JP4474893B2 - セラミック積層体の製造方法及び、この製造方法に用いる打抜き積層装置 - Google Patents
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上記のセラミック積層体を作製するに当たっては、特に、上記グリーンシートの破れや歪み等を十分に防止しながら上記シート片を打ち抜き、積層して上記シート積層体を形成する必要がある。シート積層体を構成するシート片に生じた歪みは、焼成時のクラック、変形や、積層型圧電素子としての動作時のクラック、デラミ等の種々のトラブルの原因となるからである。
このようなトムソン型によれば、キャリアフィルム上に保持した状態のグリーンシートからシート片を打ち抜くことができ、打ち抜いたシート片をそのままトムソン型内に収容し、積層できるからである(例えば、特許文献1参照。)。
すなわち、上記グリーンシートの厚さが薄くなると、上記トムソン型内のシート積層体の端面に新たにシート片を積層する際、層間に空気が混入するおそれが多くなる。そして、層間に空気が混入したシート積層体では、焼成によりセラミック積層体を作製する際の層間剥離や、積層型圧電素子としての動作時のデラミやクラック等のトラブルを生じるおそれがある。
さらに、シート積層体に新たに積層したシート片をキャリアフィルムから剥がして分離する際には、キャリアフィルムがシート片を保持する力に対抗してシート片を剥がす必要があり、この保持力によってシート片に歪みや破れ等を生じるおそれがある。
上記打抜積層工程において上記シート片を打ち抜いて積層するに当たっては、グリーンシートの表面であるシート表面に対して上記トムソン型を傾けた状態で、該トムソン型内に既に収容した上記シート片の上記積層面の外周部の一部のみを最初に上記シート表面に接触させ、
その後、上記トムソン型の外縁より外にある回転軸を中心にして、上記積層面と上記シート表面とが次第に略平行に近づくように上記トムソン型を相対的に回動させて、上記接触領域を次第に拡大していきながら上記積層面の全面を上記シート表面に接触させると共に、上記シート片を打ち抜くことを特徴とするセラミック積層体の製造方法にある(請求項1)。
第2の発明は、キャリアフィルム上にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と、上記キャリアフィルムに保持した上記グリーンシートからトムソン型を用いてシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を上記トムソン型内で積層してシート積層体を形成する打抜積層工程と、上記シート積層体を焼成してセラミック積層体を形成する焼成工程とを含み、
上記打抜積層工程において上記シート片を打ち抜いて積層するに当たっては、上記トムソン型をグリーンシートの表面であるシート表面に向けて進退させるためのメインシリンダと、上記キャリアフィルムを載置した載置面から凸状に突出させるためのサブシリンダとを備えた装置を用い、
上記サブシリンダにより上記キャリアフィルムを上記トムソン型に向けて凸状に突出させて突出部を形成すると共に、上記メインシリンダにより該突出部に対して上記トムソン型を相対的に前進させて、まず、上記積層面の一部のみを上記突出部に保持されて突出形状をなす上記シート表面の凸部に最初に接触させ、その後さらに、上記トムソン型のみを相対的に前進させるのに連動して上記突出部を後退させて上記シート表面を次第に平坦に近づけて上記接触領域を次第に拡大していきながら上記積層面の全面を上記シート表面に接触させると共に、上記シート片を打ち抜くことを特徴とするセラミック積層体の製造方法にある(請求項2)。
そのため、上記打抜積層工程によれば、上記トムソン型内のシート積層体に新たにシート片を積層する際、該シート片のシート表面と上記積層面との間の空気をうまく逃がしながら積層することができる。
したがって、上記第1、第2の発明の製造方法により製造したセラミック積層体は、上記打抜積層工程において層間への空気の混入を抑制して製造してなり、層間剥離やクラック等を生じるおそれが少ない優れた品質を呈するものとなる。
上記打抜積層工程において新たに積層した上記シート片を上記キャリアフィルムから剥がすに当たっては、上記トムソン型の外縁より外にある回転軸を中心にして、上記保持面に対して上記トムソン型を相対的に回動させて傾けながら遠ざけることにより上記シート片を上記キャリアフィルムから分離することを特徴とするセラミック積層体の製造方法(請求項3)。
