JP4470128B2 - アクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば製造装置等の直線案内軸受装置等に用いられると好適なアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば製造装置などにおいては、ワークのごとき物体を駆動するために直線案内軸受装置が用いられている。図7(a)は、従来技術に係る直線案内軸受装置100を示す斜視図であり、図7(b)は、かかる構成をVIIB−VIIB線で切断して矢印方向に見た図である。
【0003】
ベース101の両端上には、レール支持台102,103がねじ止めされている。レール支持台102,103に掛け渡されるようにして、断面が矩形状のガイドレール104が配置されている。レール支持台102,103の側方において、ベース101上には、断面がコ字状のモータ支持台105とプーリ支持台106とが配置されている。
【0004】
モータ支持台105には、モータ108が回転軸(不図示)を下方に突出させた状態で取り付けられている。その回転軸には、歯付きの駆動プーリ109が取り付けられている。プーリ支持台106には、歯付きの従動プーリ110aを回転自在に支持するプーリハウジング110が取り付けられている。駆動プーリ109と従動プーリ110aとの間には、ガイドレール104に沿う方向に、歯付きベルト(無端ベルト)111が掛け渡されている。なお、本明細書で「無端ベルト」とは、もともと無端状のものに加え、所望の長さの有端のベルトの両端を結合し、無端状としたものも含むものとする。
【0005】
図7(b)に示すように、歯付きベルト111の一部は、固定具121により空気軸受ユニット120に取り付けられている。ワーク(不図示)などが取り付けられた空気軸受ユニット120は、4枚の矩形板122〜125を、ガイドレール104の周囲に上下左右に組み合わせ、ガイドレール104に沿って移動自在となっている。矩形板122〜125の内方には、ポケット122a〜125aが設けられ、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール104に対しガイド板122〜125がわずかに離隔するようになり、殆ど摩擦なく移動できるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
かかる従来技術の直線案内軸受装置によれば、軽量且つ簡素な構成を有し、低コストであるという利点がある。ところで、半導体製造装置などにおいては、機械の振動などを嫌う傾向がある。ところが、従来技術の直線案内軸受装置によれば、ワーク搬送用の空気軸受ユニット120が、比較的質量があるため、特に加減速時などにおいて、質量のアンバランスなどに基づき振動が生じる恐れがある。かかる振動を抑えようとすると、装置の剛性を高める必要があるが、それにより装置の重量化且つ大型化を招くという問題がある。
【0007】
そこで、本発明は、軽量且つ簡素でありながら、振動を抑制できる、直線案内軸受装置などに用いられると好適なアクチュエータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明のアクチュエータは、
駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、
回転自在に支持された従動プーリと、
前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、
複数本のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ複数本の前記ガイドレールに沿って移動可能な複数の主軸受とを備えた案内軸受装置と、
カウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能なカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有し、
前記主軸受と前記カウンタ軸受は空気軸受であり、
前記複数の主軸受は、移動方向にオフセットされて互いに連結されており、
前記複数の主軸受の重心位置に重なる位置において、前記無端ベルトと前記主軸受とが接続されているものである。
【0009】
【作用】
本発明のアクチュエータによれば、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、複数本のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ複数本の前記ガイドレールに沿って移動可能な複数の主軸受とを備えた案内軸受装置と、カウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能なカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有し、前記主軸受と前記カウンタ軸受は空気軸受であり、前記複数の主軸受は、移動方向にオフセットされて互いに連結されており、前記複数の主軸受の重心位置に重なる位置において、前記無端ベルトと前記主軸受とが接続されているので、前記主軸受と前記カウンタ軸受とを逆方向に移動させることにより、加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来、それにより振動の抑制を図ることが出来る。この場合、主軸受及びこれに取り付けられるワークの質量と、カウンタ軸受の質量とを近くするほど効果的である。
【0010】
尚、ガイドレール及びカウンタガイドレールは、円筒状であれば、角柱状のものに比し、より低コストで製造でき、また同一断面積で比較した場合、角柱よりも断面2次モーメントが大きいので、撓み量が少なくなって振動抑制に有利であるが、これに限らず角柱を用いても良い。ただし、この場合にも、主軸受側の質量とカウンタ軸受の質量とをできるだけ近くすることが好ましい。
