JP4466377B2 - Component mounting device, component mounting method, component reversing device, and component reversing method - Google Patents
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Description
本発明は、部品を基板に搭載する部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品を反転する部品反転装置および部品反転方法に関するものである。 The present invention relates to a component mounting apparatus and component mounting method for mounting a component on a substrate, and a component reversing apparatus and component reversing method for reversing the component.
部品搭載装置では、部品供給部から取り出した部品を搭載ヘッドによって保持して基板に搭載する搭載動作が反復して行われる。フリップチップなどのように接続用の突起電極であるバンプが形成された部品は、一般にバンプ形成面を上向きにした姿勢で供給され、部品供給部から取り出された部品は上下反転によってバンプ形成面を下向きにした姿勢で基板に搭載される。このような、取り出した後に上限反転を必要とする部品を対象とする部品搭載装置として、複数の部品が載置された保持ヘッドをフラックス膜が形成されたステージ上で反転させることにより、複数の部品を一括して反転するとともにバンプにフラックスを転写する構成の反転機構を備えた部品搭載装置が知られている(特許文献1参照)
上記従来の部品搭載装置では、複数の部品を単一の保持ヘッドに保持させ、この保持ヘッドを一端側に設けられた軸廻りに回転させる構成を採用していたため、部品供給部から取り出された複数の部品を載置する保持ヘッドと、反転された部品を載置するステージとを並列して反転機構に配置する必要があった。このため部品搭載装置における各機能部のレイアウトにおいて、反転機構の占有スペースが大きくなり、装置のコンパクト化の要請に反するという問題があった。そしてこの問題は、同時に反転対象とする部品数が増大するにつれてより顕著になっていた。 In the above-described conventional component mounting apparatus, since a plurality of components are held by a single holding head and this holding head is rotated around an axis provided on one end side, the components are taken out from the component supply unit. The holding head for placing a plurality of parts and the stage for placing the reversed parts need to be arranged in parallel in the reversing mechanism. For this reason, in the layout of each functional part in the component mounting apparatus, there is a problem that the space occupied by the reversing mechanism becomes large, which is contrary to the demand for compactness of the apparatus. This problem becomes more prominent as the number of parts to be reversed at the same time increases.
そこで本発明は、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができる部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品反転装置および部品反転方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention provides a component mounting apparatus, a component mounting method, a component reversing apparatus, and a component reversing method, which can compactly configure a reversing mechanism for reversing a component taken out from a component supply unit and promote the downsizing of the device. The purpose is to provide.
本発明の部品搭載装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載装置であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部と、複数の前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備え前記部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートと、前記部品供給部から前記複数の部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して前記複数の保持プレートの保持部に保持させる部品取出し手段と、前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載手段とを備え、前記反転機構は前記部品ステージの上方に配置されている。 A component mounting apparatus according to the present invention is a component mounting device in which a component having an electrode surface on one side of which an electrode is formed is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head, with the component facing the electrode surface upward. A component supply unit for supplying the component in a posture; a component stage for mounting the plurality of components in a posture with the back surface opposite to the electrode surface facing upward; and a holding unit for retaining the component from the back surface side. A plurality of holding plates disposed on the upper surface of the component stage, and the plurality of components are taken out from the component supply unit and held by the nozzle surface from the electrode surface side, and are held by the holding units of the plurality of holding plates. A component take-out means, and a reversing mechanism for reversing the plurality of holding plates to invert the components held on the holding plates and placing them on the component stage Wherein the mounting nozzle of the plurality of components from the component stage receiving by holding the back surface side and a component mounting unit for mounting to the substrate, the reversing mechanism is arranged above the component stage.
本発明の部品搭載方法は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートのそれぞれに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記部品ステージの上方に配置された反転機構により前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する部品反転工程と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載工程とを含む。 The component mounting method of the present invention is a component mounting method in which a component having an electrode surface on one side of which an electrode is formed is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head, with the component facing the electrode surface upward. A plurality of the components are taken out from the component supply unit to be supplied in a posture and held by the nozzle from the electrode surface side, and are held on the holding portions provided on each of the plurality of holding plates disposed on the upper surface of the component stage. A component take-out step for holding, and a plurality of holding plates are reversed by a reversing mechanism disposed above the component stage, so that the components held on the respective holding plates are turned upside down and placed on the component stage. The substrate is received by holding the plurality of components from the component stage from the back side by means of a mounting nozzle. And a component mounting step of mounting.
