JP4469841B2 - 酸素生成装置及びその制御方法 - Google Patents

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Description

本発明は酸素生成装置及びその制御方法に関するものである。更に詳しくは、本発明はゼオライト床システム及び炭素分子ふるい床システムからなり、高純度の酸素を必要に応じて選択的に生成できるように制御される酸素生成装置及びその制御方法に関するものである。
空気中で酸素を分離するための一般な方法として、常温で気体の温度を急激に低くして液体にした後、蒸留を通じて酸素を分離する深冷分離法(cryogenic distillation method)がある。
しかし、深冷分離法は、空気を急速冷却できる大型の冷却装置及び冷却された空気を蒸留できる大型の蒸留装置が必要なため、装置の購入及び設置に伴う過度の投資コストが発生するという短所がある。
深冷分離法は、吸着法に比べて合投資費用が多くかかるという短所があるが、純度99%以上の酸素を生成できるという利点があるため、吸着法より好まれている。しかし、装置の大型化及び過剰の投資コストのため、中小規模では、このような装置を設置することは殆ど不可能である。
従って、現在は、空気中の特定元素のバルク(bulk)に対応するミクロポアが形成された固体を用いて成分を分離する吸着法が、主に、用いられている。ゼオライトは、窒素に対しては強吸着剤として作用し、酸素に対しては弱吸着剤として作用するという特性を有するため、吸着法では、吸着剤として主に使用されている。
従って、ゼオライトに空気を供給すると、窒素はゼオライトに吸着され、酸素は通過して排出されるため、窒素が顕著に排除された酸素が生成する。このとき、生成された酸素には、ゼオライトから除去されない微量の窒素と、酸素と類似の吸着能を有するために吸着されないアルゴンとが含まれる。
従って、従来の吸着法を採用する酸素生成システムは、内部がゼオライトで充填されたゼオライト床からなる。場合によっては、酸素の純度を高めるために2〜4つのゼオライト床が使用される。
しかし、このような吸着式酸素生成システムで生成した酸素は、アルゴン分離の困難性から、純度が最大でも95%に過ぎないため、酸素生成会社は、1980年代以後から上記のシステムを利用して99%以上の高純度酸素を生成するためのプロセスを開発してきた。
そして、現在では、米国のBOC社及びクルーテクノロジーディビジョンアームストロングラボラトリー株式会社(Crew Technology Division Amstrong Raboratory Co., Ltd)と、日本のスミノトセイケ株式会社(Suminoto Seike Co., Ltd.)が、この産業分野でリーディングカンパニーとして頭角を現しており、これらの会社は、現在、99.7%の高純度酸素を生成できるシステムの商用化を計画している。
しかし、上記会社の酸素生成システムは、バルク分離のための吸着プロセスと浄化のための吸着プロセスとを含むため、バルク分離用吸着プロセスを完全に終了した後、浄化用吸着プロセスを行わなければならない。従って、これらのシステムで最も大きな問題点は、各吸着プロセス操作のために酸素の生成コストが高くなるということである。
一方、吸着法を利用して高純度の窒素を生成することができる。この場合は、炭素分子ふるい(CMS;carbon molecular sieve)が吸着剤として使用される。その理由は、酸素は、窒素やアルゴンより数十〜数百倍以上の短い時間で吸着されるからである。
即ち、酸素は、CMSに対する酸素の吸着速度と窒素及びアルゴンの吸着速度との差により、CMSに速やかに吸着される反面、窒素とアルゴンは吸着されずにCMSを通過するため、高純度の窒素を生成することができる。
CMSを用いた窒素生成システムは、一般に、CMSで充填されたCMS床からなる。この場合、窒素の純度及び生成量を高めるため、2〜4つのCMS床が用いられる。
一方、最近になって、前述したゼオライト床システムを利用し、まず、窒素及びアルゴンなどの不純物を含む純度90〜95%の酸素を生成した後、その酸素を前述したCMS床で濾過し、純度99%以上の酸素を生成するという新しいプロセスが開発された。