【0011】
又、主軸受及びカウンタ軸受は、転がり軸受、滑り軸受、空気軸受など各種の態様が考えられる。
【0012】
前記ガイドレールが複数本(例えば2本)平行して設けられてなり、各々のガイドレールに係合する主軸受が結合されており、更に、結合された主軸受の重心位置に重なる位置に前記無端ベルトが接続されていると、ガイドレールを円筒状としても、主軸受の回転を防止することが出来、また振動を抑制できる。
【0013】
前記ガイドレールが複数本(例えば2本)平行して設けられてなり、各々のガイドレールに係合する主軸受が、ガイドレールに沿った方向でオフセットして結合されていると、ガイドレールの軸線を含む平面内で主軸受を回転させるような方向のモーメント負荷に対する剛性も高めることができる。
【0014】
前記ガイドレールが複数本(例えば2本)平行して設けられてり、各々のガイドレールに係合する主軸受がバネ手段(例えば板ばね)により結合されていると、各ガイドレール間の平行度不良などによる軸受間の競り合いを抑制することができ、振動をさらに抑制できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1は、第1の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置200を示す斜視図である。駆動プーリ209と、従動プーリ210aと、ガイドレール204と、主軸受220と、カウンタガイドレール231と、カウンタ軸受230とでアクチュエータを構成する。
【0016】
ベース201の両端上には、レール支持台202,203が固定されている。レール支持台202,203に掛け渡されるようにして、断面が円形状のガイドレール204と、カウンタガイドレール231が平行して配置されている。
【0017】
レール支持台203には、モータ208が回転軸(不図示)を下方に突出させた状態で取り付けられている。その回転軸には、歯付きの駆動プーリ209が取り付けられている。レール支持台202には、歯付きの従動プーリ210aを回転自在に支持するプーリハウジング210が取り付けられている。駆動プーリ209と従動プーリ210aとの間には、ガイドレール204に沿う方向に、無端ベルトとしての歯付きベルト211が掛け渡されている。
【0018】
歯付きベルト211の一部は、固定具221により主軸受220に取り付けられている。ワーク(不図示)などを搭載可能となっている主軸受220は、円管状であって、ガイドレール204に嵌合する内径を有し、ガイドレール204に沿って移動自在となっている。主軸受220は、いわゆる多孔質静圧気体軸受であり、内周部はグラファイト多孔質で形成され、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール204に対し主軸受220がわずかに離隔するようになり、殆ど摩擦なく移動できるようになっている。
【0019】
更に、歯付きベルト211の一部は、駆動プーリ209と従動プーリ210aを挟んで対向する位置において、固定具221と同様の固定具232によりカウンタ軸受230に取り付けられている。カウンタ軸受230は、主軸受220と同様に円管状であって、カウンタガイドレール231に嵌合する内径を有し、カウンタガイドレール231に沿って移動自在となっている。カウンタ軸受230も多孔質静圧気体軸受であり、内周部はグラファイト製の多孔質で形成され(不図示)、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、カウンタガイドレール231に対しカウンタ軸受230がわずかに離隔するようになり、殆ど摩擦なく移動できるようになっている。
【0020】
本実施の形態に動作について説明すると、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール204に対し主軸受220がわずかに離隔するようになり、カウンタガイドレール231に対しカウンタ軸受230がわずかに離隔した状態に維持される。
【0021】
ここで、モータ208が駆動プーリ209を駆動した場合、ガイドレール204に沿って主軸受220が殆ど摩擦なく、またカウンタガイドレール231に対しカウンタ軸受230が殆ど摩擦なく移動される。この際、加速又は減速時に生じる駆動反力は、主軸受220に対向して設けられたカウンタ軸受230により相殺され、振動を抑制できるようになっている。なお、主軸受220及びこれにより搬送される不図示のワークの質量と、カウンタ軸受230の質量とをほぼ一致させるようにすると、駆動反力をより効果的に相殺できる。
【0022】
ところで、図1に示す実施の形態においては、主軸受220とガイドレール204が円筒状であるので、主軸受220にワークを搭載したときに、その質量のアンバランスにより主軸受220が軸線回りに回転する恐れがある。従って、このようなアンバランスが大きく、かつ軸線回りの回転方向変位を極力避けたい用途の場合には、従来技術と同様にガイドレール204を角柱状として、主軸受204をこれに対応するように角管状とすれば、かかる回転を防止できるが、このような構成を精度良く形成するにはコストがかかる。また、重心位置を通る方向に駆動力を加えることが難しいため、加減速時に主軸受220に付与されるモーメント力が大きくなり、これに耐えるようにするには、主軸受220を大型化しなくてはならない。以下に述べる第2の実施の形態においては、かかる不具合を解消することができる。
【0023】
図2は、第2の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置300を示す正面図である。図3は、直線案内軸受装置300を示す上面図である。図4は、直線案内軸受装置300を示す側面図である。但し、破線で示す隠れた部分は要部のみを示している。主軸受に対するモータの位置は、図1の実施の形態と逆となっているが、これは本発明とは無関係である。駆動プーリ309と、従動プーリ310aと、ガイドレール304a、304bと、主軸受320a、320bと、カウンタガイドレール331と、カウンタ軸受330とでアクチュエータを構成する。
