JP4488269B2 - 顕微鏡用ステージおよびこれを用いた顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡に関し、特に顕微鏡用ステージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、顕微鏡観察において、観察対象である標本がステージに搭載されるようになっており、ピント合せをした後、対物レンズと標本間の距離、すなわち、対物レンズとステージ間の距離を保つ必要がある。顕微鏡の構成上、顕微鏡の本体や対物レンズの取付け部であるレボルバが、顕微鏡の内蔵電源から発した熱を受け易いようになっている。
その結果、顕微鏡本体やレボルバに微弱な熱変形が生じてしまうので、検鏡を始めた時に標本に対して合わせたピントが、検鏡を行うにつれて、顕微鏡本体やレボルバは熱の影響を受けて、対物レンズと標本間の距離が変わり、ピントズレが生じてしまう。また、環境温度の変化によっても、顕微鏡本体やレボルバは熱変形してしまい、ピントズレが生じてしまうこともしばしばある
さらに、顕微鏡本体やレボルバが内蔵電源からの熱を受け続けた後、その熱容量がある一定値を保つようになるが、標本照明用の光源を使用すると、ステージはその光源からの熱を受けて、熱変形してしまうことがある。その結果、標本に対してピントを合わせた後に、対物レンズとステージ間の距離、すなわち、対物レンズと標本間の相対距離が変わり、ピントズレが生じてしまう。
【0003】
ステージの熱変形を抑制する技術として、ステージに設けられた中座の熱変形を抑制するための技術が、実開平7−39012号公報に記載されている。この技術は、図12に示すように、照明用光源16と対物レンズ17の間にステージの中座18が配置されており、この中座18の照明用光源側の面18aは、中座18の材料の素地が露出しており、対物レンズ17側の面18bは、アルマイト層18cで被覆されている。
【0004】
上記の処理を施していない中座においては、通常、中座の下面の熱伝導率は、上面より小さいので、中座が熱を受けると、上面と比べて下面の方が空気との熱交換が少ないために、温度が上昇して、上面と下面の温度差により中座が熱変形してしまう。上記のように、アルマイト処理をした場合は、アルマイト層の熱伝導率が、中座の材料の熱伝導率より大きいので、中座の下面の方が空気との熱交換が多くなる。その結果、中座が熱を受けても、上面と下面の温度差が低減されて、中座の熱変形を抑制できるようになる。
【0005】
また、顕微鏡観察において、ステージを顕微鏡光軸方向に上下動させ、標本の厚さ方向の断面にピント合わせをするためのアプリケーションがある。薄い生物標本に対応する場合、ステージを高精度で移動させる必要がある。
【0006】
特開昭62−184387号公報の従来技術には、光学計測器や測定器の試料台として、圧電素子を使用した微少変位機構が記載されている。この微少変位機構は、図13に示すように、固定部材19に3本の圧電素子20が配設され、ステージ21をZ方向に変位させるものであり、図14のものは、環状の圧電素子22をステージ23と固定部材24の間に挟み込んで、Z軸方向の微少変位を得るように構成されている。
【0007】
さらに、特開平6−194579号公報には、図15に示すように、ステージは、ステージプレート25と、ステージプレート25の中心を直接駆動する圧電式並進運動装置26と、ステージプレート25をガイドするために,ステージプレート25に取付けられた弾性部材27a、27bからなる直線ガイド機構と、上記圧電式並進運動装置26と上記弾性部材27a、27bの他端を支持する円筒部材28とから構成されている。上記弾性部材27a,27bは、上記圧電式並進運動装置26に対して共軸に配置されており、上記圧電式並進運動装置26が上記弾性部材27a、27bの中央に穿設された孔を貫通して配置されている。
【0008】
上記の構成によれば、剛性の高いステージを動かす機構を構成することができ、ステージを高い分解能で上下移動させることができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
実開平7−39012号公報に記載の従来技術によれば、中座の熱変形を抑制することにより、対物レンズと標本間の距離、すなわち、ピントズレをある程度低減することができる。しかし、熱によるピントズレは、中座の熱変形だけによるものではない。従って、下記の点で、熱による顕微鏡のピントズレを完全に低減または補正することができない。
【0010】
先ず、中座の変形量を検出する手段が開示されていないので、アルマイト量を中座の下面に被覆することによって、中座の熱変形をどのくらい抑制したかが分からない。また、ピントズレを抑制するためには、熱によって生じた中座と対物レンズ間の距離の変化を補正する必要があるが、補正するための技術が開示されていない。