しかし、このプロセスでは、ゼオライト床システムとCMS床システムとが別々に構成されており、独立して運転するというマルチステップを採用している。従って、このシステムでは、全て、個々のシステムを備えなければならず、また、個別独立運転を行うために二倍のコストとエネルギーとがかかる。更に、原料は、各個別システムを通らなければならないため、酸素の回収率は著しく低下する。
本発明は、このような従来の酸素生成装置の問題を改善するために開発された。本発明の一の目的は、炭素ふるい床システムから継続的に酸素を発生するために、ゼオライト床システムの加圧ステップと減圧再生ステップとを順次行う酸素生成装置、及びその制御方法を提供することにある。更に、本発明の他の目的は、炭素ふるい床システムで生成された酸素の純度を選択的に調節することが可能な酸素生成装置、及びその制御方法を提供することにある。
本明細書中で使用された用語の定義は、以下のとおりである。
本明細書で使用された「床システム(bed system)」の用語は、垂直又は水平に互いに連結された1つ以上の床を有するシステムを意味する。従って、ゼオライト床システムは、垂直又は水平に互いに連結された1つ以上のゼオライト床を含んでいてもよく、CMS床システムは、垂直又は水平に互いに連結された1つ以上のCMS床を含んでいてもよい。
本明細書で使用された「第1の部分」及び「第2の部分」の用語は、床の下位部分又は上位部分を意味し、即ち、第1の部分が床の下位部分を意味するとき、第2の部分は床の上位部分を示す。
「加圧手段」の用語は、ゼオライト床システムに空気を供給することが可能な任意の手段を意味する。好ましい加圧手段としては、送風機及び加圧機が挙げられる。
「減圧手段」の用語は、ゼオライト床システムの内部圧力を減少又は真空状態にすることができる手段を意味する。好ましい減圧手段としては、バルブ又は真空ポンプが挙げられる。
「ゼオライト床の内部圧力減少」又は「減圧再生ステップ」において、「減少する」又は「減圧する」という用語は、ゼオライト床の圧力を大気圧又は真空まで減少することを意味する。
本発明に係る酸素生成装置は、外部の空気加圧手段及び減圧手段と連結され、その内部圧力が増加又は減少して酸素を生成するゼオライト床システム、及び
前記ゼオライト床システムで生成された酸素を吸着し、未吸着酸素は前記ゼオライト床システムに回収した後、内部圧力を減圧して酸素を生成する炭素分子ふるい床システムを含んでいる。
好ましくは、前記炭素分子ふるい床システムは、前記ゼオライト床システムと流体で連結されている部分を有しており、生成された酸素の一部を前記ゼオライト床システムに選択的に回収することができる。
更に、上記装置において、好ましいゼオライト床システムは、外部の空気加圧手段及び減圧手段と連結され、その内部圧力が増加又は減少する第1の部分を有する第1のゼオライト床と、前記第1のゼオライト床と並列に連結されており、外部の空気減圧手段および真空ポンプと連結されてその内部圧力が増加又は減少する第1の部分を有している第2のゼオライト床であって、前記第1のゼオライト床の内部圧力が増加すると前記第2のゼオライト床の内部圧力が減少し、前記第1のゼオライト床の内部圧力が減少すると前記第2のゼオライト床の内部圧力が増加する第2のゼオライト床を含んでおり、
好ましい炭素分子ふるい床システムは、
前記第1及び第2のゼオライト床で生成された酸素を受け取って吸着するように、前記第1及び第2のゼオライト床の第2の部分と流体で連結されている第1の部分と、
前記第1及び第2のゼオライト床に吸着されない酸素を排出するように、前記第1及び第2のゼオライト床の第2の部分と流体で連結されている第2の部分を有しており、ここで、前記炭素分子ふるい床の圧力を減圧して生成された酸素は、前記第1の部分を経て外部に排出され、前記生成された酸素を排出する部分は、前記第1または前記第2のゼオライト床と選択的に流体で連結され、前記生成された酸素の一部を前記ゼオライト床に更に回収することができる。
ここで、前記ゼオライト床の第1の部分及び前記炭素分子ふるい床のそれぞれは、各床の下部を形成し、前記ゼオライト床の第2の部分及び前記炭素分子ふるい床のそれぞれは、各床の上部を形成していることが好ましい。
更に、ゼオライト床システムと炭素分子ふるい床システムとからなる酸素生成装置を制御する方法は、