第4の発明は、キャリアフィルムの保持面にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と、上記グリーンシート上に導電ペーストを印刷する電極印刷工程と、トムソン型を用いて、上記キャリアフィルムに保持した上記グリーンシートからシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を上記トムソン型内で積層してシート積層体を形成する打抜積層工程と、上記シート積層体を焼成してセラミック積層体を形成する焼成工程とを含み、
上記打抜積層工程において新たに積層した上記シート片を上記キャリアフィルムから剥がすに当たっては、上記トムソン型をグリーンシートの表面であるシート表面に向けて進退させるためのメインシリンダと、上記キャリアフィルムを載置した載置面から凸状に突出させるためのサブシリンダとを備えた装置を用い、
上記メインシリンダにより上記保持面に対して上記トムソン型を相対的に後退させるのに連動して、上記サブシリンダにより上記シート片を保持する上記保持面の一部である突出部を上記トムソン型に向けて突出させていくことにより、少なくとも上記突出部において上記シート片との接触状態を維持しておき、その後さらに、上記トムソン型のみを相対的に後退させて上記シート片を上記キャリアフィルムから分離することを特徴とするセラミック積層体の製造方法にある(請求項4)。
上記第4の発明においては、上記トムソン型の相対的な後退に連動して上記突出部を突出させていくことにより、上記突出部とシート片との接触状態を維持しながら、上記突出部から離れた外周部において上記保持面から上記シート片を剥がし始めることができる。そしてその後、上記トムソン型のみを相対的に後退させることで、上記突出部から上記シート片を剥がして該シート片を上記キャリアフィルムから完全に分離させることができる。
それ故、上記シート片を上記キャリアフィルムから剥がして分離する際、上記積層面と上記シート片との間に剥離が生じたり、シート片自体に破れや歪み等の発生するおそれを抑制でき、製造するセラミック積層体においてはクラックやデラミ等のトラブルが生じるおそれを抑制することができる。
上記グリーンシートから上記シート片を打ち抜くトムソン刃を備えてなり、上記シート片を積層したシート積層体を内部に収容するように構成したトムソン型と、
上記グリーンシートを保持する上記キャリアフィルムを載置する載置台と、
該載置台に対して上記トムソン型の外縁より外にある回転軸を中心にして、該トムソン型を相対的に回動させる機構であって、上記打ち抜きの際には、その回動過程の最初において上記トムソン刃の刃先面と上記キャリアフィルムの表面である保持面とが斜めに対峙し、回動過程の最後に上記トムソン刃の刃先面と上記保持面とが略一致するように構成した回動機構とを有してなることを特徴とする打抜き積層装置にある(請求項5)。
そして、上記刃先面と上記保持面とを略一致させた状態の上記トムソン型によれば、上記載置台に載置したグリーンシートからシート片を打ち抜くと共に、打ち抜いたシート片をトムソン型内に順次、積層していくことができる。
したがって、上記打抜き積層装置では、トムソン型内のシート積層体に新たにシート片を積層する際、シート積層体とシート片との間の空気を逃がしながら接着でき、層間剥離等を生じるおそれが少ないセラミック積層体を作製することができる。
そのため、上記打抜き積層装置では、上記トムソン型内のシート積層体に新たに積層したシート片をキャリアフィルムから分離する際、シート片に作用する力を小さくでき、該シート片の破れや歪み等の発生を抑制することができる。
上記グリーンシートから上記シート片を打ち抜くトムソン刃を備えてなり、上記シート片を積層したシート積層体を内部に収容するように構成したトムソン型と、
上記グリーンシートを保持する上記キャリアフィルムを載置する載置面から上記トムソン型に向けて突出するように構成した昇降面を有してなり、該昇降面が上記トムソン型による打抜き領域の一部のみをなすように構成した載置台と、
該載置台に対して上記トムソン型を相対的に進退させるメインシリンダと、
上記昇降面を上記載置面から突出させるサブシリンダとを有してなることを特徴とする打抜き積層装置にある(請求項7)。
該昇降面を突出させた状態で上記トムソン型を相対的に前進させると、上記トムソン型内に既に収容した上記シート片の裏面である積層面の一部のみを、まず最初に、上記グリーンシートの表面のうち上記昇降面により突出させた部分に接触させることができる。
そのため、上記打抜き積層装置では、トムソン型を相対的に後退させるのに連動して上記昇降面を突出させる間、上記突出部とシート片との接触状態を維持することができる。
そのため、上記積層面に新たにシート片を積層する際、上記積層面と上記シート片との間から空気等をうまく逃がすことができる。