【0011】
また、特開昭62−184387号公報に記載の従来技術の微少変位機構については、図13のものでは、3本の駆動素子を用いるため、個々の素子の変化量が一致せず、ステージを厳密に水平を保ってZ方向に変位させることが、困難である。図14のものでは、圧電素子の変位量をステージと固定部材との接触面全体にわたって均一に保つことは、圧電素子の特性状困難であることから、ステージを高精度に水平を保ちZ方向に移動させることは困難である。
さらに、特開平6−194579号公報に記載の従来技術によれば、ステージプレート全体を動かすようにしているので、ステージプレートの重さから、駆動力の高い圧電素子が必要であり、高価になる。また、ステージを高精度に動かすのに、ガイド機構およびそのガイド機構を取付けるためのスペース部材が必要となり、構成が複雑になる。さらに、ステージプレートを動かすための圧電素子は、ステージプレートの中心に設けられているので、顕微鏡の光軸に対して、ステージを傾けるための角度調整を行うことができない。
【0012】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、熱などによる顕微鏡のピントズレを補正することができ、かつ高精度で顕微鏡の光軸に対する角度調整および顕微鏡の光軸方向に移動できる顕微鏡用ステージおよびそれを用いた顕微鏡を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、標本を照射するための照明用光源と、上記標本を観察するための対物レンズとを有する顕微鏡に用いられる顕微鏡用ステージにおいて、上記標本を搭載するためのステージ本体は、上記ステージ本体に設けられ標本を搭載する弾性変形可能な標本搭載部と、上記標本搭載部の変形量を検知するための検知手段と、上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を上記標本搭載部に誘発させる変形誘発部材とを設けたことを特徴とする顕微鏡用ステージである。
【0014】
請求項2の発明は、上記顕微鏡用ステージは、上記変形誘発部材に対する上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を制御するための制御手段を備えていることを特徴とする顕微鏡用ステージである。
【0015】
請求項3の発明は、上記検知手段は、上記標本搭載部と上記対物レンズ間の相対的な距離を検知することを特徴とする顕微鏡用ステージである。
【0016】
請求項4の発明は、標本を照明するための照明用光源と、上記標本を観察するための対物レンズと、上記標本を搭載するためのステージ本体とを有する顕微鏡において、上記ステージ本体に設けられ標本を搭載する弾性変形可能な標本搭載部と、上記標本搭載部の変形量を検知するための検知手段と、上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を上記標本搭載部に誘発させる変形誘発部材と、上記変形誘発部材に対する上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を制御するための制御手段を備えていることを特徴とする顕微鏡である。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態を、図1〜図4を参照して説明する。
【0018】
図1および図2において、標本1の上方に透過照明光源2が設けられ、標本1の下方に標本1を観察するための対物レンズ3が、透過照明光源2に対向して光軸OP上に配置されている。標本1を搭載するステージ本体4の中央部に開口を有する標本搭載部5が設けられている。この標本搭載部5は、ステージ本体4の中央部に段差を形成して構成したものであり、後述の弾性変形が大きく得られるように、2ヶ所に対向する切欠き5a,5bが設けられている。
【0019】
上記標本搭載部5の対物レンズ3に対向する面とステージ本体4の中央部に跨って、標本搭載部5の開口より大径の開口を有する環状の圧電素子6が、接着剤で固定されている。また、上記標本搭載部5の下面に、標本搭載部5の弾性変形量を検出するために、等間隔に3ヶ所に歪みゲージ7が設けられており、後述する不図示の制御系に電気的に接続されている。
【0020】
図3は、標本搭載部5の変形を誘発させる変形誘発部材である上記圧電素子6の通電状態を示すものであり、上記圧電素子6は一端が固定された板バネのように、ステージ本体4に固定された縁部6aが動かないで、標本搭載部5に固定された中央部6bが上下移動することを示している。この上下移動に連動して、ステージ本体4の標本搭載部5が弾性変形することになる。