本発明の部品反転装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転する部品反転装置であって、前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品ステージの上面に配設され前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備えた複数の保持プレートと、前記保持プレートを反転することにより前記部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構とを備え、前記反転機構は前記
部品ステージの上方に配置されている。
The component reversing device of the present invention is a component reversing device that vertically flips a component having an electrode surface on one side of which an electrode is formed, with the component placed in a posture with the back surface opposite to the electrode surface facing upward. A component stage to be placed, a plurality of holding plates disposed on the upper surface of the component stage and having a holding portion for holding the component from the back surface side, and the component is turned upside down by inverting the holding plate. and a reversing mechanism for placing the component stage, the reversing mechanism is the
It is arranged above the part stage .
本発明の部品反転方法は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転する部品反転方法であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記部品ステージの上方に配置された反転機構により前記保持プレートを反転することにより前記複数の部品を上下反転して部品ステージに載置する部品反転工程とを含む。 The component reversal method of the present invention is a component reversal method for vertically reversing a component having an electrode surface on one side of which an electrode is formed, from a component supply unit that supplies the component with the electrode surface facing upward A component take-out step in which a plurality of the components are taken out by being held from the electrode surface side by a take-out nozzle and are held by holding portions provided on a plurality of holding plates disposed on the upper surface of the component stage; A component reversing step of inverting the holding plate by a reversing mechanism disposed above the plurality of components and placing them on a component stage.
本発明によれば、部品ステージの上面に部品を裏面側から保持する保持部を備えた複数の保持プレートを配設し、これらの複数の保持プレートを部品ステージの上方に配置された反転機構によって反転して複数の部品を同時に反転する構成を採用することにより、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができる。 According to the present invention, a plurality of holding plates each having a holding portion for holding a component from the back side are arranged on the upper surface of the component stage, and the plurality of holding plates are arranged by a reversing mechanism arranged above the component stage . By adopting a configuration in which a plurality of components are reversed at the same time, a reversing mechanism for reversing the components taken out from the component supply unit can be configured in a compact manner, and the device can be made compact.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の平面図、図2は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の側断面図、図3、図4は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の部品反転ステージの構造説明図、図5は本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品搭載動作の動作説明図、図6、図7は本発明の一実施の形態の部品搭載装置における部品反転動作の動作説明図である。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a plan view of a component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side sectional view of the component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are one embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram illustrating the structure of the component reversing stage of the component mounting apparatus, FIG. 5 is a diagram illustrating the operation of the component mounting operation performed by the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIGS. It is operation | movement explanatory drawing of the component inversion operation | movement in a component mounting apparatus.
まず図1、図2を参照して、部品搭載装置の全体構造を説明する。この部品搭載装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する機能を有している。なお図2は、図1におけるA−A矢視を示している。 First, the entire structure of the component mounting apparatus will be described with reference to FIGS. This component mounting apparatus has a function of turning a component having an electrode surface on one side of which electrodes are formed upside down and mounting the component on a substrate by a mounting head. FIG. 2 shows an AA arrow view in FIG.
