JP4477017B2 - 薄膜形成用高純度Mn材料 - Google Patents
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Description
1.不純物金属元素の含有量が合計で100ppm以下であり、酸素:200ppm以下、窒素:50ppm以下、S:50ppm以下、C:100ppm以下であることを特徴とする薄膜形成用高純度Mn材料
本発明の高純度Mn材の原料である粗Mnとしては、市販の電解Mnを用いれば良い。そして、粗Mnは1250〜1500°Cで予備溶解を行う。予備溶解は、MgO,Al2O3等 のルツボを用いて不活性ガス雰囲気で保持時間1時間以上で行う。1250°C未満ではMnが溶解せず、1500°Cを超えるとルツボからの汚染及びMnの蒸発 が激しくなるため好ましくない。また、保持時間1時間未満では未溶解Mnが残るため好ましくない。ここで、予備溶解を行うのは、揮発性の成分を除去するためである。
不純物金属元素は、磁気的特性を悪化させ、また、耐食性低下の原因ともなるため、極力低減することが望まれており合計で100ppm以下、好ましくは50ppm以下に低減すべきである。不純物のうち特に酸素及びSは耐食性を低下させる大きな原因となるため、酸素含有量200ppm以下、好ましくは100ppm以下、S含有量50ppm以下、好ましくは10ppm以下にまで低減すべきである。
さらに、 窒素及びCは耐食性低下の原因となるだけではなくスパッタリングの際のパーティクル発生の原因の一つと考えられるため、窒素含有量50ppm以下、好ましくは10ppm以下、C含有量100ppm以下、好ましくは50ppm以下にまで低減すべきである。
原料となる電解Mn 1000gをMgOルツボを用いて予備溶解を行った。雰囲気はAr雰囲気とした。 予備溶解温度:1300°C、保持時間5時間とした。予備溶解に引き続いて真空蒸留を行った。真空蒸留はMgOの二重ルツボを用いて行った。 真空度:0.1 torr 、蒸留温度:1400°C、保持時間:0.5時間とした。これによって、Mn蒸留物300gを得た。
蒸留したMnは、酸素:120ppm、窒素: 40ppm、S:40ppm、C:80ppm、金属不純物元素合計量:90ppmであった。得られた高純度Mn材料と純度4NのFe(酸素:40ppm、 窒素:<10ppm、S:<10ppm、C:10ppm)とを1:1でMgOルツボで1350°Cで溶解し10分間保持後鋳造した。各原料、高 純度Mn材料及びMn-Fe合金の組成を表1に示す。
原料となる電解Mn1000gをAl2O3 ルツボを用いて予備溶解を行った。雰囲気はAr雰囲気とした。 予備溶解温度:1350°C、保持時間20時間とした。予備溶解に引き続いて真空蒸留を行った。真空蒸留はAl2O3 の二重ルツボを用いて行った。内側ルツボと外側ルツボとの間にはカーボンフェルトを充填した。
真空度:10-3torr 、蒸留温度:1300°C、保持時間:0.4時間とした。これによって、Mn蒸留物250gを得た。蒸留したMnは、酸素:30ppm、窒素:< 10ppm、S:<10ppm、C:10ppm、金属不純物元素合計量:19ppmであった。
得られた高純度Mn材料と純度4NのIr(酸素: 40ppm、窒素:<10ppm、S:<10ppm、C:10ppm)とを1:1でAl2O3 ルツボで1400°Cで溶解し10分間保持後鋳造した。各原料、高純度Mn材料及びMn-Ir合金の組成を表2に示す。
純度3Nの原料Mn(酸素:1000ppm、窒素:200ppm、S:400ppm、C:300ppm、金属不純物元素の合計 量:710ppm)と4NのFe(酸素:40ppm、窒素:<10ppm、S:<10ppm、C:10ppm)とを1:1でAl2O3 ルツボで1350°Cで溶解し10分間保持後鋳造した。各原料、高純度Mn材料及びMn-Fe合金の組成を表3に示す。
純度3Nの原料Mn(酸素:400ppm、窒素:30ppm、S:400ppm、C:30ppm、金属不純物元素の合計量: 155ppm)と4NのIr(酸素:40ppm、窒素:<10 ppm、S:<10ppm、C:10ppm)とを1:1でAl2O3 ルツボで1400°Cで溶解し10分間保持後鋳造した。各原料、高純度Mn材料及びMn-Ir合金の組成を表4に示す。
実施例1〜2、比較例1〜2の合金溶解時の突沸回数及び鋳造時のインゴット中の巣の状態を表5に示す。
さらに本発明の不純物金属元素の含有量が合計で100ppm以下であり、酸素:200ppm以下、 窒素:50ppm以下、S:50ppm以下、C:100ppm以下であることを特徴とする薄膜形成用高純度Mn材料を用いて製造したMn合金及びMn合金 スパッタリングターゲットは耐食性に優れると同時に、スパッタリングの際のパーティクル発生も少なかった。
従って、ターゲット材と しての歩留まりを向上させることができる。そして本発明によって得られる不純物金属元素の含有量が合計で100ppm以下であり、酸素:200ppm以 下、窒素:50ppm以下、S:50ppm以下、C:100ppm以下であることを特徴とするMn材料を用いて製造したMn合金及びMn合金スパッタリン グターゲットは耐食性に優れると同時に、スパッタリングの際のパーティクル発生も少なく、反強磁性薄膜形成用の材料として最適である。
Claims (5)
- 不純物金属元素の含有量が合計で100ppm以下であり、酸素:200ppm以下、窒素:50ppm以下、S:50ppm以下、C:100ppm以下であることを特徴とする薄膜形成用高純度Mn材料。
- 不純物金属元素の含有量が合計で50ppm以下であり、酸素:100ppm以下、窒素:10ppm以下、S:10ppm以下、C:50ppm以下であることを特徴とする薄膜形成用高純度Mn材料。
- 予備溶解と、その後の真空蒸留によって得られたMn材料であることを特徴とする請求項1又は2記載の薄膜形成用高純度Mn材料。
- 電解Mnを不活性ガス雰囲気中、1250〜1500°C、保持時間1時間以上で予備溶解した後、1100〜1500°Cで真空蒸留することによって得られたMn材料であることを特徴とする請求項3記載の薄膜形成用高純度Mn材料。
- 真空蒸留の際の真空度が5×10 -5 〜10Toorであることを特徴とする請求項4記載の薄膜形成用高純度Mn材料。
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