【0021】
図4は、制御系のブロック図を示すものである。
【0022】
設定器8は、最大許容変位値(基準位置)を設定するものであり、この最大許容変位値は電気信号として出力される。この電気信号は比較器9を介して、指令値として制御器10に入力される。上記制御器10の出力は、増幅器11で増幅された後、圧電素子6に印加され、圧電素子6を通電させる。上述のように、上記圧電素子6の通電により、圧電素子6の中央部6bが板バネのように上下移動し、この上下移動に連動してステージ本体4の標本搭載部5が弾性変形する。この弾性変形量が歪みゲージ7により検出され、電気信号として比較器9に入力される。そして、比較器9において、弾性変形量と最大許容変位量を比較し、この比較によって求められた両者の差が制御器10に与えられる。次いで、制御器10は、上記の差がゼロになるように、増幅器11を介して圧電素子6の上下移動を制御して、ステージ本体4の標本搭載部5を弾性変形させる。
【0023】
上記構成によれば、標本搭載部5が、透過照明光源2から発した熱を受けるか、または環境温度の変化によって熱変形が生じた場合、歪みゲージ7によりその熱変形量を検出し、上述した制御系によって、圧電素子6の中央部6bの移動量を制御しながら、圧電素子の中央部6bをステージ4の熱変形と反対方向に移動させることができる。そして、圧電素子6の中央部6bと連動して、ステージ本体4の標本搭載部5が熱変形と反対方向に弾性変形させ、最大許容変位置に近づくように、ステージ4の標本搭載部5の熱変形を補正することができる。
【0024】
上記の実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
【0025】
ステージの熱変形量が歪みゲージによって検出されて、歪みゲージの変形量に応じて、圧電素子が標本搭載部を熱変形と反対方向に弾性変形させることにより、ステージの熱変形を完全に補正することができる。
【0026】
つぎに、本実施の形態の変形例について説明する。
【0027】
図5に示すように、四角形状の圧電素子6cを、3個等間隔にステージ本体4の標本搭載部5の下面とステージ本体4に跨って固定することもできる。また、図6に示すように、3個の円柱状の圧電素子6dを標本搭載部5の下面に、同一円周上に等間隔に固定することもできる。なお、4aは,ステージ本体4に設けられた開口で、上記圧電素子6dを固定するために接着剤を挿入するためのものである。さらに、標本搭載部の変形を誘発する変形誘発部材は、実施の形態に記載の圧電素子に限られるものではなく、例えば、温度調節器を標本搭載部に設け、温度を調節して、ステージの標本搭載部の中央部を、温度を調整することによって弾性変形させるようにしても良い。
【0028】
本発明の第2の実施の形態を、以下に図7および図8を参照して説明する。
【0029】
第2の実施の形態は、第1の実施の形態における標本搭載部を、ステージ本体と別体の中座で構成し、この中座に圧電素子を配設したものであり、第1の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明は省略する。
【0030】
図7および図8において、ステージ本体4の中央部に標本1を搭載するための中座12が載置されている。この中座12は環状の円板状であり、中座12の中央部12aはステージ本体4に載置されている縁部12bより厚さが薄く構成されている。また、上記中座12の中央部12aに2つの切欠き12c、12dが対向して設けられている。さらに、環状の円板状の圧電素子13が、中座12の下面の中央部12aから縁部12bに跨って、接着剤により中座12に一体に固定されている。
【0031】
上記圧電素子13に通電した場合、第1の実施の形態の図3と同様に、中座12に固定された圧電素子13は、一端が固定された板バネのように、縁部12bが動かないで、中央部12aが上下移動する。上記圧電素子13の上下移動に連動して、中座12の中央部12aが弾性変形することになる。そして、中座12の中央部12aに配置された歪みゲージ7で、中座12の弾性変形量を検出することができる。
【0032】
上記の構成によれば、中座12が透過照明光源2から発せられた熱、または環境温度の変化によって、熱変形が生じた場合、歪みゲージ7が中座12の熱変形量を検出し、図4で説明した制御系により、圧電素子13の中央部の移動量を制御しながら、中座12の熱変形と反対方向に中央部12aを移動させ、中座12の中央部12aが熱変形と反対方向に弾性変形させることで、中座12の熱変形を補正することができる。
【0033】
上記の実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