図1において、基台1上には部品供給部2が配設されている。図2に示すように、部品供給部2は治具ホルダ3を備えており、治具ホルダ3はシート5が装着された治具4を着脱自在に保持する。シート5には部品である半導体チップ(以下単にチップ6と略記する。)が個片に分離された状態で貼着されている。チップ6の上面には突起電極であるバンプ6aが複数形成されており、治具ホルダ3に治具4が保持された状態では、部品供給部2は複数のチップ6をバンプ形成面(電極面)を上方に向けた姿勢で供給する。
In FIG. 1, a
図2において、治具ホルダ3に保持されたシート5の下方には、エジェクタ8がXYテーブル7によって水平移動自在に配設されている。エジェクタ8はチップ突き上げ用のエジェクタピン(図示省略)を昇降させるピン昇降機構を備えており、後述する移載ヘッドによってシート5からチップ6をピックアップする際に、エジェクタピンによってシート5の下方からチップ6を突き上げることにより、チップ6はシート5から剥離される。エジェクタ8はチップ6をシート5から剥離するシート剥離手段となっている。シート剥離手段としては、エジェクタピンを用いる突き上げ方式以外にも、シート5を下面側から真
空吸着することによりシート5をチップ6から剥離させる方式や、シート5の下面側から紫外光を照射してチップ6の粘着力を低減させる方式など、各種の方式を用いることができる。
In FIG. 2, an
図1において、基台1の上面の部品供給部2からY方向に隔てた位置には、基板保持部10が配置されている。基板保持部10の上流側、下流側には、それぞれ基板搬入部11、基板搬出部12がX方向に直列に配置されている。基板搬入部11は、上流側から供給される基板13を受け取って基板保持部10に搬入する。また基板保持部10は、搬入された基板13を保持して部品実装位置に位置決めする。そして基板搬出部12は、基板保持部10から受け渡された部品搭載後の基板13を下流側に搬出する。
In FIG. 1, a
図1において基台1の上面の両端部には、Y軸ベース20A、20BがY方向に配設されており、Y軸ベース20A、20Bの上面には、略全長にわたってY方向ガイド21が配設されている。Y軸ベース20A、20Bには、第1ビーム部材31、センタービーム部材30および第2ビーム部材32の3つのビーム部材が、それぞれ両端部をY方向ガイド21によって支持されてY方向にスライド自在に架設されている。
In FIG. 1, Y-
センタービーム部材30はY軸駆動機構22によってY方向に移動し、さらに内蔵されたX軸駆動機構によってX方向に移動可能な移載ヘッド33を備えている。したがって移載ヘッド33は、部品供給部2および基板保持部10を含む移動範囲内において、X方向、Y方向に移動自在となっている。移載ヘッド33はそれぞれ1個のチップ6を吸着保持する保持ノズル33aを複数(ここでは、4本(X方向)×2列(Y方向)=8本)備えており、各保持ノズル33aはチップ6をバンプ形成面側および裏面側(バンプ形成面の反対側)のいずれの面側からも保持できるように、サイズ・形状が設定されている。
The
各保持ノズル33aにチップ6を保持した状態で、Y軸駆動機構22およびX軸駆動機構を駆動することにより、移載ヘッド33はチップ6を保持して移動する。したがって、移載ヘッド33,センタービーム部材30およびY軸駆動機構22は、チップ6を保持して移動し、部品保持を解除することにより部品を移載する部品移載機構を構成する。
By driving the Y-
第1ビーム部材31、第2ビーム部材32は、それぞれY軸駆動機構23、Y軸駆動機構24によってY方向に移動し、内蔵されたX軸駆動機構によってX方向に移動自在に配設された基板認識カメラ34、供給部認識カメラ35をそれぞれ備えている。基板認識カメラ34は基板保持部10の上方に移動して基板13を撮像し、また供給部認識カメラ35は部品供給部2の上方に移動してシート5に保持された状態のチップ6を撮像する。
The
そしてこれらの撮像結果を認識処理することにより、基板保持部10における基板13上の部品搭載位置および部品供給部2におけるチップ6の位置が認識される。後述する部品取り出し動作および部品搭載動作においては、これらの認識結果に基づいて移載ヘッド33の位置補正が行われる。
Then, by recognition processing of these imaging results, the component mounting position on the
部品供給部2と基板保持部10との間には、部品認識カメラ15および部品反転ステージ14が配設されている。部品認識カメラ15は1次元画像を取り込むラインカメラを備えており、保持ノズル33aにチップ6を保持した移載ヘッド33が部品認識カメラ15の上方をX方向に移動することにより、保持ノズル33aに保持された状態のチップ6が撮像される。そしてこの撮像結果を認識処理することにより、チップ6の位置が検出される。
A
部品反転ステージ14の構造について、図3、図4を参照して説明する。この部品反転ステージ14は、バンプ形成面を有するチップ6を上下反転する部品反転装置としての機
能を有している。図3(a)に示すように、部品反転ステージ14は、X方向に細長形状の部品載置ブロック41を、ベース部材40上に昇降シリンダ42によって昇降可能に配置し、さらに部品載置ブロック41の上方に複数の部品反転ユニット45をX方向に並列配置した構成となっている。