前記ゼオライト床システムの内部圧力を増加して窒素を吸着し、酸素を生成する第1のステップ、
前記ゼオライト床システムで生成された酸素を前記炭素分子ふるい床システムに供給し、前記炭素分子ふるい床システム内の圧力を増加して酸素を吸着する第2のステップ、
前記炭素分子ふるい床システムで吸着されない酸素を前記ゼオライト床システムに供給する第3のステップ、及び
前記炭素分子ふるい床システムの内部圧力を減少することによって前記炭素分子ふるい床システムで生成された酸素を外部の装置に排出する第4のステップ、を包含している。
上記の方法は、前記ゼオライト床システムの床の内部圧力、又は前記炭素分子ふるい床システムの床の内部圧力を均一にするステップを更に含んでいることが好ましい。
また、上記の方法は、前記第3のステップが終了した後、前記炭素分子ふるい床システムの内部圧力を減少することによって前記炭素分子ふるい床システムで最初に生成された酸素を前記ゼオライト床システムに選択的に回収するステップを更に含んでいることが好ましい。
更に、本発明に係る2つのゼオライト床及び1つの炭素分子ふるい床を有する酸素生成装置を制御する方法は、
第1のゼオライト床の内部圧力を増加して窒素を吸着して酸素を生成し、第2のゼオライト床の内部圧力を減少して内部の吸着剤から窒素を分離し、除去する第1のステップ、
前記第1のゼオライト床で生成された酸素を炭素分子ふるい床に回収し、前記炭素分子ふるい床の圧力を増加して酸素を吸着する第2のステップ、
前記炭素分子ふるい床で吸着されない酸素を前記第2のゼオライト床に回収する第3のステップ、
前記第1及び第2のゼオライト床の内部圧力を均一にする第4のステップ、及び
前記炭素分子ふるい床の内部圧力を減少することによって前記炭素分子ふるい床で生成された酸素を外部の装置に排出する第5のステップを包含し、
前記第1及び第2のゼオライト床の機能が置き換えられた状態で、前記第1のステップから前記第5のステップを繰返すステップ、を包含している。
好ましくは、前記第4のステップが終了した後、前記炭素分子ふるい床の内部圧力を減少することによって、前記炭素分子ふるい床で最初に生成された酸素を前記第2のゼオライト床システムに選択的に回収するステップを更に含んでいる。
上記の制御方法において、前記第3のステップで、前記ゼオライト床システム又は前記第2のゼオライト床に回収される酸素の平均純度は75〜85%であることが好ましい。酸素の平均純度が75%未満の場合、ゼオライト床で生成された酸素の純度を低減できるため、酸素の平均純度が85%以上の場合、酸素の生成量及びステップ効率が低下する恐れがある。
更に、上記の方法において、前記ゼオライト床システム又は第2のゼオライト床に回収される酸素は、前記分子ふるい床システムの全減圧ステップのうち最初の減圧ステップの間に50%未満が回収されることが好ましい。前記ステップにおいて、最初の減圧ステップの間に50%以上が回収される場合、CMS床で酸素の生成量及びステップの効率が低下する恐れがある。
図1は、本発明の実施例に係る酸素生成装置の構造を示す概略図である。
以下、添付の図面に基づいて本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、下記の実施形態は、本発明の範囲を何ら制限するものではない。
図1は、本発明の実施形態に係る酸素生成装置の構造を示す概略図である。
本発明の一実施形態に係る装置は、第1及び第2のゼオライト床100、200とCMS床300、第1のゼオライト床又は第2のゼオライト床に空気を供給して床を加圧する送風機Bと、第1のゼオライト床又は第2のゼオライト床を真空状態に減圧する真空ポンプP、及び第1、第2、第3、第4バルブ部500、600、700、800から構成されている。
第1のバルブ部500は、バルブ1、2、3、5、及び流量制御バルブ30から構成され、送風機Bから空気を第1のゼオライト床100または第2のゼオライト床200に一定圧力で供給し、床100又は200の圧力を一定レベルまで加圧するように制御される。
第2のバルブ部600は、バルブ4、6、18から構成されており、真空ポンプPの真空を第1のゼオライト床100または第2のゼオライト床200に供給し、床100又は200の圧力を減圧するように制御される。