そのため、上記シート積層体と新たに積層するシート片との間に空気等が混入するおそれを抑制して上記シート積層体を形成することができる。
この場合には、上記保持面から上記シート片を剥がす際、該シート片に作用する力を小さくでき、該シート片が上記積層面から剥離したり、シート片自体に破れや歪み等が発生するおそれを抑制することができる。
なお、上記所定の箇所とは、外周部のうち予め予定した特定の箇所をいい、外周部の一部であっても全部であっても良い。
この場合には、上記回動機構による動作と、上記進退機構による動作とを組み合わせて、上記トムソン型を用いて上記シート片を効率良く打ち抜いて積層し、その後、打ち抜いたシート片をキャリアフィルムから効率良く分離することができる。
この場合には、上記トムソン型を相対的に前進させて上記シート片を打ち抜いて積層する際、上記昇降面を突出させた状態にしておけば上記積層面の中央部分において、まず、上記グリーンシートと接触させることができる。そして、その後、トムソン型を前進させるに伴って上記昇降面を後退させていけば、上記積層面と上記グリーンシートとの接触面積を徐々に拡大していくことができる。
そのため、上記打抜き積層装置によれば、上記シート片を打ち抜いて積層する際、上記積層面と上記シート片との間の空気等を確実性高く逃がすことができる。
本例は、セラミック層11を複数積層したセラミック積層体10(図4)を製造する方法及び、その製造方法に用いる打抜き積層装置3に関する例である。この内容について、図1〜図26を用いて説明する。
本例のセラミック積層体10の製造方法は、キャリアフィルム109上にセラミックス原料を配置してグリーンシート100を形成するシート形成工程と、トムソン型31を用いてキャリアフィルム109に保持したグリーンシート100からシート片210を打ち抜き、該打ち抜いたシート片210を上記トムソン型31内で積層してシート積層体20を形成する打抜積層工程と、シート積層体20を焼成してセラミック積層体10を形成する焼成工程とを含む製造方法である。
そしてその後、さらに上記トムソン型31を相対的に近づけて積層面21とシート表面101との接触領域を次第に拡大していきながら積層面21の全面をシート表面101に接触させると共に、シート片210を打ち抜く。
以下、この内容について詳しく説明する。
なお、本例の打抜き積層装置3は、固定したトムソン型31に対して載置台32を回動させるように構成してある。
トムソン型31は、上記天板352の略中央部分に穿孔した取り付け穴350を貫通し、トムソン刃311を上記基台351に向けて突出させた状態で剛性高く固定してある。本例のトムソン型31は、先端にトムソン刃311を備えた略円筒状の筒部312と、該筒部312内で積層したシート積層体20の積層高さに応じて進退するよう構成した積層ウェイト313とを有してなる。
なお、本例では、トムソン刃311によってキャリアフィルム109が傷つくことを回避するため、図1に示すごとく、保持面108と刃先面310とが上記のごとく略一致したときに載置台32と当接し、該載置台32の回動動作を規制する回動ストッパ339を天板352に固定してある。
なお、これに代えて、上記回動範囲の中点において上記略一致状態が得られるように上記打抜き積層装置3を構成することもできる。この場合には、上記回動範囲における片道の回動動作により、新たなシート片210を打ち抜いて積層し、保持面108から剥がすことができる。そして、上記回動範囲を往復させると2枚のシート片210を積層でき、効率良くシート積層体20を作製することができる。
なお、上記シート表面101とは、グリーンシート100における大気に露出する表面をいい、グリーンシート100上に内部電極パターン107や接着パターン105を印刷してある場合には、接着パターン105の表面がシート表面101となる。
なお、本例の載置台32は、吸引ポートに連通するよう配置した発泡金属部325を内部に有している。そして、載置面321は、上記発泡金属部325を介して上記吸引ポートと連通する吸着口を多数有してなり、載置したキャリアフィルム109を吸着して確実に保持できるように構成してある。
本例で上記セラミック積層体10を製造するに当たって,まず、図6に示すごとく、ロール状に巻き付けてなる長手方向に長いキャリアフィルム109を用い、図示しないロールから引き出して平面状に配置したキャリアフィルム109上にグリーンシート100を形成した。
なお,上記スラリーからグリーンシート100を生成する方法は、ドクターブレード法に限定されるものではなく、ドクターブレード法のほか、押出成形法など種々の方法を採用することができる。
