JP4474968B2 - 半導体装置、電気光学装置、電子機器 - Google Patents
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Description
川瀬建夫著、et al.著、「Thin Solid Films」 p279-287, vol438-439,2003 川瀬建夫著、「2000 International Electron Device Meeting technical digest」 p623-626
また、本発明は、上記のような半導体装置を簡便に提供できる製造方法を提供することを目的としている。さらに、本発明は上記半導体装置を備えた電気光学装置と、該電気光学装置を備えた電子機器を提供することを目的としている。
また、金属導電部におけるクラック発生に起因した断線を好適に防止するためには、該金属導電部を覆う形にて有機導電部を形成することが好ましく、この場合、一層断線防止を図ることが可能となる。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1及び図2を参照し、本発明の一実施の形態である半導体装置を採用した電気光学装置用基板の構成を説明する。なお、各図において、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
図1に示すように、電気光学装置用基板10は、データ線3と、ゲート線6と、半導体装置の主体をなすスイッチング素子(アクティブマトリクス素子)としてのTFT(薄膜トランジスタ)9と、画素電極2とを主体として構成されている。データ線3及びゲート線6は、TFT9に電気的に接続され、該TFT9に対して電気的信号を供給する配線である。
ここで、画素電極2は、TFT9に直接接続された構成となっており、この場合、画素電極2がTFT9のドレイン電極として機能するようになっている。
また、ゲート電極6(ゲート線6)は金属導電層62及び有機導電層61の2層構造を有してなり、TFT9に対する走査信号を供給する配線として機能している。
また、ゲート線6がTFT9に電気的に接続されており、複数のゲート線6に対して走査信号が所定のタイミングでパルス的に線順次で供給されるようになっている。
さらに、画素電極2はTFT9のドレイン電極として機能し、ゲート電極6にパルス電圧を印加してTFT9を一定期間だけオンすることで、データ線3から供給される画像信号が該画素電極2に対し所定のタイミングで書き込まれるようになっている。
このように半導体層4を有機材料にて構成するとともに、該半導体層4に電気的に接続するゲート線6(ゲート電極6)を金属導電層62と有機導電層61との複合構造にて構成しているため、電気光学装置用基板10に撓みが生じた場合にも、断線等の不具合発生が生じ難いものとなっている。
つまり、ゲート線6(ゲート電極6)が金属導電層62と有機導電層61との複合構造にて構成されているため、相対的に柔軟性のある有機導電層61が、相対的に脆い金属導電層62を繋ぐことができ、その結果、金属導電層62においてクラックが生じた場合にも、有機導電層61がそのクラックを償う形で断線の防止を図ることができるようになっている。
まず、基板1上に、画素電極2、及びデータ線3、ソース電極3aを形成する。
基板1の材料は、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、芳香族ポリエステル(液晶ポリマー)、ポリイミド(PI)等で構成されるプラスティック基板(樹脂基板)の他、可撓性のあるものであれば、ガラス基板、シリコン基板、金属基板、ガリウム砒素基板等を採用することができる。
半導体材料としては、低分子系有機半導体材料、ポリマー有機半導体材料のいずれも使用することができる。
ポリマー有機半導体材料としては、ポリ(3−アルキルチオフェン)(ポリ(3−ヘキシルチオフェン)(P3HT)、ポリ(3−オクチルチオフェン)、ポリ(2,5−チエニレンビニレン)(PTV)、ポリ(パラ−フェニレンビニレン)(PPV)、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ビス−N,N’−(4−メトキシフェニル)−ビス−N,N’−フェニル−1,4−フェニレンジアミン)(PFMO)、ポリ(9,9ジオクチルフルオレン−コ−ベンゾチアジアゾール)(BT)、フルオレン−トリアリルアミン共重合体、トリアリルアミン系ポリマー、フルオレンビチオフェン共重合体等が挙げられる。
