JP4494984B2 - 透明体検査装置および透明体検査方法 - Google Patents
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- 光源から出射された光のうち透明体を透過した光に基づいて前記透明体を検査する装置であって、
前側焦点位置に前記光源が位置するように配置されて前記光源から出射された光のうち前記透明体を透過した光を受光するコリメータレンズ系と、
前記コリメータレンズ系の後側焦点面上に前記コリメータレンズ系により生じた像を再結像するリレーレンズ系と、
前記リレーレンズ系により再結像された像を撮像する撮像部と、
前記透明体,前記コリメータレンズ系および前記リレーレンズ系の何れかを光軸に垂直な面上において移動または回動させて、前記コリメータレンズ系および前記リレーレンズ系と前記透明体との間の相対的配置関係を変化させる移動手段と、
を備えることを特徴とする透明体検査装置。 - 前記移動手段による移動または回動により設定された第1および第2の相対的配置関係それぞれにおいて前記撮像部による撮像により得られた画像を互いに比較して解析し、その解析結果に基づいて前記透明体を検査する比較解析部を更に備えることを特徴とする請求項1記載の透明体検査装置。
- 前記撮像部による撮像により得られた画像を画像処理して他の画像を作成する画像処理部を更に備えることを特徴とする請求項1記載の透明体検査装置。
- 前記画像処理部による画像処理が、前記撮像部による撮像により得られた画像に対して二次微分処理または一次元プロファイルデータ変換処理である、ことを特徴とする請求項3記載の透明体検査装置。
- 前記移動手段による移動または回動により設定された第1および第2の相対的配置関係それぞれにおいて前記撮像部による撮像により得られた画像に基づいて前記画像処理部による画像処理により作成された画像を互いに比較して解析し、その解析結果に基づいて前記透明体を検査する比較解析部を更に備えることを特徴とする請求項3記載の透明体検査装置。
- 光源から出射された光のうち透明体を透過した光に基づいて前記透明体を検査する方法であって、
前側焦点位置に前記光源が位置するように配置されて前記光源から出射された光のうち前記透明体を透過した光を受光するコリメータレンズ系と、前記コリメータレンズ系の後側焦点面上に前記コリメータレンズ系により生じた像を再結像するリレーレンズ系と、前記リレーレンズ系により再結像された像を撮像する撮像部とを用い、
前記透明体,前記コリメータレンズ系および前記リレーレンズ系の何れかを光軸に垂直な面上において移動または回動させて、前記コリメータレンズ系および前記リレーレンズ系と前記透明体との間の相対的配置関係を変化させ、
この移動または回動により設定された第1および第2の相対的配置関係それぞれにおいて前記撮像部による撮像により得られた画像を互いに比較して解析し、その解析結果に基づいて前記透明体を検査する、
ことを特徴とする透明体検査方法。 - 光源から出射された光のうち透明体を透過した光に基づいて前記透明体を検査する方法であって、
前側焦点位置に前記光源が位置するように配置されて前記光源から出射された光のうち前記透明体を透過した光を受光するコリメータレンズ系と、前記コリメータレンズ系の後側焦点面上に前記コリメータレンズ系により生じた像を再結像するリレーレンズ系と、前記リレーレンズ系により再結像された像を撮像する撮像部と、前記撮像部による撮像により得られた画像を画像処理して他の画像を作成する画像処理部とを用い、
前記透明体,前記コリメータレンズ系および前記リレーレンズ系の何れかを光軸に垂直な面上において移動または回動させて、前記コリメータレンズ系および前記リレーレンズ系と前記透明体との間の相対的配置関係を変化させ、
この移動または回動により設定された第1および第2の相対的配置関係それぞれにおいて前記撮像部による撮像により得られた画像に基づいて前記画像処理部による画像処理により作成された画像を互いに比較して解析し、その解析結果に基づいて前記透明体を検査する、
ことを特徴とする透明体検査方法。 - 前記画像処理部による画像処理が、前記撮像部による撮像により得られた画像に対して二次微分処理または一次元プロファイルデータ変換処理である、ことを特徴とする請求項7記載の透明体検査方法。
- 前記光源が、パッケージの内部に収納された半導体発光素子であり、
前記透明体が、前記半導体発光素子から出射された光を前記パッケージの外部へ出力する透明窓である、
ことを特徴とする請求項6または7に記載の透明体検査方法。
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JPH03296649A (ja) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 透明体の欠陥検出装置 |
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