【0024】
ベース301の両端上には、レール支持板302,302が取り付けられている。レール支持板302,302に掛け渡されるようにして、断面が円筒のガイドレール304a、304bが上下に平行して配置されている。また、レール支持板302、302の隣にはレール支持板303,303が取り付けられており、これらに掛け渡されるようにして、断面が円筒のカウンタガイドレール331がガイドレール304a、304bに平行に配置されている。レール支持板302,302の外方において、ベース301上には、断面がコ字状のモータ支持台305とプーリ支持台306とが配置されている。
【0025】
モータ支持台305には、モータ308が回転軸308aを下方に突出させた状態で取り付けられている。モータ308の上部には、モータ308の回転角度を検出するエンコーダ315が配置されている。その回転軸308aには、歯付きの駆動プーリ309が取り付けられている。プーリ支持台306には、軸310bに取り付けられた歯付きの従動プーリ310aを回転自在に支持するプーリハウジング310が設けられている。駆動プーリ309と従動プーリ310aとの間には、ガイドレール304a、304bに沿う方向に、無端ベルトとしての歯付きベルト311が掛け渡されている。
【0026】
歯付きベルト311の一部は、固定具321(図4)によりハウジング320cに取り付けられている。図4に示す方向から見て略コ字状の形状を有するハウジング320cの上部及び下部の貫通孔に主軸受320a及び320bが固定されている。すなわち、ハウジング320cは、ガイドレール304aに係合する主軸受320aと、ガイドレール304bに係合する主軸受320bとを互いに連結している。歯付きベルト311のハウジング320cに対する取り付け位置は、図4に示すように、主軸受320a、320bの中心軸を結んだ線の中間であり、すなわち主軸受320a及び320bの重心位置を通過するようになっている。
【0027】
さらに、歯付きベルト311の一部は、駆動プーリ309と従動プーリ310aを挟んで対向する位置に、固定具321と同様の固定具332によりカウンタ軸受330が取り付けられている。カウンタ軸受330は、外形が角柱状の多孔質静圧気体軸受であって、カウンタガイドレール331に嵌合する内径を有し、カウンタガイドレール331に沿って移動自在となっている。
【0028】
図3に示されているように、カウンタガイドレール331の側方に、近接センサS1,S2,S3が配置され、カウンタ軸受330と共に移動する被検出部材Aを検知するようになっている。
【0029】
本実施の形態に動作について説明すると、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール304a、304bに対し主軸受320a、320bがわずかに離隔するようになり、カウンタガイドレール331に対しカウンタ軸受330がわずかに離隔した状態に維持される。
【0030】
ここで、モータ308が駆動プーリ309を駆動した場合、ガイドレール304に沿って主軸受320a、320bが殆ど摩擦なく、またカウンタガイドレール331に対しカウンタ軸受330が殆ど摩擦なく移動される。この際、加速又は減速時に生じる駆動反力は、主軸受320a、320bに対向して設けられたカウンタ軸受330により相殺され、振動を抑制できるようになっている。尚、主軸受320a、320b、ハウジング320c及び搬送するワークの質量と、カウンタ軸受330の質量と一致させると、駆動反力をより効果的に相殺できる。
【0031】
本実施の形態によれば、主軸受320a、320bをハウジング320cで連結して、平行なガイドレール304a、304bに沿って移動させているので、ワークに連結した場合でも、主軸受320a、320bがガイドレール304a、304b回りに個々に回転することを抑制でき、またハウジング320cの真直度を維持できる。又、主軸受320a及び320bの重心位置を通過する位置で、無端ベルト311とハウジング320cとが取り付けられているので、加減速時における無端ベルトの駆動力によるモーメント力を低減させ、主軸受320a、320cの小型化と振動抑制とを図っている。
【0032】
尚、カウンタ軸受330は、ワークなどの搭載物がないこと、及び無端ベルト311に対して真直度は、あまり必要ではないこともあり、コスト低減等の観点から1軸構成が好ましい。
【0033】
図5は、第3の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置400を示す正面図である。図6は、図5の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。第3の実施の形態は、図2に示す実施の形態に対し、ハウジングの代わりに、板ばね420cで主軸受320a、320bを、ガイドレール304a、304bに沿った方向で互いにΔだけオフセットした状態で連結している。尚、図6に示すように、無端ベルト311は、主軸受320a、320bを連結するクランク状に折れ曲がったバネ板材からなるホルダ420dに対し、固定具321と抑え板420eを用いてねじ固定されるようになっている。ワークは、主軸受320a、320bいずれに搭載しても構わない。駆動プーリ309と、従動プーリ310aと、ガイドレール304a、304bと、主軸受320a、320bと、カウンタガイドレール331と、カウンタ軸受330とでアクチュエータを構成する。
【0034】