本例では,内部電極層12を形成するための金属材料としてAg−Pdペーストを用い、打抜き積層装置3による打ち抜き箇所106を含むグリーンシート100の全面に渡ってAg−Pdペーストよりなる電極パターン層107(図8参照。)を印刷した。
したがって、トムソン型31内のシート積層体20に新たなシート片210を積層する際には、上記接着パターン105の表面が上記グリーンシート100の表面としての上記シート表面101を形成することになる。
そうすると、図10に示すごとく、載置台32が上記回動軸を中心として回動し、トムソン刃311の刃先のうち上記回動軸に近い側の刃先が、まず最初にグリーンシート100の表面であるシート表面101に接触することになる。このとき、同図に示すごとく、積層ウェイト313の吸着面314のうち上記回動軸に近い側の外周部が最初に、グリーンシート100のシート表面101に接触する。
但し、図11に示す状態における打ち抜いたシート片210は、トムソン型31内に取り込まれる一方、未だ、キャリアフィルム109の保持面に保持された不完全な状態となっている。
なお、1枚目に積層するこのシート片210は、図4に示すごとく、セラミック積層体10において圧電効果を生じない保護層199を形成するものである。
このとき、図14に示すごとく、上記トムソン型31内に既に収容したシート片210の裏面である積層面21は、上記のごとく、上記トムソン刃311の刃先面310と略一致している。この状態で、グリーンシート100を保持したキャリアフィルム109を載置した載置台32に向けて、シリンダユニット333のアーム部335を前進させる。
なお、上記シート表面101とは、グリーンシート100上に形成した接着パターン層105の表面である。
但し、図16に示す状態における打ち抜いたシート片210は、トムソン型31内に取り込まれる一方、未だ、キャリアフィルム109の保持面に保持された不完全な状態となっている。
なお、最後に積層するシート片210としては、グリーンシート100に接着層105のみを印刷した領域を打ち抜く。最後に積層するこれらのシート片210は、セラミック積層体10において圧電効果を生じない保護層199を形成するものである。
図21に示すごとく、接合面15における一層おきの内部電極層12に絶縁部材181を配置したうえ、導電性接着剤等による導電部183を介して外部電極18を接合すれば、図5に示すごとく電気的な信頼性の高い積層型圧電素子1を完成することができる。
このとき、本例の打抜き積層装置3によれば、トムソン型31内に既に収容したシート片210の裏面である積層面21のうち外周部の一部のみを最初に、グリーンシート100のシート表面101に接触させた後、積層面21とシート表面101との接触領域を次第に拡大していきながらシート片210を打ち抜くことができる。
そのため、本例の製造方法によれば、トムソン型31内のシート積層体20に新たにシート片210を積層する際、積層面21とシート片210との間から空気等をうまく逃がすことができる。
そのため、トムソン型31内のシート積層体20に新たに積層したシート片210をキャリアフィルム109から剥がす際、シート片210に作用する力を小さくできる。
それ故、トムソン型31内に収容したシート片210の積層面21に新たに積層したシート片210が剥離したり、シート片210自体に破れや歪み等の発生するおそれを抑制でき、製造するセラミック積層体10においてはクラックやデラミ等のトラブルが生じるおそれを抑制することができる。
そのため、本例により製造したセラミック積層体10は、層間剥離やクラック等を生じるおそれが少ない優れた品質を呈するものとなる。
本例によれば,グリーンシート100及びシート片210を単体で取り扱うことがないため、折れ,しわ,割れ,乾燥収縮等が少ない良好な状態のシート片210を積層して、優れた品質のセラミック積層体10を作製することができる。
本例は、実施例1を基にして、使用する打抜き積層装置を変更したものである。この内容について、図22〜図26を用いて説明する。
本例の打抜き積層装置4は、図22に示すごとく、基台451上を進退するよう構成した載置台42と、回動軸を中心として回動するように構成したトムソン型41とを有してなる装置である。
トムソン型41は、回動動作するよう構成した保持プレート43を貫通し、該保持プレート43の表面からトムソン刃411を突出させた状態で固定してある。この保持プレート43は、上記載置台42に対面するように基台451に固定した対面壁板44に対して、回動軸を介して回動可能に取り付けしてある。
なお、その他の構成及び作用効果は、実施例1と同様である。本例は、実施例1において回動させていた載置台32(図1)に代えて、トムソン型41が回動するように構成した打抜き積層装置による実施例であって、シート片210の打ち抜き、シート片210の積層及びシート片210を剥がす間に起こる現象等については実施例1と同様である。