The structure of the
部品載置ブロック41の上面に設けられた凹部の底面は平滑な載置面41aとなっており、載置面41aには粘着物であるフラックス43がスキージ44によって膜状に延展される。載置面41aには、後述するように部品反転ユニット45によって反転されたチップ6が、裏面を上方に向けた姿勢で載置される。すなわち部品載置ブロック41は、複数のチップ6をバンプ形成面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージとなっている。
The bottom surface of the concave portion provided on the upper surface of the
部品載置ブロック41の上方に並列配置された部品反転ユニット45は、ベース部材40に部品載置ブロック41を挟んで両側に立設された2つの軸受ブラケット47によって、Y方向に細長形状の保持プレート46を反転軸48廻りに軸支した構成となっている。保持プレート46の片面(図3(a)において上面)は、チップ6を裏面側から保持する保持面46aとなっており、保持面46aにはそれぞれ吸着孔46cを備えた複数(ここでは2つ)の保持部46bが、Y方向に並んで設けられている。すなわち、チップ6を保持する保持部46bは、細長形状の保持プレート46の長手方向に沿って複数配置されている。
The
吸着孔46cは真空吸引源(図示省略)に接続されており、吸着孔46cを覆ってチップ6を保持部46bに載置した状態で、吸着孔46cから真空吸引することにより、チップ6は保持部46bに吸着保持される。すなわち複数の保持プレート46は、チップ6を裏面側から保持する保持部46bを備え載置面41aの上面に配設されている。すなわち、保持プレート46は、細長形状の部品載置ブロック41の長手方向に沿って複数配置されている。
The suction hole 46c is connected to a vacuum suction source (not shown), and the
図3(a)に示すように、部品反転ユニット45の保持面46aには、移載ヘッド33の複数の保持ノズル33aによってチップ6が載置される。ここで移載ヘッド33における保持ノズル33aの配列ピッチは、X方向、Y方向とも部品反転ステージ14における保持部46bの配列ピッチと一致しており、移載ヘッド33によって部品供給部2から取り出した8個のチップ6を、部品反転ステージ14の8個の保持部46bに同時に保持させることができるようになっている。
As shown in FIG. 3A, the
すなわち保持プレート46における保持部46bのY方向のピッチpy(図3(b))は、移載ヘッド33における保持ノズル33aのY方向の配列ピッチ(図2参照)と一致するように設定されている。また部品反転ステージ14における保持プレート46のX方向の配列ピッチは、部品移載機構における保持ノズル33aの配列ピッチに対応しており、各保持部46b間の間隔が移載ヘッド33における保持ノズル33aのX方向の配列ピッチpxと一致するように設定されている。したがって前述の部品移載機構は、部品供給部2から複数のチップ6を取出しノズルとしての保持ノズル33aによってバンプ形成面側から保持することにより取り出して、複数の保持プレート46の保持部46bに保持させる部品取出し手段を構成する。
That is, the pitch py (FIG. 3B) of the holding portions 46b in the holding
保持プレート46は回転式のエアアクチュエータを用いた回転機構49に反転軸48を介して結合されている。各部品反転ユニット45において回転機構49をそれぞれ駆動して、反転軸48を180°回転させることにより、複数の保持プレート46は反転軸48廻りに同一方向に上下反転する。それぞれの保持プレート46の保持部46bにチップ6を保持した状態で、回転機構49を同時に駆動することにより、図4(a)に示すように、保持プレート46に保持されたチップ6は同時に上下反転される。
The holding
そしてこの状態で昇降シリンダ42のロッド42aを突出させて、部品載置ブロック41を上昇させることにより、バンプ6aはフラックス43が延展された載置面41aに対して押し付けられるとともに、バンプ6aは載置面41aに塗布されたフラックス43に接触する。そしてこのときの押付力によりバンプ6aの先端部を平滑にするフラットニングが行われる。
In this state, the rod 42a of the elevating
この後、吸着孔46cによるチップ6の吸着保持を解除した状態で、部品載置ブロック41を下降させ、次いで保持プレート46を保持面46aが上向きになる方向に反転させると、複数のチップ6は保持面46aから離脱し載置面41a上のチップ載置位置41b(保持部46bの反転軸48についての対称位置・・図3(b)参照)に、裏面を上方に向けた姿勢で載置された状態となる。すなわち、部品載置ブロック41の上面に配列された複数の部品反転ユニット45は、複数の保持プレート46を反転することにより、それぞれの保持プレート46に保持されたチップ6を同一方向に上下反転して部品載置ブロック41の載置面41a上に載置する反転機構となっている。