第3のバルブ部700は、バルブ7、8、9、11、12、13、14、及び圧力制御バルブ40から構成されており、第1のゼオライト床100又は第2のゼオライト床200の酸素をCMS床300に供給するか、圧力が制御されたCMS床の酸素を第1のゼオライト床または第2のゼオライト床に排出するか、又は、第1のゼオライト床および第2のゼオライト床の圧力が均等になるように制御される。
更に、第4のバルブ部800は、バルブ15、16と減圧制御バルブ50とから構成されており、CMS床300内の酸素を選択的に排出するように制御される。
上記のように構成される本発明の制御方法を詳細に説明する。
加圧及び減圧再生ステップでは、第1のゼオライト床100又は第2のゼオライト床200は、送風機Bから供給される空気によって加圧されるか、真空ポンプPによって真空に減圧されて吸着剤が再生される。
まず、加圧ステップの圧力は、第1のゼオライト床100で増加し、減圧再生ステップの圧力は、第2のゼオライト床200で減少する。送風機Bからの一定圧力の空気は、開放したバルブ1、3を介して第1のゼオライト床100に供給される。第1のゼオライト床100の圧力は、供給された空気によって一定圧力まで加圧され、第1のゼオライト床の窒素吸着剤は、この加圧プロセスで窒素を吸着する。
同時に、バルブ6、18を開放し、第2のゼオライト床200は、真空ポンプPの駆動で減圧されるため、窒素は、第2のゼオライト床内の吸着剤から脱離し、吸着剤の再生が行われる。
更に、酸素の吸着及び回収ステップにおいて、第1のゼオライト床100内の圧力が一定圧力(約1.5bar)に達すると、バルブ1を閉じると同時に流量制御バルブ30及びバルブ7、13を開放する。このとき、流量制御バルブ30は、送風機Bから第1のゼオライト床100内に回収される空気の流量を調節することにより、第1のゼオライト床100内の空気流量を一定に維持される。第1のゼオライト床100では、吸着剤を用いて窒素を吸着することにより、純度90〜94%の酸素が生成される。純度90〜94%の酸素は、バルブ7、13を介してCMS床300内に供給される。
ここで、第1のゼオライト床100で生成された純度90〜94%の酸素は、バルブ7、13を介してCMS床300内を加圧しながら、CMS床内の吸着剤に吸着される。
CMS床300内の圧力が一定圧力(約1〜約3bar)に達した時点で、バルブ14を開放し、CMS床300内で吸着されない純度約80%程度の酸素を排出する。
また、バルブ14、12の開放と同時に、バルブ6、18を閉じ、これにより、CMS床300から排出された純度約80%程度の酸素は、第2のゼオライト床200内に回収され、窒素は、第2のゼオライト床内の吸着剤によって吸着除去される。
ここで、圧力制御バルブ40は、開放したバルブ14を介して排出された純度約80%酸素の圧力を制御することにより、CMS床300内の圧力を一定圧力にしている。
従って、純度約80%酸素が回収された第2のゼオライト床200の圧力は、CMS床300の圧力に比べ、遥かに低いレベルを維持することになる。
しかし、CMS床300内から排出された酸素の純度が約75〜85%を遥かに超えると、CMS床内の吸着剤が過飽和となり、コントローラ(不図示)は、それ以上の酸素を吸着できない状態に達していると判断し、開放したバルブ7、13、14、12を閉じる。
このとき、圧力均一化及び酸素生成ステップでは、バルブ9、15を開放する。開放したバルブ9を介して、第1のゼオライト床100および第2のゼオライト床200の圧力均等プロセスが行われ、開放したバルブ15を介してCMS床300内に吸着された酸素が生成する。
ここで、第1のゼオライト床100の高い圧力は、開放したバルブ9を介し、相対的に低い圧力の第2のゼオライト床200に供給されるため、第2のゼオライト床内が加圧される。
前述のように、開放したバルブ9を介した第1のゼオライト床100と第2のゼオライト床200との圧力均等プロセスにより、第2のゼオライト床200は、一定圧力に加圧された第1のゼオライト床100によって加圧される。
このとき、第2のゼオライト床200内の圧力は、圧力均等化プロセスにより、目標圧力(約1.5bar)の約60%程度まで加圧される。