本例は、実施例1を基にして、使用する打抜き積層装置を変更したものである。この内容について、図26〜図34を用いて説明する。
本例の打抜き積層装置5は、図26に示すごとく、基台551と、該基台551に対して所定の間隙を空けて対面する天板552とを組み合わせてなる筐体55を有してなる装置である。上記天板552の略中央部分に穿孔した取り付け穴550にはトムソン型51を貫通させてあり、トムソン刃511を上記基台551に向けて突出した状態で剛性高く固定してある。また、上記基台551には、油圧駆動されるメインシリンダ561を介して、グリーンシート100を載置する載置台52を配置してある
まず,図27に示すごとく、グリーンシート100を保持したキャリアフィルム109を所定量送って,トムソン型51の打ち抜き箇所を、グリーンシート100のうち電極パターン層等を形成した箇所に合わせる。
その後、図28に示すごとく、、サブシリンダ525に油圧を作用して昇降面524を突出させる。そして、この状態で,メインシリンダ561をストロークさせて、グリーンシート100を保持したキャリアフィルム109を載置した載置台52をトムソン型51に向けて前進させる。
また、図33に示すごとく、昇降面524は、トムソン型51の打ち抜き領域の外周部に配置することもでき、この場合にも、上記のごとく説明したのと同様の作用効果を得ることができる。
さらに、図34に示すごとく、トムソン型61に対して載置台62を進退するためのスライダー機構625と、載置面621から昇降面624を突出させるよう昇降台623を付勢するスプリング部材626を備えた機構とを含む打抜き積層装置6により、本例と同様の作用効果を得ることもできる。
10 セラミック積層体
100 グリーンシート
101 シート表面
108 保持面
109 キャリアフィルム
20 シート積層体
21 積層面
210 シート片
31 トムソン型
310 刃先面
311 トムソン刃
32 載置台
33 回動機構
331 ピボット
332 受け部
333 シリンダユニット
334 アクチュエータ部
335 アーム部
Claims (8)
- キャリアフィルム上にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と、上記キャリアフィルムに保持した上記グリーンシートからトムソン型を用いてシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を上記トムソン型内で積層してシート積層体を形成する打抜積層工程と、上記シート積層体を焼成してセラミック積層体を形成する焼成工程とを含み、
上記打抜積層工程において上記シート片を打ち抜いて積層するに当たっては、グリーンシートの表面であるシート表面に対して上記トムソン型を傾けた状態で、該トムソン型内に既に収容した上記シート片の上記積層面の外周部の一部のみを最初に上記シート表面に接触させ、
その後、上記トムソン型の外縁より外にある回転軸を中心にして、上記積層面と上記シート表面とが次第に略平行に近づくように上記トムソン型を相対的に回動させて、上記接触領域を次第に拡大していきながら上記積層面の全面を上記シート表面に接触させると共に、上記シート片を打ち抜くことを特徴とするセラミック積層体の製造方法。 - キャリアフィルム上にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と、上記キャリアフィルムに保持した上記グリーンシートからトムソン型を用いてシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を上記トムソン型内で積層してシート積層体を形成する打抜積層工程と、上記シート積層体を焼成してセラミック積層体を形成する焼成工程とを含み、
上記打抜積層工程において上記シート片を打ち抜いて積層するに当たっては、上記トムソン型をグリーンシートの表面であるシート表面に向けて進退させるためのメインシリンダと、上記キャリアフィルムを載置した載置面から凸状に突出させるためのサブシリンダとを備えた装置を用い、