本実施の形態によれば、第2の実施の形態の如く、主軸受320a、320bをハウジング320cでリジッド固定した場合に、ガイドレール304a、304bの自重による撓みや平行度不良などに起因して生じる主軸受320a、320bの競り合いを、バネ板420cを用いて弾性的に連結することにより抑制することができる。
【0035】
更に、主軸受320a、320bをオフセットさせないで連結した場合には、図5の矢印Mに示す方向のモーメント負荷に対し傾きが大きくなるが、主軸受320a、320bをオフセットさせることにより、軸受サイズを大きくせずに、このモーメント負荷に対する傾きを抑制させることが出来る。すなわちこのようなモーメント負荷に対する剛性を比較的小さな軸受により向上させられる。
【0036】
また、ホルダ420dを弾性に富む板材で形成したので、無端ベルト311と主軸受320a、320bとの上下方向の変位を、ホルダ420dの図6で水平な部分のたわみにより吸収することが出来るので、主軸受320a、320bに図6で上下方向の余計な力が掛かる恐れが低い。一方、ガイドレール304a、304b方向には、ホルダ240dの剛性が高いため、駆動力の伝達に遅れが生じるというような問題はない。なお、図6ではバネ板420cを両側に取り付けているが、バネ板420cの板厚を増大させ、いずれか片面のみに設けるようにしてもよい。さらに、図6に示すバネ板420cを取り外し、ホルダ420dの板厚を増大させて、バネ板420cの代わりに用いることが出来る。
【0037】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、ガイドレール及びカウンタガイドレールは、円筒状であれば、角柱状のものに比し、より低コストで製造でき、また同一断面積で比較した場合、角柱よりも断面2次モーメントが大きいので、撓み量が少なくなって振動抑制に有利であるが、これに限らず角柱を用いても良い。ただし、この場合には、角柱と円筒の重量を等しくさせることが好ましい。又、主軸受及びカウンタ軸受は、転がり軸受、滑り軸受、空気軸受など各種の態様が考えられる。空気軸受としても、実施の形態で用いた多孔質静圧気体軸受は負荷容量が高く好ましいが、もちろんオリフィス式等、他の形式でもよい。ガイドレールの方を多孔質としてもよい。さらに、また実施の形態ではプーリ及び無端ベルトとして、高速用途に特に好適な歯付きのものを用いたが、用途等に応じ他の種類のものでもよい。
【0038】
【発明の効果】
本発明のアクチュエータによれば、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、複数本のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ複数本の前記ガイドレールに沿って移動可能な複数の主軸受とを備えた案内軸受装置と、カウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能なカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有し、前記主軸受と前記カウンタ軸受は空気軸受であり、前記複数の主軸受は、移動方向にオフセットされて互いに連結されており、前記複数の主軸受の重心位置に重なる位置において、前記無端ベルトと前記主軸受とが接続されているので、前記主軸受と前記カウンタ軸受とを逆方向に移動させることにより、加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来、それにより振動の抑制を図ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置200を示す斜視図である。
【図2】第2の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置300を示す正面図である。
【図3】直線案内軸受装置300を示す上面図である。
【図4】直線案内軸受装置300を示す側面図である。
【図5】第3の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置400を示す正面図である。
【図6】図5の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図7】図7(a)は、従来技術に係る直線案内軸受装置100を示す斜視図であり、図7(b)は、かかる構成をVIIB−VIIB線で切断して矢印方向に見た図である。
【符号の説明】
200,300,400 直線案内軸受装置
201,301 ベース
204,304a,304b ガイドレール
220,320a、320b 主軸受
230,330 カウンタ軸受
231、331 カウンタガイドレール
320c ハウジング
420c バネ板
Claims (1)
- 駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、
回転自在に支持された従動プーリと、
前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、
複数本のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ複数本の前記ガイドレールに沿って移動可能な複数の主軸受とを備えた案内軸受装置と、
カウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能なカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有し、
前記主軸受と前記カウンタ軸受は空気軸受であり、
前記複数の主軸受は、移動方向にオフセットされて互いに連結されており、
前記複数の主軸受の重心位置に重なる位置において、前記無端ベルトと前記主軸受とが接続されているアクチュエータ。
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