そして、CMS床300では、吸着剤によって酸素が吸着される。バルブ15を開放し、CMS床300内の圧力を大気圧まで減圧すれば、吸着剤内の酸素だけでなく、吸着剤間に主に残留する窒素とアルゴンが排出されるため、純度約97%の酸素が生成される。
CMS床300の酸素生成時、バルブ15を開放する前に、バルブ5、16を開放した状態で、圧力制御バルブ50を制御して、CMS床300を約30%程度まで減圧する初期のステップを行えば[即ち、圧力制御バルブを開放して1時間当りの減圧率を制御することによって30%程度の減圧を行う(100%に減圧するとは、大気圧まで減圧することを意味する)]、CMS床と第2のゼオライト床との圧力差により、吸着剤間に主に残留する窒素とアルゴン及び空気中の酸素は、CMS床内で吸着剤に吸着されていた酸素に比べ、より速やかに排出される。
圧力が約30%程度に減圧された時点で、CMS床から排出された酸素は、開放したバルブ16、5を介して第2のゼオライト床200に送られ、また、バルブ16、5を閉じた状態でバルブ15を開放し、CMS床を大気圧に減圧すると、純度約99%の酸素が生成される。
要約すると、圧力均等化ステップ及び酸素生成ステップにおいて、第1及び第2のゼオライト床の圧力均等化ステップを介して第2のゼオライト床200が加圧され、CMS床300の酸素生成ステップを介して純度約97%ないし約99%の酸素が生成されることにより、第1のゼオライト床100の加圧ステップ及び第2のゼオライト床200の減圧再生ステップを介した酸素の生成は完了する。
以下、第1のゼオライト床100の減圧再生ステップ及び第2のゼオライト床200の加圧ステップを介した制御方法を説明する。加圧ステップ及び減圧再生ステップでは、バルブ9、15と、2、3を閉じ、バルブ1、5を開放すると、送風機Bの加圧空気は、第2のゼオライト床200に供給され、第2のゼオライト床200内の圧力は一定レベルまで上昇する。
このとき、第2のゼオライト床の圧力は、第1のゼオライト床と第2のゼオライト床との間の圧力均等化ステップを介して、目標圧力の約60%程度まで上昇しているため、加圧に要する時間は著しく減少する。
ここで、第2のゼオライト床200の圧力が一定圧力に達すると、バルブ1を閉じると同時に、流量制御バルブ30を開放する。流量制御バルブ30を用いて、送風機Bから第2のゼオライト床内に供給される空気の流量を調節することにより、第2のゼオライト床200内の空気流量は一定に維持され、第2のゼオライト床200の吸着剤で純度90〜94%の酸素が生成される。
同時に、バルブ4、18を開放すると、第1のゼオライト床100の圧力は、真空ポンプPの操作によって真空減圧され、第1のゼオライト床内の吸着剤から窒素が脱離除去し、吸着剤の再生が行われる。
一方、酸素の吸着及び回収ステップでは、第2のゼオライト床200で生成された純度90〜93%の酸素は、開放したバルブ8、13を介してCMS床300内に供給される。
ここで、第2のゼオライト床200で生成された純度90〜94%の酸素は、開放したバルブ8、13を介してCMS床300内を加圧しながら、CMS床内の吸着剤に吸着される。
このとき、CMS床300内の圧力が一定レベルに達すると(約1〜約3bar)、バルブ14を開放し、CMS床300内で吸着されない純度約80%程度の酸素を排出する。
また、バルブ14、11を開放し、バルブ4、18を閉じると、これにより、CMS床300から排出される純度約80%程度の酸素が第1のゼオライト床100内に供給され、窒素は、第1のゼオライト床内で再生された吸着剤によって吸着除去される。
ここで、圧力制御バルブ40を用い、開放したバルブ14を介して排出された純度約80%の酸素の圧力を制御すると、CMS床300内の圧力を一定レベルに維持できる。
従って、純度約80%の酸素が供給された第1のゼオライト床100の圧力は、CMS床300の圧力より低いレベルに維持される。
しかし、CMS床300内で排出された酸素の純度が約80%を遥かに超えると、CMS床内の吸着剤が過飽和となり、コントローラ(不図示)は、それ以上の酸素を吸着することができないと判断し、開放したバルブ8、13、14、11を閉じる。
そして、圧力均等化及び酸素生成ステップでは、バルブ9及び15を開放する。開放したバルブ9を介して第1のゼオライト床100と第2のゼオライト床200の圧力均等ステップが行われ、開放したバルブ15を介してCMS床200内の吸着剤に吸着された酸素が生成される。
