場合には光学系として電子レンズおよび偏
向器からなる電子光学系を用いればいい。なお、電子線
が通過する光路は真空状態にすることはいうまでもな
い。

【００９６】基板ステージＰＳＴやマスクステージＭＳ
Ｔにリニアモータを用いる場合は、エアベアリングを用
いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス
力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもいい。また、
ステージは、ガイドに沿って移動するタイプでもいい
し、ガイドを設けないガイドレスタイプでもよい。

【００９７】ステージの駆動機構として平面モ−タを用
いる場合、磁石ユニット（永久磁石）と電機子ユニット
のいずれか一方をステージに接続し、磁石ユニットと電
機子ユニットの他方をステージの移動面側（ベース）に
設ければよい。

【００９８】基板ステージの移動により発生する反力
は、特開平８−１６６４７５号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装
置においても適用可能である。

【００９９】マスクステージの移動により発生する反力
は、特開平８−３３０２２４号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装
置においても適用可能である。

【０１００】以上のように、本願実施形態の露光装置
は、本願特許請求の範囲に挙げられた梱包方法又は梱包
構造によって梱包された光学ユニットを、所定の機械的
精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立て
ることで製造される。これら各種精度を確保するため
に、この組み立ての前後には、各種光学系については光
学的精度を達成するための調整、各種機械系については
機械的精度を達成するための調整、各種電気系について
は電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サ
ブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブ
システム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気
圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステム
から露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム
個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種
サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了した
ら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度
が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリ
ーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ま
しい。

【０１０１】半導体デバイスは、図１４に示すように、
デバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この
設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作する
ステップ２０２、シリコン材料からウエハを製造するス
テップ２０３、前述した実施形態の露光装置によりレチ
クルのパターンをウエハに露光するウエハ処理ステップ
２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、
ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検
査ステップ２０６等を経て製造される。

【０１０２】

【発明の効果】本発明の梱包方法及び梱包構造、光学装
置は以下のような効果を有するものである。請求項１に
記載の梱包方法及び請求項８に記載の梱包構造によれ
ば、光学装置の少なくとも一部にカバー部を設けたの
で、梱包時に光学部材の表面が第１の梱包材に触れるこ
とを防止できる。そして、光学装置内の空間部と、光学
装置とカバー部との間の空間部とを所定のガス（不活性
ガス）で満たした後に、第１の梱包材で梱包することに
より、光学装置に対する不純物の付着を防止することが
できる。したがって、光学装置の汚染させずに安全に輸
送することができる。

【０１０３】請求項２に記載の梱包方法によれば、第１
の梱包材によって形成される空間に所定のガスを給気す
るので、光学装置への不純物の付着を更に確実に防止す
ることができる。

【０１０４】請求項３及び請求項７に記載の梱包方法に
よれば、梱包材は、この梱包材によって形成可能な最大
空間より小さい空間で光学装置を梱包するので、外部の
気圧が低下して梱包材の空間内のガスが膨張してもこの
膨張分を吸収することができる。したがって、この膨張
に際しての梱包材の破裂を防止することができる。

【０１０５】請求項４に記載の梱包方法及び請求項１０
に記載の梱包構造によれば、第１の梱包材または第２の
梱包材のいずれかが破損した際にも、光学装置の外部へ
の露出を防止することができるので、光学装置に対する
不純物の付着を防止することができる。したがって、光
学装置の汚染を防ぐことができる。

【０１０６】請求項５に記載の梱包方法によれば、駆動
機構を備えた光学装置を第１の梱包材及び第２の梱包材
によって２重に梱包することにより、いずれか一方の梱
包材が破損しても、汚染を防止したまま安全に輸送する
ことができる。そして、第１の梱包材によって形成され
る空間と、第１の梱包材と第２の梱包材との間の空間と
をそれぞれ所定のガスで満たすことにより、汚染を確実
に防止することができる。

【０１０７】請求項６に記載の梱包方法によれば、駆動
機構は、少なくとも第１の梱包材によって形成される空
間とは異なる空間に配置されるので、駆動機構からの不
純物を含むアウトガスは光学装置に付着しない。したが
って、光学装置の汚染を防止することができる。

【０１０８】請求項９及び請求項１３に記載の梱包構造
によれば、第１の梱包材と第２の梱包材とを同じ材質に
よって形成したので、光学装置は所定の機能を有する２
重の梱包材によって梱包される。したがって、光学装置
の汚染は確実に防止される。

【０１０９】請求項１１に記載の梱包構造によれば、光
学部材を第１の梱包材及び第２の梱包材によって２重に
梱包することにより、いずれか一方の梱包材が破損して
も、汚染を防止することができる。そして、第１の梱包
材によって形成される空間と、第１の梱包材と第２の梱
包材との間の空間とをそれぞれ所定のガスで満たすこと
により、汚染を確実に防止することができる。

【０１１０】請求項１２に記載の梱包構造によれば、梱
包材を、不純物を含むアウトガスの発生が少ないテフロ
ン製によって構成することにより、光学装置の汚染を防
止しつつ安全に梱包することができる。

【０１１１】請求項１４に記載の光学装置によれば、光
学装置は不純物を付着されることなく汚染を防止された
まま梱包される。したがって、この光学装置が、例えば
露光装置に組み込まれた際、精度良い露光処理が可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の梱包方法及び梱包構造によって梱包さ
れる対象である光学装置を備える露光装置の概略構成図
である。

【図２】本発明の梱包構造の第１実施形態によって梱包
される対象である投影系ユニットの一部を説明するため
の断面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ線矢視断面図である。