Thereafter, in a state where the suction holding of the
この後、保持ノズル33aによって載置面41aから取り出されたチップ6は、バンプ6aの先端部にフラックス43が転写塗布された状態で移載ヘッド33とともに移動する。ここで複数のチップ載置位置41bは、保持部46bの配列をX方向に平行移動させたものに等しいことから、移載ヘッド33の複数の保持ノズル33aによってこれらの複数のチップ6を同時に吸着保持することが可能となっている。そしてこの後、移載ヘッド33が基板保持部10へ移動し、ここで移載ヘッド33に部品搭載動作を行わせることにより、複数の保持ノズル33aに保持されたチップ6は、順次基板13に搭載される。
Thereafter, the
すなわち、ここでは前述の部品移載機構が、部品載置ブロック41から複数のチップ6を搭載ノズルとしての保持ノズル33aによって裏面側から保持することにより受け取って、基板13に搭載する部品搭載手段となっており、この部品搭載手段が前述の部品取り出し手段を兼務する形態となっている。もちろん部品搭載手段と部品取り出し手段とを別個に設けるようにしてもよい。
That is, here, the above-described component transfer mechanism receives a plurality of
そして部品反転ステージ14においては、部品載置ブロック41の載置面41a上にフラックス43を延展しておき、部品反転ユニット45によりチップ6を上下反転することによって、バンプ6aにフラックス43を塗布するようにしている。これにより、フラックス転写ステージを部品反転ステージと個別に設ける構成と比較して機構簡略化と省スペースを図ることができるとともに、部品反転とフラックス転写とを同一工程で行うことができ、動作時間の短縮が実現される。
In the
次に図5、図6、図7を参照して、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法およびこの部品搭載過程で行われる部品反転動作について説明する。図5(a)において、部品供給部2に保持されたシート5には複数のチップ6が整列状態でバンプ形成面を上向きにした姿勢で貼着されている。部品供給部2においては、まず取り出し対象のチップ6を供給部認識カメラ35によって撮像して、これらのチップ6を認識する。そして供給部認識カメラ35が退去した後に、移載ヘッド33がシート5の上方に進出し、取り出し対象の複数のチップ6を保持ノズル33aによって順次吸着保持して取り出す。
Next, referring to FIG. 5, FIG. 6, and FIG. 7, a component mounting method in which a component having an electrode surface on one side of an electrode is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head, and this component mounting process is performed. The component reversing operation will be described. In FIG. 5A, a plurality of
この後、各保持ノズル33aにそれぞれチップ6を保持した移載ヘッド33は、図5(b)に示すように、部品反転ステージ14の上方に移動する。この後、部品反転ステージ14においては、図6、図7に示す部品反転動作が実行される。ここでは、部品反転ステ
ージ14の1つの部品反転ユニット45において実行される動作過程を示している。
Thereafter, the
まず図6(a)に示すように、保持ノズル33aに保持したチップ6を、保持プレート46の保持面46a上に載置し、保持部46bによってチップ6を吸着保持する。すなわち部品供給部2から複数のチップ6を、取出しノズルとしての保持ノズル33aによってバンプ形成面側から保持することにより取り出して、複数の保持プレート46のそれぞれに設けられた保持部46bに保持させる(部品取出し工程)。
First, as shown in FIG. 6A, the
この後図6(b)に示すように、保持プレート46を上下反転させ、次いで図6(c)に示すように部品載置ブロック41を上昇させて、チップ6のバンプ6aをフラックス43が延展された載置面41aに着地させる。そして図6(d)に示すように、保持プレート46を再度上下反転させるとともに、部品載置ブロック41を下降させることにより、保持プレート46に保持されていたチップ6は部品載置ブロック41の載置面41aに載置される。すなわち複数の保持プレート46を反転することにより、それぞれの保持プレート46に保持されたチップ6を上下反転して部品載置ブロック41に載置する(部品反転工程)。
Thereafter, as shown in FIG. 6B, the holding
ここでは部品取出し工程においては、細長形状の保持プレート46の長手方向に沿って複数配置された保持部46bにチップ6を保持させるようにしており(図3(b)参照)、部品反転工程において、細長形状の部品載置ブロック41の長手方向に沿って複数配置された保持プレート46を個別に反転させることにより、各チップ6の反転を行うようにしている。