ここで、開放したバルブ9を介して第2のゼオライト床200の高い圧力は、相対的に低い圧力にある第1のゼオライト床100に供給され、第2のゼオライト床内が加圧される。
前述したように、開放したバルブ9を介した第1のゼオライト床100と第2のゼオライト床200との圧力均等化プロセスによって、第1のゼオライト床100は、一定圧力に加圧された第2のゼオライト床200によって加圧される。
このとき、圧力均等化プロセスを通じて、第1のゼオライト床は、目標圧力の約60%程度まで加圧される。
そして、CMS床600では、酸素は、吸着剤によって吸着された状態になる。バルブ15を開放し、CMS床内の圧力を大気圧に減圧すれば、吸着剤内の酸素だけでなく、吸着剤間に主に残留する窒素とアルゴンが排出され、純度約97%の酸素が生成される。
CMS床300の酸素生成時、バルブ15を開放する前に、バルブ3、16を開放した状態で、圧力制御バルブ50を制御して、CMS床300を約30%程度まで減圧する初期のステップを行えば[即ち、圧力制御バルブを開放して1時間当りの減圧率を制御することによって30%程度の減圧を行う(100%に減圧するとは、大気圧まで減圧することを意味する)]、CMS床と第2のゼオライト床との圧力差により、吸着剤間に主に残留する窒素とアルゴン及び空気中の酸素は、CMS床内で吸着剤に吸着されていた酸素に比べ、より速やかに排出される。
圧力が約30%程度に減圧した時点で、CMS床から排出された酸素は、開放したバルブ16、3を介して第1のゼオライト床100に供給され、バルブ16、3バルブを閉じた状態でバルブ15を開放し、CMS床を大気圧に減圧すれば、純度約99%の酸素を生成することができる。
第1のゼオライト床100と第2のゼオライト床200の圧力均等化ステップを通じて第1のゼオライト床100を加圧し、CMS床300の酸素生成ステップを通じて純度約97%又は約99%の酸素が生成されると、第2のゼオライト床100を介した酸素の生成は完了する。
本発明では、第1のゼオライト床100と第2のゼオライト床200に対する加圧ステップ又は減圧再生ステップを交互に実施しながら、CMS床300で酸素を継続的に生成することができる。従って、本発明の技術的特徴は、CMS床で必要に応じて高純度の酸素を選択的に生成できることにある。
本発明は、その構造がシンプルであり、回収率が非常に高く、必要に応じてシンプルな制御ステップを通じて高純度の酸素を生成できることを特徴としている。
酸素生成装置及びその制御方法は、添付図面に示す好適な実施形態を用いて説明したが、これは、本発明の一実施例に過ぎない。また、特許請求の範囲に定義した本発明の範囲及び思想を逸脱しない範囲内で、種々の変更及び改変が可能であることは、当業者であれば理解され得る。従って、本発明の実質的な範囲は、添付の特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきである。

Claims (5)

  1. 外部の空気加圧手段及び空気減圧手段と連結され、その内部圧力が増加又は減少する第1のゼオライト床と;
    前記第1のゼオライト床と並列に連結されており、外部の空気加圧手段及び空気減圧手段と連結され、その内部圧力が増加又は減少する第2のゼオライト床と、
    但し、前記第1及び第2のゼオライト床は、前記第1のゼオライト床の内部圧力が増加すると前記第2のゼオライト床の内部圧力が減少し、前記第1のゼオライト床の内部圧力が減少すると前記第2のゼオライト床の内部圧力が増加するように配列されている;
    前記第1及び第2のゼオライト床で生成された酸素を受け取って吸着するように、前記第1及び第2のゼオライト床と連結されており、生成された酸素を外部に排出するか、又は前記生成された酸素の一部を前記第1のゼオライト床若しくは前記第2のゼオライト床に選択的に排出する炭素分子ふるい床と;
    前記外部の空気加圧手段から前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床に空気を供給する第1のバルブ部と;
    前記空気減圧手段から前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床に真空を供給する第2のバルブ部と;