ステージ本体に載置された中座の熱変形量を歪みゲージで検出し、この検出した熱変形量に応じて、圧電素子が中座を熱変形と反対方向に弾性変形させることによって、中座の熱変形を完全に補正することができる。
【0034】
本発明の第3の実施の形態を、以下に図9を参照して説明する。
【0035】
第3の実施の形態は、ステージの標本搭載部と対物レンズ間の距離を検出するためのセンサを配置した顕微鏡用ステージであり、第1の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明は省略する。
【0036】
図9において、ステージ本体4の標本搭載部5の下面に、垂直に非接触型の静電容量センサ14が取付けられており、この静電容量センサ14の下端面に対向して、対物レンズ3に突起部15が固定されている。
【0037】
上記構成によれば、顕微鏡観察を行う場合、標本1に対してピント合わせをした後、標本搭載部5と突起部15、すなわち対物レンズ3との距離を非接触型の静電容量センサ14によって検出することができる。そして、検出された距離の値が、図4で説明した制御系に最大許容変位値として入力される。そして、環境温度または他の要因で顕微鏡本体や対物レンズ3を取付けるレボルバ(図示しない)が変形して、対物レンズ3と標本搭載部5との距離が変動することによって、ピントズレが生じた場合、非接触型の静電容量センサ14が対物レンズ3と標本搭載部5間の距離の変動量を検出する。
【0038】
この変動量は、図4に示す制御系の比較器9に入力され、最大許容値と同じ値になるように、圧電素子6を通電状態にして、圧電素子6の中央部6bを上下移動させて、ステージ本体4の標本搭載部5を弾性変形させる。それによりステージ本体4の標本搭載部5の弾性変形に連動して、標本1が顕微鏡光軸方向に移動することになり、ピントズレの調整が行われる。
【0039】
第3の実施の形態によれば、非接触型の静電容量センサによって対物レンズと標本搭載部間の距離を検出し、検出した距離を制御系に入力して、圧電素子を移動させることによって、対物レンズとステージ間の距離を保つことができるので、ピントズレを防ぐことができる。
【0040】
次に、第3の実施の形態の変形例について説明する。
【0041】
対物レンズとステージ間の距離を検出するためのセンサとして、接触型のセンサを使用することができる。また、非接触型の静電容量センサを、図10に示すように、対物レンズ3の突起部15に取付けることもできる。さらに、図11に示すように、第2実施の形態における図7の中座12の下面に、上記の非接触型の静電容量センサを垂直に取付けることもできる。
第4の実施の形態について、以下に図1〜図4を参照して説明する。
第4の実施の形態は、第1の実施の形態で説明したステージを用いて、高精度で顕微鏡の光軸方向に移動することのできる顕微鏡用ステージを実現したものである。
図4に示す制御系において、ステージ本体4を顕微鏡光軸方向に移動させる量を設定器8によって設定し、指令値として制御器10に入力すると、圧電素子6がその指令値に応じて上下移動するようになる。圧電素子6の上下移動に応じて標本搭載部5が弾性変形し、ステージ本体4の標本搭載部5が顕微鏡光軸方向に移動するようになる。また、標本搭載部5の弾性変形量が歪みゲージ7によって検出され、上述の制御系によって、その変形量がクローズ制御されるので、標本搭載部5の弾性変形量、すなわち、ステージ本体4の標本搭載部5の光軸方向の移動量が前記指令値と同じ値になり、ステージ本体4の標本搭載部5の顕微鏡光軸方向の移動精度が高くなる。
上記の構成によれば、圧電素子6の上下移動と連動して、ステージ本体4の標本搭載部5が弾性変形し、その変形量が歪みゲージ7によって、検出されて、クローズ制御されるので、ステージ本体4を高精度で顕微鏡光軸方向に移動することができる。これによって、標本の厚さ方向の各断面に対して、ピント合わせをすることができる。
【0042】
本実施の形態の変形例について、以下に説明する。
【0043】
対物レンズとステージ間の距離を検出するために、非接触型の静電容量センサ14、接触型センサ(図示しない)を、図9に示すように配置しても良い。また、上記センサを、図10に示すように対物レンズ3の突起部15に取付けることもできる。さらに、上記センサを、図11に示すようにステージ本体4に載置した中座12の下面に垂直に取付けることもできる。
【0044】
本発明の第5の実施の形態を、以下に図5を参照して説明する。
【0045】
第5の実施の形態は、高精度で顕微鏡光軸に対して角度調整を行うことのできる顕微鏡ステージを実現したものである。第1の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して、その説明は省略する。