ゲート絶縁層5としては、公知のゲート絶縁体材料であれば、種類は特に限定されるものではない。ここでは、有機材料を用いるのが良く、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセテート、あるいはポリイソブチレンに代表されるポリオレフィン系ポリマー等が挙げられる。形成方法としては、例えば、スピンコート法、インクジェット法等の湿式法を用いて形成することができる。
ゲート線6(ゲート電極6)は、金属導電層62と有機導電層61の複合構造を採用しており、この場合、各層をインクジェット法等の湿式法(液相プロセス)にて形成するものとしている。以下、具体的な形成方法を説明する。
層間絶縁膜7としては、前述のゲート絶縁膜5と同様の材料を用い、同様のスピンコート法、インクジェット法等の湿式法(液相プロセス)を採用することができる。
次に、図3から図5を参照し、本発明の一実施形態に相当する電気光学装置を説明する。ここでは、電気光学装置として、上述した電気光学装置用基板10を用いて構成した電気泳動ディスプレイについて説明する。
図3から図5の各々は、電気泳動表示装置の各実施形態の構成を示す断面図、部分平面図ある。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
pH低:M−OH+H+(過剰)+OH-→M−OH2 ++OH- ・・・(1)
pH高:M−OH+H+OH-(過剰)→M−OH-+H+ ・・・(2)
そして、分散媒41には、上述の有機化合物を単独又は二種類以上混合したものが用いられている。
このような高分子界面活性剤としては、以下に示すようなアニオン系、カチオン系、非イオン系の高分子界面活性剤を例として挙げることができる。
そして、高分子界面活性剤には、上述の高分子材料を単独又は二種類以上混合したものが用いられている。
例えば、アニオン系低分子界面活性剤としては、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等のアルキルベンゼンスルホン酸塩類、ラウリル酸ナトリウム等のカルボン酸塩類、ラウリル硫酸ナトリウム等の硫酸塩類、ラウリル燐酸ナトリウム等の燐酸塩類等が用いられている。また、カチオン系低分子界面活性剤としては、塩化セチルトリメチルアンモニウム等の四級アンモニウム塩類、ドデシルピリジニウムブロミド等のピリジニウム塩類、ラウリルアミン塩酸塩等のアミン塩類等が用いられている。非イオン系低分子界面活性剤としては、ソルビタントリオリエート等の多価アルコールの脂肪酸エステル類等が用いられている。さらに、弗素系低分子界面活性剤としては、パーフルオロデカン酸ナトリウム等のパーフルオロカルボン酸塩、パーフルオロノニルアルコール等のパーフルオロアルコール類等が用いられている。
なお、重力による粒子の沈降を避けるために、分散媒41の比重と粒子の比重とはほぼ等しく設定されることが好ましい。
上述した本発明に係る電気泳動表示装置は、表示部を備えた様々な電子機器に適用することができる。以下、その電子機器の例について説明する。
Claims (7)
- 可撓性のある基板上に設けられ、有機半導体層を備える半導体装置であって、
前記有機半導体層の上に設けられた、有機材料を形成材料とするゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を挟んで該有機半導体層と平面視で重なって形成されたゲート電極と、を有し、
前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜側に設けられた金属導電層と該金属導電層の上に設けられた有機導電層との複合構造にて構成されており、
前記有機導電層は、前記金属導電層および前記ゲート絶縁膜の少なくとも一部に接するとともに前記金属導電層と重なっていない領域を有していることを特徴とする半導体装置。 - 前記有機導電層が前記ゲート電極の長さ方向に対して連続して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記有機導電層が導電性高分子材料にて構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記有機導電層がポリエチレンジオキシチオフェン、ポリピロール、ポリアセチレン、及びポリアニリンのいずれかを含んで構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記金属導電層が前記ゲート電極の長さ方向に対して連続して形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の半導体装置を備えることを特徴とする電気光学装置。
- 請求項6に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
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