【図４】本発明の梱包構造の第１実施形態を説明するた
めの図である。

【図５】本発明の梱包方法を説明するための図である。

【図６】梱包材によって形成される空間内のガスを置換
する際のノズルの配置を説明するための図である。

【図７】梱包材によって形成される空間内の不純物濃度
を検出する様子を説明するための図である。

【図８】本発明の梱包構造の第２実施形態を説明するた
めの図である。

【図９】本発明の梱包構造の第３実施形態を説明するた
めの図である。

【図１０】本発明の梱包構造の第３実施形態を説明する
ための図である。

【図１１】本発明の梱包構造の他の実施形態を説明する
ための図である。

【図１２】本発明の梱包構造の他の実施形態を説明する
ための図である。

【図１３】本発明の梱包構造と従来の梱包構造との性能
比較実験の実験結果を示す図である。

【図１４】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフロ
ーチャート図である。

【符号の説明】

１ カバー部 ４ シート材（第１の梱包材） ４ａ 膨らみしろ １６ 第２シート材（第２の梱包材） １６ａ 膨らみしろ ＢＬ ブラインド部（光学装置） Ｄ 駆動機構 ＥＸ 露光装置 ＩＬ 光学ユニット（光学装置） Ｌ１〜Ｌ３ レンズ（光学部材） ＰＬ 投影光学系 ＰＵ 投影系ユニット（光学装置） ＳＰ１ 空間部 ＳＰ２ 空間部

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空間部を有する光学装置の梱包方法にお
   いて、 前記光学装置の少なくとも一部に該光学装置を保護する
   ためのカバー部を設置し、前記空間部及び前記カバー部
   と前記光学装置との間の空間部を所定のガスで満たした
   後、該光学装置を第１の梱包材によって梱包することを
   特徴とする梱包方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の梱包方法において、 前記第１の梱包材によって形成される空間に所定のガス
   を給気することを特徴とする梱包方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の梱包方法におい
   て、 前記第１の梱包材は、該第１の梱包材によって形成可能
   な最大空間より小さい空間で前記光学装置を梱包するこ
   とを特徴とする梱包方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか一項に記載の梱
   包方法において、 前記第１の梱包材を第２の梱包材で梱包し、前記第１の
   梱包材と前記第２の梱包材との間に、所定のガスを充填
   することを特徴とする梱包方法。
5. 【請求項５】 駆動機構によって駆動される光学部材を
   備える光学装置の梱包方法において、 前記光学装置を第１の梱包材で梱包し、前記第１の梱包
   材を第２の梱包材で梱包し、前記第１の梱包材によって
   形成される空間を所定のガスで満たすとともに、前記第
   １の梱包材と前記第２の梱包材との間の空間を所定のガ
   スで満たすことを特徴とする梱包方法。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の梱包方法において、 前記駆動機構は、少なくとも前記第１の梱包材によって
   形成される空間とは異なる空間に配置されることを特徴
   とする梱包方法。
7. 【請求項７】 請求項４〜６のいずれか一項に記載の梱
   包方法において、 前記第１の梱包材は、該第１の梱包材によって形成可能
   な最大空間より小さい空間で前記光学装置を梱包し、 前記第２の梱包材は、該第２の梱包材によって形成可能
   な最大空間より小さい空間で前記第１の梱包材を梱包す
   ることを特徴とする梱包方法。
8. 【請求項８】 空間部を有する光学装置の梱包構造にお
   いて、 前記光学装置の少なくとも一部にカバー部を設け、 前記空間部及び前記カバー部と前記光学装置との間の空
   間部を所定のガスで満たし、 前記カバー部が設置された前記光学装置を覆う第１の梱
   包材を備えることを特徴とする梱包構造。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の梱包構造において、 前記第１の梱包材と同じ材質によって形成され、該第１
   の梱包材を覆うように設けられた第２の梱包材を備える
   ことを特徴とする梱包構造。
10. 【請求項１０】 請求項８又は９に記載の梱包構造にお
    いて、 前記第１の梱包材によって形成される空間内、または前
    記第１の梱包材及び前記第２の梱包材によって形成され
    る空間内が、所定のガスで満たされていることを特徴と
    する梱包構造。
11. 【請求項１１】 複数の光学部材で構成される光学装置
    の梱包構造において、 前記複数の光学部材のうち、少なくとも一つの光学部材
    を梱包する第１の梱包材と、 前記第１の梱包材を梱包する第２の梱包材とを備え、 前記第１の梱包材によって形成される空間を所定のガス
    で満たすとともに、前記第１の梱包材と前記第２の梱包
    材との間の空間を所定のガスで満たすことを特徴とする
    梱包構造。
12. 【請求項１２】 請求項８〜１１のいずれか一項に記載
    の梱包構造において、 前記第１の梱包材を、四フッ化エチレンまたはテトラフ
    ルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビニールエー
    テル）またはテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
    プロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー製、あるいは
    片面シリカコートペット樹脂−ポリエチレンからなる二
    層構造またはナイロン−片面シリカコートペット樹脂−
    ポリエチレンからなる三層構造のシート材で形成するこ
    とを特徴とする梱包構造。
13. 【請求項１３】 請求項１１又は１２に記載の梱包構造
    において、 前記第２の梱包材を、前記第１の梱包材と同じ材質によ
    って形成することを特徴とする梱包構造。
14. 【請求項１４】 請求項１〜７のいずれかに記載された
    梱包方法または請求項８〜１３のいずれかに記載された
    梱包構造によって梱包されていることを特徴とする光学
    装置。