【0046】
図5において、ステージ本体4の標本搭載部5の下面に等間隔に3個の四角形状の圧電素子6cを固定したものである。
【0047】
上記のようにステージを構成することにより、第1の実施の形態の図4において説明した制御系に、ステージを顕微鏡光軸に対して傾ける量を不図示の入力手段から設定器8不図示の記憶部に設定し、指令値として制御器10に入力する。この入力によって、3個の圧電素子6cが、指令値に従ってそれぞれ異なった移動量で上下移動するようになる。これにともなって、3つの圧電素子6cの移動と連動して、ステージ本体4の標本搭載部5が弾性変形し、標本搭載部5が顕微鏡光軸に対して傾くようになる。この傾き量は、歪みゲージ7によって検出され、制御系によってクローズ制御されるので、高精度でステージの角度調整をすることができる。
【0048】
上記の構成によれば、以下の効果を奏する。
【0049】
ステージを、高精度で顕微鏡光軸に対して角度調整することができるので、真直度が出ていない標本面を観察する場合、ステージの角度調整をすることによって、標本面に対してピント合わせをすることができる。
【0050】
上記の実施の形態の変形例として、圧電素子6cを、図7に示すステージ本体4に載置した中座12の下面に取付けることもできる。
【0051】
【発明の効果】
本発明によれば、顕微鏡用ステージおよびそれを用いた顕微鏡において、熱などによる顕微鏡のピントズレを補正することができ、さらに顕微鏡用ステージを高精度で角度調整および顕微鏡の光軸方向に移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す一部断面を有する側面図。
【図2】本発明の第1の実施の形態を示す図1のA−A断面図。
【図3】本発明の第1の実施の形態を示す圧電素子の側面図。
【図4】本発明の第1の実施の形態を示す制御系のブロック図。
【図5】本発明の第1の実施の形態の圧電素子の他の例を示す断面図。
【図6】本発明の第1の実施の形態の圧電素子の他の例を示す一部断面を有する側面図。
【図7】本発明の第2の実施の形態を示す一部断面を有する側面図。
【図8】本発明の第2の実施の形態を示す図7のA−A断面図。
【図9】本発明の第3の実施の形態を示す一部断面を有する側面図。
【図10】本発明の第3の実施の形態の他の例を示す一部断面を有する側面図。
【図11】本発明の第3の実施の形態の他の例を示す一部断面を有する側面図。
【図12】従来技術を示す側面図。
【図13】従来技術を示す斜視図。
【図14】従来技術を示す斜視図。
【図15】従来技術を示す断面図。
【符号の説明】
4…ステージ本体
5…標本搭載部
6…圧電素子
7…歪みゲージ
8…設定器
9…比較器
10…制御器
12…中座
13…圧電素子
14…静電容量センサ
Claims (4)
- 標本を照射するための照明用光源と、上記標本を観察するための対物レンズとを有する顕微鏡に用いられる顕微鏡用ステージにおいて、上記標本を搭載するためのステージ本体は、上記ステージ本体に設けられ標本を搭載する弾性変形可能な標本搭載部と、上記標本搭載部の変形量を検知するための検知手段と、上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を上記標本搭載部に誘発させる変形誘発部材とを設けたことを特徴とする顕微鏡用ステージ。
- 上記顕微鏡用ステージは、上記変形誘発部材に対する上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を制御するための制御手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡用ステージ。
- 上記検知手段は、上記標本搭載部と上記対物レンズ間の相対的な距離を検知することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡用ステージ。
- 標本を照明するための照明用光源と、上記標本を観察するための対物レンズと、上記標本を搭載するためのステージ本体とを有する顕微鏡において、上記ステージ本体に設けられ標本を搭載する弾性変形可能な標本搭載部と、上記標本搭載部の変形量を検知するための検知手段と、上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を上記標本搭載部に誘発させる変形誘発部材と、上記変形誘発部材に対する上記検知手段で検知した変形量に応じた変形を制御するための制御手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。
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