Here, in the component take-out step, the
この後、移載ヘッド33は再び部品供給部2に移動し、シート5から複数のチップ6を再度取り出した後に、部品反転ステージ14に移動する。そして図7(a)に示すように、保持ノズル33aに保持されたチップ6を保持プレート46上に載置し保持部46bに保持する。次いでチップ6の吸着保持を解除した保持ノズル33aは、既に載置面41aに載置されているチップ6の上方に移動し、図7(b)に示すように、保持ノズル33aによってチップ6を裏面側から吸着保持する。
Thereafter, the
次いで図7(c)に示すように、保持ノズル33aをチップ6とともに上昇させる。このとき、バンプ6aの下端部には載置面41aに延展されていたフラックス43が転写により塗布される。すなわち、ここでは部品載置ブロック41上にフラックス43を延展しておき、部品反転工程においてチップ6を上下反転することによって、バンプ6aにフラックス43を塗布するようにしている。チップ6を取り出した後の載置面41aにおいては、スキージ44を往復動させてフラックス43を掻き寄せて、転写により荒れたフラックス膜を平滑に修復するスキージングが行われる。
Next, as shown in FIG. 7C, the holding nozzle 33 a is raised together with the
この後、フラックス転写後のチップ6を保持した移載ヘッド33は、図5(b)に示すように部品認識カメラ15の上方に移動し、ここでチップ6の認識を行う。そしてその後、基板保持部10に移動して基板13上の部品搭載位置に各保持ノズル33aに保持したチップ6を順次搭載する。すなわち本実施の形態においては、部品取り出し工程および部品搭載工程において、共通の保持ノズル33aによってチップ6を保持するようにしている。
Thereafter, the
そして部品反転ステージ14においては、図7(d)に示すように保持プレート46を再度反転させてチップ6を載置面41a上に載置した後に、保持プレート46を保持面46aを上向きにした正転状態に復帰させる。これにより、図6(d)に示す状態に戻り、これ以降同様の動作が反復実行される。
Then, in the
上記説明したように、部品供給部2から取り出した後のチップ6を反転した後に基板13に搭載する構成の部品搭載装置において、部品反転ステージ14に前記構成を採用することにより、部品供給部2から取り出されたチップ6を所定配列で保持する保持ヘッドの機能と、反転されたチップ6を所定配列で載置する載置ステージとしての機能とを、1つの部品載置ブロック41上の限られた面積内に配設した形態となっている。
As described above, in the component mounting apparatus configured to be mounted on the
したがって、部品供給部から取り出された複数のチップを載置する保持ヘッドと、反転された部品を載置する載置ステージとを個別に並列して配置する構成の従来装置と比較して、部品反転機構の占有スペースを略半減することができ、装置のコンパクト化を促進することができる。 Therefore, compared with the conventional device in which the holding head for mounting the plurality of chips taken out from the component supply unit and the mounting stage for mounting the inverted components are individually arranged in parallel, The space occupied by the reversing mechanism can be halved, and the apparatus can be made compact.
本発明の部品搭載装置は、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができるという効果を有し、フリップチップなど電極面を有する部品を上下反転した後に搭載する態様の部品搭載装置に対して有用である。 The component mounting apparatus of the present invention has an effect that the reversing mechanism for reversing the component taken out from the component supply unit can be compactly configured to promote the compactness of the device, and has an electrode surface such as a flip chip. This is useful for a component mounting apparatus in which a component is mounted after being turned upside down.