上記サブシリンダにより上記キャリアフィルムを上記トムソン型に向けて凸状に突出させて突出部を形成すると共に、上記メインシリンダにより該突出部に対して上記トムソン型を相対的に前進させて、まず、上記積層面の一部のみを上記突出部に保持されて突出形状をなす上記シート表面の凸部に最初に接触させ、その後さらに、上記トムソン型のみを相対的に前進させるのに連動して上記突出部を後退させて上記シート表面を次第に平坦に近づけて上記接触領域を次第に拡大していきながら上記積層面の全面を上記シート表面に接触させると共に、上記シート片を打ち抜くことを特徴とするセラミック積層体の製造方法。 - キャリアフィルムの保持面にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と、上記グリーンシート上に導電ペーストを印刷する電極印刷工程と、トムソン型を用いて、上記キャリアフィルムに保持した上記グリーンシートからシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を上記トムソン型内で積層してシート積層体を形成する打抜積層工程と、上記シート積層体を焼成してセラミック積層体を形成する焼成工程とを含み、
上記打抜積層工程において新たに積層した上記シート片を上記キャリアフィルムから剥がすに当たっては、上記トムソン型の外縁より外にある回転軸を中心にして、上記保持面に対して上記トムソン型を相対的に回動させて傾けながら遠ざけることにより上記シート片を上記キャリアフィルムから分離することを特徴とするセラミック積層体の製造方法。 - キャリアフィルムの保持面にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と、上記グリーンシート上に導電ペーストを印刷する電極印刷工程と、トムソン型を用いて、上記キャリアフィルムに保持した上記グリーンシートからシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を上記トムソン型内で積層してシート積層体を形成する打抜積層工程と、上記シート積層体を焼成してセラミック積層体を形成する焼成工程とを含み、
上記打抜積層工程において新たに積層した上記シート片を上記キャリアフィルムから剥がすに当たっては、上記トムソン型をグリーンシートの表面であるシート表面に向けて進退させるためのメインシリンダと、上記キャリアフィルムを載置した載置面から凸状に突出させるためのサブシリンダとを備えた装置を用い、
上記メインシリンダにより上記保持面に対して上記トムソン型を相対的に後退させるのに連動して、上記サブシリンダにより上記シート片を保持する上記保持面の一部である突出部を上記トムソン型に向けて突出させていくことにより、少なくとも上記突出部において上記シート片との接触状態を維持しておき、その後さらに、上記トムソン型のみを相対的に後退させて上記シート片を上記キャリアフィルムから分離することを特徴とするセラミック積層体の製造方法。 - キャリアフィルム上に配置したグリーンシートからシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を積層してシート積層体を作製する打抜き積層装置において、
上記グリーンシートから上記シート片を打ち抜くトムソン刃を備えてなり、上記シート片を積層したシート積層体を内部に収容するように構成したトムソン型と、
上記グリーンシートを保持する上記キャリアフィルムを載置する載置台と、
該載置台に対して上記トムソン型の外縁より外にある回転軸を中心にして、該トムソン型を相対的に回動させる機構であって、上記打ち抜きの際には、その回動過程の最初において上記トムソン刃の刃先面と上記キャリアフィルムの表面である保持面とが斜めに対峙し、回動過程の最後に上記トムソン刃の刃先面と上記保持面とが略一致するように構成した回動機構とを有してなることを特徴とする打抜き積層装置。 - 請求項5において、上記回動機構による上記回動過程の最初の状態よりも上記載置台と上記トムソン型とが離隔した状態と、上記回動過程の最初の状態との間において、上記載置台に対して上記トムソン型を相対的に進退させるよう構成した進退機構を有してなることを特徴とする打抜き積層装置。
- キャリアフィルム上に配置したグリーンシートからシート片を打ち抜き、該打ち抜いたシート片を積層してシート積層体を作製する打抜き積層装置において、
上記グリーンシートから上記シート片を打ち抜くトムソン刃を備えてなり、上記シート片を積層したシート積層体を内部に収容するように構成したトムソン型と、
上記グリーンシートを保持する上記キャリアフィルムを載置する載置面から上記トムソン型に向けて突出するように構成した昇降面を有してなり、該昇降面が上記トムソン型による打抜き領域の一部のみをなすように構成した載置台と、
該載置台に対して上記トムソン型を相対的に進退させるメインシリンダと、
上記昇降面を上記載置面から突出させるサブシリンダとを有してなることを特徴とする打抜き積層装置。 - 請求項7において、上記昇降面は、上記打抜領域の内周部に配置してあることを特徴とする打抜き積層装置。
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