    前記第1及び第2のゼオライト床並びに前記炭素分子ふるい床と連結され、前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床で生成された酸素を前記炭素分子ふるい床に供給するか、前記炭素分子ふるい床で吸着されない酸素を前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床に排出するか、又は前記第1及び第2のゼオライト床の圧力を均一にする第3のバルブ部と;
    前記炭素分子ふるい床、外部の装置、並びに前記第1及び第2のゼオライト床と連結され、前記炭素分子ふるい床で生成された酸素を、前記外部の装置、前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床に選択的に排出する第4のバルブ部と;
    を含む酸素生成装置。
  2. 前記第1及び第2のゼオライト床、並びに前記炭素分子ふるい床のそれぞれは、各床の下部で形成される第1の部分と、各床の上部で形成される第2の部分と、を有し、
    前記第1及び第2のゼオライト床の第1の部分は、外部の空気加圧手段及び空気減圧手段と連結されており;
    前記炭素分子ふるい床の第1の部分は、前記第1及び第2のゼオライト床で生成された酸素を受け取って吸着するように、前記第1及び第2のゼオライト床の第2の部分と連結されており、
    前記炭素分子ふるい床の第2の部分は、未吸着酸素を前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床に選択的に排出するように、前記第1及び第2のゼオライト床の第2の部分と連結されている請求項1に記載の酸素生成装置。
  3. 請求項1に記載の酸素生成装置を制御する方法であって、
    第1のゼオライト床の内部圧力を増加して窒素を吸着して酸素を生成し、第2のゼオライト床の内部圧力を減少して内部の吸着剤から窒素を分離し、除去する第1のステップ、
    前記第1のゼオライト床で生成された酸素を前記炭素分子ふるい床に供給し、前記炭素分子ふるい床の圧力を増加して酸素を吸着する第2のステップ、
    前記炭素分子ふるい床で吸着されない酸素を前記第2のゼオライト床に供給する第3のステップ、
    前記第1及び第2のゼオライト床の内部圧力を均一にする第4のステップ、
    前記第4のステップが終了した後、前記炭素分子ふるい床の内部圧力を減少することによって、前記炭素分子ふるい床で最初に生成された酸素を前記第2のゼオライト床に選択的に回収する第5のステップ、
    前記炭素分子ふるい床の内部圧力を減少することによって前記炭素分子ふるい床で生成された酸素を外部の装置に排出する第6のステップ、
    前記第2のゼオライト床の内部圧力を増加して窒素を吸着して酸素を生成し、前記第1のゼオライト床の内部圧力を減少して内部の吸着剤から窒素を分離し、除去する第7のステップ、
    前記第2のゼオライト床で生成された酸素を前記炭素分子ふるい床に供給し、前記炭素分子ふるい床の圧力を増加して酸素を吸着する第8のステップ、
    前記炭素分子ふるい床で吸着されない酸素を前記第1のゼオライト床に供給する第9のステップ、
    前記第1及び第2のゼオライト床の内部圧力を均一にする第10のステップ、
    前記第10のステップが終了した後、前記炭素分子ふるい床の内部圧力を減少することによって前記炭素分子ふるい床で最初に生成された酸素を前記第1のゼオライト床に選択的に回収する第11のステップ、
    前記炭素分子ふるい床の内部圧力を減少することによって前記炭素分子ふるい床で生成された酸素を外部の装置に排出する第12のステップ、
    を包含する方法。
  4. 前記第3のステップで、前記第1のゼオライト床又は前記第2のゼオライト床に回収される酸素の平均純度は75〜85%である請求項3に記載の方法。
  5. 前記第1のゼオライト床又は第2のゼオライト床に回収される酸素は、前記炭素分子ふるい床の全減圧ステップのうち最初の減圧ステップの間に50%未満が回収される請求項3に記載の方法。
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