2 部品供給部
5 シート
6 チップ
10 基板保持部
13 基板
14 部品反転ステージ
33 移載ヘッド
33a 保持ノズル
41 部品載置ブロック
41a 載置面
43 フラックス
45 部品反転ユニット
46 保持プレート
46a 保持面
46b 保持部
46c 吸着孔
49 回転機構
2
Claims (16)
前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部と、複数の前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備え前記部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートと、前記部品供給部から前記複数の部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して前記複数の保持プレートの保持部に保持させる部品取出し手段と、前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載手段とを備え、
前記反転機構は前記部品ステージの上方に配置されていることを特徴とする部品搭載装置。 A component mounting apparatus that vertically flips a component having an electrode surface on which an electrode is formed on one side and mounts it on a substrate by a mounting head,
A component supply unit for supplying the component in a posture with the electrode surface facing upward, a component stage for placing the plurality of components in a posture with the back surface opposite to the electrode surface facing upward, and the component A plurality of holding plates provided on the upper surface of the component stage with a holding portion for holding from the back surface side, and taking out the plurality of components from the component supply portion by holding them from the electrode surface side by a nozzle. Component take-out means for holding the holding portions of the plurality of holding plates; a reversing mechanism for turning the plurality of holding plates upside down and placing the components held on the respective holding plates upside down; , received by holding the back surface side by the mounting nozzles of the plurality of components from the component stage and a component mounting unit for mounting the substrate
The component mounting apparatus, wherein the reversing mechanism is disposed above the component stage .
搭載する部品搭載方法であって、
前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートのそれぞれに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記部品ステージの上方に配置された反転機構により前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する部品反転工程と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載工程とを含むことを特徴とする部品搭載方法。 A component mounting method in which a part having an electrode surface on which an electrode is formed on one side is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head,
A plurality of components are taken out from a component supply unit that supplies the components with the electrode surface facing upward, by taking out the components from the electrode surface side by a nozzle, and a plurality of components arranged on the upper surface of the component stage . A component take-out process for holding the holding plate in each holding plate, and a component held on each holding plate by reversing the plurality of holding plates by a reversing mechanism disposed above the component stage. Including a component reversing step of turning upside down and placing on the component stage, and a component mounting step of receiving the plurality of components from the component stage by holding them from the back side by a mounting nozzle and mounting them on the substrate. Part mounting method.
前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品ステージの上面に配設され前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備えた複数の保持プレートと、前記保持プレートを反転することにより前記部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構とを備え、
前記反転機構は前記部品ステージの上方に配置されていることを特徴とする部品反転装置。 A component reversing device for vertically reversing a component having an electrode surface on one side where electrodes are formed,
A plurality of component stages including a component stage for placing the component in a posture with the back surface opposite to the electrode surface facing upward, and a holding unit disposed on the upper surface of the component stage to hold the component from the back surface side; A holding plate, and a reversing mechanism for turning the component upside down and placing it on the component stage by reversing the holding plate ,
The component reversing apparatus, wherein the reversing mechanism is disposed above the component stage .
前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記部品ステージの上方に配置された反転機構により前記保持プレートを反転することにより前記複数の部品を上下反転して部品ステージに載置する部品反転工程とを含むことを特徴とする部品反転方法。 A component reversing method for vertically reversing a component having an electrode surface on one side where electrodes are formed,
A plurality of components are taken out from a component supply unit that supplies the components with the electrode surface facing upward, by taking out the components from the electrode surface side by a nozzle, and a plurality of components arranged on the upper surface of the component stage . A component take-out step for holding the holding plate on a holding plate and a reversing mechanism disposed above the component stage to invert the holding plate so that the plurality of components are turned upside down and placed on the component stage. A component reversing method comprising: a component reversing step.
された前記保持部に前記部品を保持させ、且つ前記部品反転工程において細長形状の前記部品ステージの長手方向に沿って複数配置された前記保持プレートを個別に反転させることを特徴とする請求項14記載の部品反転方法。 In the component take-out step, the component is held by a plurality of holding portions arranged along the longitudinal direction of the elongated holding plate, and in the component reversing step, a plurality of components are arranged along the longitudinal direction of the elongated component stage. The component reversing method according to claim 14, wherein the arranged holding plates are individually reversed.
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